JP2006021135A - Draining and drying apparatus - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a draining and drying apparatus capable of obtaining satisfactory and uniform draining and drying effect. <P>SOLUTION: This apparatus is provided with a draining tank 4 for storing a first solvent comprising alcohols and halogenated hydrocarbons, a rinsing and drying tank 10 for storing a second solvent comprising halogenated hydrocarbons, steam retaining parts 16 and 17 for retaining steam of these first and second solvents, communication parts 20 and 21 for communicating the draining tank 4 and rinsing and drying tank 10 with the steam retaining parts 16 and 17, and steam flow generation means 15, 32, 34, 35, and 36 for generating the steam flow in the communication parts 20 and 21, in the direction of blocking the communication of the draining tank 4 and rinsing and drying tank 10 with the steam retaining parts 16 and 17. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば被洗浄物の脱脂洗浄、リンス工程時に被洗浄物の表面に付着した水を除去する水切り乾燥装置に関するものである。   The present invention relates to a draining and drying apparatus that removes water adhering to the surface of an object to be cleaned during, for example, degreasing and rinsing of the object to be cleaned.

近年、例えば、電子部品や光学・ガラス部品などの製造過程において、それら部品の洗浄、リンス工程の際に付着した水を除去するための種々の水切り乾燥装置が使用されている。これら水切り乾燥装置の中には、以下のようなものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
すなわち、この水切り乾燥装置は、図４に示すように、ワークの水切りや、すすぎ乾燥が行われる水切り乾燥部１１０を備えている。水切り乾燥部１１０は、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された溶剤を貯留する水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３と、これら水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３の上部に両槽１０２，１０３にわたって設けられた蒸気滞留筒部１０１とを備えている。 In recent years, for example, in the manufacturing process of electronic parts, optical / glass parts, and the like, various draining / drying apparatuses for removing water adhering during cleaning and rinsing processes of these parts have been used. Among these draining and drying apparatuses, the following are known (for example, see Patent Document 1).
That is, as shown in FIG. 4, the draining / drying apparatus includes a draining / drying unit 110 that drains a workpiece and rinses and drys the workpiece. The drainer / dryer 110 includes a drainer tank 102 and a steam tank 103 for storing a solvent in which alcohols and halogenated hydrocarbons are mixed, and both tanks 102 above the drainer tank 102 and the steam tank 103. , 103 is provided with a steam staying cylinder portion 101.

水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３には、前記溶剤をそれぞれ加熱するためのヒータ１０９が設置され、また水切り槽部１０２には超音波洗浄を行うための超音波発振器１１１が設けられている。蒸気滞留筒部１０１内は、水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３からの蒸気が滞留して蒸気域１０４が形成されるようになっており、蒸気滞留筒部１０１には、蒸気域１０４の蒸気を凝縮し、水切り槽部１０２に凝縮液を環流させる冷却手段１０５および凝縮液水分離器１０６とが設置されている。   The draining tank section 102 and the steam tank section 103 are each provided with a heater 109 for heating the solvent, and the draining tank section 102 is provided with an ultrasonic oscillator 111 for performing ultrasonic cleaning. In the steam staying cylinder part 101, steam from the draining tank part 102 and the steam tank part 103 stays and a steam region 104 is formed. The cooling means 105 and the condensate water separator 106 are installed so as to condense the water and circulate the condensate in the draining tank 102.

さらに、水切り槽部１０２には、ヒータ１１２を有する加温槽１０７が連通され、この加温槽１０７は、水切り槽部１０２から溢れた、水を含む溶剤を取り込み、この取り込んだ溶剤と水をヒータ１１２によりさらに加熱した後、水分離槽１０８に送り込むようになっている。水分離槽１０８は、送り込まれた溶剤と水から、水を分離し、溶剤のみを水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３に環流するようになっている。   Further, a heating tank 107 having a heater 112 is communicated with the draining tank section 102, and the heating tank 107 takes in a solvent containing water overflowing from the draining tank section 102, and removes the taken-in solvent and water. After further heating by the heater 112, the water is fed into the water separation tank 108. The water separation tank 108 separates water from the supplied solvent and water, and circulates only the solvent to the drain tank section 102 and the steam tank section 103.

このような構成のもと、水切り槽部１０２の溶剤にワークを浸漬することにより、ワークに付着した水が除去される。その後、蒸気槽部１０３内にワークを移動させ、この蒸気槽部１０３内において、蒸気洗浄が行われる。そして、ワークの表面温度が溶剤の沸点に達した後に、蒸気槽部１０３から蒸気域１０４を通してワークが蒸気滞留筒部１０１の外に搬出される。
これによりワーク表面から水が除去されて、その表面が乾燥状態となる。
特開平８−１１７５０３号公報 Under such a configuration, the water adhering to the workpiece is removed by immersing the workpiece in the solvent of the draining tank section 102. Thereafter, the work is moved into the steam tank 103, and steam cleaning is performed in the steam tank 103. And after the surface temperature of a workpiece | work reaches the boiling point of a solvent, a workpiece | work is carried out of the vapor | steam residence cylinder part 101 from the steam tank part 103 through the vapor | steam area | region 104. FIG.
Thereby, water is removed from the workpiece surface, and the surface becomes dry.
JP-A-8-117503

しかしながら、上記のような水切り乾燥装置では、水切り槽部１０２や蒸気槽部１０３で発生した蒸気が蒸気滞留筒部１０１に移動する際に、各槽部１０２，１０３で発生した汚れ成分や水がその蒸気によって運ばれて、蒸気域１０４にはそれら汚れ成分や水が含んだものになる。そのため、ワークを蒸気洗浄した後、蒸気槽部１０３から蒸気域１０４を通してワークを搬出するときに、ワーク表面に汚れ成分や水が付着してしまうという問題がある。これによって、水切り、乾燥効果が低下するだけでなく、その処理結果にばらつきが生じてしまう。   However, in the draining and drying apparatus as described above, when steam generated in the draining tank unit 102 or the steam tank unit 103 moves to the steam retaining cylinder unit 101, dirt components and water generated in each of the tank units 102 and 103 are removed. Carried by the steam, the steam region 104 contains these dirt components and water. For this reason, there is a problem that when the work is carried out through the steam region 104 from the steam tank 103 after the work is steam cleaned, dirt components and water adhere to the work surface. This not only reduces draining and drying effects, but also causes variations in the processing results.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、良好かつ均一な水切り、乾燥効果を得ることができる水切り乾燥装置を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the draining and drying apparatus which can acquire the favorable and uniform draining and drying effect.

