JP2006026513A - 樹脂塗布検出方法及び樹脂塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 搬送テーブル10により重ね合せ基板1を搬送する間に、ノズル21を有する樹脂塗布ディスペンサ22と共に、昇降ブロック20の取付板20aに塗布検出ユニット40が装着されており、この塗布検出ユニッ40は光ファイバ41と対物レンズ42とからなる発光手段と、集光レンズ43及びフォトダイオード等の受光素子44とからなる受光手段とから構成され、重ね合せ基板1の下基板2の張り出し部2aにおいて、上基板3の端面における所定の高さ位置から斜め下方に向けて湾曲形状となるように傾斜している樹脂Rからの反射光を検出する。
【選択図】 図8
Description
2a 長辺側張り出し部 2b 短辺側張り出し部
3 上基板 4,5 IC回路基板
10 搬送テーブル 11 送りねじ
21 ノズル 22 樹脂塗布ディスペンサ
40 塗布検出ユニット 41 光ファイバ
42 対物レンズ 43 集光レンズ
44 受光素子
Claims (2)
- 下側の基板の端部近傍にIC回路基板が搭載された上下2枚構成の重ね合せ基板に、このIC回路基板の搭載部と上下の基板の段差部との間を塗布領域として、この塗布領域に沿って樹脂塗布ディスペンサのノズルから封止用の樹脂を塗布した後、実際に樹脂塗布がなされたか否かを検出する方法であって、
前記塗布領域に樹脂塗布用のノズルを対面させて、前記重ね合せ基板と前記ノズルとを相対的に水平方向に移動させる間にこのノズルから樹脂を流下させるようになし、
このノズルからの樹脂の流下直後の位置に、前記塗布領域の上部から検出用の光を照射する発光手段と、この塗布領域からの反射光を受光する受光手段とからなる塗布検出ユニットを配設して、前記重ね合せ基板が移動する間に、前記塗布領域で未分散状態となっている樹脂からの反射光量に基づいて所定の位置に樹脂が塗布されたか否かを検出する
ことを特徴とする樹脂塗布検出方法。 - 下側の基板の端部近傍にIC回路基板が搭載された上下2枚構成の重ね合せ基板に、このIC回路基板の搭載部と上下の基板の段差部との間を塗布領域として、この塗布領域に沿って樹脂塗布ディスペンサのノズルから封止用の樹脂を塗布した後、実際に樹脂塗布がなされたか否かの検出を可能とした装置であって、
前記ノズルと前記重ね合せ基板とは水平方向に相対移動するものであり、かつこの相対移動の間に、前記ノズルから重ね合せ基板の前記塗布領域に向けて樹脂を流下させるものであり、
このノズルからの樹脂の流下直後の位置に、前記塗布領域の上部から検出用の光を照射する発光手段と、この塗布領域からの反射光を受光する受光手段とからなる塗布検出ユニットが配置されており、
前記重ね合せ基板と前記ノズルとの間の相対移動の間に、前記塗布検出ユニットにより前記塗布領域で未分散状態となっている樹脂からの反射光量に基づいて所定の位置に樹脂が塗布されているか否かを検出することを特徴とする樹脂塗布装置。
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