JP2006073785A - 封止装置および素子の製造方法 - Google Patents
封止装置および素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006073785A JP2006073785A JP2004255198A JP2004255198A JP2006073785A JP 2006073785 A JP2006073785 A JP 2006073785A JP 2004255198 A JP2004255198 A JP 2004255198A JP 2004255198 A JP2004255198 A JP 2004255198A JP 2006073785 A JP2006073785 A JP 2006073785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed gas
- resin
- pressure
- sealing
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】 ここで、溶融された封止樹脂116を加圧し、2本の圧縮気体充填口を用いて、封止樹脂116を製品成形キャビティ106内に充填するため、製品成形キャビティ106内における圧力損失の発生を効果的に抑制することができる。なぜなら、2方向からの気体注入により加圧されるため、1方向からの気体注入により加圧される場合と比較して、圧縮気体によって圧力が直接的に印加される領域が比較的広く、封止樹脂116内を伝播して圧力が印加される領域が比較的狭いからである。そのため、封止樹脂116全体に対して、比較的均一に圧力を印加することができる。したがって、溶融された封止樹脂116内部に包含された気体は、封止樹脂116とともに効率的に圧縮され、気泡を効率的に微細化することができる。
【選択図】 図1
Description
101 半導体チップ
102 上金型
104 下金型
106 製品成形キャビティ
108 ランナー・ゲート部
110 樹脂ポット
112 第1圧縮気体充填口
114 第2圧縮気体充填口
116 封止樹脂
122 半導体パッケージ
124 第1圧力ポンプ
126 第2圧力ポンプ
Claims (11)
- 上金型および下金型と、
前記上金型および下金型によって形成され、その内部に素子が載置されるとともに封止樹脂が注入されるキャビティと、
前記キャビティと連通し、前記キャビティに圧縮気体を注入する第1圧縮気体注入部と、
前記第1圧縮気体注入部と独立に設けられ、前記キャビティと連通し、前記キャビティに圧縮気体を注入する第2圧縮気体注入部と、
を備えることを特徴とする封止樹脂が注入される封止装置。 - 請求項1に記載の封止装置において、
前記第1圧縮気体注入部に連通し、前記封止樹脂を収容する容器を備えることを特徴とする封止装置。 - 請求項1または2に記載の封止装置において、
前記第1圧縮気体注入部から注入される圧縮気体によって前記封止樹脂が前記キャビティに注入されるように構成されたことを特徴とする封止装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の封止装置において、
前記容器と前記第2圧縮気体注入部とは、前記キャビティを挟んで互いに対向する位置に設けられることを特徴とする封止装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の封止装置において、
前記素子が半導体素子であることを特徴とする封止装置。 - 上金型、下金型およびこれらによって形成されるキャビティを備える封止装置を用いて樹脂封止を行う素子の製造方法であって、
前記キャビティに、樹脂とともに第1の圧縮気体を注入し、前記キャビティに第2の圧縮気体を注入し、前記素子を樹脂封止する工程を含むことを特徴とする素子の製造方法。 - 請求項6に記載の素子の製造方法において、
前記第1の圧縮気体の注入と、前記第2の圧縮気体の注入とを、ほぼ同時に開始することを特徴とする素子の製造方法。 - 請求項6または7に記載の素子の製造方法において、
前記素子を樹脂封止する工程は、
前記樹脂を前記キャビティ内に注入する工程と、
前記キャビティに最終樹脂充填圧力を印加する工程と、
を含むことを特徴とする素子の製造方法。 - 請求項8に記載の素子の製造方法において、
前記樹脂を前記キャビティ内に注入する工程において、前記第1の圧縮気体の注入圧力は、前記第2の圧縮気体の注入圧力よりも大きいことを特徴とする素子の製造方法。 - 請求項8または9に記載の素子の製造方法において、
前記キャビティに最終樹脂充填圧力を印加する工程において、前記第1の圧縮気体の注入圧力と、前記第2の圧縮気体の注入圧力とは、ほぼ同じであることを特徴とする素子の製造方法。 - 請求項6乃至10いずれかに記載の素子の製造方法において、
前記素子が半導体素子であることを特徴とする素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004255198A JP2006073785A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 封止装置および素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004255198A JP2006073785A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 封止装置および素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006073785A true JP2006073785A (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=36154076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004255198A Pending JP2006073785A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 封止装置および素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006073785A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108010868A (zh) * | 2016-11-02 | 2018-05-08 | 先进科技新加坡有限公司 | 包括可压缩结构的成型装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05211185A (ja) * | 1991-11-12 | 1993-08-20 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH09155912A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-17 | Toyota Motor Corp | 樹脂封止装置及び樹脂封止用基板 |