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
請求項１に係る発明は、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された第一の溶剤に水の付着したワークを浸漬した後、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を加熱することにより生じた蒸気の中に前記ワークを所定の時間おくことにより、前記ワークの水切り、乾燥を行う水切り乾燥装置において、前記第一の溶剤を貯留する水切り槽部と、
前記第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部と、前記水切り槽部に貯留された前記第一の溶剤および前記すすぎ乾燥槽部に貯留された前記第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部と、前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部とを連通させる連通部と、前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部との連通を遮る方向に前記連通部内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段と、を備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides the following means.
According to the first aspect of the present invention, after immersing a work with water attached in a first solvent in which alcohols and halogenated hydrocarbons are mixed, the second solvent composed of the halogenated hydrocarbons is heated. In the draining and drying apparatus for draining and drying the workpiece by placing the workpiece in the steam generated for a predetermined time, a draining tank section for storing the first solvent;
A rinsing / drying tank section for storing the second solvent, and a vapor retention section for retaining the first solvent stored in the draining tank section and the vapor of the second solvent stored in the rinsing / drying tank section. A communication part that communicates the draining tank part, the rinse drying tank part, and the steam retention part, and the communication part in a direction that blocks communication between the draining tank part, the rinse drying tank part, and the steam retention part. And a steam flow generating means for generating a steam flow.

この発明に係る水切り乾燥装置においては、水切り槽部に貯留された第一の溶剤と、すすぎ乾燥槽部に貯留された第二の溶剤とが蒸発し、それら蒸気が連通部を通って蒸気滞留部に到達することにより蒸気滞留部内に蒸気域が形成される。また、蒸気流発生手段により、連通部においてこの連通を遮る方向に蒸気が流され、その結果連通部に蒸気の流れが発生する。そのため、水切り槽部およびすすぎ乾燥槽部からの蒸気が蒸気滞留部に到達するまでの間に、それらの蒸気は蒸気の流れとなって前記連通を遮る方向に流されるとともに、汚れ成分や水も一緒に流される。そして、流された蒸気の一部がその流れから抜けて蒸気滞留部に到達する。この到達した蒸気は汚れ成分や水を含まないものであり、これにより蒸気滞留部内に、汚れ成分や水の無い蒸気域が形成される。   In the draining and drying apparatus according to the present invention, the first solvent stored in the draining tank part and the second solvent stored in the rinse drying tank part evaporate, and the vapor stays in the vapor through the communicating part. By reaching the part, a steam region is formed in the steam retaining part. Further, the steam is generated by the steam flow generating means in a direction that blocks the communication at the communication portion, and as a result, a steam flow is generated at the communication portion. Therefore, until the steam from the draining tank section and the rinsing / drying tank section reaches the steam retention section, the steam flows in the direction of blocking the communication as well as dirt components and water. To be washed together. Then, a part of the flowed steam escapes from the flow and reaches the steam retention part. The reached steam does not contain dirt components and water, and thereby, a steam region free of dirt components and water is formed in the steam retention portion.

以上より、水切り槽部およびすすぎ乾燥槽部から蒸気滞留部に向かう蒸気によって運ばれる汚れ成分や水を除去することができ、蒸気滞留部内に蒸気のみによる純粋な蒸気域を形成することができる。そのため、乾燥後のワークを装置から排出するときに、そのワークの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができる。   From the above, it is possible to remove dirt components and water carried by the steam from the draining tank section and the rinse drying tank section toward the steam retention section, and it is possible to form a pure steam area only with steam in the steam retention section. As a result, when the dried workpiece is discharged from the apparatus, it is possible to prevent dirt components and water from adhering to the surface of the workpiece.

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の水切り乾燥装置において、前記蒸気流発生手段は、前記水切り槽部から溢れた前記第一の溶剤と前記すすぎ乾燥槽部から溢れた前記第二の溶剤とこれら溢れた第一の溶剤および第二の溶剤に含まれる水とを、管路を介して取り込み、これら取り込んだ第一の溶剤、第二の溶剤および水からなる水入り混合溶剤から水のみを分離して、前記第一の溶剤および前記第二の溶剤からなる混合溶剤のみを前記水切り槽部に環流させる水分離槽と、前記連通部に形成された吐出孔および吸入孔と、この吸入孔に管路を介して連通されたエダクタと、このエダクタに管路を介して連通された循環ポンプと、を備え、前記エダクタおよび前記循環ポンプが前記水分離槽に共に連通されるとともに、前記水分離槽が前記吐出孔に管路を介して連通され、前記循環ポンプを駆動して、前記エダクタによって生じる前記連通部内の気圧差により、前記吐出孔から前記吸入孔に向かう蒸気の流れを発生させることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the draining and drying apparatus according to the first aspect, the steam flow generating means includes the first solvent overflowing from the draining tank part and the second overflowing from the rinse drying tank part. And the water contained in the overflowed first solvent and the second solvent are taken in via the pipe line, and from the mixed solvent containing water composed of the taken first solvent, second solvent and water. A water separation tank that separates only water and recirculates only the mixed solvent composed of the first solvent and the second solvent to the draining tank section; a discharge hole and a suction hole formed in the communication section; An eductor communicated with the suction hole via a conduit; and a circulation pump communicated with the eductor via a conduit; the eductor and the circulation pump communicated together with the water separation tank; The water separation tank is in front It is connected to the discharge hole via a pipe line, drives the circulation pump, and generates a flow of steam from the discharge hole toward the suction hole due to a pressure difference in the communication part generated by the eductor. To do.

この発明に係る水切り乾燥装置においては、循環ポンプを駆動すると、水分離槽に集められ分離された混合溶剤がエダクタを介して水分離槽に循環される。そのため、エダクタにより管路を介して連通部内に気圧差が生じ、吸入孔に吸引力が働く。これにより吐出孔から吸入孔に向けて蒸気の流れが発生する。
以上より、連通部内に蒸気の流れを容易かつ確実に発生させることができる。 In the draining and drying apparatus according to the present invention, when the circulation pump is driven, the mixed solvent collected and separated in the water separation tank is circulated to the water separation tank via the eductor. For this reason, a pressure difference is generated in the communicating portion by the eductor via the pipe line, and a suction force acts on the suction hole. As a result, a steam flow is generated from the discharge hole toward the suction hole.
As described above, it is possible to easily and reliably generate a steam flow in the communication portion.

