JP2005521899A - Uv適合性プログラム可能な空間フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ある実施形態において、プログラム可能な空間フィルタ(PSF)は、UV波長範囲の部分における光と適合性がある材料から構築される。具体的な応用例において、PSFは、ポリマー安定化液晶材料のようなUV適合性材料から構築される。さらなる局面において、PSFはまた、UVグレードガラスから形成される一対の板を含む。PSFはまた、平方当たり約100および約300Ωの間のシート抵抗を生じる比較的薄い第1および第2ITOレイヤを含みえる。具体的な応用例において、PSFは、2つの方向における選択的フィルタリングを提供する。言い換えればPSFは、2方向のフィルタリングを提供する。
Description
Claims (59)
- 試料上の異常を検出する光学検査システムであって、
試料上に入射光ビームを導く光源、
前記入射光ビームに応答して試料から放射する光のパス上に配置されたプログラム可能な空間フィルタ(PSF)であって、約340ナノメートルおよび約400ナノメートルの間の波長を有する入射光ビームについて、約400:1の最小吸光値で前記放射光の少なくとも第1部分を阻止し、約40パーセントの最小透過値で前記放射光の少なくとも第2部分を透過するよう構成可能な1つ以上の特性を有する材料から構築されるPSF、
検出器であって、前記PSFによって透過される前記放射光の前記第2部分が前記検出器に入射し、それによって前記試料の少なくとも一部のイメージを形成するように前記放射光の前記パス内に配置された検出器、および
前記イメージを受け取り、前記受け取られたイメージを分析することによって前記試料部分上に任意の欠陥が存在するかを決定する分析器
を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記PSFの前記1つ以上の特性は、約500:1の最小吸光値で前記放射光の少なくとも第1部分を阻止し、約50パーセントの最小透過値で前記放射光の少なくとも第2部分を透過するよう構成可能であるシステム。
- 請求項1または2のいずれかに記載のシステムであって、前記PSFは、
実質的に紫外光を透過し、前記放射光の開口を覆うような大きさにされた材料から形成される1対の板であって、前記板は互いに平行に構成される板、
前記板のうちの第1板上に堆積された第1インジウム錫酸化物(ITO)レイヤ、
前記板のうちの第2板上に堆積された第2複数ITOレイヤ部であって、前記第1ITOレイヤおよび前記第2ITOレイヤ部は、前記板の間に配置される、第2複数ITOレイヤ部、および
前記第1ITOレイヤおよび第2ITOレイヤ部の間に配置された液晶レイヤ
を備えるシステム。 - 請求項3に記載のシステムであって、前記分析器は、前記第2ITOレイヤ部のうちの少なくとも1つと、前記第1ITOレイヤとの間に電位差を選択的に印加することによって、前記液晶レイヤのうちの近接部が前記放射光のうちの第1部分の透過を許し、一方、前記液晶レイヤのうちの電位差が印加されない他の部分が前記放射光のうちの第2部分が前記PSFを通ることを阻止するようさらに構成されるシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記電位差は、所定のスレッショルドよりも大きく、前記液晶レイヤのうちの前記隣接部は、前記所定のスレッショルドより大きい電位差が印加されるときに透過を許すシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記電位差は、所定のスレッショルドより小さく、前記液晶レイヤのうちの前記隣接部は、前記所定のスレッショルドより小さい電位差が印加されるときに透過を許すシステム。
- 請求項3〜6のいずれかに記載のシステムであって、前記液晶材料はUV適合性材料であるシステム。
- 請求項7に記載のシステムであって、前記液晶はポリマー安定化液晶材料であるシステム。
- 請求項3〜8のいずれかに記載のシステムであって、前記1対の板はUVグレードガラスから形成されるシステム。
- 請求項3〜9のいずれかに記載のシステムであって、前記第1および第2ITOレイヤは、平方当たり約100および約300Ωの間のシート抵抗を生むような厚さの値を有するシステム。
- 請求項3〜10のいずれかに記載のシステムであって、前記第2複数ITOレイヤ部は、第1方向を横切って分散されるシステム。
- 請求項11に記載のシステムであって、前記分析器は、前記放射光のうちのどの1つ以上のノイズ部分が前記試料上の繰り返しパターンから生じるかを決定するようにさらに構成され、前記電位差は、そのようなノイズ部分を阻止するために選択的に印加されるシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、前記ノイズ部分(群)は、前記試料上の繰り返しパターンから生じる1つ以上の鋭い、明るい回折点に対応するシステム。
