JP2006074749A - Antenna duplexer, and rf module and communication apparatus using the same - Google Patents

Antenna duplexer, and rf module and communication apparatus using the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an antenna duplexer which is directly connected to a semiconductor device having a balanced terminal. <P>SOLUTION: Either one of a transmission terminal Tx connected to a transmission filter 101 and a receiving terminal Rx connected to a receiving filter 103 is a balanced type terminal, and the other is an unbalanced type terminal. The transmission filter 101 and the receiving filter 103 include surface acoustic wave resonators or film bulk acoustic resonators. The balanced type terminal is connected to a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter 700. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、アンテナ共用器に関し、より特定的には、送信フィルタと受信フィルタとを備えるアンテナ共用器に関する。また、本発明は、アンテナ共用器を用いた高周波モジュールおよび通信機器に関する。   The present invention relates to an antenna duplexer, and more particularly to an antenna duplexer including a transmission filter and a reception filter. The present invention also relates to a high-frequency module and communication equipment using an antenna duplexer.

近年、移動体通信の発展に伴い、使用されるデバイスの高性能化、小型化が期待されている。アンテナ共用器に関しても、弾性表面波フィルタ(Surface Acoustic Wave filter:SAWフィルタ)や薄膜音響共振器(Film Bulk Acoustic Resonator:FBAR)を用いたフィルタによって、小型化が進んでいる。また、半導体デバイスにおいては、デバイス間のクロストークなどに対する雑音特性の良好化を目的として、ミキサーや低雑音アンプなどのデバイスの平衡化が進んでいる。これらの半導体デバイスに接続されるアンテナ共用器に関しても、平衡化が必要となってきている。   In recent years, with the development of mobile communication, higher performance and smaller size of devices used are expected. As for the antenna duplexer, miniaturization is progressing by a filter using a surface acoustic wave filter (SAW filter) or a thin film acoustic resonator (FBAR). In semiconductor devices, devices such as mixers and low noise amplifiers have been balanced for the purpose of improving noise characteristics against crosstalk between devices. The antenna duplexer connected to these semiconductor devices is also required to be balanced.

図15は、特許文献1に記載されているアンテナ共用器の構成を示す図である。図15に示すように、従来のアンテナ共用器として、FBARの梯子型回路によって構成される帯域通過フィルタを用いるものがあった。従来のアンテナ共用器10は、アンテナ端子11と、送信端子12と、受信端子13と、送信フィルタ14と、移相器15と、受信フィルタ16とを備える。アンテナ端子11は、送信フィルタ14を介して送信端子12に接続されると共に、直列構成をなす90°移相器15および受信フィルタ16を介して受信端子13に接続される。送信フィルタ14は、梯子型回路を形成するように接続された直列FBAR14a、14b、14cと、並列FBAR14d、14eとによって構成されている。受信フィルタ16は、梯子型回路を形成するように接続された直列FBAR16a、16b、16cと、並列FBAR16d、16e、16f、16gとによって構成されている。   FIG. 15 is a diagram illustrating a configuration of the antenna duplexer described in Patent Document 1. In FIG. As shown in FIG. 15, there is a conventional antenna duplexer that uses a band-pass filter constituted by an FBAR ladder circuit. The conventional antenna duplexer 10 includes an antenna terminal 11, a transmission terminal 12, a reception terminal 13, a transmission filter 14, a phase shifter 15, and a reception filter 16. The antenna terminal 11 is connected to the transmission terminal 12 via a transmission filter 14 and is connected to the reception terminal 13 via a 90 ° phase shifter 15 and a reception filter 16 that form a series configuration. The transmission filter 14 includes serial FBARs 14a, 14b, and 14c connected in a ladder-like circuit, and parallel FBARs 14d and 14e. The reception filter 16 includes serial FBARs 16a, 16b, and 16c that are connected so as to form a ladder circuit, and parallel FBARs 16d, 16e, 16f, and 16g.

例えば、PCS(Personal Communication System)の場合、送信フィルタ14の高周波阻止帯域が受信フィルタ16の通過帯域と重なり、受信フィルタ16の低域周波数阻止帯域が送信フィルタ14の通過帯域に重なるように、送信フィルタ14および受信フィルタ16は、構成されている。   For example, in the case of PCS (Personal Communication System), transmission is performed so that the high frequency stop band of the transmission filter 14 overlaps the pass band of the reception filter 16 and the low frequency stop band of the reception filter 16 overlaps the pass band of the transmission filter 14. The filter 14 and the reception filter 16 are configured.

図16は、特許文献2に記載されているアンテナ共用器の構成を示す図である。図16に示すように、従来のアンテナ共用器として、SAW共振器の梯子型回路によって構成される帯域通過フィルタを用いるものがあった。従来のアンテナ共用器20は、アンテナ端子11と、送信端子12と、受信端子13と、送信フィルタ21と、移相器15と、受信フィルタ22とを備える。アンテナ端子11は、送信フィルタ21を介して送信端子12に接続されると共に、直列構成をなす90°移相器15および受信フィルタ22を介して受信端子13に接続される。送信フィルタ21は、梯子型回路を形成するように接続された直列SAW共振器21a、21b、21cと、並列SAW共振器21d、21eとによって構成されている。受信フィルタ22は、受信端子13に並列に接続されたSAW共振器22a、22bによって構成されている。   FIG. 16 is a diagram illustrating a configuration of the antenna duplexer described in Patent Document 2. In FIG. As shown in FIG. 16, there is a conventional antenna duplexer that uses a band-pass filter constituted by a ladder circuit of a SAW resonator. The conventional antenna duplexer 20 includes an antenna terminal 11, a transmission terminal 12, a reception terminal 13, a transmission filter 21, a phase shifter 15, and a reception filter 22. The antenna terminal 11 is connected to the transmission terminal 12 via a transmission filter 21 and is connected to the reception terminal 13 via a 90 ° phase shifter 15 and a reception filter 22 that form a series configuration. The transmission filter 21 includes serial SAW resonators 21a, 21b, and 21c and parallel SAW resonators 21d and 21e that are connected so as to form a ladder circuit. The reception filter 22 includes SAW resonators 22 a and 22 b connected in parallel to the reception terminal 13.

例えば、PCS(Personal Communication System)の場合、送信フィルタ21の高周波阻止帯域が受信フィルタ22の通過帯域と重なり、受信フィルタ22の低域周波数阻止帯域が送信フィルタ21の通過帯域に重なるように、送信フィルタ21および受信フィルタ22は、構成されている。
特開2001−24476号公報 特開2003−249842号公報
For example, in the case of PCS (Personal Communication System), transmission is performed so that the high frequency stop band of the transmission filter 21 overlaps the pass band of the reception filter 22, and the low frequency stop band of the reception filter 22 overlaps the pass band of the transmission filter 21. The filter 21 and the reception filter 22 are configured.
JP 2001-24476 A JP 2003-249842 A

上記のように、従来のアンテナ共用器は、FBARの梯子型回路またはSAW共振器によって構成されている。しかし、従来のアンテナ共用器における送信端子および受信端子は、それぞれ、不平衡型である。そのため、平衡型端子を有する半導体デバイス等を、直接アンテナ共用器に接続することができなかった。また、従来のアンテナ共用器は、不平衡型端子によって構成されているので、クロストークなどの雑音の影響によって、特性が劣化してしまう。   As described above, the conventional antenna duplexer is configured by an FBAR ladder circuit or a SAW resonator. However, the transmission terminal and the reception terminal in the conventional antenna duplexer are each unbalanced. Therefore, a semiconductor device having a balanced terminal cannot be directly connected to the antenna duplexer. In addition, since the conventional antenna duplexer is composed of unbalanced terminals, the characteristics deteriorate due to the influence of noise such as crosstalk.

それゆえ、本発明の目的は、平衡型端子を有する半導体デバイスに直接接続することができるアンテナ共用器を提供することである。また、本発明の他の目的は、そのようなアンテナ共用器を用いた高周波モジュールおよび通信機器を提供することである。   Therefore, an object of the present invention is to provide an antenna duplexer that can be directly connected to a semiconductor device having a balanced terminal. Another object of the present invention is to provide a high-frequency module and a communication device using such an antenna duplexer.

上記課題を解決するために、本発明は、以下のような特徴を有する。本発明は、アンテナ端子と、送信端子と、受信端子と、アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと、アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとを備えるアンテナ共用器であって、送信フィルタに接続される送信端子および受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、送信フィルタおよび受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されている。   In order to solve the above problems, the present invention has the following features. The present invention includes an antenna terminal, a transmission terminal, a reception terminal, a transmission filter disposed between the antenna terminal and the transmission terminal, and a reception filter disposed between the antenna terminal and the reception terminal. A duplexer, one of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter is a balanced terminal, the other terminal is an unbalanced terminal, and the transmission filter and The reception filter includes a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator, and a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal.

本発明によれば、送信フィルタに接続される送信端子および受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子である。したがって、平衡型端子を有する半導体デバイスに、バランなどを用いることなく直接接続することができるアンテナ共用器が提供されることとなる。結果、アンテナ共用器が適用される装置全体が小型化する。平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されている。これによって、効率的な平衡−不平衡変換が可能となる。   According to the present invention, one of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter is a balanced terminal, and the other terminal is an unbalanced terminal. Therefore, an antenna duplexer that can be directly connected to a semiconductor device having a balanced terminal without using a balun or the like is provided. As a result, the entire apparatus to which the antenna duplexer is applied is downsized. A longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal. This enables efficient balanced-unbalanced conversion.

好ましくは、送信フィルタおよび受信フィルタの内、不平衡型端子側のフィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を用いた梯子型フィルタであるとよい。   Preferably, among the transmission filter and the reception filter, the unbalanced terminal side filter may be a ladder filter using a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator.

このように、梯子型フィルタを不平衡型端子側のフィルタに用いることによって、低損失なフィルタ特性を得ることができ、所望の周波数応答を容易に得ることができる。   In this way, by using the ladder filter as a filter on the unbalanced terminal side, low-loss filter characteristics can be obtained, and a desired frequency response can be easily obtained.

好ましくは、送信フィルタおよび受信フィルタの内、平衡型端子側のフィルタは、縦モード結合型の弾性表面波フィルタとアンテナ端子との間に、少なくとも一つの弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を直列に接続しているとよい。   Preferably, among the transmission filter and the reception filter, the balanced terminal side filter includes at least one surface acoustic wave resonator or acoustic thin film resonator between the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter and the antenna terminal. It is good to connect in series.

縦モード結合型のSAWフィルタは、多モード結合によってフィルタ特性を有するので、少なくとも一つの弾性表面波共振器または音響薄膜共振器が、縦モード結合型の弾性表面波フィルタとアンテナ端子との間に接続されていれば、所望のフィルタ特性を得ることができる。   The longitudinal mode coupled SAW filter has filter characteristics due to multi-mode coupling, so that at least one surface acoustic wave resonator or acoustic thin film resonator is interposed between the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter and the antenna terminal. If connected, desired filter characteristics can be obtained.

好ましくは、送信フィルタおよび受信フィルタの内、平衡型端子側のフィルタは、縦モード結合型の弾性表面波フィルタとアンテナ端子との間に、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器によって構成される梯子型フィルタを有するとよい。   Preferably, of the transmission filter and the reception filter, the balanced terminal side filter is configured by a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator between the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter and the antenna terminal. A ladder filter may be provided.

これにより、より所望のフィルタ特性を得ることができる。   Thereby, more desired filter characteristics can be obtained.

