JP2006030562A - 光学部品又はマイクロレンズアレイ及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
マイクロレンズアレイ109を固定基板200に固定して製造することを可能にし、マイクロレンズアレイ109の薄さによる製造工程上の不具合を解決した、好適なマイクロレンズアレイ109の製造方法及びマイクロレンズアレイ109を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明にかかるマイクロレンズアレイの製造方法は、透明性を有するレンズ基板202とレンズ基板202よりも厚い固定基板200とを、加熱により粘着力が低下する接着手段201によって貼り付けるステップと、レンズ基板202上にマイクロレンズアレイ109を形成するステップと、レンズ基板202と固定基板200を加熱し剥離するステップとを有するものである。これによりマイクロレンズアレイ109を固定用の基板に固定して製造することを可能にする。
【選択図】 図4
マイクロレンズアレイ109を固定基板200に固定して製造することを可能にし、マイクロレンズアレイ109の薄さによる製造工程上の不具合を解決した、好適なマイクロレンズアレイ109の製造方法及びマイクロレンズアレイ109を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明にかかるマイクロレンズアレイの製造方法は、透明性を有するレンズ基板202とレンズ基板202よりも厚い固定基板200とを、加熱により粘着力が低下する接着手段201によって貼り付けるステップと、レンズ基板202上にマイクロレンズアレイ109を形成するステップと、レンズ基板202と固定基板200を加熱し剥離するステップとを有するものである。これによりマイクロレンズアレイ109を固定用の基板に固定して製造することを可能にする。
【選択図】 図4
Description
本発明は光学部品又はマイクロレンズアレイ及びそれらの製造方法に関する。
液晶表示装置の課題として高輝度化及び高視野角化がある。この課題を解決するものとしてマイクロレンズアレイを用いた液晶表示装置の発明が提案されている。
マイクロレンズアレイを用いた液晶表示装置の例の模式図を図7に表す。液晶表示装置は2枚の透明基板2、12の間に液晶層7が挟持されている。そして、透明基板2の前面側には偏光フィルム1が設けられている。透明基板2の背面側にはブラックマトリクス3、カラーフィルタ層4、透明電極5、配向膜6が形成されている。透明基板2と透明基板12の間にはスペーサ8が設けられている。透明基板12の前面側には、TFT素子11、透明電極10、配向膜9が形成されている。
マイクロレンズアレイ122及びリム121は透明基板12の背面側に形成されている。偏光フィルム13を通って入射してくる光源からの光を、マイクロレンズアレイ122が集光しTFT素子11やブラックマトリクス3を避けて透明基板2へ照射することによって光の利用効率を高め高輝度化を図っている。
ここで紹介した例の他にもマイクロレンズアレイを透明基板2側(観察者側)に配置する事によって高視野角化を図る技術もある。このような技術は例えば特許文献1に記載されている。
従来のマイクロレンズアレイの製造方法としては、あらかじめガラス基板表面に形成されたUV(Ultra Violet ray:紫外線)樹脂層にNi電鋳原盤を押圧してマイクロレンズ面を転写した後、ガラス基板裏側からUV光を照射しUV樹脂層を硬化させてマイクロレンズ面の凹凸を形成した後、この凹凸形成後のUV樹脂層に所定の屈折率を有する光学樹脂層で埋めて硬化させることでマイクロレンズ面を形成する2P(Photo−Polymer)法がある。このような方法は例えば特許文献2に記載されている。
特開平8−166502号公報
液晶表示装置には小型化、薄型化が望まれるため、必然的に液晶表示装置を構成する各部の部品も小型化、薄型化が必要となる。また、コストを下げるために大型の基板によって同時多数個取りする事も必要となる。マイクロレンズアレイに求められる薄さとしては300μm以下であり、同時多数個取りするための基板は少なくとも360mm×460mmである。ここで問題となるのはマイクロレンズアレイの製造過程に関する問題である。
マイクロレンズアレイは光学機器として当然のごとく透明性を有する材料で構成する事が必須となる。透明性を有する材料の例としてはガラスやプラスチックなどがある。例えば300μm程度の厚さで360mm×460mmの面積の板状の部品をガラスで形成すると割れやすいものとなってしまうため、取り扱いが非常に難しい。
