JP2006060132A - Heat treatment system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、コンピュータウイルス対策を施した熱処理システム関するものである。 The present invention relates to a heat treatment system with a computer virus countermeasure.
これまでは、ＣＶＤ装置などの熱処理装置は、ネットワーク（回線）に接続せずに、工場内で単独で使用されており、プロセスレシピの入力、プロセス開始操作や装置稼動情報の取得などは、全て装置オペレータにより、熱処理装置に直接操作して行われていた。
そのため、熱処理装置は、ネットワークを経由して侵入するコンピュータウイルスに感染することはほとんどなかった。また、プロセスレシピを保存するために使用するＦＤを介してコンピュータウイルスに感染した場合でも、ネットワークに接続されていないので、被害を受ける範囲は限られていた。
ところが、近年は、互いに遠く離れた工場の熱処理装置間をネットワークに接続して、熱処理システムを構築することが当たり前となってきている（例えば、特許文献１、特許文献２等）。それにともない、熱処理システムは、ネットワークを経由したコンピュータウイルス感染の被害も広がっている。
For this reason, the heat treatment apparatus was hardly infected with a computer virus that invades via a network. Further, even when the computer virus is infected via the FD used for storing the process recipe, the range of damage is limited because it is not connected to the network.
However, in recent years, it has become common to establish a heat treatment system by connecting heat treatment apparatuses in factories far away from each other to a network (for example, Patent Document 1, Patent Document 2, etc.). Along with this, the heat treatment system has also been affected by computer virus infection via the network.
上述した従来の熱処理システムは、コンピュータウイルスに対し無防備であるため、ウイルスに感染する可能性が急速に高まっている。また、熱処理システムは、ウイルス対策が行われていないため、ひとたびウイルスに感染すると、被害が広範囲に拡大するおそれがあった。
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、コンピュータウイルス対策を施した熱処理システムを提供することにある。
Since the conventional heat treatment system described above is defenseless against computer viruses, the possibility of being infected with viruses is rapidly increasing. In addition, since the heat treatment system is not subjected to virus countermeasures, once it is infected with a virus, there is a risk that the damage spreads over a wide area.
It is an object of the present invention to provide a heat treatment system that solves the above-described problems of the prior art and takes measures against computer viruses.
第１の発明は、熱処理装置の装置コントローラに回線を介して遠隔操作装置からアクセス可能とした熱処理システムであって、前記装置コントローラ内のコンピュータウイルス感染を検査するウイルスチェックサーバを前記回線に接続したことを特徴とする熱処理システムである。
ウイルスチェックサーバを回線に接続したので、装置コントローラ内にウイルスチェックプログラムをダウンロードすることにより、回線を介して侵入する装置コントローラ内のウイルス感染を検査することができる。また、回線を介してダウンロードするので、最新のウイルスチェックプログラムでウイルス感染を検査することができる。
A first invention is a heat treatment system in which an apparatus controller of a heat treatment apparatus can be accessed from a remote control device via a line, and a virus check server for inspecting a computer virus infection in the apparatus controller is connected to the line It is the heat processing system characterized by this.
Since the virus check server is connected to the line, it is possible to inspect the virus infection in the device controller entering through the line by downloading the virus check program into the device controller. Moreover, since it downloads via a line | wire, a virus infection can be test | inspected with the latest virus check program.
第２の発明は、第１の発明において、前記熱処理装置は、プロセスレシピに基づいたプロセス制御によって制御されるものであり、前記ウイルスチェックサーバは、前記装置コントローラに前記熱処理装置の稼動状態を確認させ、前記稼働状態が前記プロセスレシピの実行中であるときには、プロセスレシピ終了後に、前記ウイルス感染を検査をするように制御するものであることを特徴とする熱処理システムである。
このようなウイルス感染検査を行う場合に、特にプロセス制御に影響を与えやすいが、本発明によれば、プロセスレシピ実行中のときには、プロセスレシピ終了後に、ウイルス感染検査をするように制御するので、そのような問題を解決できる。
In a second aspect based on the first aspect, the heat treatment apparatus is controlled by process control based on a process recipe, and the virus check server confirms an operating state of the heat treatment apparatus with the apparatus controller. In the heat treatment system, when the operation state is during execution of the process recipe, the virus infection is controlled to be inspected after completion of the process recipe.
When performing such a virus infection test, it is particularly easy to affect the process control. However, according to the present invention, when the process recipe is being executed, control is performed so that the virus infection test is performed after the process recipe ends. Such a problem can be solved.
第３の発明は、第１の発明において、前記ウイルスチェックサーバから回線を介して装置コントローラにダウンロードしたウイルスチェックプログラムを、ウイルス感染検査が終わると装置コントローラから削除するようにしたことを特徴とする熱処理システムである。
ウイルスチェックプログラムが装置コントローラのメモリに常駐しないので、装置コントローラの負担が増加せず、装置コントローラの動作に影響を与えるおそれがない。
A third invention is characterized in that, in the first invention, the virus check program downloaded from the virus check server to the device controller via a line is deleted from the device controller when the virus infection test is completed. It is a heat treatment system.