好ましくは、送信フィルタとアンテナ端子との間の部分、または、受信フィルタとアンテナ端子との間の部分の少なくともどちらか一方の部分に、送信フィルタまたは受信フィルタのインピーダンスの位相を調整するための移相器をさらに備えるとよい。   Preferably, at least one of the part between the transmission filter and the antenna terminal or the part between the reception filter and the antenna terminal is moved to adjust the phase of the impedance of the transmission filter or the reception filter. It is good to further provide a phaser.

これにより、信号の回り込みを防止することができる。   As a result, signal wraparound can be prevented.

たとえば、移相器は、ストリップ線路または集中定数素子によって構成されているとよい。   For example, the phase shifter may be constituted by a strip line or a lumped constant element.

これにより、移相器が接続されるフィルタの位相の調整が実現される。   Thereby, adjustment of the phase of the filter to which the phase shifter is connected is realized.

好ましくは、送信フィルタおよび受信フィルタの内、アンテナ端子側に移相器が接続されているフィルタは、移相器に接続される音響薄膜共振器を含むとよい。   Preferably, the filter in which the phase shifter is connected to the antenna terminal side among the transmission filter and the reception filter may include an acoustic thin film resonator connected to the phase shifter.

このように、音響薄膜共振器が移相器に直列に接続されることによって、移相器での高出力の信号の回り込みに対する耐圧を向上させることができる。   Thus, by connecting the acoustic thin film resonator in series with the phase shifter, it is possible to improve the withstand voltage against the wraparound of the high output signal in the phase shifter.

好ましくは、移相器と移相器に接続される音響薄膜共振器とは、同一基板上に形成されているとよい。   Preferably, the phase shifter and the acoustic thin film resonator connected to the phase shifter may be formed on the same substrate.

これにより、移相器の低損失化が実現され、さらに、信号の回り込みに対する耐圧が向上することとなる。   As a result, the loss of the phase shifter is reduced, and the withstand voltage against signal sneak is improved.

一実施形態において、送信フィルタの送信端子は、不平衡型端子であるとよい。   In one embodiment, the transmission terminal of the transmission filter may be an unbalanced terminal.

これにより、平衡型端子を用いることの多い受信側の低雑音増幅器を当該アンテナ共用器の平衡型端子に接続することができる。また、受信側を平衡型端子とすることによって、対雑音特性が向上することとなる。   As a result, a low-noise amplifier on the receiving side, which often uses a balanced terminal, can be connected to the balanced terminal of the antenna duplexer. Further, by making the receiving side a balanced terminal, the anti-noise characteristic is improved.

好ましくは、送信フィルタにおける不平衡型端子である送信端子には、音響薄膜共振器が接続されているとよい。   Preferably, an acoustic thin film resonator is connected to a transmission terminal which is an unbalanced terminal in the transmission filter.

これにより、送信端子に接続されるパワーアンプからの高出力の送信信号に対して、耐電力性が向上する。   As a result, power resistance is improved with respect to a high-output transmission signal from the power amplifier connected to the transmission terminal.

好ましくは、送信フィルタは、梯子型フィルタであり、梯子型フィルタの直列共振器は、音響薄膜共振器であるとよい。   Preferably, the transmission filter is a ladder filter, and the series resonator of the ladder filter is an acoustic thin film resonator.

これにより、アンテナ端子側から見た送信フィルタのインピーダンスの位相がオープンに近づくこととなるので、受信信号の送信側への漏れの低減、さらには、送信側の位相回路を簡略化、あるいは送信側の位相回路の省略を実現することができる。   As a result, the phase of the impedance of the transmission filter viewed from the antenna terminal side becomes closer to open, so that leakage of the received signal to the transmission side is reduced, and further, the phase circuit on the transmission side is simplified, or the transmission side The omission of the phase circuit can be realized.

好ましくは、梯子型フィルタの並列共振器は、音響薄膜共振器であるとよい。   Preferably, the parallel resonator of the ladder filter is an acoustic thin film resonator.

このように、送信フィルタにおいて、音響薄膜共振器で構成される梯子型フィルタを用いることによって、所望のフィルタ特性が得やすくなる。   Thus, it becomes easy to obtain a desired filter characteristic by using the ladder type filter comprised with an acoustic thin film resonator in a transmission filter.

好ましくは、受信フィルタにおいて、縦モード結合型の弾性表面波フィルタ以外の弾性波共振器は、音響薄膜共振器であるとよい。   Preferably, in the receiving filter, the acoustic wave resonator other than the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter may be an acoustic thin film resonator.

これにより、受信フィルタにおいて、所望のフィルタ特性が得やすくなる。   This makes it easier to obtain desired filter characteristics in the reception filter.

好ましくは、送信フィルタと受信フィルタとは、同一の実装基板上に実装されているとよい。   Preferably, the transmission filter and the reception filter are mounted on the same mounting board.

これにより、アンテナ共用器の小型化が図られることとなる。   Thereby, size reduction of an antenna sharing device will be achieved.

一実施形態において、送信フィルタおよび/または受信フィルタは、実装基板上にフェースダウン実装されているとよい。   In one embodiment, the transmission filter and / or the reception filter may be face-down mounted on a mounting substrate.

これにより、低背なアンテナ共用器が提供される。   Thereby, a low-profile antenna duplexer is provided.

好ましくは、送信フィルタの厚みと、受信フィルタの厚みとが実質上等しいとよい。   Preferably, the thickness of the transmission filter and the thickness of the reception filter are substantially equal.

これにより、実装時におけるピックアップツールへの吸着が可能となる   This makes it possible to attract the pickup tool during mounting.

一実施形態において、送信フィルタおよび受信フィルタは、樹脂モールドされているとよい。   In one embodiment, the transmission filter and the reception filter may be resin molded.

これにより、アンテナ共用器の上部を平らにすることができる。   Thereby, the upper part of an antenna sharing device can be made flat.

好ましくは、樹脂モールドされている上面は、実質上平らであるとよい。   Preferably, the resin-molded upper surface is substantially flat.

これにより、実装時におけるピックアップツールへの吸着が可能となる   This makes it possible to attract the pickup tool during mounting.

また、本発明は、アンテナ共用器と半導体デバイスとを同一の実装基板上に実装している高周波モジュールであって、アンテナ共用器は、アンテナ端子と、送信端子と、受信端子と、アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと、アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとを備え、送信フィルタに接続される送信端子および受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、送信フィルタおよび受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されている。   The present invention is a high-frequency module in which the antenna duplexer and the semiconductor device are mounted on the same mounting substrate, and the antenna duplexer includes an antenna terminal, a transmission terminal, a reception terminal, and an antenna terminal. A transmission filter disposed between the transmission terminal and a reception filter disposed between the antenna terminal and the reception terminal, the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter One terminal is a balanced terminal, the other terminal is an unbalanced terminal, and the transmission filter and the reception filter include a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator. A longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected.

これによって、優れた特性を有する小型な高周波デバイスが提供されることとなる。   As a result, a small high-frequency device having excellent characteristics is provided.

たとえば、半導体デバイスは、低雑音増幅器である。   For example, the semiconductor device is a low noise amplifier.

これにより、受信特性の優れた高周波デバイスが提供されることとなる。   As a result, a high frequency device having excellent reception characteristics is provided.

たとえば、半導体デバイスは、スイッチである。   For example, the semiconductor device is a switch.

これにより、マルチモードまたはマルチバンドに対応することができるアンテナ共用器を含む高周波デバイスが提供されることとなる。   As a result, a high-frequency device including an antenna duplexer that can support multimode or multiband is provided.

また、本発明は、アンテナ共用器を備える通信機器であって、アンテナ共用器は、アンテナ端子と、送信端子と、受信端子と、アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと、アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとを備え、送信フィルタに接続される送信端子および受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、送信フィルタおよび受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されている。   Further, the present invention is a communication device including an antenna duplexer, the antenna duplexer is an antenna terminal, a transmission terminal, a reception terminal, a transmission filter disposed between the antenna terminal and the transmission terminal, A reception filter disposed between the antenna terminal and the reception terminal, and one of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter is a balanced terminal, and the other The terminal is an unbalanced terminal, and the transmission filter and the reception filter include a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator. A longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal. ing.

これによって、受信特性および送信特性に優れた小型な通信機器が提供されることとなる。   As a result, a small communication device having excellent reception characteristics and transmission characteristics is provided.

以上のように、本発明によれば、平衡型端子を有する高周波デバイスに直接接続することができるアンテナ共用器が提供されることとなる。また、そのようなアンテナ共用器を用いた高周波モジュールおよび通信機器が提供されることとなる。   As described above, according to the present invention, an antenna duplexer that can be directly connected to a high-frequency device having a balanced terminal is provided. In addition, a high-frequency module and a communication device using such an antenna duplexer will be provided.

本発明のこれらおよび他の目的、特徴、局面、効果は、添付図面と照合して、以下の詳細な説明から一層明らかになるであろう。   These and other objects, features, aspects and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description when taken in conjunction with the accompanying drawings.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1Aは、本発明の第1の実施形態におけるアンテナ共用器100の構成を示すブロック図である。図1Aにおいて、アンテナ共用器100は、アンテナ端子ANTと、送信端子Txと、受信端子Rxと、送信フィルタ101と、移相器102と、受信フィルタ103とを備える。アンテナ端子ANTは、不平衡型端子である。受信端子Rxは、平衡型端子である。送信端子Txは不平衡型端子である。アンテナ端子ANTは、送信フィルタ101を介して送信端子Txに接続されている。また、アンテナ端子ANTは、移相器102および受信フィルタ103を介して、受信端子Rxに接続されている。受信フィルタ103は、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタである。これにより、不平衡型端子であるアンテナ端子ANTからの受信入力信号(不平衡信号)は、平衡信号(差動モード信号:differential mode signal)として受信端子Rxに伝えられる。
(First embodiment)
FIG. 1A is a block diagram illustrating a configuration of the antenna duplexer 100 according to the first embodiment of the present invention. 1A, the antenna duplexer 100 includes an antenna terminal ANT, a transmission terminal Tx, a reception terminal Rx, a transmission filter 101, a phase shifter 102, and a reception filter 103. The antenna terminal ANT is an unbalanced terminal. The reception terminal Rx is a balanced terminal. The transmission terminal Tx is an unbalanced terminal. The antenna terminal ANT is connected to the transmission terminal Tx via the transmission filter 101. The antenna terminal ANT is connected to the reception terminal Rx via the phase shifter 102 and the reception filter 103. The reception filter 103 is a filter having a balanced-unbalanced conversion function. Thereby, the reception input signal (unbalanced signal) from the antenna terminal ANT which is an unbalanced terminal is transmitted to the reception terminal Rx as a balanced signal (differential mode signal).

このように、アンテナ共用器100は、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタを用いることによって、平衡型端子Rxを実現する。アンテナ共用器100は、バランなどの平衡−不平衡変換器を介することなく、低雑音増幅器などの平衡型の半導体デバイス(図示せず)に、直接接続することができる。   Thus, the antenna duplexer 100 realizes the balanced terminal Rx by using a filter having a balanced-unbalanced conversion function. The antenna duplexer 100 can be directly connected to a balanced semiconductor device (not shown) such as a low-noise amplifier without using a balanced-unbalanced converter such as a balun.

図1Bは、アンテナ共用器100の具体的な回路構成を示す図である。図1Bにおいて、送信フィルタ101は、梯子型に接続された直列FBAR201,202,203および並列FBAR204,205を含む。受信フィルタ103は、梯子型に接続された直列FBAR401,402および並列FBAR403と、直列FBAR402と受信端子Rxとの間に接続された縦モード結合型の弾性表面波フィルタ(以下、SAWフィルタという)700とを含む。   FIG. 1B is a diagram illustrating a specific circuit configuration of the antenna duplexer 100. In FIG. 1B, the transmission filter 101 includes serial FBARs 201, 202, 203 and parallel FBARs 204, 205 connected in a ladder shape. The reception filter 103 includes series FBARs 401 and 402 and parallel FBARs 403 connected in a ladder form, and a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter (hereinafter referred to as a SAW filter) 700 connected between the series FBAR 402 and the reception terminal Rx. Including.

