JP2006006096A - Piezoelectric actuator, ink jet head equipped with the piezoelectric actuator, and method of manufacturing piezoelectric actuator - Google Patents

Piezoelectric actuator, ink jet head equipped with the piezoelectric actuator, and method of manufacturing piezoelectric actuator Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric actuator capable of securing the high reliability of electrical connection with a drive device, and reducing cost incurred to the electrical connections, and provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: A piezoelectric actuator 3 includes a metallic stainless plate 30, an insulating layer 31 formed on the stainless plate 30, a plurality of individual electrodes 32 formed on the insulating layer 31, a piezoelectric layer 33 formed on surfaces of the plurality of individual electrodes 32, and a common electrode 34 formed over the plurality of individual electrodes 32 on the piezoelectric layer 33. A plurality of terminals 36 corresponding to the plurality of individual electrodes 32, respectively, and a plurality of wiring portions 35 establishing the electrical connection between the plurality of individual electrodes 32 and the plurality of terminals 36, respectively, are formed on the insulating layer 31. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクジェットヘッド等に用いられる圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法に関する。   The present invention relates to a piezoelectric actuator used for an ink jet head or the like, an ink jet head including the piezoelectric actuator, and a method for manufacturing the piezoelectric actuator.

従来から、圧電体に電界を作用させることにより圧電体を変形させて駆動対象を駆動する圧電アクチュエータが知られている。このような圧電アクチュエータとしては、例えば、特許文献１に記載されているようなインクジェットヘッドに用いられたものがある。この特許文献１の圧電アクチュエータは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体と、この圧電体の下面にインクジェットヘッドの複数の圧力室に夫々対応して設けられた複数の下部電極と、圧電体の上面に複数の下部電極に夫々対応して設けられた複数の上部電極とを有する。複数の下部電極と複数の上部電極からは夫々配線部が延びており、これら配線部の端部には圧電アクチュエータに駆動電圧を供給するドライバＩＣ（駆動装置）が接続される電気接点部が夫々設けられている。そして、圧電アクチュエータに駆動電圧が供給されたときには、下部電極と上部電極の電位が異なった状態となって、電極間に挟まれた圧電体に電界が作用して圧電体が変形し、圧力室内のインクに圧力が印加される。   2. Description of the Related Art Conventionally, a piezoelectric actuator that drives an object to be driven by deforming the piezoelectric body by applying an electric field to the piezoelectric body is known. As such a piezoelectric actuator, for example, there is one used in an ink jet head as described in Patent Document 1. The piezoelectric actuator of Patent Document 1 includes a piezoelectric body made of lead zirconate titanate (PZT), a plurality of lower electrodes provided on the lower surface of the piezoelectric body so as to correspond to a plurality of pressure chambers of the inkjet head, and A plurality of upper electrodes provided respectively corresponding to the plurality of lower electrodes on the upper surface of the piezoelectric body. Wiring portions extend from the plurality of lower electrodes and the plurality of upper electrodes, respectively, and electric contact portions to which driver ICs (driving devices) for supplying a driving voltage to the piezoelectric actuator are connected are connected to the ends of the wiring portions. Is provided. When a drive voltage is supplied to the piezoelectric actuator, the electric potentials of the lower electrode and the upper electrode become different, and an electric field acts on the piezoelectric body sandwiched between the electrodes, causing the piezoelectric body to deform, Pressure is applied to the ink.

特開２００３−１５４６４６号公報JP 2003-154646 A

しかし、前記特許文献１に記載された圧電アクチュエータにおいては、複数の下部電極に夫々対応する複数の電気接点部と複数の上部電極に夫々対応する複数の電気接点部とは、異なる高さ位置に形成されている。従って、高さ位置の異なる複数の電気接点部とドライバＩＣの出力端子を直接接合することは難しいことから、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）等の可撓性を有する配線部材を用いる必要がある。しかし、近年の印字品質の高解像度化とインクジェットヘッドの小型化の双方の要求に応えるために、圧電アクチュエータの複数の電極や電気接点部を高密度に配置した場合には、配線ピッチが非常に狭い配線部材が必要となる。このような配線部材は高価であるために圧電アクチュエータの製造コストが高くなってしまう。また、高さ位置の異なる複数の電気接点部とドライバＩＣとを１枚の配線部材で接続する場合には、高さ位置の異なる複数の電気接点部と配線部材の複数の接続端子を接合したときに配線部材が湾曲してしまうため、電気的接続の信頼性が低下する虞がある。異なる高さ位置の電気接点部に対して夫々別々の配線部材を用いてドライバＩＣと圧電アクチュエータとを電気的に接続する場合には、配線部材の枚数が増える分、電気接点部とドライバＩＣとの電気的接続にかかるコストが高くなってしまう。   However, in the piezoelectric actuator described in Patent Document 1, the plurality of electrical contact portions respectively corresponding to the plurality of lower electrodes and the plurality of electrical contact portions corresponding to the plurality of upper electrodes are at different height positions. Is formed. Accordingly, since it is difficult to directly join a plurality of electrical contact portions at different height positions and the output terminal of the driver IC, a flexible wiring member such as a flexible printed circuit (FPC) is used. There is a need. However, in order to meet the demands for both high resolution of print quality in recent years and miniaturization of inkjet heads, the wiring pitch is very high when multiple electrodes and electrical contacts of a piezoelectric actuator are arranged at high density. A narrow wiring member is required. Since such a wiring member is expensive, the manufacturing cost of the piezoelectric actuator is increased. In addition, when connecting a plurality of electrical contact portions with different height positions and the driver IC with a single wiring member, a plurality of electrical contact portions with different height positions and a plurality of connection terminals of the wiring member are joined. Since the wiring member is sometimes bent, the reliability of electrical connection may be reduced. When the driver IC and the piezoelectric actuator are electrically connected to the electrical contact portions at different heights using different wiring members, the electrical contact portion and the driver IC are increased by the number of wiring members. This increases the cost of electrical connection.

本発明の目的は、駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ、これを含むインクジェットヘッド及び圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator capable of reducing the cost of electrical connection while ensuring high reliability of electrical connection with a drive device, an inkjet head including the same, and a method of manufacturing the piezoelectric actuator Is to provide.

課題を解決するための手段及び発明の効果Means for Solving the Problems and Effects of the Invention

第１の発明の圧電アクチュエータは、少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板と、前記振動板の前記一方の表面に形成された複数の個別電極と、これら複数の個別電極を覆う圧電層と、前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極と、を備えている。そして、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とが形成されている。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric actuator having at least one surface having an insulating property, a plurality of individual electrodes formed on the one surface of the vibration plate, and a piezoelectric layer covering the plurality of individual electrodes. And a common electrode facing the plurality of individual electrodes with the piezoelectric layer interposed therebetween. A plurality of first terminal portions respectively corresponding to the plurality of individual electrodes, and the plurality of individual electrodes and the plurality of first terminal portions are electrically connected to the one surface of the diaphragm. A plurality of first wiring portions are formed.

この圧電アクチュエータにおいては、複数の個別電極が振動板の前記一方の表面に配置され、隣接する個別電極は振動板により互いに電気的に絶縁されている。そして、複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧が供給されて、個別電極と共通電極の電位が異なった状態になると、圧電層において両電極に挟まれた領域に電界が発生する。そして、この電界の作用により圧電層が変形し、この圧電層の変形に伴って振動板も変形して駆動対象を駆動するようになっている。   In this piezoelectric actuator, a plurality of individual electrodes are arranged on the one surface of the diaphragm, and adjacent individual electrodes are electrically insulated from each other by the diaphragm. When a driving voltage is selectively supplied to the plurality of individual electrodes and the potentials of the individual electrodes and the common electrode are different, an electric field is generated in a region sandwiched between the two electrodes in the piezoelectric layer. The piezoelectric layer is deformed by the action of the electric field, and the diaphragm is also deformed along with the deformation of the piezoelectric layer to drive the drive target.

本発明では、第１の特徴として、振動板の前記一方の表面には、複数の個別電極に加えて、さらに、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、複数の個別電極と複数の第１端子部とを夫々接続する複数の第１配線部とが形成されている。すなわち、複数の個別電極と、複数の第１端子部と、複数の第１配線部とが同一平面上に形成されている。従って、個別電極と、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置等が接続される第１端子部とを、これらと同じ平面上に形成された第１配線部により、コストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続できる。   In the present invention, as a first feature, in addition to the plurality of individual electrodes, the one surface of the diaphragm further includes a plurality of first terminal portions respectively corresponding to the plurality of individual electrodes, and a plurality of individual electrodes. And a plurality of first wiring portions for connecting the plurality of first terminal portions to each other. That is, a plurality of individual electrodes, a plurality of first terminal portions, and a plurality of first wiring portions are formed on the same plane. Therefore, the individual electrode and the first terminal portion to which the driving device for driving the piezoelectric actuator is connected are connected to the first wiring portion formed on the same plane as these via an expensive wiring member such as an FPC. Can be connected directly.

また、第２の特徴として、個別電極と協働して圧電層に電界を発生させる電極が、個別電極ごとに独立に設けられているのではなく、複数の個別電極に共通の１つの電極（共通電極）として、圧電層を挟んで複数の個別電極と対向している。それゆえ、共通電極を駆動装置等に接続する為の端子部の数は、振動板の前記一方の表面上に形成された個別電極を駆動装置等に接続する為の端子部の数に比べると非常に少なくなる（例えば、共通電極を全ての個別電極に亙って形成した場合には共通電極用の端子部の数は１つで済む）。そのため、そのような端子部の少ない共通電極を駆動装置等に接続する場合にもわざわざ配線部材を使用する必要もなく、また、端子部の数が少ないことから電気的接続も容易且つ確実に行うことが可能になる。上述した２つの特徴を有するために、本発明の圧電アクチュエータによると、駆動装置との電気的接続のコストを低減でき、さらに、電気的接続の信頼性も高くなる。   In addition, as a second feature, an electrode for generating an electric field in the piezoelectric layer in cooperation with the individual electrode is not provided independently for each individual electrode, but one electrode common to a plurality of individual electrodes ( Common electrodes) are opposed to a plurality of individual electrodes with a piezoelectric layer interposed therebetween. Therefore, the number of terminal portions for connecting the common electrode to the driving device or the like is more than the number of terminal portions for connecting the individual electrodes formed on the one surface of the diaphragm to the driving device or the like. Very little (for example, when the common electrode is formed over all the individual electrodes, only one terminal portion for the common electrode is required). Therefore, it is not necessary to use a wiring member when connecting a common electrode with a small number of terminal parts to a driving device or the like, and since the number of terminal parts is small, electrical connection is easily and reliably performed. It becomes possible. Due to the above-described two characteristics, according to the piezoelectric actuator of the present invention, the cost of the electrical connection with the driving device can be reduced, and the reliability of the electrical connection is also increased.

第２の発明の圧電アクチュエータは、前記第１の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とが形成されていることを特徴とするものである。   According to a second aspect of the present invention, in the piezoelectric actuator according to the first aspect, the second terminal portion corresponding to the common electrode, the common electrode, and the second terminal portion are electrically connected to the one surface of the diaphragm. The second wiring portion to be connected is formed.