プラスチックで形成する場合は射出成形で形成する事もできるが、レンズ、基板を含めた全体の寸法が360mm×460mm以上の大きさで300μm以下であることの達成は難しく、従ってキャスティングや押圧によるロール転写、あるいは2P法を用いて、板というよりもフィルム状に形成されることになる。この場合、割れる事はないが剛性がないためにこちらも取り扱いに手間のかかるものとなる。また、フィルム基板となるため、製作工程において力をかけると伸びてしまうため、レンズのピッチずれや変形が起こり、マイクロレンズアレイの各レンズと液晶パネルの各画素との位置がずれてしまい、光学特性の高効率化機能を十分に果たさないものとなってしまう。
このような問題を解決する単純な方法としてはマイクロレンズアレイの基板を厚くして製造工程を行う方法が考えられる。ガラスであれば割れにくく、フィルムであれば剛性を高める事ができる。そして、マイクロレンズアレイを液晶表示装置パネルに組み付ける前に研磨もしくはエッチングによってマイクロレンズアレイを薄くすることができる。この場合、工程数が増えてしまいコストアップは避けられない。また、研磨やエッチングには時間がかかるので生産性の面からも好ましくない
このような問題は上記のようにマイクロレンズアレイにおいて特に顕著であるが、シート状のプリズムアレイ、構造性ARシート、シート状の導波性アレイ等の光学部品一般において考えられる。
このような問題は上記のようにマイクロレンズアレイにおいて特に顕著であるが、シート状のプリズムアレイ、構造性ARシート、シート状の導波性アレイ等の光学部品一般において考えられる。
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、光学部品又はマイクロレンズアレイを固定用の基板に固定して製造することを可能にし、光学部品又はマイクロレンズアレイの薄さによる製造工程上の不具合を解決した、好適な光学部品又はマイクロレンズアレイの製造方法及び光学部品又はマイクロレンズアレイを提供することを目的とする。
本発明にかかる光学部品の製造方法は、透明性を有する光学部品用の基板と前記光学部品用の基板よりも厚い固定基板とを、加熱により粘着力が低下する接着手段によって貼り付けるステップと、前記光学部品用の基板上に光学部品を形成するステップと、前記光学部品用の基板と前記固定基板を加熱し剥離するステップとを有するものである。これにより光学部品を固定用の基板に固定して製造することを可能にする。
また、前記接着手段は粘着シートであってもよい。これにより、容易に貼り付けを行なう事ができる。
詳細には、前記粘着シートはシート内にマイクロカプセルを有し、前記マイクロカプセルは加熱し所定温度に達すると発泡し接着面に凹凸を作り出すものであることが好ましい。これにより、加熱による粘着性の低下を実現できる。
前記接着手段は、加熱後の粘着力は前記加熱前の粘着力の50%以下であることが好ましい。これにより、余分な応力をかけず、用意に固定用の基板を剥離する事ができる。
更には、前記接着手段は、前記加熱により粘着力が消失することが好ましい。これにより、応力をかけることなく固定用の基板を剥離することができる。
また、前記光学部品用の基板の厚さは300μm以下である事が好ましい。これにより、光学部品の薄型化を実現する事ができる。
更にまた、前記固定基板の厚さは1mm以上であることが好ましい。これにより、固定用基板として十分な剛性を有する事ができる。
好適には、前記光学部品用の基板はマイクロレンズの基板とすることができ、前記光学部品はマイクロレンズアレイとすることができる。
他方、本発明にかかるマイクロレンズアレイは、透明性を有するレンズ基板と、前記レンズ基板上に形成されたマイクロレンズとを有するマイクロレンズアレイであって、前記レンズ基板よりも厚い固定基板に、加熱により粘着力が低下する接着手段によって前記固定基板を貼り付けた状態で前記マイクロレンズが形成されたものである。これにより、薄型化を実現し、且つ製造工程上の扱い辛さを低減したマイクロレンズアレイを提供する事ができる。
ここで、前記レンズ基板の厚さは300μm以下である事が好ましい。これによりマイクロレンズアレイの薄型化を実現する事ができる。
また、前記固定基板の厚さは1mm以上である事が好ましい。これにより、固定用基板として十分な剛性を有する事ができる。
更にまた、前記接着手段は粘着シートであってもよい。これにより、容易に貼り付けを行なう事ができる。
詳細には、前記粘着シートはシート内にマイクロカプセルをし、前記マイクロカプセルは加熱し所定温度に達すると発泡し接着面に凹凸を作り出すものであることが好ましい。これにより、加熱による粘着性の定価を実現できる。
前記接着手段は、加熱後の粘着力は前記加熱前の粘着力の50%以下であることが好ましい。これにより、余分な応力をかけず、用意に固定用の基板を剥離する事ができる。