移相器102は、送信信号が受信フィルタ103に回り込むのを防ぐために、受信フィルタ103のインピーダンスの位相を調整するための素子である。移相器102は、ストリップ線路または集中定数素子によって構成されている。   The phase shifter 102 is an element for adjusting the impedance phase of the reception filter 103 in order to prevent the transmission signal from entering the reception filter 103. The phase shifter 102 is configured by a strip line or a lumped element.

図1Bに示すように、平衡型端子(ここでは、受信端子Rx)には、縦モード結合型のSAWフィルタ700が接続されている。このように、縦モード結合型のSAWフィルタを用いることによって、効率的に、不平衡信号を平衡信号に変換することが可能となる。   As shown in FIG. 1B, a longitudinal mode coupled SAW filter 700 is connected to a balanced terminal (in this case, the receiving terminal Rx). As described above, by using the longitudinal mode coupled SAW filter, it is possible to efficiently convert an unbalanced signal into a balanced signal.

なお、図1Aおよび図1Bでは、受信フィルタ103が平衡−不平衡変換機能を有するフィルタとしている。しかし、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタは、送信側にあってもよい。図1Cは、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタが送信側にある場合のアンテナ共用器100aの構成を示すブロック図である。図1Cにおいて、アンテナ共用器100aは、アンテナ端子ANTと、送信端子Txと、受信端子Rxと、送信フィルタ101aと、移相器102aと、受信フィルタ103aとを備える。アンテナ端子ANTは、不平衡型端子である。受信端子Rxは、不平衡型端子である。送信端子Txは、平衡型端子である。アンテナ端子ANTは、送信フィルタ101aを介して送信端子Txに接続されている。また、アンテナ端子ANTは、移相器102aおよび受信フィルタ103aを介して、受信端子Rxに接続されている。送信フィルタ101aは、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタである。これにより、平衡型端子である送信端子Txからの平衡信号は、不平衡信号に変換され、アンテナ端子ANTから出力される。   In FIGS. 1A and 1B, the reception filter 103 is a filter having a balance-unbalance conversion function. However, the filter having the balanced-unbalanced conversion function may be on the transmission side. FIG. 1C is a block diagram illustrating a configuration of the antenna duplexer 100a when a filter having a balanced-unbalanced conversion function is on the transmission side. 1C, the antenna duplexer 100a includes an antenna terminal ANT, a transmission terminal Tx, a reception terminal Rx, a transmission filter 101a, a phase shifter 102a, and a reception filter 103a. The antenna terminal ANT is an unbalanced terminal. The receiving terminal Rx is an unbalanced terminal. The transmission terminal Tx is a balanced terminal. The antenna terminal ANT is connected to the transmission terminal Tx via the transmission filter 101a. The antenna terminal ANT is connected to the reception terminal Rx via the phase shifter 102a and the reception filter 103a. The transmission filter 101a is a filter having a balanced-unbalanced conversion function. Thereby, the balanced signal from the transmission terminal Tx which is a balanced terminal is converted into an unbalanced signal and output from the antenna terminal ANT.

このように、アンテナ共用器100aは、平衡−不平衡変換機能を有するフィルタを用いることによって、平衡型端子Txを実現する。アンテナ共用器100aは、バランなどの平衡−不平衡変換器を介することなく、パワーアンプなどの平衡型の半導体デバイス(図示せず)に、直接接続することができる。   Thus, the antenna duplexer 100a realizes the balanced terminal Tx by using a filter having a balanced-unbalanced conversion function. The antenna duplexer 100a can be directly connected to a balanced semiconductor device (not shown) such as a power amplifier without using a balanced-unbalanced converter such as a balun.

図1Dは、アンテナ共用器100aの具体的な回路構成を示す図である。図1Dにおいて、受信フィルタ103aは、梯子型に接続された直列FBAR201a,202a,203aおよび並列FBAR204a,205aを含む。送信フィルタ101aは、梯子型に接続された直列FBAR401a,402aおよび並列FBAR403aと、直列FBAR402aと送信端子Txとの間に接続された縦モード結合型のSAWフィルタ700aとを含む。   FIG. 1D is a diagram illustrating a specific circuit configuration of the antenna duplexer 100a. In FIG. 1D, the reception filter 103a includes serial FBARs 201a, 202a, 203a and parallel FBARs 204a, 205a connected in a ladder shape. The transmission filter 101a includes serial FBARs 401a and 402a and a parallel FBAR 403a connected in a ladder shape, and a longitudinal mode coupled SAW filter 700a connected between the serial FBAR 402a and the transmission terminal Tx.

移相器102aは、送信信号が受信フィルタ103aに回り込むのを防ぐために、受信フィルタ103aのインピーダンスの位相を調整するための素子である。移相器102aは、ストリップ線路または集中定数素子によって構成されている。   The phase shifter 102a is an element for adjusting the phase of the impedance of the reception filter 103a in order to prevent the transmission signal from entering the reception filter 103a. The phase shifter 102a is configured by a strip line or a lumped constant element.

図1Dに示すように、平衡型端子(ここでは、送信端子Tx)には、縦モード結合型のSAWフィルタ700aが接続されている。このように、縦モード結合型のSAWフィルタを用いることによって、効率的に、不平衡信号を平衡信号に変換することが可能となる。   As shown in FIG. 1D, a longitudinal mode coupled SAW filter 700a is connected to a balanced terminal (here, transmission terminal Tx). As described above, by using the longitudinal mode coupled SAW filter, it is possible to efficiently convert an unbalanced signal into a balanced signal.

上記のように、第1の実施形態において、送信フィルタに接続される送信端子および受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子である。平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されている。これによって、効率的な平衡−不平衡変換が可能となる。   As described above, in the first embodiment, one of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter is a balanced terminal, and the other terminal is an unbalanced terminal. It is. A longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal. This enables efficient balanced-unbalanced conversion.

図2Aは、FBARおよびSAW共振器の回路記号を示す図である。図1Bおよび図1Dでは、送信フィルタおよび受信フィルタにおいて、弾性波共振器として、FBARが用いられることとしたが、SAW共振器が用いられてもよい。   FIG. 2A is a diagram showing circuit symbols for the FBAR and SAW resonators. In FIG. 1B and FIG. 1D, the FBAR is used as the elastic wave resonator in the transmission filter and the reception filter, but a SAW resonator may be used.

図2Bは、FBARの構成を示す断面図である。図2Bにおいて、FBAR300は、基板301上に形成された下部電極302と、圧電体薄膜303と、上部電極304とを含む。下部電極302の下方の基板301内には、キャビティ305が設けられている。これにより、エネルギー閉じ込め型の共振器が実現される。ここで、上部電極304および下部電極302は、FBAR単体の入出力電極に対応する。基板301には、Siなどが用いられる。また、上部電極304および下部電極302には、Al、Mo、Au、Cu、Tiなどが用いられる。また、圧電体薄膜303には、AlN、ZnOなどが用いられる。   FIG. 2B is a cross-sectional view showing the configuration of the FBAR. In FIG. 2B, the FBAR 300 includes a lower electrode 302 formed on the substrate 301, a piezoelectric thin film 303, and an upper electrode 304. A cavity 305 is provided in the substrate 301 below the lower electrode 302. Thereby, an energy confinement type resonator is realized. Here, the upper electrode 304 and the lower electrode 302 correspond to input / output electrodes of a single FBAR. Si or the like is used for the substrate 301. For the upper electrode 304 and the lower electrode 302, Al, Mo, Au, Cu, Ti, or the like is used. For the piezoelectric thin film 303, AlN, ZnO or the like is used.

図2Cは、SAW共振器の構成を示す図である。図2Cにおいて、SAW共振器310は、圧電基板311上に形成された櫛型電極であるIDT電極312と、IDT電極312の両側に配置された反射器電極313、314とを含む。IDT電極312を構成する櫛型電極312a、312bにおける端子T1およびT2は、弾性表面波共振器単体の入出力電極に対応する。IDT電極312によって励振された表面弾性波は、反射器電極313、314によって閉じ込められる。したがって、SAW共振器310は、エネルギー閉じ込め型の共振器として実現される。圧電基板311には、LiTaO3、LiNbO3、水晶などが用いられる。また、IDT電極312、および反射器電極313、314には、Al、Ti、Cu、Al−Cuなどが用いられる。特に、送信フィルタに適用する場合には、IDT電極312には、耐電力性に優れた電極材料が用いられるとよい。 FIG. 2C is a diagram illustrating a configuration of the SAW resonator. In FIG. 2C, the SAW resonator 310 includes an IDT electrode 312 that is a comb-shaped electrode formed on the piezoelectric substrate 311, and reflector electrodes 313 and 314 disposed on both sides of the IDT electrode 312. The terminals T1 and T2 of the comb electrodes 312a and 312b constituting the IDT electrode 312 correspond to input / output electrodes of the surface acoustic wave resonator alone. The surface acoustic wave excited by the IDT electrode 312 is confined by the reflector electrodes 313 and 314. Therefore, the SAW resonator 310 is realized as an energy confinement type resonator. For the piezoelectric substrate 311, LiTaO 3 , LiNbO 3 , quartz, or the like is used. For the IDT electrode 312 and the reflector electrodes 313 and 314, Al, Ti, Cu, Al—Cu, or the like is used. In particular, when applied to a transmission filter, the IDT electrode 312 is preferably made of an electrode material having excellent power durability.

図3Aは、縦モード結合型のSAWフィルタ700または700aの回路記号を示す図である。図3Bは、縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の構成を示す図である。図3Bにおいて、縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)は、圧電基板701上に、第1、第2、第3のIDT電極702、703、704と、第1、第2の反射器電極705、706とを含む。第1のIDT電極702の上側の電極指は、平衡型端子を構成する2つの出力端子の内、一方の出力端子OUT1に接続されている。第1のIDT電極702の下側の電極指は、平衡型端子を構成する2つの出力端子の内、他方の出力端子OUT2に接続されている。ここで、入力端子INは、図1BにおけるFBAR402側(または、図1DにおけるFBAR402a側)に対応する。出力端子OUT1、OUT2は、図1Bにおける受信端子Rx側(または、図1Dにおける送信端子Tx側)に対応する。また、IDT電極703、704の電極指の一方は、不平衡型端子を構成する入力端子INに接続される。IDT電極703、704の電極指の他方は、接地される。以上の構成により、平衡−不平衡変換機能を有する縦モード結合型の弾性表面波フィルタが実現される。   FIG. 3A is a diagram showing a circuit symbol of the longitudinal mode coupled SAW filter 700 or 700a. FIG. 3B is a diagram illustrating a configuration of a longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a). In FIG. 3B, the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700 a) includes a first, second, and third IDT electrodes 702, 703, 704, and first and second reflectors on a piezoelectric substrate 701. Electrodes 705 and 706. The electrode finger on the upper side of the first IDT electrode 702 is connected to one output terminal OUT1 of the two output terminals constituting the balanced terminal. The lower electrode finger of the first IDT electrode 702 is connected to the other output terminal OUT2 of the two output terminals constituting the balanced terminal. Here, the input terminal IN corresponds to the FBAR 402 side in FIG. 1B (or the FBAR 402a side in FIG. 1D). The output terminals OUT1 and OUT2 correspond to the reception terminal Rx side in FIG. 1B (or the transmission terminal Tx side in FIG. 1D). One of the electrode fingers of the IDT electrodes 703 and 704 is connected to an input terminal IN that constitutes an unbalanced terminal. The other electrode finger of the IDT electrodes 703 and 704 is grounded. With the above configuration, a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter having a balanced-unbalanced conversion function is realized.