請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の水切り乾燥装置において、前記蒸気滞留部は、前記水切り槽部に対向して配される第一の蒸気滞留部と、前記すすぎ乾燥槽部に対向して配される第二の蒸気滞留部とを備え、これら第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部のそれぞれに、蒸気を凝縮させる蒸気凝縮手段が設けられていることを特徴とする。   The invention according to claim 3 is the draining and drying apparatus according to claim 1 or 2, wherein the steam retaining part is a first steam retaining part disposed opposite to the draining tank part, and the rinsing. A vapor condensing means for condensing vapor is provided in each of the first vapor retention portion and the second vapor retention portion. It is characterized by that.

この発明に係る水切り乾燥装置においては、水切り槽部に貯留された第一の溶剤が蒸発して第一の蒸気滞留部に蒸気域が形成され、すすぎ乾燥槽に貯留された第二の溶剤が蒸発して第二の蒸気滞留部に蒸気域が形成される。そして、第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部に設けられた各蒸気凝縮手段により、それぞれの蒸気域の蒸気が凝縮される。
以上より、水切り槽部とすすぎ乾燥槽部とのそれぞれに対向して第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部が別個に設けられ、それら第一および第二の蒸気滞留部のそれぞれに蒸気凝縮手段が設けられていることから、蒸気の捕集効率を向上させ、第一の溶剤および第二の溶剤の消費を抑制することができる。 In the draining and drying apparatus according to the present invention, the first solvent stored in the draining tank portion evaporates to form a vapor region in the first steam retention portion, and the second solvent stored in the rinse drying tank is By evaporating, a vapor zone is formed in the second vapor retention portion. And each vapor | steam area | region vapor | steam is condensed by each vapor | steam condensation means provided in the 1st vapor | steam retention part and the 2nd vapor | steam retention part.
As described above, the first vapor retention portion and the second vapor retention portion are separately provided to face each of the draining tank portion and the rinse drying tank portion, and each of the first and second vapor retention portions is provided. Since the vapor condensing means is provided, the vapor collection efficiency can be improved and consumption of the first solvent and the second solvent can be suppressed.

請求項４に係る発明は、請求項３に記載の水切り乾燥装置において、前記連通部は、前記水切り槽部と第一の蒸気滞留部とを連通させる水切り用連通部と、前記すすぎ乾燥槽部と第二の蒸気滞留部とを連通させるすすぎ乾燥用連通部と、を備え、前記蒸気流発生手段は、前記水切り用連通部と前記すすぎ乾燥用連通部とにわたって、蒸気の流れを発生させることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the drainer / dryer according to the third aspect, the communication part is a drainer communicating part for communicating the drainer tank part with the first steam retaining part, and the rinse drying tank part. And a rinsing / drying communicating part that communicates with the second steam retaining part, and the steam flow generating means generates a steam flow across the draining communicating part and the rinsing / drying communicating part. It is characterized by.

この発明に係る水切り乾燥装置においては、蒸気流発生手段により、水切り用連通部とすすぎ乾燥用連通部とにわたって蒸気の流れが発生する。そのため、第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部のそれぞれに、蒸気のみによる純粋な蒸気域が形成される。
以上より、第一の蒸気滞留部を通してワークを装置内に搬入する場合に、ワーク表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができ、ワークの水切り、乾燥効果を向上させることができる。また、水切り用連通部とすすぎ乾燥用連通部とにわたって蒸気の流れを発生させることから、第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部に向かう汚れ成分や水を効率よく除去することができる。 In the draining and drying apparatus according to the present invention, a steam flow is generated across the draining communication portion and the rinse drying communication portion by the steam flow generating means. Therefore, a pure steam region only with steam is formed in each of the first steam retaining part and the second steam retaining part.
As mentioned above, when carrying a workpiece | work into an apparatus through a 1st steam retention part, it can prevent that a stain | pollution | contamination component and water adhere to the workpiece | work surface, and can improve the draining and drying effect of a workpiece | work. . In addition, since a steam flow is generated across the draining communication portion and the rinsing / drying communication portion, it is possible to efficiently remove dirt components and water toward the first steam retention portion and the second steam retention portion. .

本発明によれば、蒸気域を通して乾燥後のワークを装置外へ排出するときに、そのワークの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができ、ワークの水切り、乾燥をより効果的かつ均一に行うことができる。   According to the present invention, when discharging the dried workpiece through the vapor zone to the outside of the apparatus, it is possible to prevent dirt components and water from adhering to the surface of the workpiece, and draining and drying the workpiece more effectively. And uniform.

（実施例）
以下、本発明の実施例における水切り乾燥装置について、図面を参照して説明する。
図１は、水切り乾燥装置にワークを搬入し、水切り、乾燥後にワークを搬出する様子を示した図であり、符号１は水切り乾燥装置、符号Ｗはワークを示したものである。
水切り乾燥装置１は、ワークＷの水切りが行われる水切り部２と、すすぎや乾燥が行われるすすぎ乾燥部３とを備えている。 (Example)
Hereinafter, the draining and drying apparatus in the Example of this invention is demonstrated with reference to drawings.
FIG. 1 is a view showing a state in which a work is carried into a draining and drying apparatus, drained, and the work is taken out after drying. Reference numeral 1 denotes a draining and drying apparatus, and reference numeral W denotes a work.
The drainer / dryer 1 includes a drainer 2 where the workpiece W is drained and a rinse / dryer 3 where rinsing and drying are performed.

