JP2006097869A - 直動テーブル装置 - Google Patents

Abstract

【課題】真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置のメンテナンスの作業性を改善する。
【解決手段】真空チャンバ１０内に設置される直動テーブル装置１において、ベース２に対して直動可能に支持される移動テーブル４を駆動するボールねじ５１のねじ軸５１ｃを支承するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂをベース２上に備えている。さらに、ベース２上には、ベース２に対するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの相対位置を決める位置決め部が形成された位置決め部材を取付けており、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂは、位置決め部材に形成された位置決め部に当接させて前記相対位置を決める当接部を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、半導体製造装置、工作機械、またはそれらの部品の製造または処理等に使用される真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置に関する。

直動テーブル装置は、例えば図１１に示すように、ベース２、リニアガイド３Ａ，３Ｂ、移動テーブル４を備えており、さらに、移動機構５００としてボールねじ５１０およびサポートブラケット５４０等を備えている（例えば特許文献１参照）。
ところで、直動テーブル装置は、例えば、半導体製造装置、工作機械、またはそれらの部品の製造または処理等において使用される真空チャンバ内に設置されるものがある。

このような真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置では、直動テーブル装置を構成する軸受やボールねじ等の構成要素には、真空用のものが用いられるが、真空度の維持を図ることを考慮すると、例えば潤滑剤等は使用可能なものが限られる。そのため、このような真空仕様の直動テーブル装置の場合、大気用の直動テーブル装置の構成要素と比べると、相対的に寿命が短くなる傾向がある。したがって、直動テーブル装置を構成する軸受やボールねじ等の構成要素は、比較的メンテナンスの頻度が高くなるため、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置の構成要素のメンテナンスを効率良く行なうことは重要である。
特開２００３−２３９９６５号公報

ここで、直動テーブル装置を真空チャンバ内に設置する場合、直動テーブル装置を構成する軸受やボールねじ等の構成要素は、個々の構成要素を最初に組み付けて調整するときは、真空チャンバの外で組み付けや調整が行なえるので、比較的楽にその組み付け作業をすることができる。
しかしながら、真空チャンバ内に直動テーブル装置を設置後は、真空チャンバ内部で分解や組み付け等のメンテナンス作業を実施することになるが、真空チャンバ内は複雑かつ狭小な構造となっているため、十分なメンテナンス空間を確保することは困難である。そのため、直動テーブル装置を真空チャンバ内に設置した後は、直動テーブル装置の構成要素のメンテナンス作業には多大な手間を要する。また、メンテナンス作業中は、生産ラインの停止を伴うとともに、メンテナンス後においても真空引き等、生産ラインの再開までにはかなりの時間を要するという問題があるため、真空チャンバ内でのメンテナンスの作業性を改善することは重要な課題である。

例えば、上記特許文献１に記載の技術では、直動テーブル装置のベース２上には、平板部２ａの端部にサポートブラケット５４０を直接固定している。そのため、仮に真空チャンバ内部で直動テーブル装置の構成要素であるサポートブラケットのメンテナンス作業を行なうときは、サポートブラケット自体をベースに対して直接着脱する必要がある。しかし、サポートブラケットのメンテナンス作業において、移動テーブルの走り精度やサポートブラケット５４０が支持するボールねじの軸線を所望の平行度に納めるように組み付けるには、専門的な技術が必要である。また、狭い真空チャンバ内においては、通常、軸方向に十分な作業スペースが確保されておらず、メンテナンスに必要な作業空間が限定されるため作業性が悪い。

本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置のメンテナンスの作業性を改善することを目的としており、特に、真空チャンバ内での直動テーブル装置のサポートブラケットのメンテナンス作業性を改善することを目的とする。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、ベースと、該ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、該移動テーブルにナットブラケットを介して固定されたナットおよび該ナットを軸方向に駆動するねじ軸を有するボールねじと、前記ねじ軸をサポートユニットを介して前記ベース上に支承するサポートブラケットと、を備え、前記ベースは、その上面に前記サポートブラケットの位置を決める位置決め部が形成された位置決め部材を取付けてなり、前記サポートブラケットは、前記位置決め部材に形成された位置決め部に当接させて前記位置を決める当接部を有することを特徴としている。