ここで、縦モード結合型のSAWフィルタは、表面弾性波の伝搬方向(図3Bにおける横方向)と同じ方向に発生する複数のモード(対称モードおよび反対称モード)を音響的に結合させて、重ね合わせることによって、フィルタ特性を得ることができる。このようなSAWフィルタは、縦モード結合型SAWフィルタまたはダブルモードSAW(DMS)フィルタと呼ばれる。ちなみに、伝搬方向に対して垂直に発生するモードを利用するSAWフィルタは、横モード結合型SAWフィルタと呼ばれる。第1のIDT電極702において、交差する上下の電極指から、位相が180度異なる信号が得られるので、入力不平衡端子と出力平衡端子との間でモードを結合させることによって、平衡−不平衡変換を実現することができる(詳しくは、T.Morita, Y.Watanabe, M.Tanaka and Y.Nakazawa “Wideband Low Loss Double Mode SAW Filters”, Proc.IEEE Ulterason. Symp. (1992) pp.95−104参照)。   Here, the longitudinal mode coupled SAW filter acoustically couples a plurality of modes (symmetric mode and antisymmetric mode) generated in the same direction as the surface acoustic wave propagation direction (lateral direction in FIG. 3B), By superimposing, filter characteristics can be obtained. Such a SAW filter is called a longitudinal mode coupled SAW filter or a double mode SAW (DMS) filter. Incidentally, a SAW filter using a mode generated perpendicular to the propagation direction is called a transverse mode coupled SAW filter. In the first IDT electrode 702, signals that are 180 degrees out of phase are obtained from the upper and lower electrode fingers that intersect, so that by combining modes between the input unbalanced terminal and the output balanced terminal, balanced-unbalanced is achieved. (For details, see T. Morita, Y. Watanabe, M. Tanaka and Y. Nakazawa “Wideband Low Loss Double Mode SAW Filters”, Proc. IEEE Ultrason. 95. 92 Symp.). 104).

図3Cは、縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の他の構成を示す図である。図3Cに示す縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)と図3Bに示す縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)とが違う点は、平衡型端子を構成する第1のIDT電極702が2つのIDT電極901、902に分割されている点である。   FIG. 3C is a diagram illustrating another configuration of the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a). The difference between the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a) shown in FIG. 3C and the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a) shown in FIG. 3B is that the first IDT electrode constituting the balanced terminal is used. A point 702 is divided into two IDT electrodes 901 and 902.

図3Dは、縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の他の構成を示す図である。図3Dに示す縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)と図3Bに示す縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)とが違う点は、第1のIDT電極702が不平衡型端子を構成する入力端子INに接続され、第2、第3のIDT電極703、704がそれぞれ平衡型端子を構成する出力端子OUT1、OUT2に接続される点である。   FIG. 3D is a diagram illustrating another configuration of the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a). The longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a) shown in FIG. 3D is different from the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a) shown in FIG. 3B in that the first IDT electrode 702 is an unbalanced terminal. The second and third IDT electrodes 703 and 704 are respectively connected to the output terminals OUT1 and OUT2 constituting the balanced type terminals.

図4は、図3Bに示した縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の周波数応答を示すグラフである。IDT電極の電極指間隔や交差幅、IDT電極同士の間隔、電極膜厚などを調整することによって、縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)は、所望の通過帯域801を有する帯域通過型の特性となる。   FIG. 4 is a graph showing the frequency response of the longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a) shown in FIG. 3B. The longitudinal mode coupled SAW filter 700 (or 700a) is a band pass type having a desired pass band 801 by adjusting the electrode finger interval and crossing width of IDT electrodes, the interval between IDT electrodes, the electrode film thickness, and the like. It becomes the characteristic.

図5Aは、梯子型回路のフィルタの回路図である。図5Aに示すように、梯子型回路のフィルタは、直列に接続された弾性波共振器によって構成される直列共振器と、直列共振器に並列に接続された弾性波共振器によって構成される並列共振器とを含む。   FIG. 5A is a circuit diagram of a ladder-type circuit filter. As shown in FIG. 5A, a ladder-type circuit filter includes a series resonator constituted by an elastic wave resonator connected in series and a parallel constituted by an elastic wave resonator connected in parallel to the series resonator. And a resonator.

図5Bは、図5Aに示す梯子型フィルタの特性を説明するための図である。図5Bにおいて、点線は、直列共振器および並列共振器の特性を示す図である。このように、直列共振器および並列共振器は、それぞれ、共振点および***振点を有する。このような直列共振器および並列共振器を接続することによって、図5Bの実線で示したように、帯域周波数応答が得られる。   FIG. 5B is a diagram for explaining the characteristics of the ladder filter shown in FIG. 5A. In FIG. 5B, a dotted line is a figure which shows the characteristic of a series resonator and a parallel resonator. Thus, the series resonator and the parallel resonator each have a resonance point and an antiresonance point. By connecting such a series resonator and a parallel resonator, a band frequency response is obtained as shown by the solid line in FIG. 5B.

図5Cは、直列共振器のQ値を高くしたときの梯子型フィルタの周波数特性を示す図である。図5Cに示すように、直列共振器のQ値を高くすると、高域側の減衰を急峻にすることができる。   FIG. 5C is a diagram illustrating the frequency characteristics of the ladder filter when the Q value of the series resonator is increased. As shown in FIG. 5C, when the Q value of the series resonator is increased, attenuation on the high frequency side can be made steep.

図5Dは、並列共振器のQ値を高くしたときの梯子型フィルタの周波数特性を示す図である。図5Dに示すように、並列共振器のQ値を高くすると、低域側の減衰を急峻にすることができる。   FIG. 5D is a diagram illustrating the frequency characteristics of the ladder filter when the Q value of the parallel resonator is increased. As shown in FIG. 5D, when the Q value of the parallel resonator is increased, attenuation on the low frequency side can be made steep.

このように、梯子型フィルタを用いれば、所望の周波数応答を容易に得ることができる。図5Eは、弾性波共振器としてSAW共振器を用いたときの梯子型フィルタの周波数応答を示す概念図である。図5Fは、弾性波共振器としてFBARを用いたときの梯子型フィルタの周波数応答を示す概念図である。SAW共振器よりもFBARの方がQ値が高く、図5Cおよび図5Dに示すように、低損失、急峻な減衰特性を実現することができる。したがって、図5Eおよび図5Fに示すように、弾性波共振器として、FBARを用いた方が、急峻なフィルタフィルタ特性を得ることができる。好ましくは、図1Bに示すように、送信フィルタを梯子型フィルタとして、直列共振器および並列共振器をFBARによって構成することによって、急峻なフィルタ特性を得ることができる。なお、直列共振器のみがFBARであってもよい。   Thus, if a ladder type filter is used, a desired frequency response can be easily obtained. FIG. 5E is a conceptual diagram showing the frequency response of the ladder filter when a SAW resonator is used as the elastic wave resonator. FIG. 5F is a conceptual diagram showing a frequency response of a ladder filter when FBAR is used as an elastic wave resonator. The FBAR has a higher Q value than the SAW resonator, and as shown in FIGS. 5C and 5D, low loss and steep attenuation characteristics can be realized. Therefore, as shown in FIGS. 5E and 5F, a steep filter filter characteristic can be obtained by using the FBAR as the elastic wave resonator. Preferably, as shown in FIG. 1B, a steep filter characteristic can be obtained by configuring the transmission filter as a ladder filter and the series resonator and the parallel resonator by FBAR. Note that only the series resonator may be an FBAR.

梯子型回路構成の送信フィルタ101において、直列に接続される弾性波共振器であるFBAR201、202、203の方が、並列に接続される弾性波共振器であるFBAR204、204よりも数を多くすることにより、高周波数側を減衰させるのに適した構成となる(図5C参照)。これは、弾性波共振器において、***振周波数は共振周波数よりも高く、直列共振器の共振周波数が通過帯域として利用され、直列共振器の***振周波数が減衰帯域として利用されているからである。さらに、並列に接続される弾性波共振器において、接地との間にインダクタンスを配置することにより、通過帯域の高周波数側の減衰量を大きくしたり、通過帯域を低周波数側に広げたりすることができる。   In the transmission filter 101 having a ladder-type circuit configuration, the FBARs 201, 202, and 203 that are acoustic wave resonators connected in series have a larger number than the FBARs 204 and 204 that are elastic wave resonators connected in parallel. Thus, a configuration suitable for attenuating the high frequency side is obtained (see FIG. 5C). This is because in an acoustic wave resonator, the antiresonance frequency is higher than the resonance frequency, the resonance frequency of the series resonator is used as a pass band, and the antiresonance frequency of the series resonator is used as an attenuation band. . Furthermore, in an acoustic wave resonator connected in parallel, an inductance is disposed between the ground and the ground, thereby increasing the attenuation on the high frequency side of the pass band or expanding the pass band to the low frequency side. Can do.

また、送信フィルタ101は、パワーアンプ(図示せず)から送信電力が入力される。そのため、送信フィルタ101には、耐電力性が必要となる。送信フィルタ101にFBARの梯子型回路を用いることによって、耐電力性が向上することとなる。なお、送信フィルタ101において、弾性波共振器は、FBARまたはSAW共振器であればよい。しかし、耐電力性を向上させるには、少なくとも、不平衡型端子である送信端子Txに接続される弾性波共振器は、FBARであることが好ましい。   The transmission filter 101 receives transmission power from a power amplifier (not shown). Therefore, the transmission filter 101 needs to have power resistance. By using an FBAR ladder circuit for the transmission filter 101, the power durability is improved. In the transmission filter 101, the elastic wave resonator may be an FBAR or a SAW resonator. However, in order to improve the power durability, at least the elastic wave resonator connected to the transmission terminal Tx which is an unbalanced terminal is preferably an FBAR.

また、梯子型フィルタである送信フィルタ101において、アンテナ側に接続される弾性波共振器はアンテナ端子ANTに直列に接続されことによって、高周波数側にある受信通過帯域のインピーダンスの位相は、オープンに近づくこととなる。   Further, in the transmission filter 101 which is a ladder type filter, the acoustic wave resonator connected to the antenna side is connected in series to the antenna terminal ANT, so that the phase of the impedance of the reception passband on the high frequency side is open. It will approach.

図1Bに示す受信フィルタ103において、図4に示すように、通過帯域801の高周波数側に減衰の劣化が見られる一方、低周波数側に急峻な減衰特性が見られる。すなわち、送信フィルタ101の通過帯域が受信フィルタ103の通過帯域801よりも周波数が低い場合、本実施形態のアンテナ共用器は、高性能なアンテナ共用器として提供されることとなる。   In the reception filter 103 shown in FIG. 1B, as shown in FIG. 4, deterioration of attenuation is seen on the high frequency side of the pass band 801, while steep attenuation characteristics are seen on the low frequency side. That is, when the pass band of the transmission filter 101 is lower than the pass band 801 of the reception filter 103, the antenna duplexer of this embodiment is provided as a high-performance antenna duplexer.