この圧電アクチュエータにおいては、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と共通電極に対応する第２端子部とが、共に、振動板の前記一方の表面に形成されているため、これら端子部の高さ位置を全て同じにすることができ、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置の出力端子と第１端子部及び第２端子部との接合作業が容易になり、接合後の電気的接続の信頼性も高くなる。さらに、これら端子部を全て振動板の前記一方の表面に形成するにあたり、振動板の前記一方の表面に第１配線部及び第２配線部を形成するだけでよいので、スルーホールなどの複雑な構造を採ることなく、簡単な配線構造で端子部の高さ位置を一致させることができる。   In this piezoelectric actuator, since the plurality of first terminal portions respectively corresponding to the plurality of individual electrodes and the second terminal portion corresponding to the common electrode are formed on the one surface of the diaphragm, these The height positions of the terminal portions can all be the same, and it becomes easy to join the output terminal of the driving device that drives the piezoelectric actuator, the first terminal portion, and the second terminal portion, and electrical connection after joining. The reliability of the will also be high. Further, when all of these terminal portions are formed on the one surface of the diaphragm, it is only necessary to form the first wiring portion and the second wiring portion on the one surface of the diaphragm. Without adopting the structure, the height positions of the terminal portions can be matched with a simple wiring structure.

第３の発明の圧電アクチュエータは、前記第２の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記第１端子部及び前記第２端子部に接合される複数の出力端子を有し、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置が配置されていることを特徴とするものである。従って、複数の個別電極及び共通電極と駆動装置とが第１配線部及び第２配線部により直接接続されるため、ＦＰＣ等の配線部材が不要になり、電気的接続にかかるコストを低減できる。   According to a third aspect of the present invention, the piezoelectric actuator according to the second aspect has a plurality of output terminals joined to the first terminal portion and the second terminal portion on the one surface of the diaphragm. A drive device that selectively supplies a drive voltage to a plurality of individual electrodes is arranged. Accordingly, since the plurality of individual electrodes and the common electrode and the driving device are directly connected by the first wiring portion and the second wiring portion, a wiring member such as an FPC becomes unnecessary, and the cost for electrical connection can be reduced.

第４の発明の圧電アクチュエータは、前記第３の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子が形成されていることを特徴とするものである。一般的に、駆動装置には、この駆動装置を制御する制御装置が接続されるが、本発明によれば、この制御装置と駆動装置とをＦＰＣやフレキシブルフラットケーブル（Flexible Flat Cable：ＦＦＣ）等で接続する為の接続端子を、複数の個別電極、複数の端子部及び複数の配線部と一度に形成することが可能になる。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric actuator according to the third aspect, wherein the piezoelectric actuator is a connection terminal joined to an input terminal of the driving device on the one surface of the diaphragm. A connection terminal for electrically connecting a control device to be controlled is formed. Generally, a control device that controls the drive device is connected to the drive device. According to the present invention, the control device and the drive device are connected to an FPC, a flexible flat cable (FFC), or the like. It is possible to form connection terminals for connection with a plurality of individual electrodes, a plurality of terminal portions, and a plurality of wiring portions at a time.

第５の発明の圧電アクチュエータは、前記第１〜４の何れかの発明において、前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とするものである。   According to a fifth aspect of the invention, the piezoelectric actuator according to any one of the first to fourth aspects is characterized in that the diaphragm is a plate made of an insulating material.

第６の発明の圧電アクチュエータは、前記第１〜４の何れかの発明において、前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでいることを特徴とするものである。   According to a sixth aspect of the present invention, in the piezoelectric actuator according to any one of the first to fourth aspects, the vibration plate includes a metal plate and an insulating layer formed on a surface of the metal plate. To do.

第７の発明の圧電アクチュエータは、前記第６の発明において、前記絶縁層がセラミックス材料からなることを特徴とするものである。このように、絶縁層が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、アクチュエータの剛性が上がり、応答性がより高くなる。   According to a seventh aspect of the present invention, in the sixth aspect, the insulating layer is made of a ceramic material. Thus, since the insulating layer is formed of a ceramic material having a high elastic modulus, the rigidity of the actuator is increased and the responsiveness is further increased.

第８の発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルに連通した複数の圧力室を有し、その表面においてこれら複数の圧力室が夫々開口した流路ユニットと、前記複数の圧力室に夫々対応する前記複数の個別電極を有する前記第６又は７の圧電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドであって、前記金属板は鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成され、且つ、前記流路ユニットの表面に積層されており、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分が、鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成されていることを特徴とするものである。   An ink jet head according to an eighth aspect of the present invention has a plurality of pressure chambers communicating with nozzles for ejecting ink, and each of the plurality of pressure chambers is open on the surface thereof, and corresponds to each of the plurality of pressure chambers. An ink jet head comprising the sixth or seventh piezoelectric actuator having the plurality of individual electrodes, wherein the metal plate is one of an iron-based alloy, a nickel-based alloy, a titanium-based alloy, and an aluminum-based alloy. And a portion where at least the metal plate of the flow path unit is laminated is an iron-based alloy, a nickel-based alloy, a titanium-based alloy, and It is made of any material of an aluminum-based alloy.

流路ユニットの少なくとも一部が鉄系合金、ニッケル系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成されているため、流路ユニット内部のインク流路をエッチング等により容易に形成できる。また、金属板も同様の材料で形成されているため、流路ユニットと金属板の熱膨張係数が近くなり、両者の接合強度が向上する。   Since at least a part of the flow path unit is formed of any material of iron-based alloy, nickel-based alloy, and aluminum-based alloy, the ink flow path inside the flow path unit can be easily formed by etching or the like. Moreover, since the metal plate is also formed of the same material, the thermal expansion coefficients of the flow path unit and the metal plate are close, and the joint strength between the two is improved.

第９の発明のインクジェットヘッドは、前記第８の発明において、前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、同じ種類の材料で形成されていることを特徴とするものである。従って、金属板と、流路ユニットの金属板が積層される部分の熱膨張係数がより近くなり、両者の接合強度がより向上する。また、流路ユニット内のインクは、同じ種類の材料で形成された金属板と流路ユニットに接触することになるため、どのようなインクを選択しても局部電池が形成される虞がなく、インクの選択が腐食面で制約されることがないため、インク選択の自由度が大きくなる。   An ink jet head according to a ninth aspect is the ink jet head according to the eighth aspect, wherein the metal plate and at least a portion of the flow path unit on which the metal plate is laminated are formed of the same type of material. It is what. Therefore, the coefficient of thermal expansion of the portion where the metal plate and the metal plate of the flow path unit are laminated becomes closer, and the joint strength between them is further improved. In addition, since the ink in the flow path unit comes into contact with the flow path unit and the metal plate formed of the same type of material, there is no possibility of forming a local battery no matter what ink is selected. Since the selection of the ink is not restricted by the corrosive surface, the degree of freedom in selecting the ink is increased.

第１０の発明のインクジェットヘッドは、前記第９の発明において、前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とするものである。従って、金属板と、流路ユニットの金属板が積層される部分の、インクに対する耐食性が共に向上するため、インク選択の自由度がさらに大きくなる。   An ink jet head according to a tenth aspect of the invention is the ink jet head according to the ninth aspect, wherein the metal plate and at least a portion of the flow path unit on which the metal plate is laminated are formed of stainless steel. Is. Accordingly, the corrosion resistance to ink at the portion where the metal plate and the metal plate of the flow path unit are laminated is improved, and the degree of freedom in ink selection is further increased.

第１１の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板を形成する第１工程と、前記振動板の前記一方の表面に複数の個別電極を形成する第２工程と、これら複数の個別電極を覆う圧電層を形成する第３工程と、前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極を形成する第４工程と、を備え、前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極とともに、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とを形成することを特徴とするものである。   A method for manufacturing a piezoelectric actuator according to an eleventh aspect of the invention includes a first step of forming a diaphragm having at least one surface having an insulating property, and a second step of forming a plurality of individual electrodes on the one surface of the diaphragm. And a third step of forming a piezoelectric layer covering the plurality of individual electrodes, and a fourth step of forming a common electrode facing the plurality of individual electrodes across the piezoelectric layer, the second step In addition, on the one surface of the diaphragm, together with the plurality of individual electrodes, a plurality of first terminal portions respectively corresponding to the plurality of individual electrodes, the plurality of individual electrodes, and the plurality of first terminal portions. A plurality of first wiring portions that are electrically connected to each other are formed.

この圧電アクチュエータの製造方法によれば、前述の第１の発明と同様の効果が得られる圧電アクチュエータを容易に製造することができる。それに加えて、第２工程において、振動板の一方の表面に、複数の個別電極と、複数の第１端子部と、複数の第１配線部とを一度に形成することができるため、製造工程を短縮することが可能になる。   According to this method of manufacturing a piezoelectric actuator, it is possible to easily manufacture a piezoelectric actuator that can obtain the same effects as those of the first invention. In addition, in the second step, a plurality of individual electrodes, a plurality of first terminal portions, and a plurality of first wiring portions can be formed at one time on one surface of the diaphragm. Can be shortened.

第１２の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１１の発明において、前記第４工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極とともに、この共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とを形成することを特徴とするものである。従って、前述の第２の発明と同様の効果が得られる圧電アクチュエータを容易に製造することができる。それに加えて、第４工程において、振動板の一方の表面に、共通電極とこの共通電極に対応する第２端子部と第２配線部とを一度に形成することができるため、製造工程を短縮することができる。   The piezoelectric actuator manufacturing method according to a twelfth aspect of the present invention is the method of manufacturing the piezoelectric actuator according to the eleventh aspect, wherein, in the fourth step, on the one surface of the diaphragm, along with the common electrode, a second terminal portion corresponding to the common electrode. And a second wiring portion that electrically connects the common electrode and the second terminal portion. Therefore, it is possible to easily manufacture a piezoelectric actuator that can obtain the same effects as those of the second invention. In addition, in the fourth step, since the common electrode, the second terminal portion corresponding to the common electrode, and the second wiring portion can be formed on one surface of the diaphragm at a time, the manufacturing process is shortened. can do.

第１３の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１２の発明において、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置を配置するとともに、前記第１端子部及び前記第２端子部と前記駆動装置の出力端子とを接合する第５工程をさらに備えたことを特徴とするものである。従って、複数の個別電極と駆動装置とを第１配線部及び第２配線部により直接接続することができるため、ＦＰＣ等の配線部材が不要になり、電気的接続にかかるコストを低減できる。   According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric actuator manufacturing method according to the twelfth aspect, wherein a driving device that selectively supplies a driving voltage to the plurality of individual electrodes is disposed on the one surface of the diaphragm. And a fifth step of joining the first terminal portion and the second terminal portion to the output terminal of the driving device. Therefore, since the plurality of individual electrodes and the driving device can be directly connected by the first wiring portion and the second wiring portion, a wiring member such as an FPC becomes unnecessary, and the cost for electrical connection can be reduced.