また、請求項２に記載の発明は、真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、ベースと、該ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、該移動テーブルにナットブラケットを介して固定されたナットおよび該ナットを軸方向に駆動するねじ軸を有するボールねじと、前記ねじ軸をサポートユニットを介して前記ベース上に支承するサポートブラケットと、を備え、テーパピンと、該テーパピンと同じテーパ角を有して前記ベースの前記サポートブラケット装着位置に形成された第一のテーパ穴と、前記テーパピンと同じテーパ角を有して前記サポートブラケットに前記第一のテーパ穴と連通するように形成された第二のテーパ穴と、をさらに備え、前記サポートブラケットの前記ベース上の装着位置を、前記第一のテーパ穴と第二のテーパ穴とを連通させた状態で前記テーパピンを挿通することにより決めるようになっていることを特徴としている。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の直動案内装置であって、前記サポートブラケットは、前記サポートユニットを装着するために前記ねじ軸の軸方向に貫通した装着口と前記ベースに対する取付け面との間に前記ねじ軸の通過を許容する開口部を有することを特徴としている。

本発明によれば、真空チャンバ内に組み付けられる直動テーブル装置のメンテナンス作業性を改善し得る直動テーブル装置を提供することができる。特に、ベースにサポートブラケットの位置決めを行なう部材を設けることにより、サポートブラケットの位置決めが容易となり、真空チャンバ内での直動テーブル装置のサポートブラケットのメンテナンス作業性を改善することができる。

以下、本発明に係る直動テーブル装置の実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。
図１は本発明の第一実施形態を示す図であり、同図は本発明に係る直動テーブル装置の概略構成を示す斜視図である。
この直動テーブル装置１は、図１に示すように、真空チャンバ１０内に設置されるものであり、ベース２、リニアガイド３Ａ，３Ｂ、移動テーブル４を備えるとともに、移動機構５としてボールねじ５１およびサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂ等を備えて構成されている。

ベース２は、平板部２ａと、この平板部２ａの左右両端部から上方に延長する案内レール取付け部２ｂ，２ｃとで横断面が略コ字状に形成されたブロックであり、剛性が高い金属材料から製作されている。そして、各案内レール取付け部２ｂ，２ｃの上面には、案内レール取付け面２ｄ，２ｅがそれぞれ形成されている。この案内レール取付け面２ｄ，２ｅは、移動テーブル４を移動させる走り方向に対して、リニアガイド３Ａ，３Ｂを平行に設置できる精度を有してそれぞれ加工されている。そして、この各案内レール取付け面２ｄ，２ｅにリニアガイド３Ａ，３Ｂの各案内レール３１Ａ，３１Ｂが、不図示の多数本のボルトによって移動テーブル４を移動させる走り方向に対して平行に取付けられる。

図２は、図１に示すリニアガイドの正面図である。
各リニアガイド３Ａ，３Ｂは、図２に示すように、それぞれの案内レール３１Ａ，３１Ｂと、各案内レール３１Ａ，３１Ｂ上をスライド移動可能な２つのスライダ３２とを備えて構成されている。各スライダ３２内には、案内レール３１Ａ，３１Ｂに同レールの長手方向に沿って形成された転動体転動溝に転動自在に係合する多数の球状転動体３３が組み込まれている。

そして、移動テーブル４は、図１に示すように、リニアガイド３Ａ，３Ｂのスライダ３２上に固定される。さらに、この移動テーブル４を移動させる移動機構５は、リニアガイド３Ａ，３Ｂと平行に設けられたボールねじ５１と、このボールねじ５１のねじ軸５１ｃを支持するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂとを備えている。
ここで、このサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂ部分について図３〜図６を適宜参照しつつより詳しく説明する。なお、図３は、本発明の直動テーブル装置の一部を示す断面図である。また、図４は、図１のＸ部分を拡大して示す斜視図であり、同図ではサポートブラケットと、そのサポートブラケットを位置決めする位置決め部材のみを示している。また、図５は図１のＹ方向矢視図であり、図６は図１に示すサポートブラケットの平面図である。

