JP2006079589A - タッチパネル - Google Patents

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Abstract

【課題】従来では、表示部外周に別モジュールで発光素子と受光素子を設けており、部品点数の増加、製造コストの増加を招いていた。
【解決手段】同一基板上にフォトセンサと表示部を作り込む。指などの接触、非接触の位置(画素)の光量の大小を比較器により比較して、入力座標を特定する。これにより、フォトセンサを構成するTFTは画素と同一工程で同一基板に作り込むことができ、製造コストの低減、部品点数の削減が実現できる。、外周部分にセンサを配置するための領域が不要となり、装置の小型化が実現する。また、表示部で死角的な領域がなくなるので表示部を有効に利用できる。入力の認識精度を高め表示部全体にわたり均一に検出することができる。また、フォトセンサは受光感度を調節可能な受光回路よりなるので、表示部の受光(検出)感度を均一にできる。
【選択図】 図1

Description

本発明はタッチパネルに係り、特にフォトセンサを表示部と同一基板に組み込んだタッチパネルに関する。
現在のディスプレイデバイスは、小型化・軽量化・薄型化の市場要求により、フラットパネルディスプレイが普及している。このようなディスプレイデバイスには、例えば光を遮断することにより入力座標を検知する光学式タッチパネルや、外光を検知してディスプレイの画面の輝度をコントロールするもの等、フォトセンサが組み込まれているものが多い。
例えば、図20には光学式タッチパネルの一例を示す。図20(A)に示された光学式タッチパネル300は、基板301上に、表示素子315が多数配置された表示面302、並びに表示面302の外周に配置された赤外線等を発光する発光手段303および受光する受光手段304とを有している。発光手段303は表示面の行方向および列方向の2辺に沿って設けられ、他の2辺には発光手段303と個々に対応する受光手段304を設ける。基板301周囲に反射材305を設けることにより発光手段303の光が反射され受光手段304で受光される。すなわち表示面302上は、マトリクス状の赤外線光等で覆われることになる。このような光学式タッチパネル301は、赤外線光を座標入力しようとしている指等で遮断することにより、受光手段304に赤外線光が到達しない点(黒丸)を入力座標として検知するものである(例えば、特許文献1参照。)。
特開平5−35402公報(第2−3ページ、第2図)
図20に示すタッチパネルは、フォトセンサとなる受光手段が受光しない領域(黒丸)を座標で判定し、その指が触れた位置を検出している。そのため、表示部上では光源からの発光が均一に、また発光が届かない領域がないように光源およびフォトセンサを配置する必要が有る。一般的には指に触れた位置を認識する精度を上げようとすると、表示面302の周縁に光源およびフォトセンサを数多く配置する必要があるので、タッチパネルの小型化を阻む要因となっていた。また、光の届きにくい領域(例えば光源から最も遠いz点など)と中央付近でのセンシング感度がばらつくなどの問題も有った。
更に、従来のタッチパネルにおいては、一般的に表示面と、フォトセンサとは、別個の生産設備による別個の製造プロセスを経て別個のモジュール品として製造されており、これらのモジュール部品を同一の筐体にアセンブリすることにより完成品を製造していた。このため、機器の部品点数の削減、各モジュール部品の製造コストの低減にも自ずと限界があった。
特に、現在では例えばPDAなどのモバイル端末の普及が目覚しく、これにより、タッチパネルは更なる小型化、軽量化、薄型化が要求されている。また、部品点数を削減し、安価に提供することも望まれている。
本発明は上述した諸々の事情に鑑み成されたものであり、第1に、基板と、前記基板上に設けられ、発光回路を有する表示画素と、前記基板上にマトリクス状に複数の前記表示画素を配置した表示部と、前記表示部内に設けた複数の受光回路と、前記発光回路および前記受光回路を駆動する水平方向駆動回路および垂直方向駆動回路と、前記駆動回路に接続し、前記受光回路の出力値と所定の基準値とを比較する比較手段とを具備することにより解決するものである。
第2に、基板と、前記基板上に設けられ、発光回路を有する表示画素と、前記基板上にマトリクス状に配置されたデータ出力線およびゲート線と、前記基板上で、複数の前記表示画素を前記データ出力線およびゲート線の交点付近に接続した表示部と、前記データ出力線およびゲート線の交点付近に接続し前記表示部内に設けられた複数の受光回路と、前記データ出力線を順次選択する水平方向駆動回路と、前記ゲート線に走査信号を送る垂直方向駆動回路と、前記水平方向駆動回路に接続し前記受光回路の出力値と所定の基準値とを比較する比較手段とを具備することにより解決するものである。
第3に、基板上にマトリクス状に配置されたドレイン線およびゲート線と、発光回路を有する表示画素と、前記ドレイン線およびゲート線の交点付近に複数の前記表示画素を接続した表示部と、少なくとも一部の前記表示画素内に設けられ、薄膜トランジスタを有する受光回路とを具備し、前記受光回路で検知した外光量により入力座標を特定することにより解決するものである。
第4に、基板上にマトリクス状に配置されたドレイン線およびゲート線と、駆動トランジスタおよび選択トランジスタおよび有機EL素子を含む発光回路を有する表示画素と、前記ドレイン線およびゲート線の交点付近に複数の前記表示画素を接続した表示部と、少なくとも一部の前記表示画素内に設けられた受光回路とを具備し、前記受光回路は、前記ゲート線および前記駆動トランジスタに接続する複数の薄膜トランジスタを少なくとも有し受光感度を調整可能な受光回路で構成され、該受光回路で検知した外光量により入力座標を特定することにより解決するものである。
本発明によれば、第1に、表示部内にフォトセンサを配置することにより、周辺に設けていたフォトセンサの領域が不要となる。すなわち、表示面積の拡大や、装置の小型化に寄与できる。
第2に、表示部の表示画素からの光を検知するので、接触箇所を判別するための発光部を別途設ける必要はなく、部品点数の増加を防止できる。また、フォトセンサは常に駆動状態ではなく表示画素と同じタイミングで駆動するので、TFTの劣化を防止できる。
第3に、表示画素とフォトセンサとが近接しているため、均一にセンシングすることができる。センシングのばらつきを抑え、光の届きにくい領域が無くなる等感度が向上する。
第4に、複数の表示画素に対して1つのフォトセンサを設ければ、表示のための領域が拡大する。
第5に、同一基板内に同一工程により作ることができるので、部品点数の大幅な削減や、製造コスト、製造工数の削減に寄与できる。
第6に、表示部の表示画素内にフォトセンサを設け、検知した外光量によって入力座標を特定することができる。フォトセンサはTFTにより構成され、表示画素と同一工程により同一基板上に形成されるので、タッチパネルの小型化、軽量化、薄型化を実現できる。また部品点数を削減し、タッチパネルを安価に提供することができる。
また、フォトセンサはボタン等を表示する表示画素内に設けられるので、入力の認識精度を高め、表示部全体にわたり均一に検出することができる。
第7に、フォトセンサは受光感度を調節可能な受光回路よりなるので、表示部の受光(検出)感度を均一にできる。フォトカレントはTFTのオフ時の暗電流であり検出特性にばらつきが生じやすい。しかし、本発明によれば受光感度を調整できるので、デバイス間の受光感度も均一にでき特性の安定したタッチパネルを提供できる。
第8に、受光回路の電源および入力信号はゲート線および第1電源線、第2電源線より供給されるので、表示画素の電源および入力信号と共通にできる。つまり、画素毎に受光回路を配置する構成であっても、配線の複雑化を回避できる。また、受光回路を構成する抵抗体の抵抗値により受光感度を調整できるので、複数の画素間で受光感度をほぼ均一にすることができる。
第9に、フォトトランジスタはLDD構造を有しており、フォトカレントの発生を促進できる。特に、フォトカレントの出力側をLDD構造にすると、フォトカレント発生の促進に効果的となる。また、LDD構造にすることによりVg−Id特性のOFF特性(検出する領域)が安定し、安定したデバイスとなる。
図1から図19を用いて本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1から図5は本発明の第1実施形態を示す。
図1は、本実施形態のタッチパネルを示す概要図である。図1(A)は平面図、図1(B)は、図1(A)の模式的なA−A線断面図、図1(C)は分解斜視図である。
タッチパネル20は、基板10上に表示画素30をマトリクス状に配置した表示部21を有する。
図1(A)の如く、基板10はガラス等の絶縁性基板であり、基板10上には表示画素30により例えばユーザが所定の操作を行うためのボタン102を表示させる。対向基板11は表示画素30からの光が透過するガラス等の透明基板である。対向基板11および基板10は、図1(B)の如くシール剤13で固着され、シール剤13で密封された空間に、表示画素30が配置される。表示画素30は、少なくとも発光回路180を有する。また発光回路180に隣接して受光回路(フォトセンサ)210が配置される。フォトセンサ210は表示画素30内に配置される。
表示画素30は、有機EL素子とそれを駆動するトランジスタなどからなり、矢印のごとく上方に発光した光が基板10に相対向して設けられた透明な対向基板11を透過する。尚、図では基板10と対向して設けられた対向基板11を示しているが、対向基板11はなくてもよい。
フォトセンサ210はユーザの指の接触によるフォトカレントの変化を読みとって、ボタン102が選択されたことを検知する。なお、タッチパネルの動作については後に詳述する。
また、図1(C)のごとく、タッチパネル20の表示部21は、基板10周辺部に垂直方向駆動回路23と水平方向駆動回路22が設けられる。そして各回路にはゲート線GL(GL0、GL1・・・)およびデータ出力線OLが接続し、これらの交点付近に多数の表示画素30が配置されている。なお後述するが本実施形態のデータ出力線OLは、ドレイン線DLとセンスデータ線SLよりなる。
図2には、タッチパネル20の回路図を示す。上述の基板10上に本図に記載の回路が形成されている。なお、本図においては1行2列の発光回路180およびフォトセンサ210の組合せを記載し、それ以外を省略しているが、本願はm行n列のタッチパネルに適用可能である。
また基板10上には発光回路180に接続する第1電源線PVと、フォトセンサ210に接続する第2電源線CVが配置される。第1電源線PVは第1電源に接続する。第1電源は駆動電源であり、例えば正電位が印加される。一方第2電源線CVは、駆動電源より低い第2電源に接続し、例えば基準電圧以下の電位が印加される。
表示部21となる基板10周辺部には垂直方向駆動回路23と水平方向駆動回路22が設けられている。垂直方向駆動回路23は、複数のゲート線GLに接続されている。水平方向駆動回路22は、複数のシフトレジスタSR1、SR2、・・・を有し、各シフトレジスタはデータ信号線R、G、Bからのデータ信号の供給をオン/オフするスイッチSW2のゲートにそれぞれ接続されている。スイッチSW2のドレインはデータ信号線R、G、Bのいずれかに周期的に接続され、スイッチSW2のソースはドレイン線DL(ビデオデータ線)にそれぞれ接続されている。