水切り部２は、アルコールとフルオロカーボンとからなる第一の溶剤（例えば、バートレールＸ−Ｅ１０、三井・デュポンフロロケミカル社製）を貯留する水切り槽部４を備えており、この水切り槽部４には、前記第一の溶剤を過熱するためのヒータ５と、超音波洗浄により水切りを効率よく行うための超音波発振器６とが設けられている。また、水切り槽部４の底部には管路７の一端が設けられており、この管路７の他端は、ポンプ８およびフィルタ９を介して、水切り槽部４の上部に取り付けられている。これにより、ポンプ８を駆動すると、水切り槽部４の底部から取り込んだ第一の溶剤が水切り槽部４に貯留する第一の溶剤の液面に向けて管路７の他端から吐き出されるようになっている。   The draining section 2 includes a draining tank section 4 for storing a first solvent composed of alcohol and fluorocarbon (for example, Bartrail X-E10, manufactured by Mitsui DuPont Fluorochemical Co., Ltd.). Are provided with a heater 5 for overheating the first solvent and an ultrasonic oscillator 6 for efficiently draining water by ultrasonic cleaning. Moreover, one end of a pipe line 7 is provided at the bottom of the draining tank part 4, and the other end of the pipe line 7 is attached to the upper part of the draining tank part 4 via a pump 8 and a filter 9. . Thereby, when the pump 8 is driven, the first solvent taken in from the bottom of the draining tank 4 is discharged from the other end of the conduit 7 toward the liquid surface of the first solvent stored in the draining tank 4. It has become.

また、前記すすぎ乾燥部３は、フルオロカーボンからなる第二の溶剤（例えば、バートレールＸＥ、三井・デュポンフロロケミカル社製）を貯留するすすぎ乾燥槽部１０とヒータ５と超音波発振器６とを備えており、ポンプ８を駆動すると、すすぎ乾燥槽部１０の底部から取り込んだ第二の溶剤がすすぎ乾燥槽部１０に貯留する第二の溶剤の液面に向けて管路７の他端から吐き出されるようになっている。   The rinsing / drying section 3 includes a rinsing / drying tank section 10 for storing a second solvent made of fluorocarbon (for example, Bartrail XE, manufactured by Mitsui DuPont Fluorochemical Co., Ltd.), a heater 5 and an ultrasonic oscillator 6. When the pump 8 is driven, the second solvent taken from the bottom of the rinsing / drying tank unit 10 is discharged from the other end of the conduit 7 toward the liquid level of the second solvent stored in the rinsing / drying tank unit 10. It is supposed to be.

さらに水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０は、水が含まれる水入り混合溶剤を水と混合溶剤とに分離させる溢水用水分離槽（蒸気流発生手段、水分離槽）１５に、管路７を介して連通されている。
ここで、第一の溶剤と第二の溶剤とが混合された溶剤を単に混合溶剤といい、この混合溶剤に水が加えられた溶剤を水入り混合溶剤というものとする。但し、本実施例においては、第一の溶剤はアルコールとフルオロカーボンとからなり、第二の溶剤はフルオロカーボンからなるので、これらが混合された混合溶剤はアルコールとフルオロカーボンとからなり、結局第一の溶剤と同じ成分となる。 Further, the draining tank section 4 and the rinsing / drying tank section 10 are connected to an overflow water separation tank (steam flow generating means, water separation tank) 15 that separates the mixed solvent containing water into water and the mixed solvent. It is communicated through.
Here, a solvent in which the first solvent and the second solvent are mixed is simply referred to as a mixed solvent, and a solvent in which water is added to the mixed solvent is referred to as a mixed solvent containing water. However, in this example, the first solvent is composed of alcohol and fluorocarbon, and the second solvent is composed of fluorocarbon. Therefore, the mixed solvent in which these are mixed is composed of alcohol and fluorocarbon. With the same ingredients.

そして、水切り槽部４の液面に溜まった、水を含む第一の溶剤が溢れだすと、その水を含む第一の溶剤が管路７を介して溢水用水分離槽１５に集められるようになっている。同様にして、すすぎ乾燥槽部１０の液面に溜まった、水を含む第二の溶剤が溢れだすと、その水を含む第二の溶剤が溢水用水分離槽１５に集められるようになっている。そして、この溢水用水分離槽１５の中で、第一の溶剤と第二の溶剤と水とが混合され、水入り混合溶剤になるようになっている。溢水用水分離槽１５は、その水入り混合溶剤を水と混合溶剤とに分離し、混合溶剤のみを水切り槽部４に環流させるようになっている。   And when the 1st solvent containing water which accumulated on the liquid level of the draining tank part 4 overflows, the 1st solvent containing the water will be collected by the overflow water separation tank 15 via the pipe line 7. It has become. Similarly, when the second solvent containing water accumulated on the liquid surface of the rinsing / drying tank 10 overflows, the second solvent containing the water is collected in the overflow water separation tank 15. . In the overflow water separation tank 15, the first solvent, the second solvent, and water are mixed to form a mixed solvent containing water. The overflow water separation tank 15 separates the mixed solvent containing water into water and the mixed solvent, and only the mixed solvent is circulated to the draining tank section 4.

さらに、本実施例における水切り乾燥装置１においては、水切り槽部４に対向して水切り用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第１の蒸気滞留部）１６が配されており、すすぎ乾燥槽部１０に対向してすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第２の蒸気滞留部）１７が設けられている。そして、水切り槽部４と水切り用蒸気滞留筒部１６とは水切り用連通部２０を介して連通されており、すすぎ乾燥槽部１０とすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７とはすすぎ乾燥用連通部２１を介して連通されている。これにより、各槽部４，１０に貯留された第一の溶剤および第二の溶剤のそれぞれから蒸発した蒸気は、各連通部２０，２１を通って、各蒸気滞留筒部１６，１７内に到達し、各蒸気滞留筒部１６，１７内にそれぞれ蒸気域２３ａ，２３ｂを形成するようになっている。   Furthermore, in the draining and drying apparatus 1 according to the present embodiment, a draining steam retaining cylinder part (steam retaining part, first steam retaining part) 16 is arranged so as to face the draining tank part 4, and the rinse drying tank part. Opposite to 10, a steam drying cylinder portion for rinsing drying (a steam retention portion, a second steam retention portion) 17 is provided. The draining tank section 4 and the draining steam retaining cylinder section 16 are communicated with each other via a draining communication section 20, and the rinsing / drying tank section 10 and the rinse drying steam retaining cylinder section 17 are connected to the rinsing / drying communication section. 21 to communicate with each other. Thereby, the vapor | steam which evaporated from each of the 1st solvent stored in each tank part 4 and 10 and the 2nd solvent passes through each communication part 20 and 21, and in each vapor | steam residence cylinder part 16 and 17 respectively. The steam regions 23a and 23b are formed in the steam retaining cylinder portions 16 and 17, respectively.