第１４の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１３の発明において、前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子をさらに形成することを特徴とするものである。従って、制御装置と駆動装置と接続する為の接続端子を、複数の個別電極、複数の第１端子部及び複数の第１配線部と同時に形成することが可能になる。   According to a fourteenth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing the piezoelectric actuator according to the thirteenth aspect, wherein the second step is a connection terminal joined to the input surface of the driving device on the one surface of the diaphragm. Further, a connection terminal for electrically connecting the driving device and a control device for controlling the driving device is further formed. Accordingly, the connection terminals for connecting the control device and the drive device can be formed simultaneously with the plurality of individual electrodes, the plurality of first terminal portions, and the plurality of first wiring portions.

第１５の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１１〜１４の何れかの発明において、前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでおり、前記第１工程が、前記金属板の表面に前記絶縁層を形成する工程を含んでいることを特徴とするものである。   According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric actuator manufacturing method according to any one of the first to fourteenth aspects, wherein the vibration plate includes a metal plate and an insulating layer formed on a surface of the metal plate. The first step includes a step of forming the insulating layer on the surface of the metal plate.

第１６の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１１〜１４の何れかの発明において、前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とするものである。   According to a sixteenth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a piezoelectric actuator according to any one of the first to fourteenth aspects, wherein the diaphragm is a plate made of an insulating material.

＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態は、本発明をインクジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータに適用した一例である。
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、内部にインク流路が形成された流路ユニット２と、この流路ユニット２の上面に積層された圧電アクチュエータ３とを備えている。 <First Embodiment>
A first embodiment of the present invention will be described. This embodiment is an example in which the present invention is applied to a piezoelectric actuator used in an inkjet head.
As shown in FIG. 1, the inkjet head 1 includes a flow path unit 2 in which an ink flow path is formed, and a piezoelectric actuator 3 stacked on the upper surface of the flow path unit 2.

まず、流路ユニット２について説明する。図２は、図１のインクジェットヘッド１の右半分の概略平面図である。また、図３は図２のIII-III線断面図、図４は図２のIV-IV線断面図である。図２〜図４に示すように、流路ユニット２はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズルプレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接着されている。このうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２は略矩形のステンレス鋼製の板である。そのため、これら３枚のプレート１０〜１２に、後述するマニホールド１７や圧力室１４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート１３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１２の下面に接着される。あるいは、このノズルプレート１３も、３枚のプレート１０〜１２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。   First, the flow path unit 2 will be described. FIG. 2 is a schematic plan view of the right half of the inkjet head 1 of FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. As shown in FIGS. 2 to 4, the flow path unit 2 includes a cavity plate 10, a base plate 11, a manifold plate 12, and a nozzle plate 13, and these four plates 10 to 13 are bonded in a laminated state. Yes. Among these, the cavity plate 10, the base plate 11, and the manifold plate 12 are substantially rectangular stainless steel plates. Therefore, ink flow paths such as a manifold 17 and a pressure chamber 14 described later can be easily formed on these three plates 10 to 12 by etching. The nozzle plate 13 is formed of, for example, a polymer synthetic resin material such as polyimide, and is bonded to the lower surface of the manifold plate 12. Or this nozzle plate 13 may be formed with metal materials, such as stainless steel, similarly to the three plates 10-12.

図２に示すように、キャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４が形成されている。これら複数の圧力室１４は、流路ユニット２の表面（後述するステンレス板３０が接合されるキャビティプレート１０の上面）において開口している。尚、図２には、複数の圧力室１４のうちの一部（８つ）が示されている。各圧力室１４は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向がキャビティプレート１０の長手方向に平行になるように配置されている。   As shown in FIG. 2, the cavity plate 10 is formed with a plurality of pressure chambers 14 arranged along a plane. The plurality of pressure chambers 14 are open on the surface of the flow path unit 2 (the upper surface of the cavity plate 10 to which a stainless plate 30 described later is joined). FIG. 2 shows some (eight) of the plurality of pressure chambers 14. Each pressure chamber 14 is formed in a substantially elliptical shape in plan view, and is arranged so that the major axis direction thereof is parallel to the longitudinal direction of the cavity plate 10.

ベースプレート１１において平面視で圧力室１４の長軸方向両端部に重なる位置には、夫々連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、マニホールドプレートの短手方向（図２の上下方向）に２列に延び、平面視で圧力室１４の図２における右半分と重なるマニホールド１７が形成されている。このマニホールド１７には、キャビティプレート１０に形成されたインク供給口１８を介してインクタンク（図示省略）からインクが供給される。また、平面視で圧力室１４の図２における左端部と重なる位置には、連通孔１９も形成されている。さらに、ノズルプレート１３において平面視で複数の圧力室１４の左端部に重なる位置には、複数のノズル２０が夫々形成されている。ノズル２０は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂の基板にエキシマレーザー加工を施すことにより形成される。   In the base plate 11, communication holes 15 and 16 are formed at positions overlapping the both ends in the long axis direction of the pressure chamber 14 in plan view. The manifold plate 12 is formed with a manifold 17 extending in two rows in the short direction of the manifold plate (vertical direction in FIG. 2) and overlapping the right half of the pressure chamber 14 in FIG. Ink is supplied to the manifold 17 from an ink tank (not shown) through an ink supply port 18 formed in the cavity plate 10. A communication hole 19 is also formed at a position overlapping the left end of the pressure chamber 14 in FIG. Furthermore, a plurality of nozzles 20 are formed at positions where the nozzle plate 13 overlaps the left end portions of the plurality of pressure chambers 14 in plan view. The nozzle 20 is formed, for example, by performing excimer laser processing on a polymer synthetic resin substrate such as polyimide.

そして、図３に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、さらに、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット２内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る個別インク流路が形成されている。   As shown in FIG. 3, the manifold 17 communicates with the pressure chamber 14 through the communication hole 15, and the pressure chamber 14 communicates with the nozzle 20 through the communication holes 16 and 19. As described above, an individual ink flow path from the manifold 17 to the nozzle 20 through the pressure chamber 14 is formed in the flow path unit 2.

次に、圧電アクチュエータ３について説明する。図１〜図４に示すように、圧電アクチュエータ３は、流路ユニット２の上面に配置された振動板５０と、振動板５０の上面に形成され、複数の圧力室１４に夫々対向する複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２を覆う圧電層３３と、この圧電層３３の上面に形成され、複数の個別電極３２（本実施形態の場合、すべての個別電極３２）に亙って共通に設けられた（つまり、圧電層３３を挟んで複数の個別電極３２と対向する）矩形平面形状を有する共通電極３４とを備えている。振動板５０は、ステンレス板３０と、ステンレス板３０の上面に形成された絶縁層３１との２層構造となっている。   Next, the piezoelectric actuator 3 will be described. As shown in FIGS. 1 to 4, the piezoelectric actuator 3 includes a diaphragm 50 disposed on the upper surface of the flow path unit 2, and a plurality of piezoelectric actuators 3 that are formed on the upper surface of the diaphragm 50 and respectively face the plurality of pressure chambers 14. An individual electrode 32, a piezoelectric layer 33 covering the plurality of individual electrodes 32, and an upper surface of the piezoelectric layer 33 are formed over the plurality of individual electrodes 32 (in the case of the present embodiment, all the individual electrodes 32). And a common electrode 34 having a rectangular planar shape provided in common (that is, opposed to the plurality of individual electrodes 32 with the piezoelectric layer 33 interposed therebetween). The diaphragm 50 has a two-layer structure of a stainless plate 30 and an insulating layer 31 formed on the upper surface of the stainless plate 30.

ステンレス板３０は、平面視で略矩形状の板であり、複数の圧力室１４の開口を塞ぐ状態でキャビティプレート１０の上面に積層された状態で接合されている。ここで、ステンレス板３０が比較的弾性率の高いステンレス鋼で形成されているため、後述するようにインクの吐出動作の際に圧電層３３が変形したときに、ステンレス板３０の剛性の高さによって、圧電アクチュエータ３の応答性が高くなる。また、このステンレス板３０は、同じくステンレス鋼で形成されたキャビティプレート１０の上面に接合される。そのため、ステンレス板３０とキャビティプレート１０の熱膨張係数が等しくなり、両者の接合強度が向上する。さらに、流路ユニット２内のインクは、インクに対する耐食性に優れるステンレス鋼で形成されたステンレス板３０と流路ユニット２とに接触する。そのため、どのようなインクを選択しても流路ユニット２内あるいはステンレス板３０に局部電池が形成される虞がなく、インクの選択が腐食面で制約されることがないため、インク選択の自由度が大きくなる。   The stainless steel plate 30 is a substantially rectangular plate in plan view, and is joined in a state of being stacked on the upper surface of the cavity plate 10 so as to block the openings of the plurality of pressure chambers 14. Here, since the stainless steel plate 30 is formed of stainless steel having a relatively high elastic modulus, the rigidity of the stainless steel plate 30 is increased when the piezoelectric layer 33 is deformed during the ink ejection operation, as will be described later. As a result, the responsiveness of the piezoelectric actuator 3 is increased. The stainless plate 30 is joined to the upper surface of the cavity plate 10 which is also formed of stainless steel. Therefore, the thermal expansion coefficients of the stainless steel plate 30 and the cavity plate 10 become equal, and the bonding strength between them is improved. Further, the ink in the flow path unit 2 comes into contact with the flow path unit 2 and the stainless plate 30 formed of stainless steel having excellent corrosion resistance against the ink. Therefore, no matter what kind of ink is selected, there is no possibility that a local battery is formed in the flow path unit 2 or on the stainless steel plate 30, and the selection of ink is not restricted by the corrosive surface. The degree is increased.

絶縁層３１は、アルミナ、ジルコニア、あるいは、窒化ケイ素等の、弾性率が高いセラミックス材料からなり、その上面が平面となっている。このように、絶縁層３１が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、アクチュエータの剛性が上がり応答性がより高くなる。また、このように、ステンレス板３０の上面に絶縁層３１が形成されているため、ステンレス板３０の上に絶縁層３１を介して複数の個別電極３２を形成することが可能になる。   The insulating layer 31 is made of a ceramic material having a high elastic modulus such as alumina, zirconia, or silicon nitride, and the upper surface thereof is a flat surface. Thus, since the insulating layer 31 is formed of a ceramic material having a high elastic modulus, the rigidity of the actuator is increased and the responsiveness is further increased. In addition, since the insulating layer 31 is formed on the upper surface of the stainless steel plate 30 as described above, a plurality of individual electrodes 32 can be formed on the stainless steel plate 30 via the insulating layer 31.

さらに、この絶縁層３１の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１４の中央部に重なる位置に形成されている。個別電極３２は金などの導電性材料からなる。尚、隣接する個別電極３２は絶縁層３１により互いに電気的に絶縁されている。   Further, a plurality of individual electrodes 32 having an elliptical planar shape that is slightly smaller than the pressure chamber 14 are formed on the upper surface of the insulating layer 31. The individual electrode 32 is formed at a position overlapping the central portion of the corresponding pressure chamber 14 in plan view. The individual electrode 32 is made of a conductive material such as gold. The adjacent individual electrodes 32 are electrically insulated from each other by the insulating layer 31.