- 請求項12または13に記載のシステムであって、前記放射光のうちの前記ノイズ部分(群)は、前記試料上の繰り返しパターンから生じる1つ以上の選択された角度(群)における1つ以上の領域に対応するシステム。
- 請求項14に記載のシステムであって、前記選択された角度は、入射平面から45度を含むシステム。
- 請求項14に記載のシステムであって、前記選択された角度は、入射平面から90度を含むシステム。
- 請求項1〜16のいずれかに記載のシステムであって、前記PSFは、前記放射光のフーリエ変換面内に配置され、前記検出器は、前記放射光のイメージ面内に配置されるシステム。
- 請求項1〜16のいずれかに記載のシステムであって、前記放射光は、反射光に対して散乱光であるシステム。
- 試料上の異常を検出する光学検査システムであって、
試料上に入射光ビームを導く光源、
前記入射光ビームに応答して試料から放射する光のパス上に配置されたプログラム可能な空間フィルタ(PSF)であって、
実質的に紫外光を透過し、前記放射光の開口を覆うような大きさにされた材料から形成される1対の板であって、前記板は互いに平行に構成される板、
前記板のうちの第1板上に堆積された第1インジウム錫酸化物(ITO)レイヤ、
前記板のうちの第2板上に堆積された第2複数ITOレイヤ部であって、前記第1ITOレイヤおよび前記第2ITOレイヤ部は、前記板の間に配置される、第2複数ITOレイヤ部、および
前記第1ITOレイヤおよび第2ITOレイヤ部の間に配置されたポリマー安定化液晶(PSLC)レイヤを備えるPSF、
検出器であって、前記PSFによって透過される前記放射光の前記第2部分(群)が前記検出器に入射し、それによって前記試料の少なくとも一部のイメージを形成するように前記放射光の前記パス内に配置された検出器、
前記イメージを受け取り、前記受け取られたイメージを分析することによって前記試料部分上に任意の欠陥が存在するかを決定し、前記第2ITOレイヤ部のうちの少なくとも1つと、前記第1ITOレイヤとの間に第1電位差を選択的に印加することによって、前記PSLCレイヤのうちの近接部が前記放射光のうちの第1部分の透過を許し、一方、前記PSLCレイヤのうちの前記第1電位差が印加されない他の部分が前記放射光のうちの第2部分が前記PSFを通ることを阻止する分析器
を備えるシステム。 - 請求項19に記載のシステムであって、前記第1および第2ITOレイヤは、平方当たり約100および約300Ωの間のシート抵抗を生むような厚さの値を有するシステム。
- 請求項19または20に記載のシステムであって、前記1対の板はUVグレードガラスから形成されるシステム。
- 請求項19〜21のいずれかに記載のシステムであって、前記PSFは、前記放射光のフーリエ変換面内に配置され、前記検出器は、前記放射光のイメージ面内に配置されるシステム。
- 請求項19〜22のいずれかに記載のシステムであって、前記第1電位差は、第1の所定のスレッショルドよりも大きく、前記分析器は、前記第1電位差が印加されない前記PSLCレイヤのうちの前記他の部分の間に第2電位差を印加するようさらに構成され、前記第2電位差は、前記第1の所定のスレッショルドよりも小さいシステム。
- 請求項19〜22のいずれかに記載のシステムであって、前記第1電位差は、第1の所定のスレッショルドよりも小さいときに透過を許し、前記分析器は、前記第1電位差が印加されない前記PSLCレイヤのうちの前記他の部分の間に第2電位差を印加するようさらに構成され、前記第2電位差は、前記第1の所定のスレッショルドよりも大きいシステム。
- 試料上の異常を検出する方法であって、
試料上に入射光ビームを導くことであって、前記入射光ビームは、約340ナノメートルおよび約400ナノメートルの間の波長を有する、導くこと、
前記入射光ビームが前記試料に当たることから生じる放射光ビームのうちの1つ以上の第1空間部分(群)が、そのような放射光ビームのイメージ面内に配置される検出器に到達することを選択的に阻止することであって、前記阻止は、プログラム可能な空間フィルタ(PSF)を構成することによって達成される、阻止すること、および
前記PSFを通して前記検出器へ前記放射光のうちの1つ以上の第2空間部分(群)を透過させること
を含み、
前記第1空間部分(群)は、約500:1の最小吸光値を有し、前記第2空間部分(群)は、約50の最小透過値を有する
方法。 - 請求項25に記載の方法であって、前記検出器に到達することが阻止される前記第1空間部分(群)は、前記試料上の繰り返しパターンから生じる放射光に対応するように選択される方法。