各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂは、図３に示すように、ボールねじ５１を支持するそれぞれのサポートユニット５２Ａ，５２Ｂ（それぞれ、対応するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂに対し、半径方向に調整可能に取り付けられる。）を介してボールねじ５１のねじ軸５１ｃの軸方向両端をベース２上で支えている。
サポートユニット５２Ａ，５２Ｂは、図３に示すように、玉軸受等の転がり軸受５２ａ，５２ａを内装する軸受ハウジング５２ｂと、外輪押え５２ｆとを備えて構成されている。

軸受ハウジング５２ｂは、転がり軸受５２ａ，５２ａの外輪を内嵌する円筒部５２ｄを有し、この円筒部５２ｄの一方の軸方向端部における内周面に、内方に突出する円環状の外輪受部５２ｃが形成されている。また、他方の軸受端部には、外方に突出する取付けフランジ５２ｅが形成された構成を有する。そして、円筒部５２ｄ内に転がり軸受５２ａ，５２ａを、その一方の外輪が外輪受部５２ｃに当接するように挿入した状態で取付けフランジ５２ｅ側から外輪押え５２ｆを挿入する（止めねじ５７ｂにより、軸受ハウジング５２ｂに対し固定される）ことにより転がり軸受５２ａ，５２ａを保持するようになっている。そして、転がり軸受５２ａ，５２ａは、ねじ軸５１ｃに形成した段部５１ｈを有する軸受装着軸部５１ｉをその内輪内に挿入し、その他端側に螺合されたロックナット５６で締付けることにより、ねじ軸５１ｃに装着される。

なお、サポートユニット５２Ｂの構成は、必ずしもサポートユニット５２Ａと同じ構成でなくてもよい。例えば、軸受ハウジングに内嵌される転がり軸受は１個とし、外輪受け部５２ｃ及び外輪押え５２ｆを省略してもよい。
ここで、各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂには、図４に示すように、サポートユニット５２Ａ，５２Ｂにおける軸受ハウジング５２ｂの円筒部５２ｄを装着する装着口５４ａがねじ軸５１ｃの軸方向に貫通形成されており、この装着口５４ａと下端のベース取付け面５４ｂとの間にねじ軸５１ｃの通過を許容する開口部５５が形成されている。なお、この開口部５５は、図５に示すように、その幅ＷＳが、ねじ軸５１ｃの径ＤＢ（外径）より広く（ＷＳ＞ＤＢ）形成されている。

そして、図３に示すように、軸受ハウジング５２ｂの円筒部５２ｄが各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの装着口５４ａに挿入されるとともに、軸受ハウジング５２ｂが４つのボルト５７ａによって各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの側面に形成された雌ねじにねじ止めされる。
さらに、ベース２上には、図１および図６に示すように、平板部２ａの案内レール取付け部２ｂ，２ｃが形成されていない端部における中央部に、平板部２ａの端部から例えば各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの厚みに相当する距離だけ内側の位置に、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂのベース２に対する相対位置を決める位置決め部が形成された略Ｌ字状の位置決め部材５３Ａ，５３Ｂが取付けられている。この位置決め部材５３Ａ，５３Ｂは、図６に示すように、位置決め部として、位置決め部材５３Ａ，５３Ｂが各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂに当接する側の側面に、ボールねじ５１の軸に直交する方向に形成された第一の位置決め面５３ｐと、ボールねじ５１の軸方向に形成された第二の位置決め面５３ｒとを一体に有する。