水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の上部は開放されており、不図示の搬送装置によって、それら開放部１６ａ，１７ａを介してワークＷの搬出入が行われるようになっている。また、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の内壁面には、図１から図３に示すように、その内周を巡るようにそれぞれ冷却装置（蒸気凝縮手段）２４が設けられている。そしてこれら冷却装置２４の下部には、冷却された凝縮液を取り込む堰２５がそれぞれ設けられている。これら堰２５は、凝縮液と水とを分離する凝縮用水分離槽２６に管路７を介して連通されている。これにより、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７に滞留する蒸気が、それぞれ冷却装置２４によって冷却されることにより凝縮し、これら凝縮液が堰２５によって取り込まれ、凝縮用水分離槽２６に送られるようになっている。そして、凝縮用水分離槽２６は、送られた凝縮液を水と凝縮液とに分離し、凝縮液のみをすすぎ乾燥槽部１０内に環流するようになっている。   The upper portions of the draining steam retaining cylinder portion 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder portion 17 are opened, and the work W is carried in and out via the opened portions 16a and 17a by a transfer device (not shown). It has become. Further, as shown in FIGS. 1 to 3, cooling devices (vapor condensing means) 24 are provided on the inner wall surfaces of the draining steam retaining cylinder portion 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder portion 17, respectively, as shown in FIGS. Is provided. Under the cooling devices 24, weirs 25 for taking in the cooled condensate are provided. These weirs 25 are connected to a condensing water separation tank 26 that separates the condensate and water via a pipe line 7. As a result, the steam staying in the draining steam retaining cylinder part 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder part 17 is condensed by being cooled by the cooling device 24, and these condensates are taken in by the weir 25, and the condensation water It is sent to the separation tank 26. The condensing water separation tank 26 separates the sent condensate into water and condensate, and only the condensate is rinsed back into the drying tank 10.

さらに、水切り用連通部２０とすすぎ乾燥用連通部２１とは連通路３０を介して連通されており、この連通路３０を介して、搬送装置により水切り部２からすすぎ乾燥部３へとワークＷを搬送するようになっている。また、水切り用連通部２０には、連通路３０と対向する位置に凝縮器３１が設けられており、この凝縮器３１の近傍に吸入孔（蒸気流発生手段）３２が形成されている。吸入孔３２は管路７を介してエダクタ（蒸気流発生手段）３４の吸入ポート３４ａに連通されており、エダクタ３４の出力ポート３４ｂは前記溢水用水分離槽１５に管路７を介して連通されている。またエダクタ３４の入力ポート３４ｃは、フィルタ９および循環ポンプ（蒸気流発生手段）３５を介して、溢水用水分離槽１５の底部に連通されている。   Further, the draining communication part 20 and the rinsing / drying communication part 21 are communicated with each other via a communication path 30, and the workpiece W is transferred from the draining part 2 to the rinse drying part 3 by the conveying device via the communication path 30. Is supposed to be transported. Further, the draining communication portion 20 is provided with a condenser 31 at a position facing the communication passage 30, and a suction hole (steam flow generating means) 32 is formed in the vicinity of the condenser 31. The suction hole 32 communicates with a suction port 34a of an eductor (steam flow generating means) 34 via a pipe line 7. The output port 34b of the eductor 34 communicates with the overflow water separation tank 15 via a pipe line 7. ing. Further, the input port 34 c of the eductor 34 is communicated with the bottom of the overflow water separation tank 15 via the filter 9 and a circulation pump (steam flow generating means) 35.

さらに、すすぎ乾燥用連通部２１には、連通路３０に対向する位置に吐出孔（蒸気流発生手段）３６が形成されており、この吐出孔３６は管路を介して溢水用水分離槽１５に連通されている。
このような構成のもと、循環ポンプ３５を駆動すると、溢水用水分離槽１５の底部から、分離された混合溶剤が取り込まれるとともに、この取り込まれた混合溶剤がフィルタ９、入力ポート３４ｃおよび出力ポート３４ｂを通って、溢水用水分離槽１５に環流されるようになっている。そして、これによりエダクタ３４内の気圧が変化し、吸入ポート３４ａから空気が吸い込まれ、これによって管路７を介して吸入孔３２から空気が吸い込まれ、水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０からの蒸気が、吐出孔３６から吸入孔３２に向かって流されるようになっている。 Further, a discharge hole (steam flow generating means) 36 is formed in the rinsing / drying communication portion 21 at a position facing the communication passage 30, and the discharge hole 36 is connected to the overflow water separation tank 15 through a pipe line. It is communicated.
When the circulation pump 35 is driven under such a configuration, the separated mixed solvent is taken in from the bottom of the overflow water separation tank 15, and the taken mixed solvent is passed through the filter 9, the input port 34c and the output port. The water is returned to the overflow water separation tank 15 through 34b. As a result, the atmospheric pressure in the eductor 34 is changed, and air is sucked in from the suction port 34a, whereby air is sucked in from the suction hole 32 via the conduit 7, and from the draining tank section 4 and the rinse drying tank section 10. The steam is caused to flow from the discharge hole 36 toward the suction hole 32.

次に、このように構成された本実施例における水切り乾燥装置１の作用について説明する。
水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０に第一の溶剤および第二の溶剤がそれぞれ貯留された状態でヒータ５を駆動すると、第一の溶剤および第二の溶剤が所定の温度になるまで加熱され、これにより第一の溶剤および第二の溶剤が蒸発し始める。そして、これら蒸気は、後述するように蒸気の流れとなって吸入孔３２に向けて流されるが、この流れから抜け出た蒸気が、水きり用蒸気滞留筒部１６とすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７とにそれぞれ蒸気域２３ａ，２３ｂを形成する。 Next, the operation of the draining and drying apparatus 1 in the present embodiment configured as described above will be described.
When the heater 5 is driven in a state where the first solvent and the second solvent are respectively stored in the draining tank unit 4 and the rinse drying tank unit 10, the first solvent and the second solvent are heated until they reach a predetermined temperature. As a result, the first solvent and the second solvent start to evaporate. These steams flow as a steam flow toward the suction hole 32 as will be described later, and the steam that has flowed out of this flow is the draining steam retaining cylinder part 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder part 17. And vapor regions 23a and 23b, respectively.