Since the virus check program does not reside in the memory of the device controller, the load on the device controller does not increase, and there is no possibility of affecting the operation of the device controller.
本発明によれば、ウイルスチェックサーバを回線に接続するようにしたので、装置コントローラ内のウイルス感染を有効に防止できる。 According to the present invention, since the virus check server is connected to the line, virus infection in the device controller can be effectively prevented.
以下に本発明の実施の形態を説明する。
図１は、実施の形態の熱処理システムの構成図である。熱処理システムは、複数の熱処理装置１０を、遠隔操作装置としてのホスト装置１３によってアクセス可能としたシステムである。複数の熱処理装置１０は、ホスト装置１３に回線としてのネットワーク１２で接続されている。このネットワーク１２には、コンピュータウイルス感染を検査するウイルスチェックサーバ１４が接続されている。
Embodiments of the present invention will be described below.
FIG. 1 is a configuration diagram of a heat treatment system according to an embodiment. The heat treatment system is a system in which a plurality of
熱処理装置１０は、ＣＶＤ成膜、酸化膜形成、不純物拡散などの熱処理を基板に行う。この熱処理装置１０は、例えばバッチ式の縦型熱処理装置で構成される。この縦型熱処理装置は、処理炉、ボートの他に、基板搬送ロボット、ボートエレベータなどの機構部を備える。基板搬送ロボットによって多数枚の基板をボートに積載し、ボートエレベータにより、ボートを処理炉内に搬入する。搬入後、成膜などの処理が行われる。
The
熱処理装置１０は、これを制御する装置コントローラ１１を備える。装置コントローラ１１は、そのメモリ内にプロセスレシピを格納し、プロセスレシピによって熱処理装置１０を制御する。また、装置コントローラ１１は、そのメモリ内にウイルスチェックプログラム（ウイルス対策ソフト）を格納し、ウイルスチェックプログラムによって装置コントローラ１１内のコンピュータウイルス感染を検査する。装置コントローラ１１は、ウイルスチェックサーバ１４と通信を行うための通信ソフトを有する。
上記プロセスレシピとは、プロセスシーケンス及び制御パラメータ（温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間などの制御目標値）に関する熱処理装置個別の処理プログラムである。装置コントローラ１１は、基板搬送ロボットやボートエレベータなどの機構部を監視して各機構部へ動作指示を行うとともに、このプロセスレシピに基づいたプロセス制御によって、熱処理装置１０に所定の温度、圧力条件の下で処理ガスを導入して、成膜等の処理を行わせる。
The
The process recipe is a processing program for each heat treatment apparatus related to a process sequence and control parameters (control target values such as temperature, pressure, gas type and gas flow rate, and time). The
このような装置コントローラ１１を備えた熱処理装置１０は、遠隔地などにある各工場に複数存在する。これらの複数の熱処理装置１０は、ネットワーク１２によりホスト装置１３に接続される。ネットワークは、ＬＡＮ、ＷＡＮ、インターネットなどで構成される。例えば工場ネットワークを挙げることができる。
A plurality of
ホスト装置１３は、遠隔地に存在して、ネットワーク１２から装置コントローラ１１を遠隔操作して複数の熱処理装置１０を制御する。このホスト装置１３は、装置コントローラ１１を介して熱処理装置１０にアクセス可能になっている。このホスト装置１３は、複数の熱処理装置１０に共通の上位の制御系コンピュータで構成される。このホスト装置１３は、各熱処理装置１０の稼動状況や生産情報の取得、プロセスレシピの管理を行うことができる。また、処理データを装置コントローラ１１から吸い上げることもできる。
The
ウイルスチェックサーバ１４は、熱処理装置１０の装置コントローラ１１内のコンピュータウイルス感染を検査することが可能なウイルスチェックプログラムを保有し、最新のウイルスチェックプログラムを装置コントローラ１１に提供できるようになっている。
The
上述したように構成された熱処理システムにおいて、装置コントローラ１１内のウイルス感染検査は、装置コントローラ１１のメモリ内に格納した通信ソフト、及びウイルスチェックサーバ１４のウイルスチェックプログラムによって、図２に示すようになシーケンスで行われる。
In the heat treatment system configured as described above, the virus infection test in the
（１）ウイルスチェックサーバ１４は、サーバからネットワーク１２を介して、各熱処理装置１０の装置コントローラ１１で動作している通信ソフトに、自動的例えば定期的に、熱処理装置１０の稼動状況を間い合わせる。
（２）装置コントローラ１１は、コントローラで動作している通信ソフトが熱処理装置１０の稼動状況を調べ、ネットワーク１２を介してウイルスチェックサーバ１４に熱処理装置１０の稼動状況を通知するように制御する。
（３）ウイルスチェックサーバ１４において、熱処理装置１０がアイドル状態（プロセスレシピが実行されていない）であると判断されれば、ウイルス感染検査を行うために、ウイルスチェックサーバ１４からネットワーク１２を介して、複数の熱処理装置の中から対象となる熱処理装置１０の装置コントローラ１１にウイルスチェックプログラムをロードする。装置コントローラ１１は、コントローラのメモリにそのプログラムを展開する。
このとき、熱処理装置１０にて、プロセスレシピが実行されている場合は、ウイルス感染検査をプロセスレシピ終了後に行うようにウイルスチェックサーバ１４で制御する。
(1) The
(2) The
(3) If it is determined in the
At this time, when the process recipe is executed in the