更には、前記接着手段は、前記加熱により粘着力が消失することが好ましい。これにより、応力をかけることなく固定用の基板を剥離することができる。
本発明により、マイクロレンズアレイを固定用の基板に固定して製造することを可能にし、マイクロレンズアレイの薄さによる製造工程上の不具合を解決した、好適なマイクロレンズアレイの製造方法及びマイクロレンズアレイを提供することができる。
以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。また、説明の明確化のため、以下の記載は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。
実施の形態1 図1は液晶表示装置の断面図を示す図である。図1において液晶表示装置100は複数の画素により画面表示を実現する液晶表示パネルである2枚の透明基板101、102で液晶層103を挟持して構成される。透明基板101、102は例えばガラス、ポリカーボネイト、アクリル樹脂等により形成される。液晶表示装置100の前面側に配置されている第一の透明基板101の裏面側である液晶層103と接する面には、カラーフィルタ層104が形成される。カラーフィルタ層104は、例えば赤(R)、緑(G)、青(B)の色表示を行なう3領域により構成される。ブラックマトリクス105はカラーフィルタ層104の各画素間に配置される遮光膜であり、画素間の光漏れを防止する。
カラーフィルタ層104の裏側には、透明電極106、配向膜107が順次積層形成されている。透明電極106は、例えばフォトリソグラフィ法により透明導電性薄膜(ITO:Indium Tin Oxide)から形成される。配向膜107は例えば高分子材料であるポリイミド(Polyimide)薄膜等の有機薄膜で形成され、液晶層103の液晶分子を所定の方向に揃える役割を果たす。液晶表示装置100の背面側に配置されている第二の透明基板101にはTFT素子108が形成され、更に透明電極106、配向膜107が積層形成される。TFT素子108は液晶駆動用のスイッチング素子である。
第2の透明基板102の裏面側には光学部品としてのマイクロレンズアレイ109およびリム110が設けられている。図2は透明基板、マイクロレンズアレイ、リムの配置関係を示す平面図である。
図1及び図2において、マイクロレンズアレイ109が透明基板102の裏面側の外周縁に設けられたリム110に周囲を囲まれるように設けられている。ここで、マイクロレンズアレイ109とは、光利用効率向上のため、例えば直径10×10−6m程度のマイクロレンズを多数配置したものであり、複数の画素により画面表示を実現する表示パネルとしての透明基板102と共に用いられ、画素の一又は複数に対応して設けられたマイクロレンズ109aを複数備えている。
画素とは、液晶表示パネル画面全体を格子状に細分化して、色/明るさの情報を蓄える微小単位をいい、画素ごとに蓄えられる情報量(Bit:ビット)で明暗を含む色彩の表現能力が決められる。マイクロレンズ109aは一般に直径数mm以下の微小なレンズのことをいう。リム110はマイクロレンズアレイ109の凸部頂点と同一またはそれよりも高い高さで第2の透明基板102の裏面側の外周縁に沿って途切れることなく形成されている。リム110は、主に第2の透明基板102の裏面側に取りつけられる後述の偏光板111を、平坦性を維持して保持する目的で設けられる。リム110は好ましくはマイクロレンズアレイ109と同一材料で構成される。
偏光板111は、入射光に対して特定の偏光成分のみを透過させる機能を有する光学部材であって、2枚の透明基板101、102の両側表面に貼り付けられる。スペーサ112は、透明基板101、102間の液晶層103の高さ(セルギャップ)を制御する樹脂粒子で、透明基板101、102間の全範囲に亘り、複数個散在される。
透明基板101、102は大型のマザー基板により多数個取りされる。図3は透明基板のマザー基板の平面図である。マザー基板1000には透明基板101または102が一定の間隔をもって配列されている。複数の第1の基板101のそれぞれの領域内には、裏面側にカラーフィルタ層104、透明電極106および配向膜107が積層形成される。複数の第2の透明基板102のそれぞれの領域内には、裏面側にマイクロレンズアレイ109およびリム110が形成され、表面側にTFT素子108、透明電極106、および配向膜107が積層形成される。そして各透明基板101または102はマザー基板1000から分離切断可能に形成される。
次に本実施形態にかかるマイクロレンズアレイの製造方法について、図を用いて説明する。図4は本実施形態にかかるマイクロレンズアレイの製造方法を示す図である。まず図4(a)に示すように、固定基板200に熱剥離粘着層201を介してマイクロレンズアレイの基板となるレンズ基板202を貼り付ける。