そして、不図示の搬送装置によって、水切り用蒸気滞留筒部１６の開放部１６ａから蒸気域２３ａを介してワークＷが水切り部２の中に搬入されて、水切り槽部４内の略４０℃の第一の溶剤に浸漬される。これによりワークＷの表面に付着した水が除去される。その後、不図示の搬送装置によって、ワークＷが、水切り槽部４の第一の溶剤の中から引き上げられ、連通路３０を通されて、すすぎ乾燥部３内に移動させられる。そして、ワークＷは、すすぎ乾燥槽部１０内の略４８℃の第二の溶剤に浸漬される。これにより、ワークＷの洗浄やすすぎが行われる。   Then, the work W is carried into the draining part 2 from the open part 16a of the draining steam staying cylinder part 16 through the steam region 23a by a transfer device (not shown), and is about 40 ° C. in the draining tank part 4. Immerse in the first solvent. Thereby, the water adhering to the surface of the workpiece W is removed. Thereafter, the workpiece W is pulled up from the first solvent in the draining tank unit 4 by a transfer device (not shown), is moved through the communication path 30, and is moved into the rinse drying unit 3. Then, the workpiece W is immersed in the second solvent at about 48 ° C. in the rinse drying tank unit 10. Thereby, washing and rinsing of the workpiece W are performed.

水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０内に貯留された第一の溶剤および第二の溶剤にワークＷを浸漬すると、それら第一の溶剤および第二の溶剤に水が混入する。この水は第一の溶剤および第二の溶剤内でそれぞれ浮上し、ワークＷを浸漬することにより第一の溶剤および第二の溶剤とともに各槽部４，１０から溢れ出る。これら溢れ出た第一の溶剤と第二の溶剤と水とは、管路７を介して溢水用水分離槽１５に送られ、水入り混合溶剤となる。そして、それぞれの比重差を利用して混合溶剤と水とに分離されて、混合溶剤のみが水切り槽部４に環流される。   When the work W is immersed in the first solvent and the second solvent stored in the draining tank unit 4 and the rinse drying tank unit 10, water is mixed into the first solvent and the second solvent. This water floats up in the first solvent and the second solvent, respectively, and overflows from the tank portions 4 and 10 together with the first solvent and the second solvent by immersing the work W. The overflowing first solvent, second solvent, and water are sent to the overflow water separation tank 15 via the pipe 7 to become a mixed solvent containing water. And it separates into mixed solvent and water using each specific gravity difference, and only mixed solvent is recirculated to the draining tank part 4. FIG.

さらに、上記のようにワークＷのすすぎが行われると、ワークＷは、不図示の搬送装置により移動させられ、蒸気域２３ｂ内で所定の時間保持される。これにより、ワークＷの乾燥が行われ、この乾燥が終わると、すすぎ乾燥槽用蒸気滞留筒部１７の開放部１７ａから搬出される。
これら一連の処理が繰り返され、新たなワークＷの水切り、乾燥が順次行われる。 Further, when the workpiece W is rinsed as described above, the workpiece W is moved by a transfer device (not shown) and is held in the steam region 23b for a predetermined time. As a result, the workpiece W is dried, and when the drying is finished, the workpiece W is unloaded from the open portion 17a of the steam retaining cylinder portion 17 for the rinsing / drying tank.
A series of these processes is repeated, and draining and drying of a new workpiece W are sequentially performed.

ここで、水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０からの蒸気は、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７に向かう際に、水切り部２およびすすぎ乾燥部３内で発生した汚れ成分や水を一緒に運んでしまい、各蒸気域２３ａ，２３ｂ内にこれら汚れ成分や水が滞留してしまう。しかし、本実施例における水切り乾燥装置１においては、以下のようにして、蒸気のみの純粋な蒸気域２３ａ，２３ｂが形成される。   Here, steam from the draining tank section 4 and the rinsing / drying tank section 10 is generated in the draining section 2 and the rinsing / drying section 3 when going to the draining steam retaining cylinder section 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder section 17. The contaminated soil components and water are carried together, and the soil components and water stay in the steam regions 23a and 23b. However, in the drainer / dryer 1 in the present embodiment, pure steam regions 23a and 23b containing only steam are formed as follows.

すなわち、循環ポンプ３５を駆動すると、溢水用水分離槽１５の底部から混合溶剤が取り込まれ、この取り込まれた混合溶剤が、フィルタ９、入力ポート３４ｃおよび出力ポート３４ｂを通って、溢水用水分離槽１５内に環流される。すると、エダクタ３４内の気圧が変化し、吸入ポート３４ａにつながれた管路７の空気が吸入ポート３４ａ内に吸い込まれる。そのため、その管路７と吸入孔３２を介して、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１内に気圧差が生じ、吸入孔３２から両連通部２０，２１の空気が吸い込まれる。それとともに、吐出孔３６からすすぎ乾燥用連通部２１内に空気が吐き出される。これにより、水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０内の第一の溶剤および第二の溶剤からの蒸気が、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１内において、吐出孔３６から連通路３０を介して吸入孔３２に向けて移動させられる。つまり、吐出孔３６から連通路３０を介して吸入孔３２にわたる蒸気の流れが生じる。   That is, when the circulation pump 35 is driven, the mixed solvent is taken in from the bottom of the overflow water separation tank 15, and the taken mixed solvent passes through the filter 9, the input port 34 c and the output port 34 b, and overflow water separation tank 15. Circulated inside. Then, the atmospheric pressure in the eductor 34 changes, and the air in the pipe line 7 connected to the suction port 34a is sucked into the suction port 34a. Therefore, a pressure difference is generated in the draining communication portion 20 and the rinsing / drying communication portion 21 through the pipe line 7 and the suction hole 32, and the air in the communication portions 20 and 21 is sucked from the suction hole 32. At the same time, air is discharged from the discharge hole 36 into the rinsing / drying communication portion 21. As a result, the vapor from the first solvent and the second solvent in the draining tank section 4 and the rinse drying tank section 10 is communicated from the discharge hole 36 to the communication path in the draining communication section 20 and the rinse drying communication section 21. It is moved toward the suction hole 32 through 30. That is, a steam flow from the discharge hole 36 through the communication passage 30 to the suction hole 32 is generated.

そのため、この蒸気の流れにより、前記汚れ成分や水も吸入孔３２に向けて移動させられる。そして、吸入孔３２に流された蒸気は、凝縮器３１によって凝縮され、この凝縮液が水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０内に環流される。   Therefore, the dirt component and water are also moved toward the suction hole 32 by the flow of the steam. And the vapor | steam flowed into the suction hole 32 is condensed by the condenser 31, and this condensed liquid is circulated in the draining tank part 4 and the rinse drying tank part 10. FIG.