また、各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂには、その位置決め部材５３Ａ，５３Ｂに形成された各位置決め部にそれぞれ当接させることによって前記相対位置を決める当接部が各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの側面に精度良く加工されている。
詳しくは、各サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂは、当接部として、第一の位置決め面５３ｐに当接するように形成された第一の加工面５４ｐと、第二の位置決め面５３ｒに当接するように形成された第二の加工面５４ｒとを有する。これら第一の加工面５４ｐおよび第二の加工面５４ｒは、各位置決め部にそれぞれ当接させた際に、移動テーブル４を移動させる走り方向に対して、ボールねじ５１を平行に設置可能な精度を有してそれぞれ加工されており、第一の加工面５４ｐは第一の位置決め面５３ｐと当接させることによってボールねじ５１の軸方向の位置を決め、また、第二の加工面５４ｒは第二の位置決め面５３ｒと当接させることによってボールねじ５１の軸に直交する方向での位置を決める当接部となっている。このように、メンテナンス後の再組付け時には、これらの加工面を当接部として位置決め部材の各位置決め部に当接させて、ボールねじ５１の軸方向および軸に直交する方向の位置をそれぞれ所望の位置に位置決め可能になっている。なお、真空チャンバ外で行なわれる最初の組立時には、先にブラケット５２Ａ，５２Ｂがベース２上の所望の位置にくるように調整された上で固定され、これらに位置決め部材５３Ａ，５３Ｂを当接させて固定する。

ここで、移動機構５を構成するボールねじ５１は、図７に示すように、移動テーブル４にナットブラケット５１ａを介して固定された円筒状のナット５１ｂと、このナット５１ｂを軸方向に駆動するねじ軸５１ｃとを備えており、ナット５１ｂ内にはねじ軸５１ｃに形成された螺旋状のボール転動溝５１ｄに転動自在に係合する多数のボール５１ｅが組み込まれている。

なお、移動機構５は、このボールねじ５１を駆動する駆動機構部を備えて構成されている。駆動機構部としては、例えば図３に示すように、ボールねじ５１のねじ軸５１ｃにカップリング９３等を介してシール機能を備えたトルク伝達機構９５を連結し、このトルク伝達機構９５に駆動モータ９８をモータブラケット９６等によって真空チャンバ１０の外壁に固定するものを例示できる。このような構成であれば、真空チャンバ内の真空環境を損うことなく駆動モータ９８の回転がトルク伝達機構９５からカップリング９３等を介してボールねじ５１のねじ軸５１ｃに伝わると、ボールねじ５１のナット５１ｂが軸方向に駆動されて、移動テーブル４がリニアガイド３Ａ，３Ｂの案内レール３１上をスライダ３２と共に移動可能となる。

次に、上述した直動テーブル装置１の真空チャンバ内でのメンテナンス作業、およびその作用・効果について図８を適宜参照しつつ詳しく説明する。なお、図８は、この直動テーブル装置１におけるサポートブラケットのメンテナンス作業を説明する斜視図であり、同図では、一方のサポートブラケット部分のみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。

上述した構成からなる直動テーブル装置１によれば、図８（ａ）に示すように、ボールねじ５１は、ボールねじ５１の軸方向の両端がベース２上に取付けられたサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂによってそれぞれ支持されている。
そのため、メンテナンス作業において、例えば、ボールねじ５１あるいは転がり軸受５２ａ等を例えば交換するとき、あるいは、サポートブラケットを取り外す必要が生じたときは、図８（ｂ）に示すように、まず、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂのロックナット５６を取り外す。次いで、図８（ｃ）に示すように、ボルト５７ａを外してサポートユニット５２Ａ，５２Ｂを取り外す。

このとき、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂは、図８（ｄ）に示すように、その下部に装着部５４ａに連通してベース取付け面まで延長する開口部５５を有している。そのため、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂのボルト（図５、図６に示す符号５９のねじ）を外せばボールねじ５１の軸に対して真上の方向にサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂを取り外すことができる。したがって、軸方向に十分な作業空間が確保できない真空チャンバ１０内であっても、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂを取り外す作業を容易に行なうことができる。すなわち、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂは、ボールねじ５１が取付けられたままの状態でベース２に対して着脱することができる。そのため、狭い真空チャンバ１０内においてメンテナンスの必要な作業空間が限定されている場合であっても、例えばボールねじ５１あるいは転がり軸受５２ａ等の交換作業を効率良く実施することができる。