また、シフトレジスタSR1は、後述するフォトセンサ210からの出力と一定電圧との比較をする比較手段(COMP)160、ならびにCOMP160と接続するスイッチSW1、SW3のゲートとも接続されている。このCOMP160は一定の電圧が印加される第2電源線CVに接続されるとともに、スイッチSW1およびSW3の一端に接続されている。スイッチSW1の他端はセンスデータ線SLに接続され、スイッチSW3の他端はデータ線RLに接続される。また、第2電源線CVはスイッチSW4の一端に接続され、スイッチSW4の他端はセンスデータ線SLに、スイッチSW4のゲートはスイッチSW1〜SW3のゲートが接続するシフトレジスタSR1の前段のシフトレジスタSR0に接続されている。
以上に説明したゲート線GLとドレイン線DLおよびセンスデータ線SLとが交差するように配置され、その交点付近に複数の表示画素30がマトリクス状に配置されている。
表示画素30のトランジスタは、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下TFTと称する)である。表示画素30は、選択TFT4と、駆動TFT6と、駆動TFT6に接続する有機EL素子7と、保持コンデンサ5とからなる。ゲート線GLとドレイン線DLとの交点にそれぞれ対応して選択TFT4が配置され、選択TFT4のゲート電極がゲート線GLに、ドレインがドレイン線DLに、そしてソースが駆動TFT6のゲート電極に接続されている。駆動TFT6のソースは、第1電源線PVに接続し、ドレインは有機EL素子7に接続する。また、行方向に延びる複数のゲート線GLと、これに交差するように列方向に複数のドレイン線DLおよび第1電源線PVが配置されている。
フォトセンサ210は、他の選択TFT2と、フォトトランジスタであるTFT3と、リセットTFT80と、保持コンデンサ91からなる。ゲート線GLとセンスデータ線SLの交点付近に選択TFT2が配置され、選択TFT2のゲート電極がゲート線GLに、ドレインがセンスデータ線SLに、そしてソースがフォトトランジスタ3のソースに接続されている。フォトトランジスタ3のドレインは、第1電源線PVに接続し、ゲートは例えば基準電圧以下の一定のオフ電圧が印加される第2電源線CVに接続されている。
また、第2電源線CVはリセットTFT80の一端に接続され、リセットTFT80の他端は選択TFT2のソースと同電位のノードn90に、リセットTFT80のゲートは垂直方向駆動回路23から延在するリセット線RST0に接続されている。ノードn90には保持コンデンサ91を形成する一方の電極が接続され、保持コンデンサ91の他方の電極は第1電源線PVに接続されている。また、行方向に延びる複数のゲート線GLと、これに交差するように列方向に延びる複数のセンスデータ線SLおよび第1電源線PVが配置されている。
さらに、選択TFT2のドレインが接続するセンスデータ線SLには比較器(COMP)160が設けられ、基準電圧とフォトセンサからの出力電圧とを比較してその信号を検出値として出力する。検出値は、例えば外部ICであるフレームメモリ150等により1画面分記憶される。
図3には、発光回路180およびフォトセンサ210の拡大断面図を示す。これは図1(A)のA−A線の拡大図である。本実施形態では、表示画素30を構成する選択TFT4および駆動TFT6、ならびにフォトセンサ210を構成する選択TFT2およびフォトトランジスタ3の各構成層が同一層で、同一基板上に形成される。
まず、選択TFT4は、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁性基板10上に、バッファ層となる絶縁膜(SiN、SiO等)14を設け、その上層に多結晶シリコン(Poly−Silicon)膜からなる半導体層43を形成する。半導体層43上にはゲート絶縁膜10を積層し、その上にクロム(Cr)、モリブデン(Mo)などの高融点金属からなるゲート電極41を形成する。半導体層43には、ゲート電極41下方に位置し、真性又は実質真性となるチャネル43cが設けられ、チャネル43cの両側にはn+型不純物の拡散領域であるソース43sおよびドレイン43dが設けられる。そして、ゲート絶縁膜10及びゲート電極41上の全面には、例えばSiO膜、SiN膜及びSiO膜の順に積層された層間絶縁膜15を形成し、この層間絶縁膜15のドレイン43dに対応する位置に形成したコンタクトホールにアルミニウム(Al)等の金属を充填してドレイン線DLと一体のドレイン電極46を設ける。
また、ゲート電極41と同層の容量電極線44を配置し、ゲート絶縁膜12を介して半導体層よりなる容量電極45を設け、これにより保持コンデンサ5を形成する。
駆動TFT6は、選択TFT4同様、基板10上に選択TFT4の構成要素と同一層により形成される。すなわち、バッファ層14、半導体層63、ゲート絶縁膜12、ゲート電極61、層間絶縁膜15がそれぞれ選択TFT4の対応する構成要素と同一層で形成され、ドレイン線DLと同層で駆動電源に接続する第1電源線PVが配置される。
更に全面に平坦化絶縁膜17が配置され、有機EL素子7の第1電極71が配置される。第1電極71は、ソース53sとコンタクトしたITO(Indium Thin Oxide)から成り、画素30毎に独立した画素電極(陽極)である。全面を覆う絶縁膜24を開口して陽極71を露出し、陽極71上を覆って全面に第1ホール輸送層と第2ホール輸送層とから成るホール輸送層72が形成され、その上に、画素30毎に独立した発光層73及び電子輸送層74が設けられている。なお、電子輸送層74は全面に形成してもよい。ホール輸送層72、発光層73、電子輸送層74によって有機EL層76が形成される。有機EL層76上を覆って全面にアルミニウム合金から成る陰極75、保護膜78が配置されている。陰極75は、第2電源と電気的に接続し、表示部21の各画素30に共通の電極である。この陰極75及び保護膜78は、有機EL表示装置を形成する基板10の全面に設けられている。
有機EL層76は、陽極71から注入されたホールと、陰極75から注入された電子とが発光層73の内部で再結合し、発光層73を形成する有機分子を励起して励起子が生じる。この励起子が放射失活する過程で発光層73から光が放たれ、この光が透明な陽極71から透明な絶縁基板10を介して外部へ放出されて発光する。
また、フォトセンサ210を構成する選択TFT2も、表示画素30の選択TFT4同様、基板10上に同一層により形成される。すなわちバッファ層14、半導体層123、ゲート絶縁膜12、ゲート電極121、層間絶縁膜15がそれぞれ選択TFT4と同一層で形成され、センスデータ線SLと一体のドレイン電極126が形成される。なお、フォトトランジスタ3は駆動TFT6と同様バッファ層14、半導体層133、ゲート絶縁膜12、ゲート電極131により形成され、第1電源線PVが接続する。
フォトトランジスタ3は、オフ時にその半導体層133に外部から光が入射すると、チャネル133cとソース133sまたはチャネル133cとドレイン133dの接合領域において電子−正孔対が発生する。この電子−正孔対が接合領域の電場のために引き分けられて光起電力が生じ、フォトカレントが得られる。
ここで図4(A)及び(B)を用いて、本実施形態のタッチパネル20の動作原理を説明する。タッチパネル20は、複数の表示画素30により、例えばユーザに所定の処理を選択させるボタン102などの画像を表示する。ユーザが所定の処理を行うためにそのボタン102Aに触れると(図4(A))、紙面上方に発光している表示画素30Aの光が指Fで反射し、ボタン102A(表示画素30A)に対応して配置されているフォトセンサ210Aに反射光が入射する。一方、指Fが選択していないボタン102Bに対応する表示画素30Bの光はタッチパネル20の上方に抜けるので、ボタン102Bに対応して配置されているフォトセンサ210Bに反射光は入射しない。このようにして、フォトセンサ210が反射光の有無を検知して、指Fがボタン102を選択しているかどうかを検知する。
次に、上述の図2及びタイミングチャートを記載した図5を参照して本実施形態のタッチパネル20の回路動作を説明する。
まず、リセット線RST0にH(High)レベルの信号が供給されると、リセット線RST0に接続される全てのリセットTFT80がオン状態になり、ノードn90が第2電源線CVと同電位になる。すなわち、リセット線RST0に対応するフォトトランジスタ3がリセットされる。このリセット線RST0へのHレベル信号の供給と同時にゲート線GL0にL(Low)レベルの信号が供給されるので、GL0に接続される表示画素30内の選択TFT4及びフォトセンサ210内の選択TFT2が共にオン状態になる。次にHレベルの信号がシフトレジスタSR0から出力されると、シフトレジスタSR0に接続するスイッチSW4がオン状態になるので、センスデータ線SLが第2電源線CVと同電位になる。すなわち、センスデータ線SLがリセットされる。
続いて、Hレベルの信号がシフトレジスタSR1から出力されるとスイッチSW2がオン状態になるので、データ信号線Rからドレイン線DLにデータ信号が供給され、選択TFT4を介して駆動TFT6のゲート印加され、その信号に応じて第1電源線PVからの電流が有機EL素子7に供給される。
ボタン102が選択されている場合、フォトセンサ210には有機EL素子7の発光が指Fで反射した反射光が入射する。すなわち、反射光のフォトカレントに相当する電圧により、ノードn90の電位が第2電源線CVの電位より上昇する。一方、ボタン102が非選択の場合には、フォトセンサ210は反射光を検知しないので、ノードn90の電位は第2電源線CVの電位と同電位のままである。このノードn90の電位はセンシングデータとなる。
スイッチSW2と同時にスイッチSW1もオン状態になると、ノードn90の電位がセンシングデータとしてフォトトランジスタ3から選択TFT2及びスイッチSW1を介してCOMP160に出力される。スイッチSW1及びSW2がオンになると同時にスイッチSW3もオン状態になるので、COMP160に入力されたセンシングデータと第2電源線CVの電位を比較した結果に応じた信号をデータ線RLに出力する。その信号がフレームメモリ150に書き込まれる。
さらに、次列のスイッチSW4もオン状態になるので、次列のセンスデータ線SLが第2電源線CVと同電位にリセットされる。
以下同様にセンスデータ線SL、ドレイン線DLを順次選択し、1行分の表示画素30及びフォトセンサ210を駆動する。その後垂直方向駆動回路が次行のゲート線GL1に順次切り替えて選択し、最後の行まで選択することで1画面分を表示させる。さらに、COMP160からの出力が外部IC等のフレームメモリ150等で1画面分蓄積され、接触の有無およびその位置を検出することができる。
なお、比較器160は、各表示画素30に個々に対応して設けてもよいが、前述の如く、各表示画素30の選択と同時に動作するので、1画面に対して1つでもよい。ただし、フォトトランジスタ3で発生するフォトカレントは非常に微少な電流であるので、減衰を避けるためにもなるべくフォトトランジスタ3の近傍に配置することが好ましい。また各表示画素30毎では各画素間の離間距離が増えることにもなるので、1列分のフォトセンサ210に対応するように比較器160を設けるのが好適である。
以上、第1実施形態では、フォトセンサ210が各表示画素30に対応して配置された場合を例に説明したが、隣接する複数の表示画素30に対して1つのフォトセンサ210を配置する構成でもよい。すなわち、フォトセンサ210が配置されない表示画素30があってもよい。タッチパネル20であれば、指Fで接触する面積は1mm角あれば十分検知できるので、4画素に対して1つのフォトセンサ210、または9画素に対して1つのフォトセンサ210などでもセンシングは可能である。