レンズ基板202は例えばガラスや合成樹脂の材料からなり、透明性を有する基板又はフィルムである。このレンズ基板202上にマイクロレンズ109aが形成され、マイクロレンズアレイとなる。レンズ基板202の厚さは約300μm程度である。従って、ガラス基板であれば非常に割れやすく、フィルムであれば剛性が低くて扱いづらい。そのために製造工程上では固定基板200に保持した状態で扱いにくさを回避する。固定基板200は特に限定されないが例えばガラス基板であり、3mm程度の厚さを有する。
固定基板200とレンズ基板202を貼り付けている熱剥離粘着層201は、熱すると粘着力が低下する層である。本実施形態では日東電工の熱剥離粘着シート、リバアルファ(登録商標)の90℃弱で粘着力が低下するタイプを用いる。この熱剥離粘着シートは粘着層内にマイクロカプセルを有しており、加熱されると粘着層中のマイクロカプセルが発泡し、粘着層表面に微細な凹凸が生じる。これにより、元はシート状で被着体と面で接着していたものが点での接着となり接触面積が著しく減少する。この効果によって接着力を短時間で消失させることができる。
次に図4(b)に示すように、スタンパ204にUV樹脂層203を塗布しレンズ基板202を覆せることによりマイクロレンズ面を転写する。更に固定基板202側からUV光を照射しUV樹脂層203を硬化させる。これでマイクロレンズ109aが形成される。UV光の照射は365nm付近の波長のUV光を3000mJのエネルギーで照射する。スタンパ204の形状を調節する事でマイクロレンズ109aと共にリム110も成形することができる。
次に図4(c)に示すようにスタンパを剥離する。スタンパ204とマイクロレンズ109aを剥離する際に両者の間に応力が加わる場合がある。固定基板200がない状態の場合、この応力がレンズ基板202に伝わるとレンズ基板202がガラス素材の場合は割れる虞があり、フィルム素材の場合は伸びてしまう虞がある。割れてしまえば当然のごとく歩留まりに影響するが、フィルムが伸びてしまった場合も、パネルと接着する際にマイクロレンズ109aと画素とのアラインメントが取れなくなり、やはり歩留まりに影響する。レンズ基板202を固定基板200に固定しておく事によりこれらの問題を回避する事ができる。
次に図4(d)に示すように、スタンパ204から剥離した状態で加熱する。本実施形態では90℃弱で粘着力の劣化する熱剥離粘着シートを用いているので、加熱温度を90℃とした。これにより、図4(e)に示すように熱剥離粘着層201内のマイクロカプセルが発泡し、粘着力が低減され若しくは完全に消失し、固定基板200、熱剥離粘着層201及びレンズ基板202をそれぞれ剥離する事が容易となる。これにより、レンズ基板202上にマイクロレンズ109aの形成されたマイクロレンズアレイ109が完成する。
熱剥離粘着層201を用いずとも、レンズ基板202を固定基板200に固定して図4(c)までの工程を行なう事は可能である。しかし、固定基板200は最終製品には不要なものであり、剥離する必要があるため、加熱による剥離が行なえない場合は、力をかけて剥離させる必要がある。その場合、先述のスタンパ204との剥離工程のようにレンズ基板202へかかる応力によって不具合が生じる。すなわちレンズ基板202がガラス基板の場合はガラス素材であるために割れてしまう問題であり、フィルム素材の場合は伸びてしまう問題である。
レンズ基板202を固定基板200に固定することは、レンズ基板202の薄さによる製造工程での扱いづらさを解決するためのものなので省略する事はできず、必然的に製造されたマイクロレンズアレイ109を固定基板200から剥離する工程も省略できないものとなる。通常接着されているものを剥離する場合には接着力以上の応力を要するが、熱剥離粘着層201を用いれば完成したマイクロレンズアレイ109に余分な応力をかけることなく剥離させる事ができる。
固定基板200は製造工程上において何度も使用する事が可能であり、マイクロレンズアレイのコストアップにはならない。本実施形態ではマイクロレンズ109aを形成するための素材にUV樹脂を用いたので、固定基板200、熱剥離粘着層201、レンズ基板202はUV光の透過性が高い素材である必要がある。
尚、マイクロレンズ109aを形成する素材はUV樹脂に限定されず、例えば熱硬化性樹脂であってもよい。その場合、図4(b)で行なっているUV露光はベーク処理となる。ただし、ベーク処理後も図4(c)の工程までレンズ基板202は固定基板200に固定されていなければならないので、ベーク処理によって熱剥離粘着層の粘着力が低下してはならない。熱硬化性樹脂の硬化温度が、熱剥離粘着層の粘着性低下温度よりも低くなるように予め調整しておく必要がある。