- 請求項26に記載の方法であって、前記第1空間部分(群)は、前記試料上の繰り返しパターンから生じる1つ以上の鋭い明るい回折点に対応するように選択される方法。
- 請求項26に記載の方法であって、前記第1空間部分(群)は、前記試料上の繰り返しパターンから生じる1つ以上の選択された角度(群)における1つ以上の領域に対応するよう選択される方法。
- 請求項28に記載の方法であって、前記選択された角度は、入射平面から45度を含む方法。
- 請求項28に記載の方法であって、前記選択された角度は、入射平面から90度を含む方法。
- 請求項25に記載の方法であって、前記阻止および透過は、前記放射光のフーリエ変換面内で行われる方法。
- 試料上の異常を検出する光学検査システムであって、
試料上に入射光ビームを導く光源、
前記入射光ビームに応答して試料から放射する光のパス上に配置されたプログラム可能な空間フィルタ(PSF)であって、前記PSFは、前記放射光のうちの1つ以上の選択された部分を阻止または透過するよう構成可能であり、前記放射光のうちの前記選択された部分は、第2方向と共に、第1方向に沿って配置される複数の放射光部分から選択されえ、前記第1方向は前記第2方向と異なる、PSF、
検出器であって、前記PSFによって透過される前記放射光の前記第2部分が前記検出器に入射し、それによって前記試料の少なくとも一部のイメージを形成するように前記放射光の前記パス内に配置された検出器、および
前記イメージを受け取り、前記受け取られたイメージを分析することによって前記試料部分上に任意の欠陥が存在するかを決定する分析器
を備えるシステム。 - 請求項32に記載のシステムであって、前記第1方向は、前記第2方向に直角であるシステム。
- 請求項32または33に記載のシステムであって、前記サブ領域は、前記試料上のパターンから生じる特定の角度における前記放射光のうちの一部を阻止することを促進するよう構成されるシステム。
- 請求項32〜34のいずれかに記載のシステムであって、前記角度は、入射面から45度であるシステム。
- 請求項32〜34のいずれかに記載のシステムであって、前記角度は、入射面から90度であるシステム。
- 請求項32〜36のいずれかに記載のシステムであって、前記PSFは、
実質的に紫外光を透過し、前記放射光の開口を覆うような大きさにされた材料から形成される1対の板であって、前記板は互いに平行に構成される板、
前記板のうちの第1板上に堆積された第1インジウム錫酸化物(ITO)レイヤ、
前記板のうちの第2板上に堆積された第2複数ITOレイヤ部であって、前記第1ITOレイヤおよび前記第2ITOレイヤ部は、前記板の間に配置される、第2複数ITOレイヤ部、および
前記第1ITOレイヤおよび第2ITOレイヤ部の間に配置された液晶レイヤ
を備えるシステム。 - 請求項37に記載のシステムであって、前記第1ITOレイヤは部分に分割され、前記第2レイヤは分割されず、前記システムは、前記第1ITOレイヤ部のうちの少なくとも1つと、前記第2ITOレイヤとの間に電位差を選択的に印加することによって、前記液晶レイヤのうちの近接部が前記放射光のうちの第1部分の透過を許し、一方、前記液晶レイヤのうちの電位差が印加されない他の部分が前記放射光のうちの第2部分が前記PSFを通ることを阻止するよう構成されるコントローラをさらに備えるシステム。
- 請求項38に記載のシステムであって、前記電位差は、所定のスレッショルドよりも大きく、前記液晶レイヤのうちの前記隣接部は、前記所定のスレッショルドより大きい電位差が印加されるときに透過を許すシステム。
- 請求項38に記載のシステムであって、前記電位差は、所定のスレッショルドより小さく、前記液晶レイヤのうちの前記隣接部は、前記所定のスレッショルドより小さい電位差が印加されるときに透過を許すシステム。
- 請求項37に記載のシステムであって、前記第1ITOレイヤは、複数のロウに構成される複数の部分に分割され、前記第2ITOレイヤは、複数のカラムに分割され、前記システムは、選択されたロウと、選択されたカラムとの間に第1電位差を印加することによって、前記選択されたロウおよびカラムの交点に近接する前記液晶レイヤのうちの一部が、前記放射光のうちの対応する部分を阻止するように構成される状態から、透過を許すように構成される状態へと変化するようにさせるシステム。
- 請求項41に記載のシステムであって、前記コントローラは、以前にそこに印加されていた第1電圧を有していた前記選択されたロウおよび前記選択されたカラムの間に第2電位差を印加することによって、前記選択されたロウおよびカラムの前記交点に近接する前記液晶レイヤのうちの前記部分が前記放射光の前記対応する部分が透過することを許すよう構成されることを維持し、前記第2電位差は前記第1電位差より小さいシステム。