また、TFTが配置される基板10から対向基板11側(上方)に光が発光するトップエミッション構造で説明したが、基板10を透過して下方に光が発光するボトムエミッション構造でも同様に実施できる。
次に、第2実施形態について、図6から図15を参照し、アクティブマトリクス型の有機EL素子を用いたタッチパネルを例に説明する。
図6は、本実施形態のタッチパネルを示す概要図である。図6(A)は平面図、図6(B)は、図6(A)の模式的なB−B線断面図である。図6(C)は表示部21内部の概要図である。
タッチパネル20は、基板10上に表示画素30を配置した表示部21と、基板10と対向して設けられた封止基板11とからなる。尚、図では封止基板11を示しているが、第2実施形態において封止基板11は無くても良い。
図6(A)(B)の如く、基板10はガラス等の絶縁性基板であり、基板10上には表示画素30により例えばユーザが所定の操作を行うためのボタン102が表示される。対向基板11は表示画素30からの光が透過するガラス等の透明基板である。対向基板11および基板1は例えばシール剤13等で固着され、それにより封止された内部空間に表示画素30が配置される。表示画素30は、有機EL素子からなる発光回路180を有し、少なくとも一部の表示画素30は内部に受光回路(フォトセンサ)200が配置される。矢印のごとく下方(基板10方向)に発光した光が透明な基板10を透過し、ユーザは基板10方向からボタン102を視認する。フォトセンサ200はユーザの指の接触によるフォトカレントの変化を読みとって、いずれのボタン102が選択されたかを検知する。タッチパネルの動作については後に詳述する。
図6(C)のごとく、表示部21の基板10にはドレイン線DL(DL0、DL1・・・)およびゲート線GL(DL0、DL1・・・)が配置され、その交点付近に表示画素30が接続されて行列状に配置される。また表示画素30の発光回路(ここでは不図示)は、陽極と陰極との間に発光層を有するEL素子とEL素子の駆動トランジスタ、選択トランジスタとから構成される。駆動トランジスタおよび選択トランジスタはいずれもTFTである。
また、表示画素30内にそれぞれ設けられたフォトセンサ(ここでは不図示)は、TFTよりなる受光回路であり、TFTのオフ時に照射された光によりフォトカレントが得られる。
そして表示部21側辺には、列方向に延びるドレインDLを順次選択する水平方向駆動回路22が、行方向に延びるゲート線GLに走査信号(ゲート信号)を送る垂直方向駆動回路23が配置される。また、ゲート線GLやドレイン線DL等へ入力される各種信号を伝達する図示しない配線は、基板10の側縁に集められ、外部接続端子24に接続される。
また、表示部21は不図示の外部集積回路に接続する。外部集積回路は、表示部21へのデータ信号Vdataの出力や、有機EL素子に接続するTFTに対して駆動電圧を印加して有機EL素子を発光させるなどし、表示部21の制御を行う。
図7を参照して本実施形態の表示画素30について説明する。図7(A)が1画素を示す回路図であり、図7(B)が図7(A)の丸印部分の平面図であり、図7(A)の回路図に対応する端子A、B、C、Dを図7(B)に記載した。また図7(B)のC−C線断面図が、図7(C)である。尚、図7(B)は基板10側から見た平面図である。
表示画素30の発光回路180は、フォトセンサとなる受光回路200が接続する。基板10上には、行方向に延びる複数のゲート線GL(GL0、GL1・・・)が配置され、これに交差するように列方向に延びる複数のドレイン線DL(DL0、DL1・・・)及び第1電源線PVが配置される。第1電源線PVは、第1電源に接続されている。第1電源は例えば正の定電圧を出力する電源である。
発光回路180は、ゲート線GLとドレイン線DLとのそれぞれの交点に接続した選択TFT4と、保持コンデンサ5と、駆動TFT6と有機EL素子7とから構成される。選択TFT4のゲートはゲート線GLに接続され、選択TFT4のドレインがドレイン線DLに接続されている。選択TFT4のソースは保持コンデンサ5と駆動TFT6のゲートに接続されている。
駆動TFT6のドレインは、第1電源線PVに接続され、ソースは有機EL素子7の陽極に接続されている。有機EL素子7の陰極は第2電源に接続されている。第2電源は負の定電圧を出力する電源である。保持コンデンサ5の対極には、列方向に延在し、第2電源に接続する第2電源線CVが接続されている。
第1電源線PVは、第1電源に接続されている。すなわち、駆動TFT6は、データ信号Vdataの大きさに応じた導電率で第1電源線PVと有機EL素子7とを接続する。この結果、データ信号Vdataに応じた電流が駆動TFT6を介して第1電源線PVから有機EL素子7に供給され、データ信号Vdataに応じた輝度で有機EL素子7が発光する。
保持コンデンサ5は、第2電源線CVもしくは第1電源線PVなど他の電極との間で静電容量を形成しており、一定時間データ信号Vdataを蓄積することができる。
垂直方向駆動回路は、ゲート線GL0を非選択にした後、他のゲート線GL1を選択する。データ信号Vdataはゲート線GL0が非選択となって選択TFT4がオフした後も、保持コンデンサ5によって1垂直走査期間の間保持され、その間、駆動TFT6は導電率を保持し、有機EL素子7はその輝度で発光を続けることができる。
駆動TFT6と有機EL素子7とは、正の第1電源と負の第2電源との間に直列に接続されている。有機EL素子7に流れる駆動電流は、第1電源から駆動TFT6を介して有機EL素子7に供給される。そして、この駆動電流は駆動TFT6のゲート電圧VGを変化させることによって制御することができる。上述したように、ゲート電極にはデータ信号Vdataが入力されており、ゲート電圧VGはデータ信号Vdataに応じた値となる。
フォトセンサとなる受光回路200は、フォトトランジスタ205と、容量204と、第1スイッチングトランジスタ201と、第2スイッチングトランジスタ202と、ノードn1と、ノードn2と、抵抗体203よりなり、少なくとも1つの表示画素30内で、発光回路180のゲート線GL、第1電源線PV、第2電源線CV、センスデータ線SLと接続する。センスデータ線SLは、受光回路200の抵抗体203の一端と接続し、受光回路(フォトセンサ)200の検出結果(出力電圧Vout)を外部集積回路に出力する。尚、第2電源線CVは第1電源線PVより低電位である。また、図では保持コンデンサ5が第2電源線CVに接続しているが、専用の容量線(不図示)を設け、これに保持コンデンサ5を接続してもよい。尚受光回路200の詳細については後述する。
図7(B)(C)を参照してフォトセンサ200を構成するフォトトランジスタ205について説明する。
フォトトランジスタ205は、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁性基板10上にp−Si(Poly−Silicon)膜からなる半導体層103を積層する。このp−Si膜は、非晶質シリコン膜を積層し、レーザアニール等により再結晶化して形成してもよい。
半導体層103上にはSiN、SiO等からなるゲート絶縁膜12を積層し、その上にクロム(Cr)、モリブデン(Mo)などの高融点金属からなるゲート電極101を形成する。半導体層103には、ゲート電極101下方に位置し、真性又は実質真性となるチャネル103cが設けられる。また、チャネル103cの両側にはn+型不純物の拡散領域であるソース103sおよびドレイン103dが設けられる。
このような構造のp−SiTFTでは、TFTがオフ時に半導体層103に外部(基板10方向)から光が入射すると、チャネル103cとソース103sまたはチャネル103cとドレイン103dの接合領域において電子−正孔対が発生する。この電子−正孔対が接合領域の電場のために引き分けられて光起電力が生じてフォトカレントが得られ、フォトカレントは例えばソース領域103s側から出力される。すなわち、このフォトカレントはTFTのオフ時の暗電流であり、その増加を検知して、フォトセンサとして利用するものである。
ここで、半導体層103には、低濃度不純物領域を設けると良い。低濃度不純物領域とは、ソース103sまたはドレイン103dのチャネル103c側に隣接して設けられ、ソース103sまたはドレイン103dより不純物濃度の低い領域をいう。これを設けることにより、ソース103s(またはドレイン103d)端部に集中する電界を緩和することができる。低濃度不純物領域の領域幅は、例えば0.5μm〜3μm程度である。
本実施形態では例えばチャネルとソース間(またはチャネルとドレイン間)に、低濃度不純物領域103LDを設けて、いわゆるLDD(Light Doped Drain)構造とする。LDD構造にすると、フォトカレントの発生に寄与する接合領域をゲート長L方向に増加させることができるので、フォトカレントが発生しやすくなる。すなわち、少なくともフォトカレントの取出し側に、低濃度不純物領域103LDを設ければよい。また、LDD構造にすることによりVg−Id特性のOFF特性(検出する領域)が安定し、安定したデバイスとなる。
図8は表示画素30の一部断面図であり、駆動TFT6、有機EL素子7の一部を示す。
表示画素30は、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁性基板10上にバッファ層となる絶縁膜(SiN、SiO等)14を設け、その上層にp−Si膜からなる半導体層63を積層する。このp−Si膜は、非晶質シリコン膜を積層し、レーザアニール等により再結晶化して形成してもよい。
半導体層63上にはSiN、SiO等からなるゲート絶縁膜12を積層し、その上にクロム(Cr)、モリブデン(Mo)などの高融点金属からなるゲート電極61を形成する。半導体層63には、ゲート電極61下方に位置し、真性又は実質真性となるチャネル63cが設けられる。また、チャネル63cの両側にはn+型不純物の拡散領域であるソース63sおよびドレイン63dが設けられ、駆動用TFT6が構成される。
尚、図示は省略するが選択TFT4も同様の構造である(図3参照)。
ゲート絶縁膜12及びゲート電極61上の全面には、例えばSiO膜、SiN膜、SiO膜の順に積層して層間絶縁膜15を積層する。ゲート絶縁膜12および層間絶縁膜15には、ドレイン63dおよびソース63sに対応してコンタクトホールを設け、コンタクトホールにアルミニウム(Al)等の金属を充填してドレイン電極66およびソース電極68を設け、それぞれドレイン63dおよびソース63sにコンタクトさせる。平坦化絶縁膜17上に表示電極となるITO(Indium Tin Oxide)等の陽極71が設けられる。陽極71は、平坦化絶縁膜17に設けられたコンタクトホールによって、ソース電極68(またはドレイン電極66)に接続している。
有機EL素子7は、陽極71上に有機EL層76を設け、更にその上層にマグネシウム・インジウム合金から成る陰極75を形成したものである。陽極は表示画素30毎に独立の画素電極であり、陰極75は表示部21の各画素30に共通の電極である。有機EL層76は、ホール輸送層72、発光層73及び電子輸送層74をこの順に積層したものである。この陰極75は、例えば図6に示した表示部21の全面に設けられる。