ここで、組付け作業は、取り外した順序と逆の順序で行なえばよいが、この直動テーブル装置１によれば、ベース２とサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂとの相互の位置を、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの当接部である第一の加工面５４ｐおよび第二の加工面５４ｒを、位置決め部材５３Ａ，５３Ｂの位置決め部である第一の位置決め面５３ｐおよび第二の位置決め面５３ｒにそれぞれ突き当てて、当接させることによって決めることができる。そして、第一の加工面５４ｐおよび第二の加工面５４ｒ、並びに第一の位置決め面５３ｐおよび第二の位置決め面５３ｒは、移動テーブル４を移動させる走り方向に対して、ボールねじ５１を平行に設置可能にできる精度を予め有してそれぞれ加工されている。これにより、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業において、専門的な技術者でない者であっても移動テーブルの高精度な走り精度を再現する作業を容易に実施することができる。

また、この直動テーブル装置１によれば、位置決め部材５３Ａ，５３Ｂは、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂよりベース２上の平板部２ａの内側でサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂを位置決めしている。そのため、ロックナット５６を外すとともにサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの止めねじを外すだけでサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂを軸方向外方に引き抜くこともできる。さらに、サポートユニット５２Ａ，５２Ｂの取付けフランジ５２ｅがサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの外側に付いている。そのため、サポートユニット５２Ａ，５２Ｂの脱着も容易である。
また、サポートブラケット５４Ａ、またはサポートブラケット５４Ｂを取り外すことにより、ボールねじ５１の取り外しが容易になる。

以上説明したように、本発明に係る直動テーブル装置１によれば、真空チャンバ１０内に設置される直動テーブル装置１のメンテナンスの作業性を改善することができる。特に、真空チャンバ１０内に組み付けられる直動テーブル装置１のサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂのメンテナンスの作業性を改善することができる。
ここで、上記実施形態では、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂをベース２に取付ける際の位置決め部材５３Ａ，５３Ｂは、ボールねじ５１の軸方向および軸に直交する方向の位置を所望の位置にするための位置決め部を一体にした構成について説明したが、位置決め部材の形状は、これに限定されるものではない。そこで、次に、位置決め部材の他の例について説明する。

図９は本発明の第二実施形態を示す図であり、同図では、理解を容易にするために、ベース２１、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂ、および位置決め部材のみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第二実施形態では、上述した第一実施形態に対して、位置決め部材の構成のみが異なっており、他の構成については同様であるため位置決め部材の構成以外の説明は省略する。

この第二実施形態では、ベース２１の上面の平板部２１ａに、同図（ａ）に示すように、ベース２に対するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの相対位置を決める位置決め部をもつ位置決め部材として、３つの角ごま９１を備えている。この角ごま９１は、略立方体形状をなし、上下方向に貫通孔が穿孔されており、貫通孔が穿孔されていない他の側面が高精度に仕上げ加工されている。そして、角ごま９１は、角ごま９１を固定する不図示の止めねじによって平板部２１ａに形成された不図示の雌ねじにそれぞれを取り付け可能になっている。これにより、最初の組立時に３つの角ごま９１をサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂに当接・固定しておけば、以後、メンテナンス作業において、ボールねじ５１とともにサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂを取り外した場合でも、角ごま９１の高精度に仕上げ加工されている側面が位置決め部として機能する。

このような構成によれば、ベース２１とサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂとのボールねじ５１の軸方向および軸に直交する方向の位置を所望の位置にする相対位置を決める位置決め部材を３つの角ごま９１によって形成可能である。そのため、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの加工面を少なくして、位置決め部との当接部分を少なくすることができるから、基準面を簡素化してコストを下げることもできる。なお、同図（ａ）に示した例では、位置決め部材を３つの角ごま９１によって構成した例で説明したが、例えば変形例として同図（ｂ）に示すように、位置決め部材を３つの円筒状のこま９２によって構成することもできる。