また、受信側に配置される低雑音増幅器は、通信機器の対雑音特性向上のために平衡型端子となっていることが多い。図1Bに示すように、受信フィルタ103に平衡−不平衡変換機能を有するフィルタを用いることによって、アンテナ共用器の受信端子を平衡型端子とすることができる。したがって、アンテナ共用器の後段に配置される低雑音増幅器とアンテナ共用器とを、バランなどの平衡−不平衡変換器を介して接続することなく、直接接続することができる。   In addition, the low noise amplifier arranged on the receiving side is often a balanced terminal for improving the anti-noise characteristics of communication equipment. As shown in FIG. 1B, by using a filter having a balanced-unbalanced conversion function for the receiving filter 103, the receiving terminal of the antenna duplexer can be a balanced terminal. Therefore, the low-noise amplifier and the antenna duplexer arranged at the subsequent stage of the antenna duplexer can be directly connected without being connected via a balanced-unbalanced converter such as a balun.

このように、送信通過帯域の周波数が低く、受信通過帯域の周波数が高いシステムとして、PCSやW−CDMA(Wideband Code Division Multiple Access)、UMTS(Universal Mobile Telecommunications System)などが挙げられる。このようなシステムに、本発明の構成を適用することによって、より高性能なアンテナ共用器が実現できる。さらに、このようなアンテナ共用器を備える通信機器は、小型化、クロストーク削減などの高性能化を実現できる。   As described above, PCS, W-CDMA (Wideband Code Multiple Access), UMTS (Universal Mobile Telecommunications System), and the like are examples of systems having a low transmission passband frequency and a high reception passband frequency. By applying the configuration of the present invention to such a system, a higher performance antenna duplexer can be realized. Furthermore, a communication device provided with such an antenna duplexer can achieve high performance such as downsizing and crosstalk reduction.

なお、弾性波共振器の構成を最適化することによって、送信通過帯域の周波数が高く、受信通過帯域の周波数が低い他のシステムにおいても、本発明を適用することができる。   Note that, by optimizing the configuration of the acoustic wave resonator, the present invention can be applied to other systems in which the frequency of the transmission passband is high and the frequency of the reception passband is low.

なお、送信フィルタ101、101aおよび受信フィルタ103、103aにおいて、弾性波共振器の数や配置に関しては、図1Bおよび図1Dに示した例に限られるものではない。本発明において、送信フィルタに接続される送信端子および受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、送信フィルタおよび受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されていれば、送信フィルタおよび受信フィルタにおける縦モード結合型の弾性表面波フィルタ以外の構成は、特に限定されるものではない。好ましくは、送信フィルタおよび受信フィルタの内、不平衡型端子側のフィルタ(図1Bでは、送信フィルタ101、図1Dでは、受信フィルタ103a)は、SAW共振器またはFBARを用いた梯子型フィルタであるとよい。これにより、良好なフィルタ特性が得られる。   In the transmission filters 101 and 101a and the reception filters 103 and 103a, the number and arrangement of the acoustic wave resonators are not limited to the examples shown in FIGS. 1B and 1D. In the present invention, one of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter is a balanced terminal, and the other terminal is an unbalanced terminal. Is a configuration including a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator, and if a longitudinal mode coupling type surface acoustic wave filter is connected to the balanced type terminal, the longitudinal mode coupling type in the transmission filter and the reception filter The configuration other than the surface acoustic wave filter is not particularly limited. Preferably, of the transmission filter and the reception filter, the filter on the unbalanced terminal side (transmission filter 101 in FIG. 1B, reception filter 103a in FIG. 1D) is a ladder filter using a SAW resonator or FBAR. Good. Thereby, good filter characteristics can be obtained.

なお、上記では、ラダー型フィルタにおける並列共振器にインダクタを接続してもよいとしたが、インダクタンスの配置および接続に関しては、特に限定されるものではなく、所望のフィルタ特性に対して最適化されていればよい。当該インダクタは、送信(受信)フィルタ内の配線を利用することによって実現されてもよいし、実装基板に内層されることによって実現されてもよい。また、ボンディングワイヤを当該インダクタとして利用してもよい。   In the above description, the inductor may be connected to the parallel resonator in the ladder type filter. However, the arrangement and connection of the inductance are not particularly limited and are optimized for desired filter characteristics. It only has to be. The inductor may be realized by using a wiring in the transmission (reception) filter, or may be realized by being layered on a mounting board. A bonding wire may be used as the inductor.

なお、上記では、FBARとして、図2Bに示すように、キャビティを用いる構成を示したが、音響ミラーを用いた構成あってもよく、その他弾性波共振器を実現することができる構成であれば、どのような構成であってもよい。   In the above, a configuration using a cavity as shown in FIG. 2B is shown as FBAR. However, a configuration using an acoustic mirror may be used, and any other configuration capable of realizing an acoustic wave resonator may be used. Any configuration may be used.

なお、本実施形態で示した縦モード結合型のSAWフィルタには、他の縦モード結合型のSAWフィルタが縦列接続されていてもよいし、弾性波共振器が接続されていてもよい。例えば、縦モード結合型のSAWフィルタにFBARを直列あるいは並列に接続させることによって、受信フィルタとしての耐電力特性がより向上する。   Note that the longitudinal mode coupled SAW filter shown in the present embodiment may be connected in cascade with other longitudinal mode coupled SAW filters, or may be connected with an acoustic wave resonator. For example, by connecting FBARs in series or in parallel to a longitudinal mode coupled SAW filter, the power durability characteristics as a reception filter are further improved.

図6は、第1の実施形態の変形例に係るアンテナ共用器の構成を示す図である。図6に示すように、移相器102と移相器102に接続されるFBAR401とは、同一基板404上に形成されているとよい。このように、Si基板上に移相器を実現することによって、移相器の低損失化が実現され、さらに、高出力の送信信号の回り込みに対する耐圧が向上することとなる。   FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an antenna duplexer according to a modification of the first embodiment. As shown in FIG. 6, the phase shifter 102 and the FBAR 401 connected to the phase shifter 102 may be formed on the same substrate 404. As described above, by realizing the phase shifter on the Si substrate, the loss of the phase shifter can be reduced, and further, the withstand voltage against the sneak in the high output transmission signal can be improved.

図7は、第1の実施形態の変形例に係るアンテナ共用器の構成を示す図である。図7に示すように、移相器102と縦モード結合型のSAWフィルタ700との間には、少なくとも1つの直列弾性波共振器405が接続されていればよい。なぜなら、縦モード結合型のSAWフィルタは、多重モードによって、フィルタ特性を有するからである。図7に示す受信フィルタは、送信端子が平衡型端子のときの送信フィルタとしても利用可能である。なお、好ましくは、移相器102と縦モード結合型のSAWフィルタ700との間には、SAW共振器またはFBARからなる梯子型フィルタが接続されているとよい。さらに、当該梯子型フィルタを構成する弾性波共振器は、全て、FBARであるとよい。縦モード結合型のSAWフィルタ700が受信フィルタに含まれる場合、縦モード結合型のSAWフィルタ700以外の弾性波共振器は、FBARであるとよい。   FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of an antenna duplexer according to a modification of the first embodiment. As shown in FIG. 7, at least one series elastic wave resonator 405 may be connected between the phase shifter 102 and the longitudinal mode coupled SAW filter 700. This is because a longitudinal mode coupled SAW filter has filter characteristics depending on multiple modes. The reception filter shown in FIG. 7 can also be used as a transmission filter when the transmission terminal is a balanced terminal. Preferably, a ladder filter made of a SAW resonator or FBAR is connected between the phase shifter 102 and the longitudinal mode coupled SAW filter 700. Furthermore, all the acoustic wave resonators constituting the ladder filter are preferably FBARs. When the longitudinal mode coupled SAW filter 700 is included in the reception filter, an elastic wave resonator other than the longitudinal mode coupled SAW filter 700 may be an FBAR.

なお、アンテナ端子ANTに接続されるアンテナ(図示せず)の構成によっては、アンテナ端子ANTが平衡型端子となるような構成されていてもよい。   Depending on the configuration of an antenna (not shown) connected to the antenna terminal ANT, the antenna terminal ANT may be a balanced terminal.

なお、移相器の挿入位置は、図1Aおよび図1Cに記載した例に限定されるものではない。図8に示すように、アンテナ端子ANTと送信フィルタ101との間に、第1の移相器104が挿入され、アンテナ端子ANTと受信フィルタ103との間に、第2の移相器105が挿入されていてもよい。また、図9に示すように、アンテナ端子ANTと送信フィルタ101との間にのみ移相器106が挿入されていてもよい。このように、送信フィルタとアンテナ端子との間の部分、または、受信フィルタとアンテナ端子との間の部分の少なくともどちらか一方の部分に、送信フィルタまたは受信フィルタのインピーダンスの位相を調整するための移相器が挿入されることによって、送信信号および/または受信信号の回り込みが防止される。   Note that the insertion position of the phase shifter is not limited to the example described in FIGS. 1A and 1C. As shown in FIG. 8, the first phase shifter 104 is inserted between the antenna terminal ANT and the transmission filter 101, and the second phase shifter 105 is inserted between the antenna terminal ANT and the reception filter 103. It may be inserted. Further, as shown in FIG. 9, the phase shifter 106 may be inserted only between the antenna terminal ANT and the transmission filter 101. Thus, the phase of the impedance of the transmission filter or the reception filter is adjusted to at least one of the part between the transmission filter and the antenna terminal or the part between the reception filter and the antenna terminal. The insertion of the phase shifter prevents the transmission signal and / or the reception signal from wrapping around.

なお、移相器が接続されている側のフィルタは、FBARを当該移相器に接続させているとよい。これにより、高出力信号の回り込みに対する耐性を向上させることができる。なお、好ましくは、図6でも示したように、当該移相器と当該FBARとは、同一基板上に形成されているとよい。これにより、移相器の低損失化が実現され、さらに、信号の回り込みに対する耐圧が向上することとなる。   Note that the filter on the side to which the phase shifter is connected may have the FBAR connected to the phase shifter. Thereby, the tolerance with respect to the wraparound of a high output signal can be improved. Preferably, as shown in FIG. 6, the phase shifter and the FBAR may be formed on the same substrate. As a result, the loss of the phase shifter is reduced, and the withstand voltage against signal sneak is improved.

なお、送信信号および/または受信信号の回り込みを防止するために、図10に示すように、スイッチ回路107によって、送信信号がアンテナ端子ANTに切り換えされ、受信信号が受信フィルタ103に切り換えられてもよい。なお、スイッチ回路107として、MEMS−SW(Micro Electoro Mechanical Systems−SWitch)が用いられてもよい。   In order to prevent the transmission signal and / or the reception signal from wrapping around, even if the transmission signal is switched to the antenna terminal ANT and the reception signal is switched to the reception filter 103 by the switch circuit 107 as shown in FIG. Good. Note that as the switch circuit 107, a MEMS-SW (Micro Electro Mechanical Systems-Switch) may be used.

なお、送信フィルタまたは受信フィルタのインピーダンスの位相があらかじめ調整されていれば、移相器を省略することもできる。すなわち、移相器は、本発明において、必須の構成ではない。   If the phase of the impedance of the transmission filter or the reception filter is adjusted in advance, the phase shifter can be omitted. That is, the phase shifter is not an essential configuration in the present invention.