また有機EL素子7は、陽極71から注入されたホールと、陰極75から注入された電子とが発光層73の内部で再結合し、発光層73を形成する有機分子を励起して励起子が生じる。この励起子が放射失活する過程で発光層73から光が放たれ、この光が透明な陽極71から透明な基板10を介して外部へ放出されて発光する。尚、本実施形態では一例として基板10方向に発光するボトムエミッション構造とする。
このように表示画素30がボトムエミッション構造の場合、フォトセンサ200は、基板10上に配置される指の接触/非接触による外光量の変化を検知する。従って、フォトトランジスタ205は、基板10方向からの外光が直接的に半導体層103に入射できるように半導体層103上方にゲート電極101を配置したトップゲート構造が望ましい(図7(C)参照)。
図9から図11を参照してフォトセンサ200を説明する。
図9は図7(A)の回路図からフォトセンサ200となる受光回路部分を取り出した回路図である。フォトセンサ200は、フォトトランジスタ205と、容量204と、第1スイッチングトランジスタ201と、第2スイッチングトランジスタ202と、ノードn1と、ノードn2と、抵抗体203と、第1電源端子T1と第2電源端子T2とを有する。
第1電源端子T1は第2電源端子T2より高電位であればよく、ここでは一例として第1電源端子T1をVDD電位、第2電源端子T2をGND電位として説明する。
第1スイッチングトランジスタ201は入力信号Vpulseが制御端子に入力されることにより導通し、フォトトランジスタ205と直列接続する。そして両者は第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。
また第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。
容量204は一端がノードn1より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第1電源端子T1または第2電源端子T2に接続する。容量204は、第1スイッチングトランジスタが導通することにより充電され、ノードn1の電位を変動させる。
以下、具体的に説明する。容量204は、ノードn1によりフォトトランジスタ205の出力端子と一端が接続し、他端が第1電源端子T1に接続する。そして容量204と並列に第1スイッチングトランジスタ201が接続する。第1スイッチングトランジスタ201の制御端子には、所定の期間でパルスが入力される。
第2スイッチングトランジスタ202は、第1電源端子T1と第2電源端子T2間に直列に接続され、その制御端子にはノードn1からの出力が印加される。一例として第1スイッチングトランジスタ201は、nチャネル型のTFTであり、第2スイッチングトランジスタ202は、pチャネル型のTFTである。これらの構造は、図8の駆動TFT6と同様である。
抵抗体203は、ノードn2により一端が第2スイッチングトランジスタ202の一端と接続し、他端は第2電源端子T2と接続して接地される。抵抗体203は例えばpチャネル型のTFTであり、その制御端子には定電圧Vaが印加される。TFTのソース−ドレイン間が高抵抗となるように、ゲート電圧Vaを固定するとTFTを抵抗として利用できる。これにより、ノードn2からはフォトトランジスタ205で検知したフォトカレントが電圧に変換されて出力され、定電圧Vaの変動により出力される電圧も変動する。尚、この場合ソース−ドレイン間の抵抗値は10Ω〜10Ω程度とする。
このように第1電源端子T1と第2電源端子T2間に高い抵抗値を有する抵抗体203を接続することにより、フォトトランジスタ205で検知したフォトカレントを電源電位VDDと接地電位GND間の電位差の分圧として出力することができる。第1電源端子T1および第2電源端子T2間の電圧は、フィードバックとしての利用が容易な範囲に設定すればよい。尚、定電圧Vaの変動や詳細な回路動作については後述する。
尚、本実施形態においては第1および第2スイッチングトランジスタ201、202も、いわゆるLDD構造にすると、ソース(またはドレイン)端部に集中する電界を緩和することができるため好適である。
図10を参照し、フォトセンサ200の動作を説明する。図10(A)はタイミングチャートであり、図10(B)(C)は出力電圧Voutの出力例である。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタの導通は維持される。これにより容量204には電源電位VDDの電荷が充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。本実施形態はノードn1を基準電位(VDD電位)とし、フォトトランジスタ205からの放電によってノードn1の電位を降下させて出力電圧を得る。
フォトトランジスタ205に光が照射されると、例えば10−14A〜10−9A程度の非常に微小なフォトカレントが出力される。フォトカレントは前述の如く、フォトトランジスタ205を構成するTFTのオフ時に照射された光量により発生する暗電流である。つまり、光によりフォトトランジスタ205から漏れる電流を検知して光量を検出している。従って、フォトトランジスタ205に光が照射すると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、図10(A)の実線aで示す如くノードn1の基準電位(VDD電位)が降下していく。
第2スイッチングトランジスタ202はpチャネル型TFTであり、その制御端子(ゲート電極)はノードn1に接続している。つまり、ノードn1の電位が降下して閾値電圧VTH以下になると、第2スイッチングトランジスタ202が導通する。
抵抗体203は、定電圧Vaにより導通しており、定電圧Vaに応じたチャネルが形成されており、抵抗値が一定の抵抗体としてみることができる。出力電圧VOUTは、第1電源端子T1と第2電源端子T2の電位差を、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値と抵抗体203の抵抗分圧で出力することになる。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の導通以前は、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値が、抵抗体203の抵抗値より十分大きく、ノードn2は第2電源端子T2により近い電位となる。一方導通すると、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値は、抵抗体203の抵抗値より十分小さくなり、ノードn2は第1電源端子T1に近い電位となる。
つまり、フォトトランジスタ205で検知したフォトカレントを、電源電位VDDと接地電位GND間の電位差の分圧として、電源電位VDDに近い出力電圧Voutとして検出することができる。
ここで、抵抗体203の抵抗値は非常に高抵抗であるので、微少なフォトカレントであってもフィードバックが容易な程度に十分大きい値の出力電圧Voutを得ることができる。
このようにフォトセンサ200は、第1スイッチングトランジスタ201に電圧Vpulseのパルスを入力するだけで動作可能である。また、回路を構成する構成要素もわずか3つのTFTと1つの容量で実現することができ、部品点数を削減することができる。
図10(B)(C)は、光量による出力電圧Voutの出力例を示す。グラフのX軸は時間を示し、Y軸が出力電圧Voutを示している。実線a、破線a’は抵抗体203の定電圧Vaが同じ値であるがフォトトランジスタ205で検出した光量が違う場合であり、実線a、bはそれぞれ抵抗体203の定電圧Vaが異なる場合を示す。
このグラフより、光量および抵抗体203の定電圧Vaの値(Va値)と、出力電圧Voutが出力されている時間との関係が明らかとなる。
まず、図10(B)を参照して同じVa値で光量が大きい場合(実線a)と光量が小さい場合(破線a’)について説明する。
前述の如く入力信号(電圧)Vpluseにより基準電位VDDに引き上げられたノードn1の電位は、フォトトランジスタ205で検知する光量に応じて減少する(図10(A)実線a)。そして第2スイッチングトランジスタ202の閾値電圧を下回り、第2スイッチングトランジスタ202がオンすると、第1電源端子T1から抵抗体(TFT)203に電流が流れる(図10(B):t1)。抵抗体203はゲート電圧Vaに応じたチャネルが形成され所定の時間が経過すると抵抗体203を流れる電流が飽和状態となる。これにより一定の抵抗値を有する抵抗体203となり、その時点で電源電圧VDDと抵抗体203の分圧としてノードn2より出力電圧Voutが検出できる(図10(B):t2)。
さらにある時間が経過した後、第1スイッチングトランジスタ201にVpulseが入力されると第2スイッチングトランジスタ202がオフとなるので、出力電圧Voutはほぼ0Vとなる(t3)。つまり、出力電圧Voutが検出されている時間(Hレベル)、出力電圧Voutが検出されない時間(Lレベル)として二値で検出することができる。
一方破線a’のごとく光量が少ない場合はフォトトランジスタ205の放電量も少なくなるので、第2スイッチングトランジスタ202の閾値電圧に到達する時間が実線aより遅くなる。すなわち、第2スイッチングトランジスタ202がオンするタイミングが遅くなり(t4)、出力電圧VoutがHレベルとなるタイミングが遅くなる(t5)。一定の周期で第1スイッチングトランジスタ201に入力される電圧Vpluseにより、第2スイッチングトランジスタ202がオフし、出力電圧VoutはLレベルとなる(t3)。抵抗体203を流れる電流が飽和状態となる時間はほぼ一定であるので、第2スイッチングトランジスタ202がオンするタイミングの遅れは、出力電圧VoutがHレベルとなっている期間が短くなることを表わす。
また、Hレベルの期間が長ければそれだけ出力電圧Voutを検出できる時間が長いことになるので、フォトセンサとしての感度がよいことになる。従って、フォトセンサ200は、光量の大小(実線a、破線a’)により感度を変えることができる。
次に、図10(C)を参照して同じ光量でVa値が大きい場合(実線a)とVa値が小さい場合(実線b)について説明する。
前述の如く入力信号(電圧)Vpluse入力により基準電位VDDに引き上げられたノードn1の電位は、フォトトランジスタ205で検知する光量に応じて減少する(図10(A)実線a)。そして第2スイッチングトランジスタ202の閾値電圧を下回り第2スイッチングトランジスタ202がオンすると、第1電源端子T1から抵抗体(TFT)203に電流が流れる(図10(C):t11)。抵抗体203は大きいゲート電圧Va1に応じたチャネルが形成され所定の時間が経過すると流れる電流が飽和状態となる。これにより一定の抵抗値を有する抵抗体203となり、その時点で電源電圧VDDと抵抗体203の分圧としてノードn2より出力電圧Voutが検出できる(図10(C):t12)。
さらにある時間が経過した後、第1スイッチングトランジスタ201に電圧Vpulseが入力されると第2スイッチングトランジスタ202がオフとなるので、出力電圧Voutはほぼ0Vとなる(t13)。つまり、出力電圧Voutが検出されている時間(Hレベル)、出力電圧Voutが検出されない時間(Lレベル)として二値で検出することができる。
一方実線bのごとくVa値が低い(Va2)場合は、光量が同じで有れば第2スイッチングトランジスタ202の閾値電圧に到達する時間は実線aとほぼ同時となる。従って、第2スイッチングトランジスタ202がオンするタイミングも同時となる(t11)。