さらに、両連通部２０，２１内において流された蒸気の一部は、その流れから抜け出し、水切り用蒸気滞留筒部１６またはすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内に到達して、そこに蒸気域２３ａ，２３ｂをそれぞれ形成する。これにより、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内には、汚れ成分や水を含まない蒸気のみによる純粋な蒸気域２３ａ，２３ｂが形成される。   Further, a part of the steam that has flowed in the communication parts 20 and 21 escapes from the flow, reaches the draining steam retaining cylinder part 16 or the rinsing drying steam retaining cylinder part 17, and enters the steam region there. 23a and 23b are formed respectively. As a result, pure steam regions 23a and 23b are formed in the draining steam retaining cylinder part 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder part 17 only by steam that does not contain dirt components and water.

そして、これら水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内に滞留した蒸気は、それぞれに設けられた冷却装置２４によって冷却されることにより凝縮し、これら凝縮液が堰２５によって取り込まれ、凝縮用水分離槽２６に送られる。そして、この送られた凝縮液は、凝縮用水分離槽２６により、水と凝縮液とに分離され、凝縮液のみがすすぎ乾燥槽部１０内に環流される。   Then, the steam staying in the draining steam retaining cylinder part 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder part 17 is condensed by being cooled by the cooling devices 24 provided respectively, and the condensate is condensed by the weir 25. It is taken in and sent to the condensing water separation tank 26. The sent condensate is separated into water and condensate by the condensing water separation tank 26, and only the condensate is circulated into the rinsing / drying tank 10.

以上より、本実施例における水切り乾燥装置１によれば、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内に蒸気のみによる純粋な蒸気域２３ａ，２３ｂが形成されることから、乾燥後のワークＷを蒸気域２３ｂから排出するときに、ワークＷの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができる。そのため、ワークＷの水切り、乾燥をより効果的に行うことができ、その処理結果を均一にすることができる。
また、循環ポンプ３５を駆動して、エダクタ３４により生じる気圧差を利用して、吐出孔３６から吸入孔３２に向かう蒸気の流れを生じさせているため、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１内において、蒸気の流れを容易かつ確実に発生させることができる。 From the above, according to the draining and drying apparatus 1 in the present embodiment, pure steam regions 23a and 23b made only of steam are formed in the draining steam retaining cylinder part 16 and the rinsing drying steam retaining cylinder part 17, When the dried workpiece W is discharged from the steam region 23b, it is possible to prevent dirt components and water from adhering to the surface of the workpiece W. Therefore, the work W can be drained and dried more effectively, and the processing result can be made uniform.
Further, since the circulation pump 35 is driven and the pressure difference generated by the eductor 34 is used to generate the flow of steam from the discharge hole 36 to the suction hole 32, the draining communication portion 20 and the rinse drying communication are provided. In the part 21, the flow of steam can be generated easily and reliably.

また、水切り槽部４とすすぎ乾燥槽部１０とのそれぞれに対向して水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７が別個に設けられ、それら水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７のそれぞれに冷却装置２４が設けられていることから、蒸気の捕集効率を向上させることができる。そのため、第一の溶剤および第二の溶剤の消費を抑制することができる。   Further, a draining steam retaining cylinder part 16 and a rinsing drying steam retaining cylinder part 17 are provided separately to face the draining tank part 4 and the rinsing drying tank part 10, respectively. Since the cooling device 24 is provided in each of the rinsing / drying steam retaining cylinder portions 17, the steam collecting efficiency can be improved. Therefore, consumption of the first solvent and the second solvent can be suppressed.

さらに、蒸気域２３ａにも汚れ成分や水が含まれていないことから、水切り用蒸気滞留筒部１６の開放部１６ａから蒸気域２３ａを通してワークＷを水切り部２内に搬入するときに、ワークＷの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができ、水切り、乾燥効果を向上させることができる。
また、水切り用連通部２０とすすぎ乾燥用連通部２１とにわたって蒸気の流れを発生させることから、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７に向かう汚れ成分や水を効率よく除去することができる。 Furthermore, since the steam region 23a does not contain dirt components or water, when the workpiece W is carried into the drainer 2 through the steam region 23a from the open portion 16a of the draining steam retaining cylinder portion 16, the workpiece W It is possible to prevent dirt components and water from adhering to the surface of the water and improve drainage and drying effects.
Further, since a steam flow is generated across the draining communication portion 20 and the rinsing / drying communication portion 21, dirt components and water toward the draining steam retention cylinder portion 16 and the rinse drying steam retention cylinder portion 17 are efficiently removed. Can be removed.

なお、本実施例においては、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１にわたって蒸気が流れるとしたが、これに限ることはなく、少なくともすすぎ乾燥用連通部２１内に蒸気を流すようにすればよい。ただし、両連通部２０，２１にわたって蒸気を流した方が良いのは上述の通りである。
また、水切り用蒸気滞留部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留部１７をそれぞれ別個に備えるとしたが、水切り槽部４とすすぎ乾燥槽部１０とにわたった一つの蒸気滞留部であってもよい。但し、別個に設けたほうが、蒸気の捕集効率などの点で好ましいのは上述した通りである。 In this embodiment, the steam flows over the draining communication portion 20 and the rinse drying communication portion 21. However, the present invention is not limited to this, and at least the steam is allowed to flow in the rinse drying communication portion 21. That's fine. However, as described above, it is better to flow the steam over the communication portions 20 and 21.
Further, although the draining steam retaining part 16 and the rinsing drying steam retaining part 17 are provided separately, they may be one steam retaining part extending over the draining tank part 4 and the rinsing drying tank part 10. However, as described above, it is preferable to provide them separately in view of the efficiency of collecting steam.