なお、送信フィルタおよび受信フィルタの内、平衡型端子を有するフィルタにおいて、平衡型端子に接続された縦モード結合型のSAWフィルタ以外の弾性波共振器がFBARである場合を考える。この場合、FBARと縦モード結合型のSAWフィルタとが同一基板に平面的に形成されているのが好ましい。これにより、チップ間の接続ロスを最小限にすることができる。しかし、フィルタの通過帯域が2GHz帯以上になると、単結晶基板上でSAW共振器を実現するのは困難である。したがって、AlNなどの高音速薄膜上で縦モード結合型のSAWフィルタを実現するとよい。ただし、FBARだけで平衡−不平衡変換を行うと損失が大きくなってしまうので、FBARを形成するプロセスとコンパチブルなプロセスを用いて、縦モード結合型のSAWフィルタを実現するとよい。   It is assumed that the acoustic wave resonator other than the longitudinal mode coupled SAW filter connected to the balanced type terminal in the filter having the balanced type terminal among the transmission filter and the reception filter is an FBAR. In this case, it is preferable that the FBAR and the longitudinal mode coupled SAW filter are formed in a plane on the same substrate. Thereby, the connection loss between chips can be minimized. However, when the pass band of the filter is 2 GHz or higher, it is difficult to realize a SAW resonator on a single crystal substrate. Therefore, a longitudinal mode coupled SAW filter is preferably realized on a high sound velocity thin film such as AlN. However, if balanced-unbalanced conversion is performed using only the FBAR, the loss increases. Therefore, a longitudinal mode coupled SAW filter may be realized using a process compatible with the process of forming the FBAR.

上記のように、FBARと縦モード結合型のSAWフィルタとを同一基板上で実現する場合、好ましくは、FBARは、縦モード結合型のSAWフィルタの伝搬方向延長上に、配置されないようにするとよい。これにより、弾性波の干渉を抑圧し、不要スプリアスを除去することができる。   As described above, when the FBAR and the longitudinal mode coupled SAW filter are realized on the same substrate, it is preferable that the FBAR should not be arranged on the propagation direction extension of the longitudinal mode coupled SAW filter. . Thereby, interference of elastic waves can be suppressed and unnecessary spurious can be removed.

また、好ましくは、縦モード結合型のSAWフィルタとFBARとの間の部分におけるAlNなどの上記高音速薄膜である圧電薄膜は、エッジングによって除去されているとよい。これにより、表面弾性波の干渉を抑圧し、不要スプリアスを除去することができる。   Preferably, the piezoelectric thin film which is the above-mentioned high sound velocity thin film such as AlN in the portion between the longitudinal mode coupled SAW filter and the FBAR is removed by edging. Thereby, interference of surface acoustic waves can be suppressed and unnecessary spurious can be removed.

また、好ましくは、圧電薄膜表面の粗さが、1nm以下であるとよい。これにより、縦モード結合型のSAWフィルタでの伝搬損失を抑えることができる。   Preferably, the surface roughness of the piezoelectric thin film is 1 nm or less. Thereby, the propagation loss in the longitudinal mode coupled SAW filter can be suppressed.

また、FBARと縦モード結合型のSAWフィルタとが立体的に形成されている場合もあり得る。この場合、縦モード結合型のSAWフィルタの上に、FBARをフリップチップ実装することによって、チップ間の接続ロスを最小限にすることができる。また、逆に、FBARの上に、縦モード結合型のSAWフィルタをフリップチップ実装することによって、チップ間の接続ロスを最小限にすることができる。   In addition, the FBAR and the longitudinal mode coupled SAW filter may be three-dimensionally formed. In this case, the connection loss between chips can be minimized by flip-chip mounting the FBAR on the longitudinal mode coupled SAW filter. Conversely, by connecting a longitudinal mode coupled SAW filter on the FBAR by flip-chip mounting, the connection loss between chips can be minimized.

(第2の実施形態)
図11は、本発明の第2の実施形態におけるアンテナ共用器1100の構成を示す図である。図11において、アンテナ共用器1100は、実装基板1101上に、送信フィルタ1102と、受信フィルタ1103とがフェースダウン実装さている構造である。実装基板1101には、配線、移相器、および外部端子(それぞれ図示せず)が内蔵されている。実装基板1101と、送信フィルタ1102および受信フィルタ1103とは、バンプ1104a、1104b、1105a、1105bを介して電気的に接続される。送信フィルタ1102は、FBARを用いたフィルタである。受信フィルタ1103は、縦モード結合型のSAWフィルタを含むフィルタである。送信フィルタ1102および受信フィルタ1103は、それぞれ個別のチップとなっている。なお、言うまでもなく、第1の実施形態で示したあらゆる変形例は、図11の送信フィルタ1102および受信フィルタ1103においても適用可能である。
(Second Embodiment)
FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of the antenna duplexer 1100 according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 11, the antenna duplexer 1100 has a structure in which a transmission filter 1102 and a reception filter 1103 are mounted face-down on a mounting substrate 1101. The mounting substrate 1101 incorporates wiring, a phase shifter, and external terminals (each not shown). The mounting substrate 1101 is electrically connected to the transmission filter 1102 and the reception filter 1103 via bumps 1104a, 1104b, 1105a, and 1105b. The transmission filter 1102 is a filter using FBAR. The reception filter 1103 is a filter including a longitudinal mode coupled SAW filter. The transmission filter 1102 and the reception filter 1103 are separate chips. Needless to say, all the modifications shown in the first embodiment are also applicable to the transmission filter 1102 and the reception filter 1103 in FIG.

送信フィルタ1102および受信フィルタ1103は、シールド1106および1107などによって覆われて気密封止されている。さらに、送信フィルタ1102と受信フィルタ1103との上部は、耐熱性の接着テープ1108によってテーピングされている。この場合、送信フィルタ1102の厚みと受信フィルタ1103の厚みとを実質上等しくすることによって、接着テープ1108を平らにすることができる。これにより、実装時におけるピックアップツールへの吸着が可能となる。以上のような構成にすることによって、平衡型端子を有するアンテナ共用器が実現されることとなる。   The transmission filter 1102 and the reception filter 1103 are covered and hermetically sealed by shields 1106 and 1107 and the like. Further, upper portions of the transmission filter 1102 and the reception filter 1103 are taped with a heat-resistant adhesive tape 1108. In this case, the adhesive tape 1108 can be flattened by making the thickness of the transmission filter 1102 and the thickness of the reception filter 1103 substantially equal. As a result, it is possible to attract the pickup tool during mounting. With the above configuration, an antenna duplexer having a balanced terminal is realized.

図12は、本発明の第2の実施形態に係るアンテナ共用器1200の他の構成例を示す図である。図12において、アンテナ共用器1200は、実装基板1201上に、送信フィルタ1202および受信フィルタ1203がフェースダウン実装されている構成である。実装基板1201には、配線、移相回路、および外部端子(ぞれぞれ図示せず)が内蔵されている。実装基板1201と、送信フィルタ1202および受信フィルタ1203とは、バンプ1204a、1204b、1205a、1205bを介して電気的に接続される。送信フィルタ1202は、FBARを用いたフィルタである。受信フィルタ1203は、縦モード結合型のSAWフィルタを含みフィルタである。送信フィルタ1202および受信フィルタ1203は、それぞれ個別のチップとなっている。なお、言うまでもなく、第1の実施形態で示したあらゆる変形例は、図12の送信フィルタ1202および受信フィルタ1203においても適用可能である。   FIG. 12 is a diagram illustrating another configuration example of the antenna duplexer 1200 according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 12, the antenna duplexer 1200 has a configuration in which a transmission filter 1202 and a reception filter 1203 are face-down mounted on a mounting board 1201. The mounting substrate 1201 contains wiring, a phase shift circuit, and external terminals (each not shown). The mounting substrate 1201 is electrically connected to the transmission filter 1202 and the reception filter 1203 via bumps 1204a, 1204b, 1205a, and 1205b. The transmission filter 1202 is a filter using FBAR. The reception filter 1203 is a filter including a longitudinal mode coupled SAW filter. The transmission filter 1202 and the reception filter 1203 are respectively separate chips. Needless to say, all the modifications shown in the first embodiment are also applicable to the transmission filter 1202 and the reception filter 1203 in FIG.

送信フィルタ1202および受信フィルタ1203は、シールド1206および1207などによって覆われて気密封止されている。ここで、送信フィルタ1202の厚みと受信フィルタ1203の厚みとは異なるものとする。さらに、実装基板1201は、送信フィルタ1202および受信フィルタ1203を覆うように、樹脂材料1208などによってモールドされている。樹脂材料1208の上面は、実質上平らになるように構成されている。これにより、実装時におけるピックアップツールへの吸着が可能となる。以上のような構成にすることによって、平衡型端子を有するアンテナ共用器が実現されることとなる。   The transmission filter 1202 and the reception filter 1203 are covered with shields 1206 and 1207 and hermetically sealed. Here, it is assumed that the thickness of the transmission filter 1202 and the thickness of the reception filter 1203 are different. Further, the mounting substrate 1201 is molded with a resin material 1208 or the like so as to cover the transmission filter 1202 and the reception filter 1203. The upper surface of the resin material 1208 is configured to be substantially flat. As a result, it is possible to attract the pickup tool during mounting. With the above configuration, an antenna duplexer having a balanced terminal is realized.

なお、第2の実施形態において、実装基板に内蔵される配線、移相器、および外部端子は、所望のアンテナ共用器の特性によって最適化されている。   In the second embodiment, the wiring, the phase shifter, and the external terminal built in the mounting substrate are optimized according to the desired characteristics of the antenna duplexer.

なお、図11および図12において、シールドは、送信フィルタおよび受信フィルタをそれぞれ個別に覆うこととしたが、送信フィルタおよび受信フィルタを共通に覆ってもよい。また、シールド材の形状も、図示した例に限るものではなく、送信フィルタおよび受信フィルタを気密封止することができる形状であればよい。   11 and 12, the shield covers the transmission filter and the reception filter individually, but may cover the transmission filter and the reception filter in common. Further, the shape of the shield material is not limited to the illustrated example, and may be any shape that can hermetically seal the transmission filter and the reception filter.

なお、図12において、送信フィルタ1202の厚みと受信フィルタ1203の厚みとは異なるとしたが、これらは、同じ厚みであってもよい。   In FIG. 12, although the thickness of the transmission filter 1202 and the thickness of the reception filter 1203 are different, these may be the same thickness.

なお、送信フィルタおよび受信フィルタは、フェースダウン実装されているとしているが、これらは、ワイヤ実装されて、気密封止されてもよい。すなわち、送信フィルタと受信フィルタとは、同一の実装基板上に実装されて、上面が実質上平らになるように、樹脂モールドされていればよい。   Although the transmission filter and the reception filter are mounted face-down, they may be wire-mounted and hermetically sealed. That is, the transmission filter and the reception filter may be mounted on the same mounting substrate and resin-molded so that the upper surface is substantially flat.

なお、第2の実施形態において、一つの送信フィルタと一つの受信フィルタとが実装基板上に実装されたアンテナ共用器を説明したが、複数の送信フィルタと複数の受信フィルタとが同一基板上に実装されて、複数のアンテナ共用器が構成されていれもよい。この場合、半導体スイッチや分波器を用いることによって、マルチモードまたはマルチバンドの携帯電話に対応したアンテナ共用器が提供されることとなる。   In the second embodiment, the antenna duplexer in which one transmission filter and one reception filter are mounted on the mounting substrate has been described. However, a plurality of transmission filters and a plurality of reception filters are provided on the same substrate. It may be mounted and a plurality of antenna duplexers may be configured. In this case, by using a semiconductor switch or a duplexer, an antenna duplexer compatible with a multimode or multiband mobile phone is provided.