第2スイッチングトランジスタ202がオンすると、第1電源端子T1から抵抗体(TFT)203に電流が流れる。抵抗体203は低いゲート電圧Va2に応じたチャネルが形成され所定の時間が経過すると流れる電流が飽和状態となり、以降は抵抗体203の抵抗値に応じた分圧で出力電圧Voutが検出できる(t14)。
さらにある時間が経過した後、第1スイッチングトランジスタ201に電圧Vpulseが入力されると第2スイッチングトランジスタ202がオフとなるので、出力電圧Voutはほぼ0Vとなる(図10(C):t13)。
ここで、ゲート電圧Va2が低ければチャネル幅も狭くなるので、抵抗体203を流れる電流が飽和状態になるタイミングがゲート電圧Va1の場合よりも早くなる。従って、出力電圧Voutが検出できるタイミングが早まり、Hレベルになる期間が長くなる(t12→t14)。
つまり、Va値が低ければフォトセンサ200の感度が向上し、Va値の変動により感度を調節することができる。
図11を参照して、更に説明する。図11(A)は、抵抗体203のゲート電圧Vaと第2スイッチングトランジスタ202のVd−Id特性の一例を示す。実線c、dが第2スイッチングトランジスタ202のVd−Id特性であり、光量が多い状態が実線c、光量が少ない状態が実線dである。また点線Va3、Va4が抵抗体(TFT)203のVd−Id特性であり、点線Va3がゲート電圧が小さい状態であり、点線Va4がゲート電圧が大きい状態である。また図11(B)は、図11(A)と対応させて図10(C)の出力例のX軸およびY軸を入れ替えた模式図である。
図11(A)(B)のごとくゲート電圧Va3の場合、第2スイッチングトランジスタ202の線形領域(点線)において抵抗体203との交点x1があり、実線c、dいずれも出力電圧VoutをHレベルとして検知できる。そして実線dの方が実線cよりも検出期間が長くなる。
一方図11(C)のごとく、ゲート電圧Vaを大きくしすぎる(Va4)と、が第2スイッチングトランジスタの線形領域における交点x2は実線dのみとなる。実線cは抵抗体203の飽和状態で第2スイッチングトランジスタ202も飽和状態となってしまうので、出力電圧Voutを検出することができないことが判る。また、実線dの検出期間も短くなる。
従って、第2スイッチングトランジスタ202の線形領域において抵抗体203のVd−Idカーブが交わるように、電圧Vpulse、ゲート電圧Vaを適宜選択する。
このように、フォトセンサ200は、第2スイッチングトランジスタ202のオン・オフによる二値的な出力を得るが、積算面積を算出するなどして出力電圧Voutのアナログ出力が可能である。
上記のフォトセンサ200は図7(A)のごとく、ゲート線GL、第1電源線PV、第2電源線CVに接続される。このようにすることで、フォトセンサ200の第1電源端子T1は表示部21の第1電源を利用し、第2電源端子T2は第2電源線CVの電位を利用できる。前述のごとく第2電源線CVは第1電源線PVより低電位の電源線である。
また、ゲート線GLと接続することによりフォトセンサの入力信号Vpulseは表示部21のゲート信号と共通にできる。すなわち、垂直方向駆動回路の走査信号を入力信号Vpulseとすることができ、ノードn1の電位をリセットすることができる。
すなわち、ゲート線GLには、垂直方向駆動回路23によって順次ゲート信号が印加される。ゲート信号はオン(Hレベル)、オフ(Lレベル)の2値の信号で、これがフォトセンサ200の入力信号Vpulseとなる。垂直方向駆動回路23によって1つのゲート線GLに、Hレベルのゲート信号が印加されると、そのゲート線GLに接続した全ての選択TFT4がオンする。また同時にゲート線GLに接続する第1スイッチングトランジスタ201にHレベルの信号が印加され、フォトセンサ200が駆動する。
Hスキャナ22はドレイン線DLを順次選択してデータ信号Vdataを供給し、有機EL素子7が発光する。外光はフォトセンサ200によりセンシングされる。
フォトセンサ200は、外光の光量を検出し、出力電圧Voutとしてセンスデータ線SLに出力される。センスデータ線SLは、例えば比較器などを有する外部集積回路(不図示)と接続し、周囲の表示画素30や、予め設定された基準値などと比較する等の処理を行う。これにより、外光量の多少を検出する。
このように、フォトセンサ200の駆動に必要な信号線を表示画素30の信号線と共通にできるので、画素毎に受光回路を配置する構成であっても、配線の複雑化を回避できる。
また、抵抗体となるTFT203のゲート電圧Vaを調整することにより、フォトセンサ200の出力電圧Voutの検出感度を変えることができる。
特にフォトカレントはフォトトランジスタ205の暗電流であるため、その値にばらつきが生じる。しかし、抵抗体203のゲート電圧Vaにより出力電圧Voutの検出感度を調節できるので、デバイス間の受光感度のバラツキを小さくすることができる。
更に上記のフォトセンサ200では、抵抗体203のVa値のみならず、フォトトランジスタ205の接続数、入力信号Vpulseの周期、容量204の大きさによっても検出感度を調整することができる。フォトトランジスタ205の接続数は有機EL素子の光を検知した際の放電量に寄与し、入力信号Vpulseの周期は図11のごとく出力電圧VoutがHレベルである期間に寄与する。更に容量204の大きさは、第2スイッチングトランジスタ202のゲート電極に印加される電位であり、V=Q/Cの関係より容量204から電荷が放電することにより電位が変動する。つまり、容量204が小さい方がより検出感度を高めることができる。
尚、図9の回路構成は一例であり、第1スイッチングトランジスタ201、フォトトランジスタ205の接続位置、第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203の接続位置、容量204の接続位置は変更可能である。すなわち、第1スイッチングトランジスタ201を導通させてノードn1の電位を第1電源端子T1または第2電源端子T2の電位に充電し、第1スイッチングトランジスタ201を遮断し、フォトトランジスタ205からの放電によりノードn1の電位を変動させ、その電位により第2スイッチングトランジスタ202を導通または遮断させて第2スイッチングトランジスタ202および抵抗体203のノードn2から出力電圧を検出するものであればよい。
図12および図13には図9の光量検出回路の他の構成を示す。まず図12は出力電圧Voutが第1電源電位VDDに近い電位で検出できる回路である。
図12(A):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ2と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はpチャネル型TFTであり、抵抗体203はnチャネル型TFTである。容量204はフォトトランジスタ205と並列接続しており、一端がノードn1より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第2電源端子T2に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタ201の導通は維持される。これにより容量204には電源電位VDDが充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(VDD)が降下していく。
第2スイッチングトランジスタ202は、ノードn1の電位が降下して閾値電圧VTH以下になると導通する。これにより、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値は、抵抗体203の抵抗値より十分小さくなり、ノードn2は第1電源端子T1に近い電位となる。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の導通により、フォトトランジスタ205で検知したフォトカレントを電源電位VDDと接地電位GND間の電位差の分圧として、電源電位VDDに近い電位で出力電圧Voutを出力できる。
図12(B):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はnチャネル型TFTであり、抵抗体203もnチャネル型TFTである。容量204は第1スイッチングトランジスタ201と並列接続しており、一端が第1接続点より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第1電源端子T1に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタの導通は維持される。これにより容量204には電源電位VDDの電荷が充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(VDD)が降下していく。
nチャネル型TFTの第2スイッチングトランジスタ202は、第1スイッチングトランジスタ201の導通時からノードn1の電位が降下して閾値電圧VTHに達するまでの間導通している。つまり、第2スイッチングトランジスタ202が導通している間は、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値は、抵抗体203の抵抗値より十分小さくなり、ノードn2は第2電源端子T2に近い電位となる。一方閾値電圧VTHより電圧が下がると第2スイッチングトランジスタ202は遮断され、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値が、抵抗体203の抵抗値より十分大きく、ノードn2は第1電源端子T1により近い電位となる。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の遮断により、フォトトランジスタ205で検知したフォトカレントを電源電位VDDと接地電位GND間の電位差の分圧として、電源電位VDDに近い電位で出力電圧Voutを出力できる。
図12(C):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はnチャネル型TFTであり、抵抗体203もnチャネル型TFTである。容量204はフォトトランジスタ205と並列接続しており、一端がノードn1より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第2電源端子T2に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタ201の導通は維持される。これにより容量204には電源電位VDDの電荷が充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(VDD)が降下していく。
nチャネル型TFTの第2スイッチングトランジスタ202は、第1スイッチングトランジスタ201の導通時からノードn1の電位が降下して閾値電圧VTHに達するまでの間導通している。つまり、第2スイッチングトランジスタ202が導通している間は、ノードn2は第2電源端子T2に近い電位となる。一方第2スイッチングトランジスタ202が遮断されると、ノードn2は第1電源端子T1により近い電位となる。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の遮断により、電源電位VDDに近い電位で出力電圧Voutを検出できる。
図13は、図9および図12(A)から図12(C)の第1スイッチングトランジスタ201とフォトトランジスタ205の接続を入れ替えた構造であり、この構成により出力電圧Voutは第2電源端子T2の電位に近い電位で検出できる。