絶縁層３１の上面において、複数の個別電極３２の一端部（図２における右端部）からは、夫々、個別電極３２の長軸方向に平行に複数の配線部３５（第１配線部）が延びており、これら複数の配線部３５の端部には夫々端子部３６（第１端子部）が形成されている。これら複数の端子部３６の高さ位置は全て同じである。そして、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６には、複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧を供給するドライバＩＣ３７（駆動装置）の出力端子３７ａが半田等の導電性ろう材からなるバンプ３８を介して接合されている。つまり、ドライバＩＣ３７は、端子部３６及びバンプ３８を介して絶縁層３１の上面に配置されている。このように、複数の個別電極３２とドライバＩＣ３７とを、個別電極３２と同一平面上に形成された配線部３５により、コストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続できるため、電気的接続のコストを低減できるし、また、電気的接続の信頼性も高くなる。   On the upper surface of the insulating layer 31, a plurality of wiring portions 35 (first wiring portions) extend in parallel with the long axis direction of the individual electrodes 32 from one end portions (right end portions in FIG. 2) of the plurality of individual electrodes 32. A terminal portion 36 (first terminal portion) is formed at each end of the plurality of wiring portions 35. The height positions of the plurality of terminal portions 36 are all the same. An output terminal 37a of a driver IC 37 (drive device) that selectively supplies a drive voltage to the plurality of individual electrodes 32 is connected to a plurality of terminal portions 36 respectively corresponding to the plurality of individual electrodes 32. It joins via the bump 38 which consists of a characteristic brazing material. That is, the driver IC 37 is disposed on the upper surface of the insulating layer 31 via the terminal portion 36 and the bump 38. As described above, since the plurality of individual electrodes 32 and the driver IC 37 can be directly connected by the wiring portion 35 formed on the same plane as the individual electrodes 32 without using a costly wiring member such as an FPC. The cost of connection can be reduced, and the reliability of electrical connection is increased.

さらに、絶縁層３１上には、ドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂと接合される複数の接続端子４０も形成されている。そして、これら複数の接続端子４０とドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂとを半田等からなるバンプ３９を介して夫々接合することにより、ドライバＩＣ３７とこのドライバＩＣ３７を制御する制御装置（図示省略）とを接続端子４０を介して容易に接続することができる。   Furthermore, a plurality of connection terminals 40 that are joined to the input terminals 37 b of the driver IC 37 are also formed on the insulating layer 31. The plurality of connection terminals 40 and the input terminals 37b of the driver IC 37 are joined via bumps 39 made of solder or the like, thereby connecting the driver IC 37 and a control device (not shown) for controlling the driver IC 37. It can be easily connected via the terminal 40.

圧電層３３は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分としている。この圧電層３３は、複数の個別電極３２の上面全域を覆うように、複数の個別電極３２の全てに亙る矩形平面形状を有する連続した１つの層として形成されている。さらに、この圧電層３３の上面には、複数の個別電極３２に共通の共通電極３４が圧電層３３の全面に亙って形成されている。図２に示すように、共通電極３４からは１本の配線部４１（第２配線部）が延びており、この配線部４１は圧電層３３の上面と絶縁層３１の上面とに亙って延在するように形成されている。また、この配線部４１の端部に設けられた端子部４２（第２端子部）は、ドライバＩＣ３７の端子（図示せず）と接している。これにより、共通電極３４は、この配線部４１及びドライバＩＣ３７を介して接地され、グランド電位に保持されている。この共通電極３４も金などの導電性材料からなる。尚、端子部４２の高さ位置は、端子部３６の高さ位置と同じである。   The piezoelectric layer 33 is mainly composed of lead zirconate titanate (PZT), which is a solid solution of lead titanate and lead zirconate and is a ferroelectric substance. The piezoelectric layer 33 is formed as one continuous layer having a rectangular planar shape over all of the plurality of individual electrodes 32 so as to cover the entire upper surface of the plurality of individual electrodes 32. Further, a common electrode 34 common to the plurality of individual electrodes 32 is formed over the entire surface of the piezoelectric layer 33 on the upper surface of the piezoelectric layer 33. As shown in FIG. 2, one wiring portion 41 (second wiring portion) extends from the common electrode 34, and this wiring portion 41 extends over the upper surface of the piezoelectric layer 33 and the upper surface of the insulating layer 31. It is formed to extend. Further, a terminal portion 42 (second terminal portion) provided at the end of the wiring portion 41 is in contact with a terminal (not shown) of the driver IC 37. Thereby, the common electrode 34 is grounded via the wiring portion 41 and the driver IC 37 and is held at the ground potential. The common electrode 34 is also made of a conductive material such as gold. Note that the height position of the terminal portion 42 is the same as the height position of the terminal portion 36.

ここで、図３に示すように、共通電極３４は圧電層３３の上面に形成されているため、共通電極３４と個別電極３２及び配線部３５との高さ位置が相違している。したがって、個別電極３２と同じ平面上に形成された配線部３５によりドライバＩＣ３７と接続される個別電極３２に比べると、共通電極３４とドライバＩＣ３７との電気的接続はやや困難であるとも考えられる。しかしながら、共通電極３４は全ての個別電極３２に対向し得る１つの電極として形成されているので、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続する配線部４１は１本で済む。そのため、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続するためにわざわざＦＰＣ等の配線部材を使用する必要もなく、また、端子数が１つしかないことから導電性ペーストなどを用いて電気的な接続を容易に行うことができ、その接続の信頼性も高いものとなる。   Here, as shown in FIG. 3, since the common electrode 34 is formed on the upper surface of the piezoelectric layer 33, the height positions of the common electrode 34, the individual electrode 32, and the wiring portion 35 are different. Therefore, it can be considered that the electrical connection between the common electrode 34 and the driver IC 37 is somewhat difficult compared to the individual electrode 32 connected to the driver IC 37 by the wiring portion 35 formed on the same plane as the individual electrode 32. However, since the common electrode 34 is formed as one electrode that can be opposed to all the individual electrodes 32, only one wiring portion 41 is required to connect the common electrode 34 to the driver IC 37. Therefore, it is not necessary to use a wiring member such as FPC in order to connect the common electrode 34 to the driver IC 37, and since there is only one terminal, electrical connection is easy using a conductive paste or the like. And the connection reliability is high.

複数の個別電極３２に対応する複数の端子部３６と共通電極３４に対応する１つの端子部４２とが、共に、絶縁層３１の上面に形成されているため、これらの端子部３６，４２の高さ位置を全て同じにすることができる。従って、ドライバＩＣ３７の出力端子３７ａとこれら端子部３６，４２とのバンプ３８を介した接合作業が容易になり、接合後の電気的接続の信頼性も高くなる。さらに、複数の端子部３６と１つの端子部４２とを全て絶縁層３１の上面に形成するにあたり、絶縁層３１の上面に複数の配線部３５と１本の配線部４１を形成するだけでよいため、スルーホールなどの複雑な構造を採ることのない簡単な配線構造で、端子部３６，４２の高さ位置を一致させることができる。   Since the plurality of terminal portions 36 corresponding to the plurality of individual electrodes 32 and the one terminal portion 42 corresponding to the common electrode 34 are both formed on the upper surface of the insulating layer 31, All height positions can be the same. Therefore, the joining operation of the output terminal 37a of the driver IC 37 and the terminal portions 36 and 42 via the bumps 38 is facilitated, and the reliability of the electrical connection after the joining is increased. Furthermore, in order to form all of the plurality of terminal portions 36 and one terminal portion 42 on the upper surface of the insulating layer 31, it is only necessary to form the plurality of wiring portions 35 and one wiring portion 41 on the upper surface of the insulating layer 31. Therefore, the height positions of the terminal portions 36 and 42 can be matched with a simple wiring structure that does not employ a complicated structure such as a through hole.

さらに、配線部４１は圧電層３３の厚み分の段差を有する面上に延在するように形成されているため、平面上に延在する配線部３５と比べて、構造的な信頼性が劣るものと思われる。しかし、上述したように、この相対的に信頼性の劣る配線部４１は１本で済み、それ以外の複数の配線部３５は構造的な信頼性が高いことから、全体的に信頼性の高い配線構造を実現することができる。尚、配線部４１が共通電極３４から絶縁層３１に亙って一度に形成されている場合には、段差にかかる部分の厚さが薄くなるため、図２に示すように、この部分に補強部４３を設けて、その信頼性を高めることができる。   Furthermore, since the wiring portion 41 is formed so as to extend on a surface having a level difference corresponding to the thickness of the piezoelectric layer 33, the structural reliability is inferior to that of the wiring portion 35 extending on a plane. It seems to be. However, as described above, only one wiring portion 41 with relatively low reliability is required, and the other plurality of wiring portions 35 have high structural reliability. Therefore, overall reliability is high. A wiring structure can be realized. When the wiring portion 41 is formed from the common electrode 34 to the insulating layer 31 at a time, the thickness of the portion corresponding to the step is reduced, so that this portion is reinforced as shown in FIG. The part 43 can be provided and the reliability can be improved.

次に、インク吐出時における圧電アクチュエータ３の作用について説明する。
ドライバＩＣ３７に複数の配線部３５を介して夫々接続された複数の個別電極３２に対して、ドライバＩＣ３７から選択的に駆動電圧が供給されると、駆動電圧が供給された圧電層３３下側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３３上側の共通電極３４の電位が異なった状態となり、両電極３２，３４の間に挟まれた圧電層３３に上下方向の電界が生じる。すると、圧電層３３のうち、駆動電圧が印加された個別電極３２の直上の部分が、分極方向である上下方向と直交する水平方向に収縮する。ここで、圧電層３３の下側の振動板５０はキャビティプレート１０に対して固定されているため、両電極３２，３４の間に挟まれた圧電層３３の部分が圧力室１４側に凸となるように変形し、この圧電層３３の部分的な変形に伴い、振動板５０の圧力室１４を覆う部分も圧力室１４側に凸となるように変形する。すると、圧力室１４内の体積が減少するためにインク圧力が上昇し、圧力室１４に連通するノズル２０からインクが吐出される。 Next, the operation of the piezoelectric actuator 3 during ink ejection will be described.
When a drive voltage is selectively supplied from the driver IC 37 to the plurality of individual electrodes 32 respectively connected to the driver IC 37 via the plurality of wiring sections 35, the lower side of the piezoelectric layer 33 to which the drive voltage is supplied is provided. The electric potentials of the individual electrodes 32 and the common electrode 34 on the upper side of the piezoelectric layer 33 held at the ground potential are different from each other, and an electric field in the vertical direction is generated in the piezoelectric layer 33 sandwiched between the electrodes 32 and 34. Then, a portion of the piezoelectric layer 33 immediately above the individual electrode 32 to which the drive voltage is applied contracts in a horizontal direction orthogonal to the vertical direction that is the polarization direction. Here, since the diaphragm 50 on the lower side of the piezoelectric layer 33 is fixed to the cavity plate 10, the portion of the piezoelectric layer 33 sandwiched between both electrodes 32, 34 protrudes toward the pressure chamber 14. In accordance with the partial deformation of the piezoelectric layer 33, the portion of the diaphragm 50 that covers the pressure chamber 14 is also deformed to be convex toward the pressure chamber 14 side. Then, since the volume in the pressure chamber 14 decreases, the ink pressure rises, and ink is ejected from the nozzle 20 communicating with the pressure chamber 14.

