JP2006021197A - 溶液の塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 溶液を貯えた給液タンク12と、この給液タンクに一端が接続され給液タンクに貯えられた溶液が供給される給液管13と、この給液管にそれぞれ給液バルブ15を介して並列に接続された複数のノズルヘッド7と、各ノズルヘッドが排液バルブ21を介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管23と、上記基板に溶液を塗布するときに上記供給タンクから上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブ24と、この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブ26とを具備する。
【選択図】 図1
Description
上記溶液を貯えた給液部と、
この給液部に一端が接続され給液部に貯えられた溶液が供給される給液管と、
この給液管にそれぞれ給液バルブを介して並列に接続された複数のノズルヘッドと、
各ノズルヘッドが排液バルブを介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管と、
上記基板に溶液を塗布するときに上記供給部から上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブと、
この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブと、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記排液管には、上記分流バルブによって上記排液管に分流された溶液が上記戻りタンクに流れるのを阻止する閉鎖バルブが設けられていることを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置にある。
各ノズルヘッドから溶液を噴射して基板に塗布するとき、上記給液管の一端と他端とから溶液を供給することを特徴とする溶液の塗布方法にある。
12…給液タンク(給液部)
13…給液管
23…排液管
24…分岐バルブ
26…流入バルブ
Claims (3)
- 所定方向に搬送される基板の板面に溶液を塗布する塗布装置において、
上記溶液を貯えた給液部と、
この給液部に一端が接続され給液部に貯えられた溶液が供給される給液管と、
この給液管にそれぞれ給液バルブを介して並列に接続された複数のノズルヘッドと、
各ノズルヘッドが排液バルブを介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管と、
上記基板に溶液を塗布するときに上記供給部から上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブと、
この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブと、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。 - 上記排液管には、上記ノズルヘッドから上記排液管に排出される溶液を回収する戻りタンクが接続され、
上記排液管には、上記分流バルブによって上記排液管に分流された溶液が上記戻りタンクに流れるのを阻止する閉鎖バルブが設けられていることを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。 - 供給部から溶液が供給される給液管に複数のノズルヘッドを並列に接続し、各ノズルヘッドから上記基板に溶液を噴射して塗布する溶液の塗布方法において、
各ノズルヘッドから溶液を噴射して基板に塗布するとき、上記給液管の一端と他端とから溶液を供給することを特徴とする溶液の塗布方法。
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