図13(A):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はpチャネル型TFTであり、抵抗体203はnチャネル型TFTである。容量204はフォトトランジスタ205と並列接続しており、一端がノードn1より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第1電源端子T1に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタ201の導通は維持される。これにより容量204には接地電位GNDの電荷が充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(GND)が上昇していく。
pチャネル型TFTの第2スイッチングトランジスタ202は、第1スイッチングトランジスタ201の導通時からノードn1の電位が降下して閾値電圧VTHに達するまで導通する。これにより、第2スイッチングトランジスタ202の導通時にはノードn2は第1電源端子T1に近い電位となる。一方、ノードn1が閾値電圧を超えると第2スイッチングトランジスタ202が遮断される。これにより、ノードn2は第2電源端子T2に近い電位となる。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の遮断により接地電位GNDに近い電位で出力電圧Voutを検出できる。
図13(B):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はpチャネル型TFTであり、抵抗体203はnチャネル型TFTである。容量204は第1スイッチングトランジスタ201と並列接続しており、一端がノードn1より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第2電源端子T2に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタ201の導通は維持される。これにより容量204には接地電位GNDの電荷が充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(GND)が上昇していく。
pチャネル型TFTの第2スイッチングトランジスタ202は、第1スイッチングトランジスタ201の導通時よりノードn1の電位が上昇して閾値電圧VTHに達するまで導通する。これにより、ノードn2は第2スイッチングトランジスタ202の導通時には第1電源端子T1に近い電圧となる。一方ノードn1の電位が閾値電圧VTHを超えると、第2スイッチングトランジスタ202が遮断し、ノードn2は第2電源端子T2に近い電圧となる。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の遮断により接地電位GNDに近い電位で出力電圧Voutを検出できる。
図13(C):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はnチャネル型TFTであり、抵抗体203もnチャネル型TFTである。容量204はフォトトランジスタ205と並列接続しており、一端が第1接続点より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第1電源端子T1に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタ201の導通は維持される。これにより容量204には接地電位GNDが充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(GND)が上昇していく。
nチャネル型TFTの第2スイッチングトランジスタ202は、ノードn1の電位が閾値電圧VTHに達するまでは遮断しており、閾値電圧VTHを超えると導通する。ノードn2は、第2スイッチングトランジスタ202が遮断の間は第1電源端子T1に近い電位となり、導通すると第2電源端子T2により近い電位となる。つまり、出力電圧Voutは、第2スイッチングトランジスタ202の導通により接地電位GNDに近い電位で出力できる。
図13(D):第1スイッチングトランジスタ201はフォトトランジスタ205と直列接続し、第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202と抵抗体203は直列接続し、これらも第1電源端子T1および第2電源端子T2間に接続する。第2スイッチングトランジスタ202はnチャネル型TFTであり、抵抗体203もnチャネル型TFTである。容量204は第1スイッチングトランジスタ201と並列接続しており、一端がノードn1より第2スイッチングトランジスタ202の制御端子に接続し、他端が第2電源端子T2に接続する。
第1スイッチングトランジスタ201の制御端子、すなわちゲート電極に所定電圧Vpulse(Hレベル)のパルスを一定期間入力する。Hレベルのパルスの入力期間、第1スイッチングトランジスタ201の導通は維持される。これにより容量204には接地電位GNDの電荷が充電される。
パルスがLレベル(0V)になると第1スイッチングトランジスタ201が遮断される。フォトトランジスタ205に光が照射されると、その光量に応じた電荷がフォトトランジスタ205から放電し、ノードn1の基準電位(GND)が上昇していく。
nチャネル型TFTの第2スイッチングトランジスタ202は、ノードn1の電位が閾値電圧VTHに達するまでは遮断しており、閾値電圧VTHを超えると導通する。ノードn2は、第2スイッチングトランジスタ202が遮断の間は第1電源端子T1に近い電位となり、導通すると第2電源端子T2により近い電位となる。つまり、出力電圧Voutは、第2スイッチングトランジスタ202の導通により接地電位GNDに近い電位で出力できる。
また、図示は省略するが、抵抗体203として抵抗素子を接続してもよい。抵抗素子は、例えばポリシリコンあるいはITO等にn型不純物をドープするなどして形成され、10Ω〜10Ω程度の高い抵抗値を備えている。この場合、抵抗素子203の抵抗値を変えることで、上記の回路の定電圧Vaを変動したと同じ状況となり、フォトセンサ200の感度を調整することができる。
上記のごとく本実施形態の第2スイッチングトランジスタ202は、図9または図12(A)、図13(A)、図13(B)のごとく高電位の第1電源端子T1に一端が接続する場合にはpチャネル型TFTを使用する。一方、図12(B)、図12(C)、図13(C)、図13(D)のごとく低電位である第2電源端子に第2スイッチングトランジスタ202の一端を接続する場合には、第2スイッチングトランジスタはnチャネル型TFTを使用する。
そして、図7の如く受光回路200として発光回路180に接続する場合には、第1端子T1および第2電源端子T2を、第1電源線PVおよび第2電源線CVのいずれかとそれぞれ接続することになる。1つの表示画素30における電位は、第1電源>第2電源の関係が成り立っていればよいので、第1電源線PVおよび第2電源線CVの電位関係により図9および図12、13の回路を適宜選択する。
ここで、フォトセンサ200を構成するTFTであって、フォトトランジスタ205を除いた他のTFTは、図8の駆動TFT6と同様に半導体層の上層にゲート電極を配置したいわゆるトップゲート構造でもよいし、半導体層の下層にゲート電極を配置したボトムゲート構造でもよい。フォトトランジスタ205以外のTFTがトップゲート構造である場合、それらには遮光層を設けるとよい。遮光層は、例えば、半導体層の上下にゲート電極を配置するなどし、下層のゲート電極を遮光層とすることが考えられる。その場合遮光層となるゲート電極の電位はフローティング、あるいは上層のゲート電極と共通、または異なる電位とするなど回路構成に応じて適宜選択する。
図14(A)及び(B)を用いて、本実施形態のタッチパネル20の動作原理を説明する。タッチパネル20は、複数の表示画素30により、例えばユーザに所定の処理を選択させるボタン102などの画像を表示する。ユーザは透明な基板10を介してボタン102を視認する。ユーザが所定の処理を行うためにそのボタン102(A)に触れると(図14(A))、ボタン102(A)を表示する表示画素30に対応して配置されているフォトセンサ200に入射する外光が遮られる。一方、指Fが選択していないボタン102(B)に対応して配置されているフォトセンサ200は外光がそのまま入射される。
1フレーム分の全てのフォトセンサ200の検出結果は、センスデータ線SLを介して不図示の外部集積回路に出力される。外部集積回路では例えば内蔵する基準値との比較や、複数のボタン102間のフォトセンサ200との比較、あるいは指Fの接触前後でフォトカレントが変化したフォトセンサ200を検出するなどの処理を行う。比較の結果、基準値または他の画素30(またはボタン102)より受光量の少ない画素30(またはボタン102)を特定する。あるいは指Fの接触前後でフォトカレントが変化した画素30(又はボタン102)を特定する。
このように、指Fで遮光されることによって受光量が低減したフォトセンサ200の位置(入力座標)を特定し、指Fがいずれのボタン102を選択しているかを検知する。
また、タッチパネルではわずかな接触も入力として検知できた方がよいので、フォトセンサ200は受光感度の高いものが必要となる。例えば、上記のフォトセンサ200は0〜5000cd間でアナログ的に出力できるものであるが、タッチパネル20に採用する場合には10cd程度でオンオフが切り替わるものにする。以下に高い受光感度を得るための一例を示す。
まず、図15を参照してフォトトランジスタ205自身の受光感度を高める場合について説明する。
フォトトランジスタ205のゲート電極101は、半導体層103に対して直交するように配置される。このとき、ゲート電極101のゲート幅Wは、ゲート長Lより大幅に長くする。具体的には、ゲート長Lが5μm〜15μm程度で、ゲート幅Wは100〜1000μm程度が望ましい。尚、ゲート幅Wとは図15(A)の如くゲート電極101と半導体層103とが重畳する部分である。
図15(B)は半導体層103の、チャネル103cとソース103s(またはドレイン103d)の接合領域付近のエネルギーバンド図を3次元的に示した模式図である。
前述の如く、フォトトランジスタ205のオフ時に半導体層103に外部から光が入射すると、チャネル103cとソース103s(またはチャネル103cとドレイン103d)の接合領域において電子−正孔対が発生し、フォトカレントが得られる。つまりフォトカレントが大きければフォトセンサ200としての感度がよいことになる。
光の入射により電子−正孔対が発生するのは、図のハッチングで示したソース103sとチャネル103cとの接合領域である。つまり、この接合領域を大きく確保すれば、より大きなフォトカレントを得ることができる。そこで、接合領域に直接寄与するゲート幅Wを広げることにより接合領域の面積を大きく確保し、感度のよいフォトトランジスタ205(フォトセンサ200)を得る。ゲート幅Wはパターンの変更のみで大きくすることができるので、感度の良いフォトセンサ200を別途工数を増やすことなく実現できる。
次に、フォトセンサ200として感度を高める例を説明する。
前述の如く、フォトセンサ200は、第1電源線、第2電源線およびゲート線GLと接続する構成であり、垂直方向駆動回路23の走査信号を入力信号Vpulseとしている。つまり1フレーム分で受光回路としてのオンオフが切り替わる構成である。