次に、この圧電アクチュエータ３及びこれを含むインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
まず、図５に示すように、ステンレス製の３枚のプレート１０〜１２と、ステンレス板３０とを拡散接合等により接合する。ここで、キャビティプレート１０とステンレス板３０とは同じステンレス製であるため、熱膨張係数が等しくなり、接合面における残留応力が小さいために、両者の接合強度は極めて良好なものとなる。 Next, a method for manufacturing the piezoelectric actuator 3 and the inkjet head 1 including the piezoelectric actuator 3 will be described.
First, as shown in FIG. 5, the three stainless steel plates 10 to 12 and the stainless steel plate 30 are joined by diffusion bonding or the like. Here, since the cavity plate 10 and the stainless steel plate 30 are made of the same stainless steel, their thermal expansion coefficients are equal, and the residual stress at the joint surface is small, so the joint strength between them is extremely good.

次に、図６に示すように、ステンレス板３０の上面に、アルミナ、ジルコニア、あるいは窒化ケイ素等のセラミックス材料により絶縁層３１を形成する。これにより、ステンレス板３０の上面が絶縁層３１で覆われた振動板５０が形成される（第１工程）。絶縁層３１を形成する方法としては、例えば、超微微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることができる。エアロゾルデポジション法を用いると、例えば５μｍ以下、特に２μｍ以下でも絶縁性に優れた非常に薄い層を形成することができる。その他、ゾルゲル法、あるいは、スパッタ法を用いて絶縁層３１を形成することもできる。   Next, as shown in FIG. 6, an insulating layer 31 is formed on the upper surface of the stainless steel plate 30 from a ceramic material such as alumina, zirconia, or silicon nitride. Thereby, the diaphragm 50 in which the upper surface of the stainless steel plate 30 is covered with the insulating layer 31 is formed (first step). As a method for forming the insulating layer 31, for example, an aerosol deposition method in which ultrafine particle materials are deposited by colliding at high speed can be used. When the aerosol deposition method is used, for example, a very thin layer having excellent insulating properties can be formed even at 5 μm or less, particularly 2 μm or less. In addition, the insulating layer 31 can also be formed using a sol-gel method or a sputtering method.

次に、図７に示すように、絶縁層３１の上面に個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を形成する（第２工程）。このとき、例えば、絶縁層３１の上面に導電性ペーストをスクリーン印刷することによりパターニングされた個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を一度に形成することができる。あるいは、メッキ法、スパッタ法又は蒸着法などにより、絶縁層３１の全面に導電層を形成してから、レーザーやレジスト法等により導電層を部分的に除去して、個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０をパターニングしてもよい。   Next, as shown in FIG. 7, the individual electrode 32, the wiring part 35, the terminal part 36, and the connection terminal 40 are formed on the upper surface of the insulating layer 31 (second step). At this time, for example, the individual electrodes 32, the wiring portions 35, the terminal portions 36, and the connection terminals 40 that are patterned by screen printing a conductive paste on the upper surface of the insulating layer 31 can be formed at a time. Alternatively, after a conductive layer is formed on the entire surface of the insulating layer 31 by plating, sputtering, vapor deposition, or the like, the conductive layer is partially removed by laser, resist method, or the like, and the individual electrode 32 and the wiring portion 35 are removed. The terminal part 36 and the connection terminal 40 may be patterned.

次に、図８に示すように、個別電極３２の上面にＰＺＴからなる圧電層３３を、エアロゾルデポジション法、ゾルゲル法、あるいは、スパッタ法等を用いて形成する（第３工程）。続いて、圧電層３３の組織を結晶化するために６００℃程度の熱処理を施す。この熱処理時にステンレス板３０を構成する原子が圧電層３３内に拡散しようとするが、絶縁層３１がこれを防止ように作用する。そのため、ステンレス板３０の原子の拡散侵入による圧電層３３の圧電特性の劣化を少なくすることができる。そして、図９に示すように、圧電層３３の上面に、スクリーン印刷、蒸着法、あるいは、スパッタ法等を用いて共通電極３４、配線部４１及び端子部４２を形成する（第４工程）。   Next, as shown in FIG. 8, a piezoelectric layer 33 made of PZT is formed on the upper surface of the individual electrode 32 by using an aerosol deposition method, a sol-gel method, a sputtering method, or the like (third step). Subsequently, heat treatment at about 600 ° C. is performed to crystallize the structure of the piezoelectric layer 33. At the time of this heat treatment, atoms constituting the stainless steel plate 30 try to diffuse into the piezoelectric layer 33, but the insulating layer 31 acts to prevent this. Therefore, deterioration of the piezoelectric characteristics of the piezoelectric layer 33 due to the diffusion and penetration of atoms in the stainless steel plate 30 can be reduced. Then, as shown in FIG. 9, the common electrode 34, the wiring part 41, and the terminal part 42 are formed on the upper surface of the piezoelectric layer 33 by using screen printing, vapor deposition, sputtering, or the like (fourth process).

そして、図１０に示すように、絶縁層３１上にドライバＩＣ３７を配置し、このドライバＩＣ３７の出力端子３７ａをバンプ３８を介して端子部３６及び端子部４２に接合するとともに、ドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂをバンプ３９を介して接続端子４０に接合する（第５工程）。最後に、図１１に示すように、マニホールドプレート１２の下面にノズルプレート１３を接着する。   As shown in FIG. 10, the driver IC 37 is disposed on the insulating layer 31, and the output terminal 37 a of the driver IC 37 is joined to the terminal portion 36 and the terminal portion 42 via the bump 38, and the input terminal of the driver IC 37 37b is joined to the connection terminal 40 via the bump 39 (fifth step). Finally, as shown in FIG. 11, the nozzle plate 13 is bonded to the lower surface of the manifold plate 12.

尚、ノズルプレート１３がステンレス鋼等の金属材料で形成されている場合には、予め、ノズルプレート１３を他の３枚のプレートと同時に接合して流路ユニット２を形成してから、この流路ユニット２の上面にステンレス板３０、個別電極３２及び圧電層３３を順に積層させて、圧電層３３に熱処理を施すようにすることもできる。   In the case where the nozzle plate 13 is formed of a metal material such as stainless steel, the nozzle plate 13 is joined together with the other three plates at the same time to form the flow path unit 2, and then this flow is set. A stainless plate 30, an individual electrode 32, and a piezoelectric layer 33 may be sequentially laminated on the upper surface of the path unit 2 so that the piezoelectric layer 33 is subjected to heat treatment.

本実施形態の圧電アクチュエータ３においては、絶縁層３１の上面に、複数の個別電極３２ととともに、これら複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々接続する複数の配線部３５とが形成され、さらに、絶縁層３１の上面には、複数の端子部３６に接合されたドライバＩＣ３７が配置されているため、複数の個別電極３２とドライバＩＣ３７とをコストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続でき、電気的接続の信頼性も高くなる。また、絶縁層３１上に複数の個別電極３２を形成するときには（第２工程）、個別電極３２、端子部３６、配線部３５及び接続端子４０を一度に形成することができるため、製造工程を短縮することが可能になる。   In the piezoelectric actuator 3 of this embodiment, on the upper surface of the insulating layer 31, together with the plurality of individual electrodes 32, a plurality of terminal portions 36 respectively corresponding to the plurality of individual electrodes 32, a plurality of individual electrodes 32, and a plurality of A plurality of wiring portions 35 for connecting the terminal portions 36 to each other are formed, and a driver IC 37 joined to the plurality of terminal portions 36 is disposed on the upper surface of the insulating layer 31. 32 and the driver IC 37 can be directly connected without using a costly wiring member such as an FPC, and the reliability of electrical connection is improved. In addition, when the plurality of individual electrodes 32 are formed on the insulating layer 31 (second step), the individual electrodes 32, the terminal portions 36, the wiring portions 35, and the connection terminals 40 can be formed at a time. It becomes possible to shorten.

さらに、圧電層３３の上面に共通電極３４を形成するときにも（第４工程）、共通電極３４、配線部４１及び端子部４２を一度に形成することができるため、製造工程を短縮することができる。   Furthermore, when the common electrode 34 is formed on the upper surface of the piezoelectric layer 33 (fourth step), the common electrode 34, the wiring portion 41, and the terminal portion 42 can be formed at a time, thereby shortening the manufacturing process. Can do.

また、共通電極３４が全ての個別電極３２に亙って形成されているために、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続する配線部４１は１本で済む。そのため、共通電極３４をドライバＩＣ３７に接続するためにわざわざ配線部材を使用する必要もなく、また、端子数が１つしかないことから電気的な接続を容易に行うことができ、その接続の信頼性も高いものとなる。   In addition, since the common electrode 34 is formed over all the individual electrodes 32, only one wiring portion 41 for connecting the common electrode 34 to the driver IC 37 is required. Therefore, it is not necessary to use a wiring member to connect the common electrode 34 to the driver IC 37, and since there is only one terminal, electrical connection can be easily performed, and the reliability of the connection The property is also high.

次に、第１実施形態の共通電極に関する２つの変形例について、それぞれ図１２及び図１３に基づいて説明する。図１２は、第１変形例に係るインクジェットヘッドの平面図であって、図２に相当する。図１２において、第１実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。   Next, two modified examples related to the common electrode of the first embodiment will be described based on FIGS. 12 and 13, respectively. FIG. 12 is a plan view of the ink jet head according to the first modification, and corresponds to FIG. In FIG. 12, those having the same configuration as in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted as appropriate.

図１２に示す圧電アクチュエータ１０３において、共通電極１３４は、個別電極３２と同一平面形状を有し且つ個別電極３２に対向した８個の対向領域１３４ａと、圧電アクチュエータ１０３の短手方向（図１２の上下方向）に関して２列に千鳥状に配列された８個の対向領域１３４ａのうち圧電アクチュエータ１０３の短手方向に関して斜めに隣接する２つの対向領域１３４ａ同士を最短距離で互いに接続する細長矩形形状を有する７個の連結領域１３４ｂと、補強部４３に最も近い対向領域１３４ａと補強部４３とを互いに接続する細長矩形形状を有する１個の連結領域１３４ｃとから構成されている。これら領域１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃは、同じ材料からなるものであってもよいし、互いに異なる材料からなるものであってもよい。このように本変形例では、図２に示した第１実施形態のように矩形平面形状を有する共通電極の一部分だけが個別電極と対向するのではなく、共通電極１３４のほぼ全域（比較的平面積が小さい連結領域１３４ｂ及び１３４ｃを除いた残りの領域）が個別電極３２と対向するように圧電層３３が部分的に共通電極１３４で覆われている。その結果、圧電層３３が配線部３５と共通電極１３４とによって挟まれないようになっているので、余計な静電容量が発生するのを防止することができる。   In the piezoelectric actuator 103 illustrated in FIG. 12, the common electrode 134 has the same planar shape as the individual electrode 32 and is opposed to the individual electrode 32, and the short direction of the piezoelectric actuator 103 (see FIG. 12). Of the eight opposing regions 134a arranged in a staggered pattern in two rows in the vertical direction), an elongated rectangular shape that connects two opposing regions 134a obliquely adjacent to each other in the short direction of the piezoelectric actuator 103 is connected to each other at the shortest distance. The seven connecting regions 134b having one and the connecting regions 134c having an elongated rectangular shape for connecting the opposing region 134a closest to the reinforcing portion 43 and the reinforcing portion 43 to each other. These regions 134a, 134b, and 134c may be made of the same material, or may be made of different materials. As described above, in this modification, only a part of the common electrode having a rectangular planar shape does not face the individual electrode as in the first embodiment shown in FIG. The piezoelectric layer 33 is partially covered with the common electrode 134 so that the remaining areas except for the connection areas 134 b and 134 c having a small area face the individual electrodes 32. As a result, since the piezoelectric layer 33 is not sandwiched between the wiring part 35 and the common electrode 134, it is possible to prevent generation of extra capacitance.