さらに、混合溶剤をフルオロカーボンとしたが、これに限ることはなく、他のハロゲン化炭化水素類であってもよい。
また、超音波洗浄としたが、これに限ることはなく、揺動洗浄、噴流洗浄またはこれらの組み合わせによるものであってもよい。
なお、本発明の技術範囲は上記の実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。 Furthermore, although the mixed solvent is a fluorocarbon, it is not limited to this and may be other halogenated hydrocarbons.
In addition, although the ultrasonic cleaning is used, the present invention is not limited to this, and the cleaning may be performed by rocking cleaning, jet cleaning, or a combination thereof.
Note that the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

本発明に係る水切り乾燥装置の実施例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the Example of the drainer drying apparatus which concerns on this invention. 同実施例における水切り部の側面図である。It is a side view of the draining part in the Example. 同実施例におけるすすぎ乾燥部の側面図である。It is a side view of the rinse drying part in the Example. 従来例における水切り乾燥装置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the draining drying apparatus in a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

１ 水切り乾燥装置
４ 水切り槽部
７ 管路
１０ すすぎ乾燥槽部
１５ 溢水用水分離槽（蒸気流発生手段、水分離槽）
１６ 水切り用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第１の蒸気滞留部）
１７ すすぎ乾燥用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第２の蒸気滞留部）
２０ 水切り用連通部
２１ すすぎ乾燥用連通部
２４ 冷却装置（蒸気凝縮手段）
３２ 吸入孔（蒸気流発生手段）
３４ エダクタ（蒸気流発生手段）
３５ 循環ポンプ（蒸気流発生手段）
３６ 吐出孔（蒸気流発生手段）
Ｗ ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Draining and drying apparatus 4 Draining tank part 7 Pipe line 10 Rinse drying tank part 15 Water separation tank for overflow (steam flow generation means, water separation tank)
16 Steam retaining cylinder for draining (steam retaining part, first steam retaining part)
17 Steam retention cylinder for rinsing and drying (steam retention part, second steam retention part)
20 Draining communication part 21 Rinsing and drying communication part 24 Cooling device (vapor condensing means)
32 Suction hole (Vapor flow generating means)
34 Eductor (Vapor flow generating means)
35 Circulation pump (steam flow generating means)
36 Discharge hole (Vapor flow generating means)
W Work

Claims (4)

アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された第一の溶剤に水の付着したワークを浸漬した後、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を加熱することにより生じた蒸気の中に前記ワークを所定の時間おくことにより、前記ワークの水切り、乾燥を行う水切り乾燥装置において、
前記第一の溶剤を貯留する水切り槽部と、
前記第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部と、
前記水切り槽部に貯留された前記第一の溶剤および前記すすぎ乾燥槽部に貯留された前記第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部と、
前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部とを連通させる連通部と、
前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部との連通を遮る方向に前記連通部内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段と、を備えることを特徴とする水切り乾燥装置。 After immersing the work with water attached in the first solvent mixed with alcohols and halogenated hydrocarbons, in the vapor generated by heating the second solvent consisting of halogenated hydrocarbons In the draining and drying apparatus for draining and drying the workpiece by placing the workpiece for a predetermined time,
A draining tank section for storing the first solvent;
Rinsing and drying tank section for storing the second solvent;
A vapor retention section for retaining the vapor of the first solvent stored in the draining tank section and the second solvent stored in the rinse drying tank section;
A communication part for communicating the draining tank part and the rinse-drying tank part with the steam retention part;
A drainage drying apparatus comprising: a steam flow generating means for generating a flow of steam in the communication part in a direction that blocks communication between the draining tank part, the rinse drying tank part, and the steam retention part. 前記蒸気流発生手段は、
前記水切り槽部から溢れた前記第一の溶剤と前記すすぎ乾燥槽部から溢れた前記第二の溶剤とこれら溢れた第一の溶剤および第二の溶剤に含まれる水とを、管路を介して取り込み、これら取り込んだ第一の溶剤、第二の溶剤および水からなる水入り混合溶剤から水のみを分離して、前記第一の溶剤および前記第二の溶剤からなる混合溶剤のみを前記水切り槽部に環流させる水分離槽と、
前記連通部に形成された吐出孔および吸入孔と、
この吸入孔に管路を介して連通されたエダクタと、
このエダクタに管路を介して連通された循環ポンプと、を備え、
前記エダクタおよび前記循環ポンプが前記水分離槽に共に連通されるとともに、前記水分離槽が前記吐出孔に管路を介して連通され、
前記循環ポンプを駆動して、前記エダクタによって生じる前記連通部内の気圧差により、前記吐出孔から前記吸入孔に向かう蒸気の流れを発生させることを特徴とする請求項１に記載の水切り乾燥装置。 The steam flow generating means includes
The first solvent overflowed from the draining tank section, the second solvent overflowed from the rinse drying tank section, and the water contained in the overflowed first solvent and second solvent are passed through a pipe line. And separating only water from the mixed solvent containing water composed of the first solvent, the second solvent and water, and removing only the mixed solvent composed of the first solvent and the second solvent. A water separation tank to be recirculated to the tank section;
A discharge hole and a suction hole formed in the communication part;
An eductor communicated with the suction hole via a conduit;
A circulation pump communicated with the eductor via a pipe line;
The eductor and the circulation pump are both communicated with the water separation tank, and the water separation tank is communicated with the discharge hole via a pipe line,
2. The draining and drying apparatus according to claim 1, wherein the circulation pump is driven to generate a flow of steam from the discharge hole toward the suction hole due to a pressure difference in the communication portion generated by the eductor. 前記蒸気滞留部は、前記水切り槽部に対向して配される第一の蒸気滞留部と、前記すすぎ乾燥槽部に対向して配される第二の蒸気滞留部とを備え、
これら第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部のそれぞれに、蒸気を凝縮させる蒸気凝縮手段が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水切り乾燥装置。 The steam retention part includes a first steam retention part disposed to face the draining tank part, and a second steam retention part disposed to face the rinse drying tank part,
The draining and drying apparatus according to claim 1 or 2, wherein a steam condensing means for condensing the steam is provided in each of the first steam retaining section and the second steam retaining section. 前記連通部は、前記水切り槽部と第一の蒸気滞留部とを連通させる水切り用連通部と、前記すすぎ乾燥槽部と第二の蒸気滞留部とを連通させるすすぎ乾燥用連通部と、を備え、
前記蒸気流発生手段は、前記水切り用連通部と前記すすぎ乾燥用連通部とにわたって、蒸気の流れを発生させることを特徴とする請求項３に記載の水切り乾燥装置。

The communication part includes a draining communication part for communicating the draining tank part and the first steam retention part, and a rinse drying communication part for communicating the rinse drying tank part and the second steam retention part. Prepared,
The draining and drying apparatus according to claim 3, wherein the steam flow generating means generates a steam flow across the draining communication part and the rinse drying communication part.

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