JPH09207156A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 圧縮気体供給方法 |
JPH10305438A (ja) * | 1997-05-01 | 1998-11-17 | Apic Yamada Kk | 液体樹脂を用いる樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置 |
JPH11297731A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-10-29 | Hitachi Ltd | モールド方法およびモールド装置ならびに半導体装置の製造方法 |
-
2004
- 2004-09-02 JP JP2004255198A patent/JP2006073785A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05211185A (ja) * | 1991-11-12 | 1993-08-20 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH09155912A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-17 | Toyota Motor Corp | 樹脂封止装置及び樹脂封止用基板 |
JPH09207156A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 圧縮気体供給方法 |
JPH10305438A (ja) * | 1997-05-01 | 1998-11-17 | Apic Yamada Kk | 液体樹脂を用いる樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置 |
JPH11297731A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-10-29 | Hitachi Ltd | モールド方法およびモールド装置ならびに半導体装置の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108010868A (zh) * | 2016-11-02 | 2018-05-08 | 先进科技新加坡有限公司 | 包括可压缩结构的成型装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100929054B1 (ko) | 수지 밀봉 방법, 수지 밀봉 장치, 반도체 장치의 제조방법, 반도체 장치 및 수지 재료 | |
KR101832597B1 (ko) | 수지 밀봉 장치 및 수지 밀봉 방법 | |
US9457503B2 (en) | Apparatus for producing molded article of fiber-reinforced plastic | |
JP6020667B1 (ja) | トランスファー成形機および電子部品を製造する方法 | |
US6797542B2 (en) | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device | |
CA2566939A1 (en) | Injection molding method and injection molding apparatus | |
JPH05267376A (ja) | 集積回路リードフレーム用の改良されたプラスチック封止装置およびその方法 | |
JP5744683B2 (ja) | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 | |
JP2010165938A (ja) | 樹脂封止装置 | |
JP2008277470A (ja) | 半導体パッケージの製造方法及び製造装置 | |
JP2006073785A (ja) | 封止装置および素子の製造方法 | |
US20200262102A1 (en) | Injection molding apparatus and injection molding method | |
JP2007243146A (ja) | 半導体装置の製造方法、および、半導体装置の製造装置 | |
TWI478251B (zh) | 用於封裝半導體元件之鑄模裝置 | |
CN107107398B (zh) | 树脂成形装置 | |
KR102289910B1 (ko) | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
JP2020174089A (ja) | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 | |
JP2002506287A (ja) | 成形型部品、成形型およびキャリア上に配設された電子部品を封止する方法 | |
JP2006168256A (ja) | 樹脂成形型及び樹脂成形方法 | |
KR20170015174A (ko) | 전자 부품 밀봉 장치 및 이를 이용한 전자 부품의 제조 방법 | |
KR100201913B1 (ko) | 트랜스퍼 몰딩법 | |
JP2000068305A (ja) | 樹脂封止成形方法 | |
JP2001088170A (ja) | 樹脂成形体の製造方法及び成形用金型 | |
KR20080037912A (ko) | 사출성형을 이용한 폐쇄형 채널구조 제품의 제조방법 | |
JP2011037280A (ja) | 積層樹脂成形体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070817 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100419 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100608 |