次に、位置決め部を構成する他の例についてさらに説明する。
図１０は本発明の第三実施形態を示す図であり、同図では、理解を容易にするために、ベース２２、サポートブラケット６４Ａ，６４Ｂ、および位置決め部に係る構成のみを示し、他の機構部材はその図示を省略している。なお、この第三実施形態では、上述した第一実施形態に対して、位置決め部の構成、ベース２２およびサポートブラケット６４Ａ，６４Ｂの取付け部分のみが異なっており、他の構成については同様であるためその説明は省略する。

この第三実施形態では、同図（ａ）に示すように、ベース２２の上面の平板部２２ａには、位置決め部材は取付けられない。そして、この第三実施形態では、平板部２２ａ上の位置決め部材に替えて、上記第一実施形態でのサポートブラケット６４Ａ，６４Ｂの装着位置に対して、テーパピン８１を上下方向に打ち込むためのテーパ状の貫通孔が、ベース２２の上面の平板部２２ａに第一のテーパ穴２２ｇとして穿孔される。また、サポートブラケット６４Ａ，６４Ｂの両袖部には、テーパ状の貫通孔が第二のテーパ穴６４ｇとして穿孔されている。この第二のテーパ穴６４ｇは、テーパピン８１と同じテーパ角を有しており、第一のテーパ穴２２ｇと連通するようにサポートブラケット６４Ａ，６４Ｂに形成される。

そして、この第三実施形態では、ベース２２に対するサポートブラケット６４Ａ，６４Ｂの相対位置を決めるために、第一のテーパ穴２２ｇと第二のテーパ穴６４ｇとのそれぞれのテーパ角と同じテーパ角を有したテーパ面を有するテーパピン８１を備えている。なお、第一のテーパ穴２２ｇと第二のテーパ穴６４ｇの形成については、まず、真空チャンバ外において、ベース２２に対するサポートブラケット６４Ａ，６４Ｂの相対位置が所望の位置になるように予め調整し、適宜のクランプ手段（図の例ではベース２２に螺合される図示しない４本のボルト５９）等により固定しておき、次いで、テーパリーマ等によってテーパピン８１のテーパ角と整合するテーパ穴２２ｇおよび６４ｇを穿孔している。そして、メンテナンス等でサポートブラケット６４Ａ、またはサポートブラケット６４Ｂを取り外し、再度組立てる際には、このテーパピン８１が第二のテーパ穴６４ｇと第一のテーパ穴２２ｇとに挿通されて打ち込まれることにより、容易に、サポートブラケット６４Ａ，６４Ｂをベース２２の上面の正しい位置に位置決め可能であり、その状態でボルトにより固定可能になっている。

このような構成によれば、メンテナンス作業において、例えばボールねじ５１を交換する場合、同図（ａ）に示すように、サポートブラケット６４Ａ，６４Ｂを取り外しても、第一のテーパ穴２２ｇと第二のテーパ穴６４ｇとを連通させた状態でテーパピン８１を挿通することにより、同図（ｂ）〜（ｃ）に示すように、サポートブラケット６４Ａ，６４Ｂの装着位置を再現することができる。なお、テーパピン８１には、その頭部の中心部分に雌ねじが形成されており、この頭部の中心部分の雌ねじに雄ねじを螺合することによってメンテナンス作業においてテーパピン８１を取り外す作業が容易に実施できるようになっている。また、この第三実施形態によれば、ベース２２とサポートブラケット６４Ａ，６４Ｂとの相対位置を決めるための加工面を少なくしたり、基準面を簡素化してコストを下げることもできる。