また、レンズ基板202及び固定基板200が熱収縮する素材である場合、その収縮温度も考慮する必要がある。レンズ基板202が収縮するとマイクロレンズアレイの寸法に影響するため、液晶表示パネルと組み合わせる際にブラックマトリクス105やTFT素子108とのアラインメントが取れなくなってしまうからである。すなわち好適な温度の順としては、(熱硬化性樹脂の硬化温度)<(熱剥離粘着層の粘着力定価温度)<(レンズ基板202及び固定基板200の収縮温度)となる。
マイクロレンズアレイの材料に熱硬化性樹脂を用いる場合、固定基板200及び熱剥離粘着層201は特に透明性を必要とはしない。
以上説明したように、本実施形態にかかるマイクロレンズアレイの製造方法では、マイクロレンズアレイを固定用の基板に固定して製造することを可能にし、マイクロレンズアレイの薄さによる製造工程上の不具合を解決し、好適なマイクロレンズアレイの製造方法及びマイクロレンズアレイを提供することができる。
実施の形態2 本実施の形態では、感光性物質層を用いた一括露光法によりマイクロレンズアレイを製造する方法を説明する。熱剥離粘着層201を介して固定基板200にレンズ基板202を接着し、その状態で製造工程を行なう事に関しては実施の形態1と同様である。
本実施の形態においても製造されたマイクロレンズアレイを適用する液晶表示装置については同様であるため、説明を省略する。図5を用いて本実施形態にかかるマイクロレンズアレイの製造方法を説明する。図5(a)に示すように、固定基板200に熱剥離粘着層201を介してマイクロレンズアレイの基板となるレンズ基板202を貼り付け、その上にネガ型の厚肉対応紫外線硬化型フォトレジスト205aをスピンコート法により約30×10−6mの厚さで塗布して、ネガ型の感光性物質層を形成する。
フォトレジスト205aは、少なくとも例えば感光性ゾルゲル樹脂など透明であって紫外線硬化を有するものであればよい。また、フッ素、金属微粒子、錯体などが、例示の感光性ゾルゲル樹脂に含有されていてもよい。
次に図5(b)に示すように光学部品としてのマイクロレンズ109aを構成する部分が硬化するようにフォトレジスト205aを露光する。固定基板200の裏側からフォトマスク206を配置し、フォトレジスト205aへ向けて約200×107J/m2の出力で露光を行なう。
ここで、フォトマスク206はグレイスケール階調で形成されたレンズパターンを有し、個々のレンズパターンは液晶表示パネルの画素の1つ又は複数に対応して設けられている。個々のレンズ形状は六角形であり、その六角形の相対向頂角間距離の最大径が約110×10−6mのレンズ径を有する。また、レンズ中心の透過率を100%とし、同心円状にレンズ外周方向へ向けて半径約88×10−6mの曲率に合わせて透過率を低減していき、最大径部で透過率が0%になるように、予め調整されている。
従って図5(b)に示すように、複数の一定の曲率を有した凸部の硬化部分205bが液晶表示パネルの画素の1つ又は複数に位置対応して、硬化により形成される。ここで、フォトマスク206の透過率制御は、ガラス基板上に塩化銀のエマルジョンを塗布し、レーザーでパワー変調を加えながら直接描画して行なった。この方法以外にも、画素ドットパターン密度を制御して透過率の制御を行なってもよい。この場合はドットパターンはインクジェット方式やガラス基板上にCrの遮光膜を形成後、レジストを塗布し、レーザーでレジストをドット状に露光して更にこのレジストを現像し、Crの遮光膜をエッチングすることにより、微***を形成してもよい。また、直接Cr等の遮光膜をドット状にレーザー加工して上記微***を形成してもよい。
次に図5(c)に示すようにフォトレジスト205aを現像し、硬化部分205b以外の未硬化部分を除去する。現像は例えば2%のTMAH(Tetramethyl Ammonium Hydroxide:水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液を用いて現像し未硬化部分を溶解除去する。こうすることにより、硬化部分205bがマイクロレンズ109aとして形成される。
次に図5(d)に示すように経過物を加熱する。本実施形態では90℃弱で粘着力の劣化する熱剥離粘着シートを用いているので、加熱温度を90℃とした。これにより、熱剥離粘着層201の粘着力が低減され若しくは完全に消失し、図5(e)に示すように固定基板200、熱剥離粘着層201及びレンズ基板202をそれぞれ剥離する事が容易となる。これにより、レンズ基板202上にマイクロレンズ109aの形成されたマイクロレンズアレイ109が完成する。