（４）対象となる熱処理装置１０の装置コントローラ１１は、展開されたウイルスチェックプログラムにより、コントローラのウイルス感染検査を行う。ウイルスが発見された場合、装置コントローラ１１からウイルスの駆除を行う。
（５）装置コントローラ１１は、ウイルスの有無や、検出したウイルスの種類、対処結果などの情報をネットワーク１２を介してウイルスチェックサーバ１４に通知する。ウイルスチェックサーバ１４ではこれらの検査情報、検査履歴を保存、管理する。
なお、装置コントローラ１１は、ウイルスの駆除後、必要に応じて、対象となる熱処理装置１０の装置コントローラ１１をネットワーク１２から切断する。
（６）ウイルス検査が終わると、装置コントローラ１１は、ウイルスチェックプログラムを装置コントローラ１１のメモリ内から削除する。
(4) The
(5) The
Note that the
(6) When the virus inspection is finished, the
上述したように実施の形態によれば、次のような効果を発揮する。 As described above, according to the embodiment, the following effects are exhibited.
対象となる熱処理装置にネットワークを介して接続されたウイルスチェックサーバから自動的にウイルスチェックプログラムをロードし、プログラムを実行するので、自動的にウイルス感染の検査を行うことができる。また、自動的にウイルス感染検査が行えるので、装置コントローラのウイルス感染検査漏れを無くすことができる。また、その都度、ウイルスチェックプログラムをロードして使用するので、最新のウイルスチェックプログラムが使用できる。 Since the virus check program is automatically loaded from the virus check server connected to the target heat treatment apparatus via the network and the program is executed, the virus infection can be automatically inspected. Further, since the virus infection inspection can be automatically performed, it is possible to eliminate the omission of the virus infection inspection of the device controller. Moreover, since the virus check program is loaded and used each time, the latest virus check program can be used.
また、ウイルス感染検査後は装置からウイルスチェックプログラムを削除するので、装置コントローラ１１の動作にプログラムが悪影響を与えるのを防止できる。すなわち、装置コントローラ１１にインストールされている既存のウイルスチェックプログラムをそのまま使用した場合、ウイルスチェックプログラムは装置コントローラ１１のメモリに常駐して、メモリ資源を使うため、装置コントローラ１１の負担が増し、装置コントローラ１１の動作に悪影響を与えるおそれがある。例えば、装置コントローラ１１におけるプロセスレシピの制御性能、センサからのモニタ値の精度、操作画面の応答性などが低下する。しかし、ウイルス検査が終わるとウイルスチェックプログラムを装置コントローラ１１から削除しているので、上述したような問題が生じない。
Further, since the virus check program is deleted from the apparatus after the virus infection test, it is possible to prevent the program from adversely affecting the operation of the
また、プロセスレシピが実行されている場合は、ウイルス感染検査をプロセスレシピ終了後に行うようにしたプロセス優先主義を取っているので、プロセス制御に影響を与えることなく、コンピュータウイルスを検査・駆除することができる。 In addition, when process recipes are being executed, the process priority principle is such that virus infection inspection is performed after completion of the process recipe, so that computer viruses can be inspected and removed without affecting process control. Can do.
また、ウイルス感染検査により問題があれば直ちにウイルス駆除やネットワーク切断などの対処を行うので、ウイルス感染の被害が広がるのを未然に防止できる。 In addition, if there is a problem in the virus infection test, immediate action such as virus removal or network disconnection is taken, so that the damage of virus infection can be prevented from spreading.
１０ 熱処理装置
１１ 装置コントローラ
１２ ネットワーク（回線）
１３ ホスト装置（遠隔操作装置）
１４ ウイルスチェックサーバ
10
13 Host device (remote control device)
14 Virus check server
Claims (1)
前記装置コントローラ内のコンピュータウイルス感染を検査するウイルスチェックサーバを前記回線に接続したことを特徴とする熱処理システム。 A heat treatment system capable of accessing a device controller of a heat treatment device from a remote control device via a line,
A heat treatment system, wherein a virus check server for inspecting computer virus infection in the apparatus controller is connected to the line.
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2004
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