図１３は、第２変形例に係るインクジェットヘッドの平面図であって、図２に相当する。図１３において、第１実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。   FIG. 13 is a plan view of an ink jet head according to a second modification, and corresponds to FIG. In FIG. 13, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted as appropriate.

図１３に示す圧電アクチュエータ２０３において、共通電極２３４は、個別電極３２の長さとほぼ同じ長さの短辺及び圧電アクチュエータ２０３の短手方向（図１３の上下方向）に関して一直線上に配列された４個の個別電極３２に対向できるように、これらに跨る長さの長辺を有する矩形平面形状を有する２つの矩形領域２３４ａと、これら２つの矩形領域２３４ａと補強部４３とを互いに接続する連結領域２３４ｂとから構成されている。連結領域２３４ｂは、図１３中において左方に描かれた矩形領域２３４ａと補強部４３とを接続するＬ字形状部分と、図１３中において右方に描かれた矩形領域２３４ａとＬ字形状部分とを接続する細長矩形形状部分とに分けられる。これら領域２３４ａ、２３４ｂは、同じ材料からなるものであってもよいし、互いに異なる材料からなるものであってもよい。本変形例では、共通電極２３４において個別電極３２と対向する領域の割合が大きくなるように、圧電層３３が部分的に共通電極２３４で覆われている。その結果、図２に示した第１実施形態に比べて圧電層３３において配線部３５と共通電極２３４とによって挟まれる割合が比較的小さくなっているので、余計な静電容量があまり発生することがない。   In the piezoelectric actuator 203 shown in FIG. 13, the common electrodes 234 are arranged in a straight line with respect to a short side substantially the same as the length of the individual electrode 32 and the short direction (vertical direction in FIG. 13) of the piezoelectric actuator 203. Two rectangular regions 234a having a rectangular planar shape having a long side extending over the individual electrodes 32 so as to be able to face the individual electrodes 32, and a connecting region for connecting the two rectangular regions 234a and the reinforcing portion 43 to each other 234b. The connection region 234b includes an L-shaped portion that connects the rectangular region 234a drawn to the left in FIG. 13 and the reinforcing portion 43, and a rectangular region 234a and an L-shaped portion drawn to the right in FIG. And an elongated rectangular portion connecting the two. These regions 234a and 234b may be made of the same material, or may be made of different materials. In this modification, the piezoelectric layer 33 is partially covered with the common electrode 234 so that the ratio of the region facing the individual electrode 32 in the common electrode 234 is increased. As a result, compared to the first embodiment shown in FIG. 2, the ratio of the piezoelectric layer 33 sandwiched between the wiring portion 35 and the common electrode 234 is relatively small, so that excessive capacitance is generated much. There is no.

なお、共通電極は、第１実施形態及びその第１、第２変形例で説明したものに限らず、複数の個別電極３２と対向する領域を有している限りにおいて、種々の平面形状に変更することが可能である。   The common electrode is not limited to the one described in the first embodiment and the first and second modifications thereof, and can be changed to various planar shapes as long as it has a region facing the plurality of individual electrodes 32. Is possible.

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、振動板がセラミックス板だけによって構成されている点を特徴とするものであって、この点のみにおいて第１実施形態と相違している。本実施形態において、第１実施形態と同様の部材については、同じ符号を付してその説明を省略する。 Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The present embodiment is characterized in that the vibration plate is constituted only by a ceramic plate, and is different from the first embodiment only in this point. In the present embodiment, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

図１４は本実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図、図１５は図１４と直交する方向についてのインクジェットヘッドの断面図であって、それぞれ、第１実施形態における図３及び図４に相当する。図１４及び図１５に示すように、圧電アクチュエータ３０３は、流路ユニット２の上面に配置された振動板としてのセラミックス板３５０と、セラミックス板３５０の上面に形成され、複数の圧力室１４に夫々対向する複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２を覆う圧電層３３と、この圧電層３３の上面に形成され、複数の個別電極３２（本実施形態の場合、すべての個別電極３２）に亙って共通に設けられた（つまり、圧電層３３を挟んで複数の個別電極３２と対向する）共通電極３４とを備えている。   FIG. 14 is a cross-sectional view of the ink-jet head according to the present embodiment, and FIG. 15 is a cross-sectional view of the ink-jet head in a direction orthogonal to FIG. 14 and corresponds to FIGS. 3 and 4 in the first embodiment, respectively. As shown in FIGS. 14 and 15, the piezoelectric actuator 303 is formed on the ceramic plate 350 as a vibration plate disposed on the upper surface of the flow path unit 2, and on the upper surface of the ceramic plate 350, and is provided in each of the plurality of pressure chambers 14. A plurality of opposing individual electrodes 32, a piezoelectric layer 33 covering the plurality of individual electrodes 32, and a plurality of individual electrodes 32 (all individual electrodes 32 in this embodiment) formed on the upper surface of the piezoelectric layer 33. The common electrode 34 is provided in common (that is, opposed to the plurality of individual electrodes 32 with the piezoelectric layer 33 interposed therebetween).

セラミックス板３５０は、平面視で略矩形状の板であり、複数の圧力室１４の開口を塞ぐ状態でキャビティプレート１０の上面に積層された状態で接合されている。セラミックス板３５０は、アルミナ、ジルコニア、あるいは、窒化ケイ素等の、弾性率が高いセラミックス材料からなり、その上面が平面となっている。このように、セラミックス板３５０が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、圧電アクチュエータ３０３の剛性が上がり応答性がより高くなる。また、振動板がセラミックス板３５０で形成されているので、セラミックス板３５０の上面に何も介することなく複数の個別電極３２を直接形成することが可能になる。   The ceramic plate 350 is a substantially rectangular plate in plan view, and is bonded in a state of being stacked on the upper surface of the cavity plate 10 so as to block the openings of the plurality of pressure chambers 14. The ceramic plate 350 is made of a ceramic material having a high elastic modulus such as alumina, zirconia, or silicon nitride, and the upper surface thereof is a flat surface. Thus, since the ceramic plate 350 is formed of a ceramic material having a high elastic modulus, the rigidity of the piezoelectric actuator 303 is increased and the responsiveness is further increased. In addition, since the vibration plate is formed of the ceramic plate 350, the plurality of individual electrodes 32 can be directly formed on the upper surface of the ceramic plate 350 without any intervention.

さらに、セラミックス板３５０の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１４の中央部に重なる位置に形成されている。個別電極３２は金などの導電性材料からなる。尚、隣接する個別電極３２はセラミックス板３５０により互いに電気的に絶縁されている。   Further, a plurality of individual electrodes 32 having an elliptical planar shape that is slightly smaller than the pressure chamber 14 are formed on the upper surface of the ceramic plate 350. The individual electrode 32 is formed at a position overlapping the central portion of the corresponding pressure chamber 14 in plan view. The individual electrode 32 is made of a conductive material such as gold. Adjacent individual electrodes 32 are electrically insulated from each other by a ceramic plate 350.

本実施形態の圧電アクチュエータ３０３においても、複数の個別電極３２とドライバＩＣ３７とを、個別電極３２と同一平面上に形成された配線部３５により、コストの高いＦＰＣ等の配線部材を介さずに直接接続できるため、電気的接続のコストを低減できるし、また、電気的接続の信頼性も高くなる、という利益が得られる。その他、第１実施形態において説明した効果を得ることができる。   Also in the piezoelectric actuator 303 of this embodiment, the plurality of individual electrodes 32 and the driver IC 37 are directly connected to each other by the wiring portion 35 formed on the same plane as the individual electrodes 32 without using a high-cost wiring member such as an FPC. Since the connection is possible, the cost of electrical connection can be reduced and the reliability of electrical connection can be increased. In addition, the effects described in the first embodiment can be obtained.

次に、圧電アクチュエータ３０３及びこれを含むインクジェットヘッドの製造方法について説明する。
まず、図１６に示すように、キャビティプレート１０上に、エアロゾルデポジション法、ＣＶＤ法、溶液塗布法、ゾルゲル法、水熱合成法、あるいは、スパッタ法等を用いて、アルミナ、ジルコニア、あるいは窒化ケイ素等のセラミックス材料により厚み１〜２０μｍ程度のセラミックス板３５０を形成する。これにより、セラミックス板３５０だけによって構成された振動板が形成される（第１工程）。なお、キャビティプレート１０は、セラミックス板３５０との間における熱膨張係数を整合させるために、セラミックス板３５０と同一のセラミックス材料からなることが好ましい。 Next, a method for manufacturing the piezoelectric actuator 303 and an inkjet head including the piezoelectric actuator 303 will be described.
First, as shown in FIG. 16, alumina, zirconia, or nitridation is performed on the cavity plate 10 using an aerosol deposition method, a CVD method, a solution coating method, a sol-gel method, a hydrothermal synthesis method, a sputtering method, or the like. A ceramic plate 350 having a thickness of about 1 to 20 μm is formed of a ceramic material such as silicon. Thereby, the diaphragm comprised only with the ceramics plate 350 is formed (1st process). The cavity plate 10 is preferably made of the same ceramic material as the ceramic plate 350 in order to match the thermal expansion coefficient with the ceramic plate 350.

次に、図１７に示すように、セラミックス板３５０の上面に個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を形成する（第２工程）。このとき、例えば、セラミックス板３５０の上面に導電性ペーストをスクリーン印刷することによりパターニングされた個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０を一度に形成することができる。あるいは、メッキ法、スパッタ法又は蒸着法などにより、セラミックス板３５０の全面に導電層を形成してから、レーザー照射法やレジスト法等により導電層を部分的に除去して、個別電極３２、配線部３５、端子部３６及び接続端子４０をパターニングしてもよい。   Next, as shown in FIG. 17, the individual electrode 32, the wiring part 35, the terminal part 36, and the connection terminal 40 are formed on the upper surface of the ceramic plate 350 (second step). At this time, for example, the individual electrodes 32, the wiring portions 35, the terminal portions 36, and the connection terminals 40 that are patterned by screen printing a conductive paste on the upper surface of the ceramic plate 350 can be formed at a time. Alternatively, a conductive layer is formed on the entire surface of the ceramic plate 350 by a plating method, a sputtering method, a vapor deposition method, or the like, and then the conductive layer is partially removed by a laser irradiation method, a resist method, or the like. The part 35, the terminal part 36, and the connection terminal 40 may be patterned.