尚、本実施形態ではネガ型一括露光法によりマイクロレンズアレイを製造する方法を説明したが、ポジ型一括露光法によっても製造する事は可能である。ポジ型一括露光法を用いて製造する場合の製造方法を図6に示す。図5(a)に示すように、固定基板200に熱剥離粘着層201を介してマイクロレンズアレイの基板となるレンズ基板202を貼り付け、その上にポジ型の厚肉対応紫外線硬化型フォトレジスト207aをスピンコート法により約30×10−6mの厚さで塗布して、ポジ型の感光性物質層を形成する。
次に図6(b)に示すように、光学部品としてのマイクロレンズ109aを構成する部分以外が分解するようにフォトレジスト207aを露光する。フォトレジスト207aの表面からフォトマスク208を配置し、フォトレジスト207aへ向けて約200×10mJ/cm2の出力で露光を行なう。
ここで、フォトマスク208はグレイスケール階調で形成されたレンズパターンを有し、個々のレンズパターンは表示パネルの画素の1つ又は複数に応じて設けられている。個々のレンズ形状は六角形であり、その六角形の相対向する頂角間距離の最大径を約110×10−6mのレンズ径を有する。また、レンズ中心の透過率を0%とし、同心円状にレンズ外周方向へ向けて半径約88×10−6mの曲率に合わせて透過率を増加していき、最大径部で透過率が100%になるように予め調整されている。従って、図6(b)に示すように、マイクロレンズ109a以外の部分が分解され、複数の一定の曲率を有した凸部の非分解部分207bが表示パネルの画素の1つ又は複数に位置対応して形成される。
次に図6(c)に示すようにフォトレジスト207aを現像し、非分解部分207b以外の分解部分を除去する。現像は例えば2%のTMAH(Tetramethyl Ammonium Hydroxide:水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液を用いて現像し分解部分を溶解除去する。こうすることにより、マイクロレンズ109aが形成される。
以降の製造工程は図5(d)と同様である。本実施形態については、一括露光法を用いているため実施の形態1のようにスタンパからの剥離を行なう必要はない。しかし、レンズ基板202はガラス素材の場合は割れやすく、フィルム素材の場合は剛性の低さゆえに扱い辛いため、固定基板200にレンズ基板202を固定した上で製造工程を行なう事は有効である。その場合、製造されたマイクロレンズアレイと固定基板200とを剥離する作業が必要となるため、熱剥離粘着層201を設けて加熱により余分な応力をかけることなく剥離させることは有効である。
以上説明したように、本実施形態にかかるマイクロレンズアレイの製造方法では、感光性物質を用いた一括露光法によりマイクロレンズアレイを固定用の基板に固定して製造することを可能にし、マイクロレンズアレイの薄さによる製造工程上の不具合を解決し、好適なマイクロレンズアレイの製造方法及びマイクロレンズアレイを提供することができる。
なお、ここではマイクロレンズアレイの製法について述べたが、本製法でシート状のプリズムアレイ、構造性ARシート、シート状の導波路アレイ等も同様に製造する事ができ、マイクロレンズアレイに限定されるものではない。
1 偏光フィルム、2 透明基板、3 ブラックマトリクス、
4 カラーフィルタ層、5 透明電極、6 配向膜、7 液晶層、
8 スペーサ、9 配向膜、10 透明電極、11 素子、
12 透明基板、13 偏光フィルム、100 液晶表示装置、
101 透明基板、102 透明基板、103 液晶層、
104 カラーフィルタ層、105 ブラックマトリクス、106 透明電極、107 配向膜、108 TFT素子、109a マイクロレンズ、
109 マイクロレンズアレイ、110 リム、111 偏光板、
112 スペーサ、121 リム、122 マイクロレンズアレイ、
200 固定基板、201 熱剥離粘着層、202 レンズ基板、
202 固定基板、203 UV樹脂層、204 スタンパ、
205a フォトレジスト、205b 硬化部分、206 フォトマスク、
207a フォトレジスト、207b 非分解部分、208 フォトマスク、
1000 マザー基板
4 カラーフィルタ層、5 透明電極、6 配向膜、7 液晶層、
8 スペーサ、9 配向膜、10 透明電極、11 素子、
12 透明基板、13 偏光フィルム、100 液晶表示装置、
101 透明基板、102 透明基板、103 液晶層、
104 カラーフィルタ層、105 ブラックマトリクス、106 透明電極、107 配向膜、108 TFT素子、109a マイクロレンズ、
109 マイクロレンズアレイ、110 リム、111 偏光板、
112 スペーサ、121 リム、122 マイクロレンズアレイ、
200 固定基板、201 熱剥離粘着層、202 レンズ基板、
202 固定基板、203 UV樹脂層、204 スタンパ、
205a フォトレジスト、205b 硬化部分、206 フォトマスク、
207a フォトレジスト、207b 非分解部分、208 フォトマスク、