入力信号Vpulseの周期は図10のごとく出力電圧VoutがHレベルである期間に寄与する。つまり、Hレベルの期間が長ければそれだけ出力電圧Voutを検出できるタイミングが長いことになるので、フォトセンサとしての感度がよいことになる。
そこで、垂直方向駆動回路23の走査信号に低い周波数を利用する。例えば1フレームで60Hzの走査信号を採用している場合、分周回路などにより30Hzまたは15Hz等にすることによりHレベルの期間を長くすることができる。
尚、本実施形態では、対向基板11方向に発光させるトップエミッション構造であっても同様に実施できる。その場合は、封止基板11方向から外光が入射するので、フォトセンサ200は半導体層103下方にゲート電極101を配置するボトムゲート構造にする方がより好適である。
また、フォトセンサ200は、各表示画素30に対応して配置してもよいし、隣接する複数の表示画素30に対して1つのフォトセンサ200を配置してもよい。タッチパネル20であれば、指Fで接触する面積は1mm角あれば十分検知できるので、4画素に対して1つのフォトセンサ200、または9画素に対して1つのフォトセンサ200などでもセンシングは可能である。
以上、本実施形態では表示部21が有機EL素子を用いた表示画素30で構成されるタッチパネルを例に説明した。しかしこれに限らず、LCD等、TFTを低温ポリシリコンで形成した画素を有するタッチパネルであれば、同様に実施できる。
図16から図19を参照し、第3および第4実施形態として、表示画素30の発光回路にLCD(Liquid Crystal Display)を用いたタッチパネルについて説明する。
第3実施形態は、第1実施形態の発光回路にLCDを採用した場合である。
図16にはタッチパネルの模式的な断面図を示す。図16(A)は対向基板111側(上方)に発光するトップエミッション構造の場合であり、図16(B)は基板10(下方)に発光するボトムエミッション構造の場合である。また、図16(A)はボトムゲート構造の場合であり、図16(B)はトップゲート構造の場合である。
基板10はガラス等の絶縁性基板であり、基板10に対向して対向基板111が設けられ、基板10と対向基板111はシール剤(不図示)で固着される。基板10上には表示画素30が配置される。表示画素30は、少なくとも発光回路181を有し、発光回路181は、選択TFT114と、表示電極118と、保持コンデンサ151を有する。
また発光回路181に隣接して受光回路(フォトセンサ)210が配置される。ここではフォトセンサ210は表示画素30内に配置されるが、第3実施形態においてはフォトセンサ210が配置されず発光回路181のみの表示画素30があってもよい。尚、図では1つの表示画素30を示しているが、実際にはこれらがマトリクス状に複数配置される。
選択TFT114は、ボトムゲート構造の場合、基板10上に絶縁膜211を介してゲート電極214、ゲート絶縁膜213、半導体層(p−Si膜)212を積層する。ゲート電極214上方の半導体層212にはチャネル212cが設けられる(図16(A))。
またトップゲート構造の場合には、半導体層212、ゲート絶縁膜213、ゲート電極214の積層順となる(図16(B))。チャネル212cの両側には不純物を選択的に拡散してソース212s、ドレイン212dを形成する。ドレイン212dには絶縁膜211(およびゲート絶縁膜213)に設けたコンタクトホールを介してドレイン線DLが接続し、ドレイン線DL上は平坦化絶縁膜17で覆われる。ソース212sは平坦化絶縁膜17および絶縁膜211(およびゲート絶縁膜213)に設けたコンタクトホールを介して表示電極118に接続する。
また、保持コンデンサ151は、ゲート電極214と同層の容量電極線215、ゲート絶縁膜213、半導体層212により構成される。
表示電極118上には、液晶を配向させる配向膜(不図示)が形成される。対向基板111は液晶を配置する側に、絶縁膜211、対向電極119、カラーフィルター112、配向膜(不図示)等を備えている。表示電極118は、表示画素30毎に独立の画素電極であり、対向電極119は表示部21の各画素30に共通の電極である。液晶層117は、シール剤で密封された絶縁基板10と対向基板111の空間に充填される。
タッチパネルの背面には光源部となるバックライト170が配置される。液晶は選択TFT114により駆動されバックライト170の光の透過率などの光量を制御(変調)し、矢印方向に発光する。
カラーフィルター112は、トップエミッション構造の場合、外光側となる対向基板111に配置され(図16(A))、ボトムエミッション構造の場合、バックライト170側となる対向基板111に配置される(図16(B))。
フォトセンサ210は表示画素30内の基板10上に配置され、フォトトランジスタ3を有する。図16ではフォトトランジスタ3および選択TFT2を示しており、構成は第1実施形態の図3と同様であるので説明は省略する。尚、表示画素30にはフォトセンサ210が配置されず、発光回路181のみが配置されてもよい。
第3実施形態では、表示画素30に入射する外光の光量の違いをフォトセンサ210により検知し、入力座標を特定する。従って、バックライト170の光と、検知すべき外光とを区別する必要がある。このため、フォトセンサ210とバックライト170の間には、バックライト170からの光の入射を遮る遮蔽膜190が設けられる。
遮蔽膜190は、タッチパネルのエミッション方向が、トップエミッション(図16(A))か、あるいはボトムエミッション(図16(B))か、によりそれぞれ図示の位置に配置する。
すなわち、図16(A)の如く、トップエミッション構造の場合、遮蔽膜190は、バックライト170とフォトセンサ210の間の基板10上に配置され、その上にフォトセンサ210を構成するTFTが配置される。
一方図16(B)の如く、ボトムエミッション構造の場合、遮蔽膜190は、バックライト170とフォトセンサ210の間で、対向電極119の液晶層117側に配置され、その下方にフォトセンサ210が構成するTFTが配置される。
図17は、1つの表示画素30を抽出した回路図を示す。ここでは1つの表示画素30内に発光回路181とフォトセンサ210が配置されている場合を示すが、同一表示部21内の表示画素30によってはフォトセンサ210が配置されないものがあってもよい。
発光回路181は、ゲート線GLとドレイン線DLとのそれぞれの交点に接続した液晶層117、選択TFT114、保持コンデンサ115とから構成される。
選択TFT114のゲートはゲート線GLに接続され、選択TFT114のドレインがドレイン線DL(不図示)に接続されている。選択TFT114のソースは保持コンデンサ5と液晶層117の一端(表示電極118)に接続されている。
液晶層117の他端(対向電極119)は、第2電源に電気的に接続している。第2電源は一定周期毎に電位が反転する電源である。保持コンデンサ115の対極は一定電源例えば接地電位(GND)に接続されている。
選択TFT114のゲートにゲート線GLから基準電圧以下(Lレベル)のパルスが印加されると、pチャネル型TFTの選択TFT114はオン状態となり、ドレイン線DLのデータ信号Vdataが選択TFT114を介して液晶層117の表示電極118と保持コンデンサ115に供給される。データ信号Vdataはゲートのパルスと共に立ち上がり、選択TFT114のゲート電圧がHレベルとなった時点の値が維持され、液晶層117に印加される。これにより液晶が駆動され、バックライトの光の透過率などの光量を制御(変調)する。
保持コンデンサ115は、次のゲート信号が供給されるまでデータ信号Vdataを保持し、次のゲート信号が印加されるまで液晶層117の液晶を駆動する。
受光回路となるフォトセンサ210は第1の実施形態と同様であるので詳細な説明は省略するが、フォトトランジスタ3は、第1実施形態では発光回路180の反射光を検知するのに対し、第3実施形態では外光を検知する。
ここで図18及び図17の回路図を用いて、第3実施形態のタッチパネル20の動作原理を説明する。
タッチパネル20は、複数の表示画素30により、例えばユーザに所定の処理を選択させるボタン102などの画像を表示する。ユーザが所定の処理を行うためにそのボタン102Aに触れると(図18(A))、その部分の外光が指Fで遮断され、ボタン102A(表示画素30A)に対応して配置されているフォトセンサ210Aには外光が入射しない。一方、指Fが選択していないボタン102Bに対応する表示画素30Bには、外光が入射する。このようにして、フォトセンサ210が入射した外光の光量の大小を検知して、指Fがボタン102を選択しているかどうかを判断する。
センシング時の回路動作は、まずリセット線RSTにHレベルの信号が供給されると、ノードn90の電位が第2電源線CVと同電位になり、リセット線RSTに対応するすべてのフォトトランジスタ3がリセットされる。
リセット線RSTへのHレベル信号の供給と同時にゲート線GLにLレベルの信号が供給され、GLに接続される表示画素30内の選択TFT4及びフォトセンサ210内の選択TFT2が共にオン状態になる。次にHレベルの信号がシフトレジスタ(不図示)から出力されると、センスデータ線SLがリセットされる。
ボタン102が選択されている場合、フォトセンサ210に入射する外光が遮断される。すなわち、そのボタン102を構成する表示画素30のフォトトランジスタ3に光が入射しないため、フォトカレントは発生しない。フォトカレントはフォトトランジスタ3の暗電流であるので、フォトカレントの発生がない場合にはノードn90の電位はリセット状態とほぼ変わらない。すなわちノードn90の電位は第2電源線CVの電位と同程度である。
一方、ボタン102が選択されない場合、フォトセンサ210には外光が入射する。すなわち、そのボタン102を構成する表示画素30のフォトトランジスタ3に光が入射し、フォトカレントが発生する。これにより、フォトカレントに相当する電圧により、ノードn90の電位が第2電源線CVの電位より上昇する。ノードn90の電位はセンシングデータとなる。
ノードn90の電位がセンシングデータとしてフォトトランジスタ3から選択TFT2およびスイッチSW1を介してCOMP160に出力される。COMP160に入力されたセンシングデータと第2電源線CVの電位が比較されその結果に応じた信号がデータ線RLに出力される。その信号がフレームメモリ150に書き込まれる(図2参照)。これ以外は第1実施形態と同様である。
第4実施形態は、第2実施形態の発光回路にLCDを採用した場合である。第4実施形態のタッチパネルの断面図は図16と同様であり、図16のフォトセンサ210がフォトセンサ200となる。
図19は1つの表示画素30を抽出した回路図である。
発光回路181は、第3実施形態と同様である。但し、選択TFT114のソースに接続する保持コンデンサ5の対極は第2電源線CVに接続する。
第4実施形態においても、フォトセンサ200とバックライト170の間には図16の如くバックライト170の光を遮断する遮蔽膜190を配置する。
図19の回路図を参照し、第4実施形態のタッチパネル20の動作原理を説明する。尚、タッチパネル20については図16を参照する。前述のごとく図16において符号210がフォトセンサ200となる。