次に、図１８に示すように、個別電極３２の上面にＰＺＴからなる圧電層３３を、エアロゾルデポジション法、ＣＶＤ法、溶液塗布法、ゾルゲル法、水熱合成法、あるいは、スパッタ法等を用いて形成する（第３工程）。続いて、図１９に示すように、キャビティプレート１０の下面にレジストをパターニングし、そのレジストをマスクとしてキャビティプレート１０をエッチングすることによって圧力室１４となる孔を形成する。   Next, as shown in FIG. 18, a piezoelectric layer 33 made of PZT is formed on the upper surface of the individual electrode 32 by an aerosol deposition method, a CVD method, a solution coating method, a sol-gel method, a hydrothermal synthesis method, or a sputtering method. (3rd process). Subsequently, as shown in FIG. 19, a resist is patterned on the lower surface of the cavity plate 10, and the cavity plate 10 is etched using the resist as a mask to form a hole serving as the pressure chamber 14.

次に、圧電層３３の組織を結晶化するために６００℃程度の熱処理を施す。この熱処理時に、圧電層３３においてキャビティプレート１０と対向している領域（つまり圧力室１４となる孔と対向していない領域）においてはキャビティプレート１０を構成する原子が圧電層３３内に拡散しようとし、セラミックス板３５０がこれらを防止するように作用するものの、圧電層３３の圧電特性は若干劣化する。一方、圧電層３３においてキャビティプレート１０と対向していない領域（つまり圧力室１４となる孔と対向している領域）においてはキャビティプレート１０を構成する原子が拡散によって圧電層３３内に侵入してくることがほとんどないため、圧電層３３の圧電特性がほとんど劣化しない。しかる後、図２０に示すように、圧電層３３の上面に、スクリーン印刷、蒸着法、あるいは、スパッタ法等を用いて共通電極３４、配線部４１及び端子部４２を形成する（第４工程）。   Next, in order to crystallize the structure of the piezoelectric layer 33, heat treatment at about 600 ° C. is performed. During this heat treatment, atoms constituting the cavity plate 10 try to diffuse into the piezoelectric layer 33 in a region facing the cavity plate 10 in the piezoelectric layer 33 (that is, a region not facing the hole serving as the pressure chamber 14). Although the ceramic plate 350 acts to prevent these, the piezoelectric characteristics of the piezoelectric layer 33 are slightly deteriorated. On the other hand, in the region of the piezoelectric layer 33 that does not face the cavity plate 10 (that is, the region that faces the hole serving as the pressure chamber 14), the atoms constituting the cavity plate 10 enter the piezoelectric layer 33 by diffusion. Since the piezoelectric layer 33 hardly comes, the piezoelectric characteristics of the piezoelectric layer 33 hardly deteriorate. Thereafter, as shown in FIG. 20, the common electrode 34, the wiring portion 41, and the terminal portion 42 are formed on the upper surface of the piezoelectric layer 33 by using screen printing, vapor deposition, sputtering, or the like (fourth step). .

その後、図２１に示すように、セラミックス板３５０上にドライバＩＣ３７を配置し、このドライバＩＣ３７の出力端子３７ａをバンプ３８を介して端子部３６及び端子部４２に接合するとともに、ドライバＩＣ３７の入力端子３７ｂをバンプ３９を介して接続端子４０に接合する（第５工程）。最後に、キャビティプレート１０の下面に、残りのプレート１１〜１３を接着する。   Thereafter, as shown in FIG. 21, the driver IC 37 is disposed on the ceramic plate 350, and the output terminal 37 a of the driver IC 37 is joined to the terminal portion 36 and the terminal portion 42 via the bump 38, and the input terminal of the driver IC 37 37b is joined to the connection terminal 40 via the bump 39 (fifth step). Finally, the remaining plates 11 to 13 are bonded to the lower surface of the cavity plate 10.

上述した製造方法においても、第１実施形態で説明した製造方法と同様の利益が得られる。加えて、本実施形態の製造方法では、圧力室１４となる孔を形成するためにキャビティプレート１０をエッチングする前に、キャビティプレート１０によって支持されたセラミックス板３５０上に圧電層３３を形成している。したがって、圧電層３３の形成時にセラミックス板３５０が破損することがない。また、上述したように圧力室１４となる孔をキャビティプレート１０に形成してから熱処理を行っているので、圧電層３３の圧電特性がほとんど劣化しない。また、エアロゾルデポジション法等を用いてセラミックス板３５０を形成しているので、セラミックス板３５０の厚みを１〜２０μｍ程度と非常に薄くすることができる。そのため、非拘束部である圧力室１４の幅を小さくして集積度を高くしたとしても、十分な変位を有するユニモルフ型アクチュエータを得ることができる。さらに、集積度を高くすることによって製造コストを低下させることができると共に、インクジェットヘッドの多ノズル化が容易となって、高速印字を実現することができる。   Also in the manufacturing method mentioned above, the same profit as the manufacturing method demonstrated in 1st Embodiment is acquired. In addition, in the manufacturing method of the present embodiment, the piezoelectric layer 33 is formed on the ceramic plate 350 supported by the cavity plate 10 before the cavity plate 10 is etched to form the holes to be the pressure chambers 14. Yes. Therefore, the ceramic plate 350 is not damaged when the piezoelectric layer 33 is formed. Further, as described above, since the heat treatment is performed after the hole serving as the pressure chamber 14 is formed in the cavity plate 10, the piezoelectric characteristics of the piezoelectric layer 33 are hardly deteriorated. Moreover, since the ceramic plate 350 is formed using the aerosol deposition method etc., the thickness of the ceramic plate 350 can be made very thin with about 1-20 micrometers. Therefore, even if the width of the pressure chamber 14 which is an unconstrained portion is reduced to increase the integration degree, a unimorph actuator having a sufficient displacement can be obtained. Furthermore, by increasing the degree of integration, the manufacturing cost can be reduced, and the number of nozzles of the inkjet head can be easily increased, and high-speed printing can be realized.

なお、第２実施形態においても、共通電極を、第１実施形態の第１、第２変形例のような形状とすることが可能である。   Also in the second embodiment, the common electrode can be shaped like the first and second modifications of the first embodiment.

次に、前記した第１及び第２実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
１］前記第２実施形態では、共通電極３４は全ての個別電極３２に亙って形成されているが、図１２及び図１３に描かれた第１実施形態の変形例のように、複数の個別電極３２が複数のグループに分けられており、各グループに対して１つの共通電極３４が対応して形成されていてもよい。但し、当然のことながら、共通電極３４とドライバＩＣ３７とを接続する配線部４１の数をできるだけ少なくするために、区分された共通電極３４の数は少ないことが好ましい。 Next, modified embodiments in which various modifications are made to the first and second embodiments described above will be described. However, those having the same configuration as in the above embodiment are given the same reference numerals and description thereof is omitted as appropriate.
1] In the second embodiment, the common electrode 34 is formed over all the individual electrodes 32. However, as in the modification of the first embodiment depicted in FIGS. The individual electrodes 32 may be divided into a plurality of groups, and one common electrode 34 may be formed corresponding to each group. However, as a matter of course, in order to reduce the number of wiring portions 41 connecting the common electrode 34 and the driver IC 37 as much as possible, the number of the divided common electrodes 34 is preferably small.

２］流路ユニット２を構成する３枚のプレート１０〜１３の全てをステンレス鋼で形成する必要はなく、少なくとも圧電アクチュエータ３のステンレス板３０が積層されるキャビティプレート１０がステンレス鋼で形成されていればよい。さらに、キャビティプレート１０の材質はステンレス鋼に限られるものではなく、ステンレス鋼以外の鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、あるいは、アルミニウム系合金等の、エッチングにより圧力室１４を形成することが容易な材料であれば種々のものを採用できる。尚、この場合、ステンレス板３０とキャビティプレート１０の熱膨張係数を近くして両者の接合性を良好なものとするために、ステンレス板３０も、キャビティプレート１０と同様に、鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、あるいは、アルミニウム系合金等で形成することが好ましく、さらに、ステンレス板３０とキャビティプレート１０とを同じ材質にすることが特に好ましい。   2] It is not necessary to form all three plates 10 to 13 constituting the flow path unit 2 from stainless steel, and at least the cavity plate 10 on which the stainless plate 30 of the piezoelectric actuator 3 is laminated is formed from stainless steel. Just do it. Further, the material of the cavity plate 10 is not limited to stainless steel, and the pressure chamber 14 is formed by etching of an iron-based alloy other than stainless steel, a nickel-based alloy, a titanium-based alloy, or an aluminum-based alloy. Various materials can be used as long as they are easy to handle. In this case, in order to make the thermal expansion coefficients of the stainless steel plate 30 and the cavity plate 10 close to each other and to improve the bonding property between them, the stainless steel plate 30 is also made of an iron-based alloy, nickel, like the cavity plate 10. It is preferable to form a base alloy, a titanium base alloy, an aluminum base alloy or the like, and it is particularly preferable that the stainless steel plate 30 and the cavity plate 10 are made of the same material.

３］前記第１及び第２実施形態の圧電アクチュエータ３の製造方法においては、エアロゾルデポジション法、ゾルゲル法、あるいは、スパッタ法等を用いて圧電層３３を形成した後に、圧電層３３に熱処理を施しているが、焼成されたＰＺＴからなる圧電シートを絶縁層３１上に貼り付けて圧電層３３を形成してもよい。但し、この場合には、予め、圧電シートの上面にスクリーン印刷などにより共通電極３４を形成しておき、この圧電シートの下面を個別電極３２の上面に接合することになる。また、低温焼成が可能なＰＺＴのグリーンシートを個別電極３２の表面にスクリーン印刷などにより形成してもよい。この場合は、８５０〜９００度で焼成する後工程が必要となる。   3] In the method of manufacturing the piezoelectric actuator 3 according to the first and second embodiments, after the piezoelectric layer 33 is formed by using the aerosol deposition method, the sol-gel method, the sputtering method, or the like, the piezoelectric layer 33 is subjected to heat treatment. However, the piezoelectric layer 33 may be formed by attaching a baked piezoelectric sheet made of PZT on the insulating layer 31. However, in this case, the common electrode 34 is previously formed on the upper surface of the piezoelectric sheet by screen printing or the like, and the lower surface of the piezoelectric sheet is bonded to the upper surface of the individual electrode 32. Alternatively, a PZT green sheet that can be fired at a low temperature may be formed on the surface of the individual electrode 32 by screen printing or the like. In this case, a post-process for firing at 850 to 900 degrees is required.

