JP2006101244A - 圧電振動子、及びその製造方法 - Google Patents
圧電振動子、及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006101244A JP2006101244A JP2004285533A JP2004285533A JP2006101244A JP 2006101244 A JP2006101244 A JP 2006101244A JP 2004285533 A JP2004285533 A JP 2004285533A JP 2004285533 A JP2004285533 A JP 2004285533A JP 2006101244 A JP2006101244 A JP 2006101244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric vibrator
- main electrode
- bump
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
本発明の目的は、圧電素板をバンプを介し導電性パッドの上に直接載置して気密封止する小型の圧電振動子、及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】
上記目的を達成する為本発明は、圧電素板が容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上にバンプを介して支持され気密封止される圧電振動子の製造方法において、圧電素板の主電極に下地電極材料を成膜する工程と、主電極の表面にバリア層を成膜する工程と、主電極材料を成膜する工程と、先の圧電振動子容器へバンプを介しこのバンプと圧電素板の接続用電極で溶融接合し、圧電素板を搭載する工程と、圧電振動子を周波数調整する工程とにより成ることを特徴とし、また、圧電素板の主電極に下地電極材料と主電極材料の間のバリア層の材料としてAgまたはTiが用いられ、圧電素板の接続用電極と圧電振動子容器とがバンプを介在して直接溶融接合されることを特徴として目的を達成する。
【選択図】 図1
Description
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
2 圧電振動子容器
3 絶縁基板
4 導電性パッド
5 バンプ
6 圧電振動子
7 主電極
8 下地電極材料
9 主電極の表面
10 バリア層
11 主電極材料
12 接続用電極
13 析出層
14 下地電極
Claims (4)
- 圧電素板が圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上にバンプを介して支持されて気密封止される構成の圧電振動子の製造方法において、
該圧電素板の主電極に下地電極材料を成膜する工程と、
該主電極の表面にバリア層を成膜する工程と、
該主電極の表面に主電極材料を成膜する工程と、
該圧電振動子容器へバンプを介して該バンプと該圧電素板の接続用電極において溶融接合し、該圧電素板を搭載する工程と、
該圧電振動子を周波数調整する工程と、により成る圧電振動子の製造方法。 - 圧電素板が圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上にバンプを介して支持されて気密封止される構成の圧電振動子において、
該圧電素板の主電極に、下地電極材料と主電極材料の間のバリア層の材料としてAgまたはTiが用いられ、該圧電素板の接続用電極と該圧電振動子容器とが、該バンプを介在して直接溶融接合されることを特徴とする圧電振動子。 - 該主電極の該バリア層の膜厚は、少なくとも10nm以上であり、かつ該主電極の下地電極材料の膜厚以上であることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動子。
- 該主電極と溶融接合される該バンプとが同じ材料から成ることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004285533A JP2006101244A (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 圧電振動子、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004285533A JP2006101244A (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 圧電振動子、及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006101244A true JP2006101244A (ja) | 2006-04-13 |
Family
ID=36240633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004285533A Pending JP2006101244A (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 圧電振動子、及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006101244A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008167166A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2010183539A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動子の製造方法、並びに発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2010187326A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子および発振器 |
JP2010219992A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動子 |
JP2014103505A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
US10641788B2 (en) | 2016-09-30 | 2020-05-05 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic device apparatus, electronic apparatus, and moving object |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54132187A (en) * | 1978-04-06 | 1979-10-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal oscillator |
JPH06350385A (ja) * | 1993-06-10 | 1994-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発振子 |
JPH1098350A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-04-14 | Daishinku Co | 圧電振動デバイス |
JP2001160665A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-12 | Kyocera Corp | 配線基板 |
JP2002271167A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電デバイス素子とその製造方法 |
JP2002368564A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-20 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 水晶振動子の製造方法及びそれにより製造された水晶振動子 |
JP2003017975A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の電極構造 |
JP2003060472A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子 |
-
2004
- 2004-09-29 JP JP2004285533A patent/JP2006101244A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54132187A (en) * | 1978-04-06 | 1979-10-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal oscillator |
JPH06350385A (ja) * | 1993-06-10 | 1994-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発振子 |
JPH1098350A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-04-14 | Daishinku Co | 圧電振動デバイス |
JP2001160665A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-12 | Kyocera Corp | 配線基板 |
JP2002271167A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電デバイス素子とその製造方法 |
JP2002368564A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-20 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 水晶振動子の製造方法及びそれにより製造された水晶振動子 |
JP2003017975A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の電極構造 |
JP2003060472A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008167166A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2010183539A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動子の製造方法、並びに発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2010187326A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子および発振器 |
EP2219291A3 (en) * | 2009-02-13 | 2011-08-17 | Seiko Instruments Inc. | Method for manufacturing piezoelectric vibrator, piezoelectric vibrator, and oscillator |
US8269568B2 (en) | 2009-02-13 | 2012-09-18 | Seiko Instruments Inc. | Method for manufacturing piezoelectric vibrator, piezoelectric vibrator, and oscillator |
JP2010219992A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動子 |
JP2014103505A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
US10641788B2 (en) | 2016-09-30 | 2020-05-05 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic device apparatus, electronic apparatus, and moving object |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5262946B2 (ja) | 電子デバイス | |
JPH11219420A (ja) | Icカードモジュール、icカード及びそれらの製造方法 | |
JP5275155B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2011155506A (ja) | 電子デバイス、電子機器、及び電子デバイスの製造方法 | |
TW527769B (en) | Piezoelectric device and its manufacturing method | |
JP2000232332A (ja) | 表面実装型圧電共振子 | |
JP2006101244A (ja) | 圧電振動子、及びその製造方法 | |
JP2003158440A (ja) | 接合部材および当該接合部材を用いた圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP4051452B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JPH11266135A (ja) | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 | |
WO2011046036A1 (ja) | 回路装置及びその製造方法 | |
JP2014049966A (ja) | 水晶デバイス | |
JP2011035660A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2011055033A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2010263114A (ja) | 電子部品とその製造方法 | |
JP2005318334A (ja) | 圧電振動子、及びその製造方法 | |
JPH10284972A (ja) | 圧電振動子のパッケージ内支持構造 | |
JPH11274892A (ja) | 圧電振動子、ならびにその製造方法 | |
JP2008011309A (ja) | 圧電発振器 | |
JPH09148878A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP2004254012A (ja) | 圧電振動体の支持構造 | |
JP2009200771A (ja) | 圧電デバイス | |
JP5995352B2 (ja) | 水晶デバイス | |
JP2962924B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2015156597A (ja) | 圧電デバイスおよびその実装構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101102 |