ゲート線GLにゲート信号が印加されると、選択TFT114が駆動し、液晶の駆動によりボタン102が表示される。またゲート信号によりフォトセンサ200も駆動する。表示画素30により表示されるボタン102が選択されていない場合、フォトセンサ200内のフォトトランジスタに外光が照射され、フォトカレントが発生する。これにより、外光の光量に応じた電荷がフォトトランジスタから放電し、図5(A)の実線aで示す如くノードn1の基準電位(VDD電位)が降下していく。
第2スイッチングトランジスタ202はpチャネル型TFTであり、ノードn1の電位が降下して閾値電圧VTH以下になると、第2スイッチングトランジスタ202が導通する。
出力電圧Voutは、第1電源端子T1と第2電源端子T2の電位差を、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値と抵抗体203の抵抗分圧で出力する。つまり、第2スイッチングトランジスタ202の導通により、ノードn2は第1電源端子T1に近い電位となる。従って、電源電位VDDに近い出力電圧Vout(Hレベル)が出力される。
一方、ボタン102の選択によりフォトセンサ200に入射する外光が遮断されると、ノードn1の電位降下が抑制され、第2スイッチングトランジスタ202が導通しない。第2スイッチングトランジスタ202が導通しない場合は、第2スイッチングトランジスタ202の抵抗値が、抵抗体203の抵抗値より十分大きく、ノードn2は第2電源端子T2により近い電位となる。従って、電源電位VDDに近い出力電圧Vout(Hレベル)がセンスデータ線SLから出力される。センスデータ線SLは外部集積回路と接続し、光量が変化した画素を特定する。
尚、フォトトランジスタ3、205のゲート電極と半導体層の積層順は、検知する光に対してTFTの半導体層が光を受ける側になっていれば良い。つまり、図16(A)の場合、外光が対向基板111側から入射するので、半導体層が上層(対向基板111側)でゲート電極が下層(基板10側)であるボトムゲート構造が良い。一方、図16(B)の場合、外光が基板10側から入射するので、半導体層が下層(基板10側)でゲート電極が上層(対向基板111側)であるトップゲート構造が良い。

本発明の第1実施形態のタッチパネルを説明するための(A)平面図、(B)断面図、(C)分解斜視図である。 本発明の第1実施形態のタッチパネルを説明するための回路図である。 本発明の第1実施形態のタッチパネルを説明するための断面図である。 本発明の第1実施形態のタッチパネルを説明するための(A)平面図、(B)断面図である。 本発明の第1実施形態のタッチパネルを説明するためのタイミングチャートである。 本発明の第2実施形態のタッチパネルを示す(A)平面図、(B)断面図、(C)概要図である。 本発明の第2実施形態の(A)表示画素を説明する回路図、(B)フォトトランジスタの平面図、(C)フォトトランジスタの断面図である。 本発明の第2実施形態の表示画素の一部断面図である。 本発明の第2実施形態のフォトセンサを説明する回路図である。 本発明の第2実施形態のフォトセンサを説明する特性図である。 本発明の第2実施形態のフォトセンサを説明する特性図である。 本発明の第2実施形態のフォトセンサを説明する回路図である。 本発明の第2実施形態のフォトセンサを説明する回路図である。 本発明の第2実施形態のタッチパネルを示す(A)平面図、(B)断面図である。 本発明の第2実施形態のフォトトランジスタを説明する(A)平面図、(B)概念図である。 本発明の第3および第4実施形態のタッチパネル説明する断面図である。 本発明の第3実施形態の表示画素を説明する回路図である。 本発明の第3および第4実施形態のタッチパネル説明する(A)平面図、(B)断面図である。 本発明の第4実施形態の表示画素を説明する回路図である。 従来のタッチパネルを説明する(A)平面図、(B)断面図、(C)平面図である。
符号の説明
2、4 選択TFT
3、205 フォトトランジスタ
5、115 保持コンデンサ
6、116 駆動TFT
7 有機EL素子
10 基板
11 対向基板
12 ゲート絶縁膜
13 シール剤
14 バッファ層
15 層間絶縁膜
17 平坦化膜
20 タッチパネル
21 表示部
23 垂直方向駆動回路
22 水平方向駆動回路
24 絶縁膜
30 表示画素
41、61、101、121、131 ゲート電極
43、63、103、123、133 半導体層
43c、63c、123c、133c チャネル
43s、63s、123s、133s ソース
43d、63d、123d、133d、 ドレイン
66、106 ドレイン電極
68、108 ソース電極
71 陽極
72 ホール輸送層
73 発光層
74 電子輸送層
76 EL層
75 陰極
78 保護膜
80 リセットTFT
91 保持コンデンサ
102 ボタン
103LD LDD領域
111 対向基板
112 カラーフィルター
117 液晶層
118 表示電極
119 対向電極
150 フレームメモリ
160 比較器
170 バックライト
180、181 発光回路
190 遮蔽膜
200、210 フォトセンサ
201 第1スイッチングトランジスタ
202 第2スイッチングトランジスタ
203 抵抗体
204 容量
205 フォトトランジスタ
300 タッチパネル
301 基板
302 表示面
303 発光手段
304 受光手段
OL データ出力線
DL ドレイン線
SL センスデータ線
SR1、SR2・・ シフトレジスタ
SW1、SW2・・ スイッチ
COMP 比較器
CV 第2電源線
PV 第1電源線
RST0、・・・ リセット線
R、G、B データ信号線
GL、GL0、GL1・・・ ゲート線
RL データ線
n1、n2、n90 ノード

Claims (17)

  1. 基板と、
    前記基板上に設けられ、発光回路を有する表示画素と、
    前記基板上にマトリクス状に複数の前記表示画素を配置した表示部と、
    前記表示部内に設けた複数の受光回路と、
    前記発光回路および前記受光回路を駆動する水平方向駆動回路および垂直方向駆動回路と、
    前記駆動回路に接続し、前記受光回路の出力値と所定の基準値とを比較する比較手段とを具備することを特徴とするタッチパネル。
  2. 基板と、
    前記基板上に設けられ、発光回路を有する表示画素と、
    前記基板上にマトリクス状に配置されたデータ出力線およびゲート線と、
    前記基板上で、複数の前記表示画素を前記データ出力線およびゲート線の交点付近に接続した表示部と、
    前記データ出力線およびゲート線の交点付近に接続し前記表示部内に設けられた複数の受光回路と、
    前記データ出力線を順次選択する水平方向駆動回路と、
    前記ゲート線に走査信号を送る垂直方向駆動回路と、
    前記水平方向駆動回路に接続し前記受光回路の出力値と所定の基準値とを比較する比較手段とを具備することを特徴とするタッチパネル。
  3. 前記表示画素は、画素電極と、発光層と、共通電極と、前記画素電極に接続する駆動トランジスタと、該駆動トランジスタに接続する選択トランジスタを含む発光回路を有することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  4. 前記表示画素は、画素電極と、液晶層と、共通電極と、該画素電極に接続する選択トランジスタを含む発光回路を有することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  5. 前記受光回路は、ゲート電極と、絶縁膜と、半導体層を積層し、該半導体層にチャネルおよび該チャネルの両側に不純物をドープしたソースおよびドレインを形成したフォトトランジスタと、該フォトトランジスタに接続する他の選択トランジスタとからなること特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  6. 前記比較手段は、1つの前記表示部に対して少なくとも1つ設けられることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  7. 前記受光回路は、該受光回路が隣接する前記発光回路の駆動と同時に駆動することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  8. 前記受光回路は、前記水平方向駆動回路および垂直方向駆動回路に接続することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  9. 前記受光回路は、複数の前記発光回路に対して少なくとも1つ設けることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  10. 基板上にマトリクス状に配置されたドレイン線およびゲート線と、
    発光回路を有する表示画素と、
    前記ドレイン線およびゲート線の交点付近に複数の前記表示画素を接続した表示部と、
    少なくとも一部の前記表示画素内に設けられ、薄膜トランジスタを有する受光回路とを具備し、
    前記受光回路で検知した外光量により入力座標を特定することを特徴とするタッチパネル。
  11. 基板上にマトリクス状に配置されたドレイン線およびゲート線と、
    駆動トランジスタおよび選択トランジスタおよび有機EL素子を含む発光回路を有する表示画素と、
    前記ドレイン線およびゲート線の交点付近に複数の前記表示画素を接続した表示部と、
    少なくとも一部の前記表示画素内に設けられた受光回路とを具備し、
    前記受光回路は、前記ゲート線および前記駆動トランジスタに接続する複数の薄膜トランジスタを少なくとも有し受光感度を調整可能な受光回路で構成され、該受光回路で検知した外光量により入力座標を特定することを特徴とするタッチパネル。
  12. 前記受光回路は、基板上にゲート電極と、絶縁膜と半導体層を積層し、該半導体層に設けられたチャネルと、該チャネルの両側に設けられたソースおよびドレインとを有し受光した光を電気信号に変換するフォトトランジスタと、
    第1および第2スイッチングトランジスタと、抵抗体と、容量を備え、
    前記表示画素に接続する第1電源線および第2電源線間に前記第1スイッチングトランジスタおよびフォトトランジスタを直列接続し、前記第1電源線と前記第2電源線間に前記第2スイッチングトランジスタと前記抵抗体を直列接続し、前記容量の一端は第1接続点より前記第2スイッチングトランジスタの制御端子に接続し、他端は前記第1電源線と接続し、前記抵抗体の抵抗値により前記受光感度を調整することを特徴とする請求項10または請求項11に記載のタッチパネル。
  13. 前記半導体層は、前記ソースと前記チャネル間または前記ドレインと前記チャネル間の接合領域で光を直接受光し、フォトカレントを発生させることを特徴とする請求項12に記載のタッチパネル。
  14. 前記半導体層の前記ソースと前記チャネル間または前記ドレインと前記チャネル間に低濃度不純物領域を設けることを特徴とする請求項12に記載のタッチパネル。
  15. 前記低濃度不純物領域は、入射光により発生したフォトカレントを出力する側に設けることを特徴とする請求項14に記載のタッチパネル。
  16. 前記発光回路は、画素電極と、液晶層と、共通電極と、該画素電極に接続する選択トランジスタを含むことを特徴とする請求項10に記載のタッチパネル。
  17. 前記液晶層の光源部を有し、該光源部と前記受光回路の間に遮光膜を配置することを特徴とする請求項16に記載のタッチパネル。
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