４］ドライバＩＣ３７が絶縁層３１上に配置されている必要は必ずしもなく、少なくとも、ドライバＩＣ３７の出力端子３７ａが接合される複数の端子部３６が絶縁層３１上に形成されていればよい。   4] The driver IC 37 does not necessarily have to be disposed on the insulating layer 31, and at least a plurality of terminal portions 36 to which the output terminals 37a of the driver IC 37 are joined may be formed on the insulating layer 31.

５］振動板としては、上述した例の他に、ポリイミドなどの樹脂材料からなる板を用いてもよいし、あるいは、表面を酸化処理したシリコン基板を用いてもよい。また、個別電極が形成される表面が絶縁性である限りにおいて、３層以上からなる振動板を用いてもよい。   5] As the vibration plate, in addition to the above-described example, a plate made of a resin material such as polyimide may be used, or a silicon substrate whose surface is oxidized may be used. Further, as long as the surface on which the individual electrode is formed is insulative, a diaphragm composed of three or more layers may be used.

６］第２実施形態において、熱処理後に圧力室１４となる孔をキャビティプレート１０に形成してもよい。   6] In the second embodiment, a hole that becomes the pressure chamber 14 after the heat treatment may be formed in the cavity plate 10.

７］上述した実施形態で説明した圧電アクチュエータは、インクジェットヘッドに限らず、その他の用途に用いることが可能である。   7] The piezoelectric actuator described in the above-described embodiment is not limited to the ink jet head, and can be used for other purposes.

本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。1 is a perspective view of an inkjet head according to a first embodiment of the present invention. 図１におけるインクジェットヘッドの右半部の平面図である。It is a top view of the right half part of the inkjet head in FIG. 図２のIII-III線断面図である。It is the III-III sectional view taken on the line of FIG. 図２のIV-IV線断面図である。It is the IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 図３に示したインクジェットヘッドを製造順に示した断面図であって、流路ユニットと金属板を接合する工程を示す図である。It is sectional drawing which showed the inkjet head shown in FIG. 3 in order of manufacture, Comprising: It is a figure which shows the process of joining a flow path unit and a metal plate. 絶縁層を形成する工程（第１工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (1st process) which forms an insulating layer. 個別電極を形成する工程（第２工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (2nd process) which forms an individual electrode. 圧電層を形成する工程（第３工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (3rd process) which forms a piezoelectric layer. 共通電極を形成する工程（第４工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (4th process) which forms a common electrode. ドライバＩＣを絶縁層上に配置する工程（第５工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (5th process) which arrange | positions driver IC on an insulating layer. ノズルプレートを接合する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of joining a nozzle plate. 本発明の第１実施形態の第１変形例におけるインクジェットヘッドの右半部の平面図である。It is a top view of the right half part of the inkjet head in the 1st modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態の第２変形例におけるインクジェットヘッドの右半部の平面図である。It is a top view of the right half part of the inkjet head in the 2nd modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドの断面図である。It is sectional drawing of the inkjet head of 2nd Embodiment of this invention. 図１４に示したインクジェットヘッドの、図１４とは別の切断線での断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view of the inkjet head shown in FIG. 14 taken along a cutting line different from FIG. 14. 図１４に示したインクジェットヘッドを製造順に示した断面図であって、振動板であるセラミックス板を形成する工程（第１工程）を示す図である。It is sectional drawing which showed the inkjet head shown in FIG. 14 in manufacture order, Comprising: It is a figure which shows the process (1st process) which forms the ceramic board which is a diaphragm. 個別電極を形成する工程（第２工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (2nd process) which forms an individual electrode. 圧電層を形成する工程（第３工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (3rd process) which forms a piezoelectric layer. 圧力室となる孔を形成する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of forming the hole used as a pressure chamber. 共通電極を形成する工程（第４工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (4th process) which forms a common electrode. ドライバＩＣをセラミックス板上に配置する工程（第５工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (5th process) which arrange | positions driver IC on a ceramic board.

符号の説明Explanation of symbols

１ インクジェットヘッド
２ 流路ユニット
３ 圧電アクチュエータ
１４ 圧力室
３０ 金属板
３１ 絶縁層
３２ 個別電極
３３ 圧電層
３４ 共通電極
３５ 配線部
３６ 端子部
３７ ドライバＩＣ
３７ａ 出力端子
３７ｂ 入力端子
４０ 接続端子
４１ 配線部
４２ 端子部
５０ 振動板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet head 2 Flow path unit 3 Piezoelectric actuator 14 Pressure chamber 30 Metal plate 31 Insulating layer 32 Individual electrode 33 Piezoelectric layer 34 Common electrode 35 Wiring part 36 Terminal part 37 Driver IC
37a Output terminal 37b Input terminal 40 Connection terminal 41 Wiring part 42 Terminal part 50 Diaphragm

Claims (16)

少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板と、
前記振動板の前記一方の表面に形成された複数の個別電極と、
これら複数の個別電極を覆う圧電層と、
前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極と、を備え、
前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とが形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 A diaphragm having at least one surface having an insulating property;
A plurality of individual electrodes formed on the one surface of the diaphragm;
A piezoelectric layer covering the plurality of individual electrodes;
A common electrode facing the plurality of individual electrodes across the piezoelectric layer,
A plurality of first terminal portions respectively corresponding to the plurality of individual electrodes, a plurality of individual electrodes and the plurality of first terminal portions respectively electrically connected to the one surface of the diaphragm. A piezoelectric actuator comprising a first wiring portion. 前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。   A second terminal portion corresponding to the common electrode and a second wiring portion that electrically connects the common electrode and the second terminal portion are formed on the one surface of the diaphragm. The piezoelectric actuator according to claim 1. 前記振動板の前記一方の表面に、前記第１端子部及び前記第２端子部に接合される複数の出力端子を有し、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置が配置されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。   Driving having a plurality of output terminals joined to the first terminal portion and the second terminal portion on the one surface of the diaphragm, and selectively supplying a driving voltage to the plurality of individual electrodes The piezoelectric actuator according to claim 2, wherein a device is arranged. 前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータ。   A connection terminal joined to an input terminal of the drive device on the one surface of the diaphragm, and a connection terminal for electrically connecting the drive device and a control device for controlling the drive device. The piezoelectric actuator according to claim 3, wherein the piezoelectric actuator is formed. 前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の圧電アクチュエータ。   The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the diaphragm is a plate made of an insulating material. 前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでいることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の圧電アクチュエータ。   The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the vibration plate includes a metal plate and an insulating layer formed on a surface of the metal plate. 前記絶縁層がセラミックス材料からなることを特徴とする請求項６に記載の圧電アクチュエータ。   The piezoelectric actuator according to claim 6, wherein the insulating layer is made of a ceramic material. インクを吐出するノズルに連通した複数の圧力室を有し、その表面においてこれら複数の圧力室が夫々開口した流路ユニットと、前記複数の圧力室に夫々対応する前記複数の個別電極を有する請求項６又は７に記載の圧電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドであって、
前記金属板は鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成され、且つ、前記流路ユニットの表面に積層されており、
前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分が、鉄系合金、ニッケル系合金、チタン系合金、及び、アルミニウム系合金の何れかの材料で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 A plurality of pressure chambers communicating with nozzles for ejecting ink, a flow path unit in which the plurality of pressure chambers are opened on the surface thereof, and the plurality of individual electrodes respectively corresponding to the plurality of pressure chambers. An inkjet head comprising the piezoelectric actuator according to Item 6 or 7,
The metal plate is formed of any material of iron-based alloy, nickel-based alloy, titanium-based alloy, and aluminum-based alloy, and is laminated on the surface of the flow path unit.
An inkjet head characterized in that at least a portion of the flow path unit where the metal plates are laminated is formed of any material of an iron-based alloy, a nickel-based alloy, a titanium-based alloy, and an aluminum-based alloy. . 前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、同じ種類の材料で形成されていることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 8, wherein the metal plate and at least a portion of the flow path unit on which the metal plate is laminated are formed of the same type of material. 前記金属板と、前記流路ユニットの少なくとも前記金属板が積層される部分とが、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 9, wherein the metal plate and at least a portion of the flow path unit on which the metal plate is laminated are formed of stainless steel. 少なくとも一方の表面が絶縁性を有する振動板を形成する第１工程と、
前記振動板の前記一方の表面に複数の個別電極を形成する第２工程と、
これら複数の個別電極を覆う圧電層を形成する第３工程と、
前記圧電層を挟んで前記複数の個別電極と対向する共通電極を形成する第４工程と、を備え、
前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極とともに、複数の個別電極に夫々対応する複数の第１端子部と、前記複数の個別電極と前記複数の第１端子部とを夫々電気的に接続する複数の第１配線部とを形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 A first step of forming a diaphragm having at least one surface having insulation;
A second step of forming a plurality of individual electrodes on the one surface of the diaphragm;
A third step of forming a piezoelectric layer covering the plurality of individual electrodes;
A fourth step of forming a common electrode facing the plurality of individual electrodes across the piezoelectric layer,
In the second step, on the one surface of the diaphragm, together with the plurality of individual electrodes, a plurality of first terminal portions respectively corresponding to the plurality of individual electrodes, the plurality of individual electrodes, and the plurality of first A method of manufacturing a piezoelectric actuator, comprising: forming a plurality of first wiring portions that electrically connect terminal portions. 前記第４工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記共通電極とともに、この共通電極に対応する第２端子部と、前記共通電極と前記第２端子部とを電気的に接続する第２配線部とを形成することを特徴とする請求項１１に記載の圧電アクチュエータの製造方法。   In the fourth step, a second terminal portion corresponding to the common electrode is electrically connected to the one surface of the diaphragm together with the common electrode, and the common electrode and the second terminal portion. The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 11, wherein two wiring portions are formed. 前記振動板の前記一方の表面に、前記複数の個別電極に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動装置を配置するとともに、前記第１端子部及び前記第２端子部と前記駆動装置の出力端子とを接合する第５工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１２に記載の圧電アクチュエータの製造方法。   A driving device that selectively supplies a driving voltage to the plurality of individual electrodes is disposed on the one surface of the diaphragm, and the first terminal portion, the second terminal portion, and the output of the driving device. The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 12, further comprising a fifth step of joining the terminal. 前記第２工程において、前記振動板の前記一方の表面に、前記駆動装置の入力端子と接合される接続端子であって、前記駆動装置とこの駆動装置を制御する制御装置とを電気的に接続する為の接続端子をさらに形成することを特徴とする請求項１３に記載の圧電アクチュエータの製造方法。   In the second step, the one surface of the diaphragm is a connection terminal joined to the input terminal of the driving device, and electrically connects the driving device and a control device that controls the driving device. The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 13, further comprising forming a connection terminal for performing the operation. 前記振動板が、金属板と、前記金属板の表面に形成された絶縁層とを含んでおり、
前記第１工程が、前記金属板の表面に前記絶縁層を形成する工程を含んでいることを特徴とする請求項１１〜１４の何れかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。 The diaphragm includes a metal plate and an insulating layer formed on a surface of the metal plate;
The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 11, wherein the first step includes a step of forming the insulating layer on a surface of the metal plate. 前記振動板が、絶縁材料からなる板であることを特徴とする請求項１１〜１４の何れかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。   The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 11, wherein the vibration plate is a plate made of an insulating material.
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