1000 マザー基板
Claims (15)
- 光学部品の製造方法であって、
透明性を有する光学部品用の基板と前記光学部品用の基板よりも厚い固定基板とを、加熱により粘着力が低下する接着手段によって貼り付けるステップと、
前記光学部品用の基板上に光学部品を形成するステップと、
前記光学部品用の基板と前記固定基板を加熱し剥離するステップと、
を有する光学部品の製造方法。 - 前記接着手段は粘着シートであることを特徴とする請求項1に記載の光学部品の製造方法。
- 前記粘着シートはシート内にマイクロカプセルを有し、前記マイクロカプセルは加熱し所定温度に達すると発泡し接着面に凹凸を作り出すことを特徴とする請求項2に記載の光学部品の製造方法。
- 前記接着手段は、加熱後の粘着力は前記加熱前の粘着力の50%以下であることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の光学部品の製造方法。
- 前記接着手段は、前記加熱により粘着力が消失することを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の光学部品の製造方法。
- 前記光学部品用の基板の厚さは300μm以下であることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の光学部品の製造方法
- 前記固定基板の厚さは1mm以上であることを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の光学部品の製造方法。
- 請求項1乃至7に記載の光学部品の製造方法であって、
前記光学部品用の基板はマイクロレンズの基板であり、前記光学部品はマイクロレンズアレイであることを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。 - 透明性を有する光学部品用の基板と、
前記レンズ基板上に形成されたマイクロレンズと、
を有するマイクロレンズアレイであって、
前記レンズ基板よりも厚い固定基板に、加熱により粘着力が低下する接着手段によって前記固定基板を貼り付けた状態で前記マイクロレンズが形成されたことを特徴とするマイクロレンズアレイ。 - 前記レンズ基板の厚さは300μm以下であることを特徴とする請求項8に記載のマイクロレンズアレイ。
- 前記固定基板の厚さは1mm以上であることを特徴とする請求項8又は9に記載のマイクロレンズアレイ。
- 前記接着手段は粘着シートであることを特徴とする請求項8乃至10いずれかに記載のマイクロレンズアレイ。
- 前記粘着シートはシート内にマイクロカプセルを有し、前記マイクロカプセルは加熱し所定温度に達すると発泡し接着面に凹凸を作り出すことを特徴とする請求項11に記載のマイクロレンズアレイ。
- 前記接着手段は、加熱後の粘着力は前記加熱前の粘着力の50%以下であることを特徴とする請求項8乃至12いずれかに記載のマイクロレンズアレイ。
- 前記接着手段は、前記加熱により粘着力が消失することを特徴とする請求項8乃至13に記載のマイクロレンズアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004208852A JP2006030562A (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 光学部品又はマイクロレンズアレイ及びそれらの製造方法 |
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JP2004208852A JP2006030562A (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 光学部品又はマイクロレンズアレイ及びそれらの製造方法 |
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JP (1) | JP2006030562A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101517462B (zh) * | 2006-09-12 | 2011-09-14 | 夏普株式会社 | 带有微透镜阵列的液晶显示面板、其制造方法和液晶显示装置 |
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2004
- 2004-07-15 JP JP2004208852A patent/JP2006030562A/ja not_active Withdrawn
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