(第3の実施形態)
図13は、本発明の第3の実施形態に係る高周波モジュール1300の構成を示す図である。図13において、図12に示す構成と同様の部分については、同一の参照符号を付し、説明を省略する。図13において、高周波モジュール1300は、実装基板1301上に、送信フィルタ1202および受信フィルタ1203がフェースダウン実装され、半導体デバイス1304がワイヤ実装された構成である。実装基板1301には、配線、移相器、および外部端子(それぞれ図示せず)が含まれる。実装基板1301と、送信フィルタ1202または受信フィルタ1203とは、バンプ1204a、1204b、1205a、1205bを介して電気的に接続される。実装基板1301と半導体デバイス1304とは、ワイヤ1307a、1307bを介して電気的に接続される。半導体デバイス1304と、送信フィルタ1202および/または受信フィルタ1203とは、実装基板1301に内蔵される配線を介して接続される。実装基板1301は、送信フィルタ1202、受信フィルタ1203、および半導体デバイス1304を覆うように樹脂材料1310などによりモールドされている。樹脂材料1310の上面は、実質上平らになるように構成されている。これにより、これにより、実装時におけるピックアップツールへの吸着が可能となる。以上のような構成にすることによって、平衡型端子を有するアンテナ共用器と半導体デバイスとを同一基板上に実装している高周波モジュールが実現されることとなる。
(Third embodiment)
FIG. 13 is a diagram showing a configuration of a high-frequency module 1300 according to the third embodiment of the present invention. In FIG. 13, the same parts as those shown in FIG. 12 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In FIG. 13, the high-frequency module 1300 has a configuration in which a transmission filter 1202 and a reception filter 1203 are face-down mounted on a mounting substrate 1301, and a semiconductor device 1304 is mounted on a wire. The mounting substrate 1301 includes wiring, a phase shifter, and external terminals (not shown). The mounting substrate 1301 and the transmission filter 1202 or the reception filter 1203 are electrically connected through bumps 1204a, 1204b, 1205a, and 1205b. The mounting substrate 1301 and the semiconductor device 1304 are electrically connected via wires 1307a and 1307b. The semiconductor device 1304 is connected to the transmission filter 1202 and / or the reception filter 1203 via wiring built in the mounting substrate 1301. The mounting substrate 1301 is molded with a resin material 1310 or the like so as to cover the transmission filter 1202, the reception filter 1203, and the semiconductor device 1304. The upper surface of the resin material 1310 is configured to be substantially flat. As a result, it is possible to attract the pickup tool during mounting. By adopting the configuration as described above, a high-frequency module in which an antenna duplexer having a balanced terminal and a semiconductor device are mounted on the same substrate is realized.

なお、第3の実施形態において、実装基板に内蔵される配線、移相器、および外部端子は、所望のアンテナ共用器の特性によって最適化されている。   In the third embodiment, the wiring, the phase shifter, and the external terminal built in the mounting substrate are optimized according to the desired characteristics of the antenna duplexer.

なお、第3の実施形態において、送信フィルタおよび受信フィルタは、フェースダウン実装されているとしたが、これらは、ワイヤ実装されて、気密封止される構成であってよい。送信フィルタおよび受信フィルタは、樹脂材料などによりモールドされて上面が実質上平らになるように実装されていればよい。   In the third embodiment, the transmission filter and the reception filter are mounted face-down. However, they may be configured to be mounted in a wire and hermetically sealed. The transmission filter and the reception filter may be mounted so that the upper surface is substantially flat by being molded with a resin material or the like.

なお、第3の実施形態において、半導体デバイスは、ワイヤ実装されているとしたが、フェースダウン実装されていてもよい。半導体デバイスは、送信フィルタおよび受信フィルタと共に樹脂モールドされ、上面が実質上平らになるように実装されていればよい。   In the third embodiment, the semiconductor device is mounted by wire, but may be mounted face-down. The semiconductor device only needs to be resin-molded together with the transmission filter and the reception filter and mounted so that the upper surface is substantially flat.

なお、第3の実施形態において、送信フィルタおよび受信フィルタは、第1の実施形態で示したあらゆる変形例を用いることができる。   Note that in the third embodiment, any of the modifications shown in the first embodiment can be used for the transmission filter and the reception filter.

なお、半導体デバイス1304として、低雑音増幅器を用いることが一例として考えられる。その他、半導体デバイスとして、スイッチが用いられてもよい。例えば、複数の送信フィルタと複数の受信フィルタと半導体スイッチとを同一基板上に実装して、マルチモードに対応した高周波モジュールを提供することができる。   Note that a low noise amplifier may be used as the semiconductor device 1304 as an example. In addition, a switch may be used as a semiconductor device. For example, a plurality of transmission filters, a plurality of reception filters, and a semiconductor switch can be mounted on the same substrate to provide a multimode compatible high frequency module.

(第4の実施形態)
図14は、本発明の第4の実施形態に係る通信機器160の機能的構成を示すブロック図である。図14において、通信機器160は、アンテナ110と、アンテナ共用器100と、低雑音増幅器(LNA)120と、受信回路130と、パワーアンプ(PA)140と、送信回路150とを備える。送信回路150から出力された送信信号は、パワーアンプ140で増幅されて、アンテナ共用器100に入力される。アンテナ共用器100は、パワーアンプ140からの信号の内、送信帯域の信号のみを通過して、アンテナ110に伝搬する。アンテナ110は、当該送信信号を電波として放出する。アンテナ110が受信した信号は、アンテナ共用器100に入力される。アンテナ共用器100は、受信帯域の信号のみを通過して、平衡信号に変換して、低雑音増幅器120に当該信号を入力する。低雑音増幅器120は、入力された平衡信号を増幅して、受信回路130に入力する。受信回路130は、入力された信号に基づいて、復調処理を行う。
(Fourth embodiment)
FIG. 14 is a block diagram showing a functional configuration of a communication device 160 according to the fourth embodiment of the present invention. In FIG. 14, the communication device 160 includes an antenna 110, an antenna duplexer 100, a low noise amplifier (LNA) 120, a reception circuit 130, a power amplifier (PA) 140, and a transmission circuit 150. The transmission signal output from the transmission circuit 150 is amplified by the power amplifier 140 and input to the antenna duplexer 100. The antenna duplexer 100 passes only the signal in the transmission band among the signals from the power amplifier 140 and propagates to the antenna 110. The antenna 110 emits the transmission signal as a radio wave. A signal received by the antenna 110 is input to the antenna duplexer 100. The antenna duplexer 100 passes only the signal in the reception band, converts it to a balanced signal, and inputs the signal to the low noise amplifier 120. The low noise amplifier 120 amplifies the input balanced signal and inputs it to the receiving circuit 130. The receiving circuit 130 performs demodulation processing based on the input signal.

第4の実施形態によれば、平衡型端子を有する低雑音増幅器120に直接接続されたアンテナ共用器100を備える通信機器160が提供されることとなる。   According to the fourth embodiment, a communication device 160 including the antenna duplexer 100 directly connected to the low noise amplifier 120 having a balanced terminal is provided.

なお、通信機器において、アンテナ共用器として、第1の実施形態で示したあらゆる変形例を用いることができる。平衡型端子が送信側または受信側のいずれに必要かに応じて、適切な構成のアンテナ共用器を用いればよい。   In addition, in a communication apparatus, all the modifications shown in 1st Embodiment can be used as an antenna sharing device. An antenna duplexer having an appropriate configuration may be used depending on whether a balanced terminal is required for the transmission side or the reception side.

以上、本発明を詳細に説明してきたが、前述の説明はあらゆる点において本発明の例示にすぎず、その範囲を限定しようとするものではない。本発明の範囲を逸脱することなく種々の改良や変形を行うことができることは言うまでもない。   Although the present invention has been described in detail above, the above description is merely illustrative of the present invention in all respects and is not intended to limit the scope thereof. It goes without saying that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本発明に係るアンテナ共用器は、平衡型端子を有しており、平衡型端子を有する半導体デバイスなどとの直接接続が可能な高周波デバイスとして有用である。本発明に係るアンテナ共用器は、高周波モジュールや通信機器などの用途に応用できる。   The antenna duplexer according to the present invention has a balanced terminal, and is useful as a high-frequency device that can be directly connected to a semiconductor device having the balanced terminal. The antenna duplexer according to the present invention can be applied to uses such as a high-frequency module and a communication device.

本発明の第1の実施形態におけるアンテナ共用器100の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of the antenna sharing device 100 in the 1st Embodiment of this invention. アンテナ共用器100の具体的な回路構成を示す図The figure which shows the specific circuit structure of the antenna sharing device 100. 平衡−不平衡変換機能を有するフィルタが送信側にある場合のアンテナ共用器100aの構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of the antenna sharing device 100a when the filter which has a balance-unbalance conversion function exists in the transmission side アンテナ共用器100aの具体的な回路構成を示す図The figure which shows the specific circuit structure of the antenna sharing device 100a. FBARおよびSAW共振器の回路記号を示す図Diagram showing circuit symbols for FBAR and SAW resonator FBARの構成を示す断面図Sectional view showing configuration of FBAR SAW共振器の構成を示す図The figure which shows the structure of a SAW resonator 縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の回路記号を示す図The figure which shows the circuit symbol of the SAW filter 700 (or 700a) of a longitudinal mode coupling type 縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の構成を示す図The figure which shows the structure of SAW filter 700 (or 700a) of a longitudinal mode coupling type 縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の他の構成を示す図The figure which shows the other structure of longitudinal mode coupling | bonding type SAW filter 700 (or 700a). 縦モード結合型のSAWフィルタ700(または700a)の他の構成を示す図The figure which shows the other structure of longitudinal mode coupling | bonding type SAW filter 700 (or 700a). 図3Bに示した縦モード結合型のSAWフィルタ700の周波数応答を示すグラフFIG. 3B is a graph showing the frequency response of the longitudinal mode coupled SAW filter 700 shown in FIG. 3B. 梯子型回路のフィルタの回路図Ladder-type circuit filter schematic 図5Aに示す梯子型フィルタの特性を説明するための図The figure for demonstrating the characteristic of the ladder type filter shown to FIG. 5A 直列共振器のQ値を高くしたときの梯子型フィルタの周波数特性を示す図The figure which shows the frequency characteristic of a ladder type filter when Q value of a series resonator is made high 並列共振器のQ値を高くしたときの梯子型フィルタの周波数特性を示す図The figure which shows the frequency characteristic of a ladder type filter when Q value of a parallel resonator is made high 弾性波共振器としてSAW共振器を用いたときの梯子型フィルタの周波数応答を示す概念図Conceptual diagram showing the frequency response of a ladder filter when a SAW resonator is used as an elastic wave resonator. 弾性波共振器としてFBARを用いたときの梯子型フィルタの周波数応答を示す概念図Conceptual diagram showing the frequency response of a ladder filter when an FBAR is used as an elastic wave resonator. 第1の実施形態の変形例に係るアンテナ共用器の構成を示す図The figure which shows the structure of the antenna sharing device which concerns on the modification of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例に係るアンテナ共用器の構成を示す図The figure which shows the structure of the antenna sharing device which concerns on the modification of 1st Embodiment. 移相器の挿入位置の他の例を示す図The figure which shows the other example of the insertion position of a phase shifter 移相器の挿入位置の他の例を示す図The figure which shows the other example of the insertion position of a phase shifter スイッチ回路107を備えるアンテナ共用器のブロック図Block diagram of antenna duplexer with switch circuit 107 本発明の第2の実施形態におけるアンテナ共用器1100の構成を示す図The figure which shows the structure of the antenna sharing device 1100 in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係るアンテナ共用器1200の他の構成例を示す図The figure which shows the other structural example of the antenna sharing device 1200 which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る高周波モジュール1300の構成を示す図The figure which shows the structure of the high frequency module 1300 which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る通信機器160の機能的構成を示すブロック図The block diagram which shows the functional structure of the communication apparatus 160 which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 特許文献1に記載されているアンテナ共用器の構成を示す図The figure which shows the structure of the antenna sharing device described in patent document 1 特許文献2に記載されているアンテナ共用器の構成を示す図The figure which shows the structure of the antenna sharing device described in patent document 2