なお、本発明に係る直動テーブル装置は、上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
例えば、上述のメンテナンス作業では、ベースに対するサポートブラケットの相対位置は、ボールねじの軸方向での位置と、ボールねじの軸に直交する方向での位置との両方を同時に位置決めしているが、これに限定されず、いずれか一方であってもよい。しかし、狭い真空チャンバ内におけるメンテナンス作業において、専門的な技術者でない者であっても移動テーブルの高精度な走り精度を再現する作業を容易に実施する上では、ベースに対するサポートブラケットの相対位置は、ボールねじの軸方向での位置と、ボールねじの軸に直交する方向での位置との両方を同時に位置決めできる構成とすることが望ましい。
また、上記実施形態では、移動テーブル４は、リニアガイド３Ａ，３Ｂのスライダ３２上に固定されてベース２に対して直動可能に支持されているが、これに限定されず、リニアガイド以外の直動装置等によって支持してもよい。

本発明に係る直動テーブル装置の概略構成を示す斜視図である。 図１に示すリニアガイドの正面図である。 本発明の直動テーブル装置の一部を示す断面図である。 図１に示すサポートブラケットのＸ部分拡大図である。 図１に示すサポートブラケットのＹ方向矢視図である。 図１に示すサポートブラケットの平面図である。 図１に示すボールねじの側面図である。 本発明に係る直動テーブル装置におけるサポートブラケットのメンテナンス作業を説明する斜視図である。 本発明の第二実施形態を説明する斜視図である。 本発明の第三実施形態を説明する斜視図である。 従来の直動テーブル装置の概略構成例を示す斜視図である。

符号の説明

１ 直動テーブル装置
２、２１、２２ ベース
２ａ、２１ａ、２２ａ 平板部
３Ａ，３Ｂ リニアガイド
４ 移動テーブル
５ 移動機構
１０ 真空チャンバ
２２ｇ 第一のテーパ穴
５１ ボールねじ
５１ａ ナットブラケット
５１ｂ ナット
５１ｃ ねじ軸
５１ｆ ナットフランジ
５２Ａ，５２Ｂ、６４Ａ，６４Ｂ サポートユニット
５３Ａ，５３Ｂ 位置決め部材
５３ｐ 第一の位置決め面（位置決め部）
５３ｒ 第二の位置決め面（位置決め部）
５４Ａ，５４Ｂ サポートブラケット
５４ｐ 第一の加工面（当接部）
５４ｒ 第二の加工面（当接部）
５５ 開口部
５６ ロックナット
６４ｇ 第二のテーパ穴
８１ テーパピン
９１ 角ごま
ＤＢ ねじ軸の外径
ＷＳ 開口部の幅

Claims (3)

1. 真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、
   ベースと、該ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、該移動テーブルにナットブラケットを介して固定されたナットおよび該ナットを軸方向に駆動するねじ軸を有するボールねじと、前記ねじ軸をサポートユニットを介して前記ベース上に支承するサポートブラケットと、を備え、
   前記ベースは、その上面に前記サポートブラケットの位置を決める位置決め部が形成された位置決め部材を取付けてなり、
   前記サポートブラケットは、前記位置決め部材に形成された位置決め部に当接させて前記位置を決める当接部を有することを特徴とする直動テーブル装置。
2. 真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置であって、
   ベースと、該ベースに対して直動可能に支持される移動テーブルと、該移動テーブルにナットブラケットを介して固定されたナットおよび該ナットを軸方向に駆動するねじ軸を有するボールねじと、前記ねじ軸をサポートユニットを介して前記ベース上に支承するサポートブラケットと、を備え、
   テーパピンと、該テーパピンと同じテーパ角を有して前記ベースの前記サポートブラケット装着位置に形成された第一のテーパ穴と、前記テーパピンと同じテーパ角を有して前記サポートブラケットに前記第一のテーパ穴と連通するように形成された第二のテーパ穴と、をさらに備え、
   前記サポートブラケットの前記ベース上の装着位置を、前記第一のテーパ穴と第二のテーパ穴とを連通させた状態で前記テーパピンを挿通することにより決めるようになっていることを特徴とする直動テーブル装置。
3. 請求項１または２に記載の直動案内装置であって、
   前記サポートブラケットは、前記サポートユニットを装着するために前記ねじ軸の軸方向に貫通した装着口と前記ベースに対する取付け面との間に前記ねじ軸の通過を許容する開口部を有することを特徴とする直動テーブル装置。

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