符号の説明Explanation of symbols

100,100a アンテナ共用器
101,101a 送信フィルタ
102,102a,104,105,106 移相器
103,103a 受信フィルタ
107 スイッチ回路
110 アンテナ
120 低雑音増幅器
130 受信回路
140 パワーアンプ
150 送信回路
160 通信機器
201,202,203,401,402 直列FBAR
204,205,403 並列FBAR
300 FBAR
301 基板
302 下部電極
303 圧電体薄膜
304 上部電極
305 キャビティ
310 SAW共振器
311 圧電基板
312 IDT電極
312a,312b 櫛型電極
313,314 反射器電極
700,700a 縦モード結合型のSAWフィルタ
701 圧電基板
702 第1のIDT電極
703 第2のIDT電極
704 第3のIDT電極
705 第1の反射器電極
706 第2の反射器電極
801 受信フィルタの通過帯域
901,902 IDT電極
1100 アンテナ共用器
1101 実装基板
1102 送信フィルタ
1103 受信フィルタ
1104a,1104b,1105a,1105b バンプ
1106,1107 シールド
1108 接着テープ
1200 アンテナ共用器
1201 実装基板
1202 送信フィルタ
1203 受信フィルタ
1204a,1204b,1205a,1205b バンプ
1206,1207 シールド
1208,1310 樹脂材料
1300 高周波モジュール
1301 実装基板
1304 半導体デバイス
1307a,1307b ワイヤ
100, 100a Antenna duplexer 101, 101a Transmission filter 102, 102a, 104, 105, 106 Phase shifter 103, 103a Reception filter 107 Switch circuit 110 Antenna 120 Low noise amplifier 130 Reception circuit 140 Power amplifier 150 Transmission circuit 160 Communication equipment 201 , 202, 203, 401, 402 Serial FBAR
204, 205, 403 Parallel FBAR
300 FBAR
301 Substrate 302 Lower electrode 303 Piezoelectric thin film 304 Upper electrode 305 Cavity 310 SAW resonator 311 Piezoelectric substrate 312 IDT electrodes 312a and 312b Comb electrodes 313 and 314 Reflector electrodes 700 and 700a Longitudinal mode coupled SAW filter 701 Piezoelectric substrate 702 1st IDT electrode 703 2nd IDT electrode 704 3rd IDT electrode 705 1st reflector electrode 706 2nd reflector electrode 801 Pass band 901,902 of reception filter IDT electrode 1100 Antenna duplexer 1101 Mounting substrate 1102 Transmission filter 1103 Reception filter 1104a, 1104b, 1105a, 1105b Bump 1106, 1107 Shield 1108 Adhesive tape 1200 Antenna duplexer 1201 Mounting substrate 1202 Transmission filter 1203 Reception filter 12 4a, 1204b, 1205a, 1205b bumps 1206 and 1207 shield 1208,1310 resin material 1300 RF module 1301 mounted substrate 1304 the semiconductor device 1307a, 1307b wire

Claims (22)

アンテナ端子と、送信端子と、受信端子と、前記アンテナ端子と前記送信端子との間に配置される送信フィルタと、前記アンテナ端子と前記受信端子との間に配置される受信フィルタとを備えるアンテナ共用器であって、
前記送信フィルタに接続される送信端子および前記受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、
前記平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されていることを特徴とする、アンテナ共用器。
An antenna comprising an antenna terminal, a transmission terminal, a reception terminal, a transmission filter disposed between the antenna terminal and the transmission terminal, and a reception filter disposed between the antenna terminal and the reception terminal A duplexer,
Of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter, one terminal is a balanced terminal, the other terminal is an unbalanced terminal,
The transmission filter and the reception filter are configured to include a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator,
An antenna duplexer characterized in that a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal.
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの内、前記不平衡型端子側のフィルタは、前記弾性表面波共振器または前記音響薄膜共振器を用いた梯子型フィルタであることを特徴とする、請求項1に記載のアンテナ共用器。   2. The transmission filter and the reception filter, wherein the unbalanced terminal side filter is a ladder filter using the surface acoustic wave resonator or the acoustic thin film resonator. The antenna duplexer described. 前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの内、前記平衡型端子側のフィルタは、前記縦モード結合型の弾性表面波フィルタと前記アンテナ端子との間に、少なくとも一つの前記弾性表面波共振器または前記音響薄膜共振器を直列に接続していることを特徴とする、請求項2に記載のアンテナ共用器。   Of the transmission filter and the reception filter, the balanced terminal side filter includes at least one surface acoustic wave resonator or acoustic wave between the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter and the antenna terminal. 3. The antenna duplexer according to claim 2, wherein the thin film resonators are connected in series. 前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの内、前記平衡型端子側のフィルタは、前記縦モード結合型の弾性表面波フィルタと前記アンテナ端子との間に、前記弾性表面波共振器または前記音響薄膜共振器によって構成される梯子型フィルタを有することを特徴とする、請求項3に記載のアンテナ共用器。   Among the transmission filter and the reception filter, the balanced terminal side filter is provided between the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter and the antenna terminal, and the surface acoustic wave resonator or the acoustic thin film resonator. The antenna duplexer according to claim 3, further comprising a ladder filter configured by: 前記送信フィルタと前記アンテナ端子との間の部分、または、前記受信フィルタと前記アンテナ端子との間の部分の少なくともどちらか一方の部分に、前記送信フィルタまたは前記受信フィルタのインピーダンスの位相を調整するための移相器をさらに備えることを特徴とする、請求項4に記載のアンテナ共用器。   The phase of the impedance of the transmission filter or the reception filter is adjusted to at least one of the part between the transmission filter and the antenna terminal or the part between the reception filter and the antenna terminal. The antenna duplexer according to claim 4, further comprising a phase shifter. 前記移相器は、ストリップ線路または集中定数素子によって構成されていることを特徴とする、請求項5に記載のアンテナ共用器。   The antenna duplexer according to claim 5, wherein the phase shifter is configured by a strip line or a lumped constant element. 前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの内、前記アンテナ端子側に前記移相器が接続されているフィルタは、前記移相器に接続される音響薄膜共振器を含むことを特徴とする、請求項6に記載のアンテナ共用器。   The filter in which the phase shifter is connected to the antenna terminal side among the transmission filter and the reception filter includes an acoustic thin film resonator connected to the phase shifter. Antenna duplexer described in 1. 前記移相器と前記移相器に接続される音響薄膜共振器とは、同一基板上に形成されていることを特徴とする、請求項7に記載のアンテナ共用器。   The antenna duplexer according to claim 7, wherein the phase shifter and the acoustic thin film resonator connected to the phase shifter are formed on the same substrate. 前記送信フィルタの前記送信端子は、前記不平衡型端子であることを特徴とする、請求項8に記載のアンテナ共用器。   9. The antenna duplexer according to claim 8, wherein the transmission terminal of the transmission filter is the unbalanced terminal. 前記送信フィルタにおける前記不平衡型端子である前記送信端子には、前記音響薄膜共振器が接続されていることを特徴とする、請求項9に記載のアンテナ共用器。   10. The antenna duplexer according to claim 9, wherein the acoustic thin film resonator is connected to the transmission terminal which is the unbalanced terminal in the transmission filter. 前記送信フィルタは、梯子型フィルタであり、
前記梯子型フィルタの直列共振器は、前記音響薄膜共振器であることを特徴とする、請求項10に記載のアンテナ共用器。
The transmission filter is a ladder filter;
11. The antenna duplexer according to claim 10, wherein the series resonator of the ladder filter is the acoustic thin film resonator.
前記梯子型フィルタの並列共振器は、前記音響薄膜共振器であることを特徴とする、請求項11に記載のアンテナ共用器。   12. The antenna duplexer according to claim 11, wherein the parallel resonator of the ladder filter is the acoustic thin film resonator. 前記受信フィルタにおいて、前記縦モード結合型の弾性表面波フィルタ以外の弾性波共振器は、前記音響薄膜共振器であることを特徴とする、請求項12に記載のアンテナ共用器。   13. The antenna duplexer according to claim 12, wherein in the reception filter, an acoustic wave resonator other than the longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is the acoustic thin film resonator. 前記送信フィルタと前記受信フィルタとは、同一の実装基板上に実装されていることを特徴とする、請求項1に記載のアンテナ共用器。   The antenna duplexer according to claim 1, wherein the transmission filter and the reception filter are mounted on the same mounting board. 前記送信フィルタおよび/または前記受信フィルタは、前記実装基板上にフェースダウン実装されていることを特徴とする、請求項14に記載のアンテナ共用器。   The antenna duplexer according to claim 14, wherein the transmission filter and / or the reception filter are mounted face-down on the mounting board. 前記送信フィルタの厚みと、前記受信フィルタの厚みとが実質上等しいことを特徴とする、請求項15に記載のアンテナ共用器。   The antenna duplexer according to claim 15, wherein the thickness of the transmission filter and the thickness of the reception filter are substantially equal. 前記送信フィルタおよび前記受信フィルタは、樹脂モールドされていることを特徴とする、請求項14に記載のアンテナ共用器。   The antenna duplexer according to claim 14, wherein the transmission filter and the reception filter are resin-molded. 前記樹脂モールドされている上面は、実質上平らであることを特徴とする、請求項17に記載のアンテナ共用器。   The duplexer according to claim 17, wherein the resin-molded upper surface is substantially flat. アンテナ共用器と半導体デバイスとを同一の実装基板上に実装している高周波モジュールであって、
前記アンテナ共用器は、
アンテナ端子と、
送信端子と、
受信端子と、
前記アンテナ端子と前記送信端子との間に配置される送信フィルタと、
前記アンテナ端子と前記受信端子との間に配置される受信フィルタとを備え、
前記送信フィルタに接続される送信端子および前記受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、
前記平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されていることを特徴とする、高周波モジュール。
A high-frequency module in which an antenna duplexer and a semiconductor device are mounted on the same mounting board,
The antenna duplexer is
An antenna terminal;
A transmission terminal;
A receiving terminal;
A transmission filter disposed between the antenna terminal and the transmission terminal;
A reception filter disposed between the antenna terminal and the reception terminal;
Of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter, one terminal is a balanced terminal, the other terminal is an unbalanced terminal,
The transmission filter and the reception filter are configured to include a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator,
A high-frequency module, characterized in that a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal.
前記半導体デバイスは、低雑音増幅器であることを特徴とする、請求項19に記載の高周波モジュール。   The high-frequency module according to claim 19, wherein the semiconductor device is a low-noise amplifier. 前記半導体デバイスは、スイッチであることを特徴とする、請求項19に記載の高周波モジュール。   The high-frequency module according to claim 19, wherein the semiconductor device is a switch. アンテナ共用器を備える通信機器であって、
前記アンテナ共用器は、
アンテナ端子と、
送信端子と、
受信端子と、
前記アンテナ端子と前記送信端子との間に配置される送信フィルタと、
前記アンテナ端子と前記受信端子との間に配置される受信フィルタとを備え、
前記送信フィルタに接続される送信端子および前記受信フィルタに接続される受信端子の内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子であり、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタは、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成であり、
前記平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタが接続されていることを特徴とする、通信機器。
A communication device including an antenna duplexer,
The antenna duplexer is
An antenna terminal;
A transmission terminal;
A receiving terminal;
A transmission filter disposed between the antenna terminal and the transmission terminal;
A reception filter disposed between the antenna terminal and the reception terminal;
Of the transmission terminal connected to the transmission filter and the reception terminal connected to the reception filter, one terminal is a balanced terminal, the other terminal is an unbalanced terminal,
The transmission filter and the reception filter are configured to include a surface acoustic wave resonator or an acoustic thin film resonator,
A communication device characterized in that a longitudinal mode coupled surface acoustic wave filter is connected to the balanced terminal.
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