- 請求項42に記載のシステムであって、前記コントローラは、以前にそこに印加されていた第2電圧を有していた前記選択されたロウおよび前記選択されたカラムの間に第3電位差を印加することによって、前記選択されたロウおよびカラムの前記交点に近接する前記液晶レイヤのうちの前記部分が前記放射光の前記対応する部分が透過することを許す状態から前記放射光の前記対応する部分を阻止するよう構成される状態に変化させるようにさらに構成され、前記第3電位差は前記第2電位差より小さいシステム。
- 請求項43に記載のシステムであって、前記コントローラは、以前にそこに印加されていた第3電圧を有していた前記選択されたロウおよび前記選択されたカラムの間に第4電位差を印加することによって、前記選択されたロウおよびカラムの前記交点に近接する前記液晶レイヤのうちの前記部分が前記放射光の前記対応する部分を阻止するよう構成されることを維持し、前記第4電位差は前記第3電位差より大きいシステム。
- 請求項44に記載のシステムであって、前記液晶レイヤは、双安定材料であるシステム。
- 試料上の異常を検出する光学検査システムであって、
試料上に入射光ビームを導く光源、
前記入射光ビームに応答して試料から放射する光のパス上に配置されたプログラム可能な空間フィルタ(PSF)であって、前記PSFは、
実質的に紫外光を透過し、前記放射光の開口を覆うような大きさにされた材料から形成される1対の板であって、前記板は互いに平行に構成される板、
前記板のうちの第1板上に堆積された第1インジウム錫酸化物(ITO)レイヤであって、前記第1ITOレイヤは、第1方向に沿って複数の第1部分に分割される、第1ITOレイヤ、
前記板のうちの第2板上に堆積された第2ITOレイヤ部であって、前記第1ITOレイヤおよび前記第2ITOレイヤは、前記板の間に配置され、前記第2ITOレイヤ部は、前記第1方向とは異なる第2方向に沿って複数の第1部分に分割される、第2ITOレイヤ、
前記第1ITOレイヤおよび第2ITOレイヤ部の間に配置された液晶レイヤであって、前記液晶レイヤは双安定材料から形成される、液晶レイヤ、および
少なくとも1対の第1および第2ITOレイヤ部分の間に電位差を選択的に印加することによって、前記液晶レイヤの近接部分が前記放射光の1つ以上の第1部分を阻止または透過するよう構成されるコントローラを備えるPSF、
検出器であって、前記PSFによって透過される前記放射光の前記部分が前記検出器に入射し、それによって前記試料の少なくとも一部のイメージを形成するように前記放射光の前記パス内に配置された検出器、および
前記イメージを受け取り、前記受け取られたイメージを分析することによって前記試料部分上に任意の欠陥が存在するかを決定する分析器
を備えるシステム。 - 請求項46に記載のシステムであって、前記液晶はUV適合性材料であるシステム。
- 請求項47に記載のシステムであって、前記液晶はポリマー安定化液晶材料であるシステム。
- 請求項46〜48のいずれかに記載のシステムであって、前記1対の板はUVグレードガラスから形成されるシステム。
- 請求項46〜49のいずれかに記載のシステムであって、前記第1および第2ITOレイヤは、平方当たり約100および約300Ωの間のシート抵抗を生むような厚さの値を有するシステム。
- 請求項46〜50のいずれかに記載のシステムであって、前記電位差は、所定のスレッショルドよりも大きく、前記液晶レイヤのうちの前記隣接部は、前記所定のスレッショルドより大きい電位差が印加されるときに透過を許すシステム。
- 請求項46〜50に記載のシステムであって、前記電位差は、所定のスレッショルドより小さく、前記液晶レイヤのうちの前記隣接部は、前記所定のスレッショルドより小さい電位差が印加されるときに透過を許すシステム。
- 試料上の異常を検出する方法であって、
試料上に入射光ビームを導くこと、
前記試料に当たる前記入射光ビームから生じる放射光ビームのうちの第1空間部分をそのような放射光ビームのイメージ面内に配置された検出器へ選択的に透過することであって、前記第1空間部分は、複数のアドレシング可能なロウおよびカラムを有するプログラム可能な空間フィルタ(PSF)の第1ロウおよび第1カラム間に第1電位差を印加することによって透過される、透過すること、および
前記放射光ビームのうちの第2空間部分が前記PSFを通って前記検出器に達するのを阻止すること
を含む方法。 - 請求項53に記載の方法であって、前記第1ロウおよび前記第1カラムの間に第2電位差を印加することによって前記放射光の前記第1空間部分の前記透過を維持することをさらに含み、前記第2電位差は前記第1電位差よりも小さい方法。
- 請求項54に記載の方法であって、前記第1ロウおよび前記第1カラムに第3電位差を印加することによって前記放射光の前記第1空間部分が前記PSFを通って前記検出器に到達することを阻止することをさらに含み、前記第3電位差は前記第2電位差より小さい方法。
- 請求項55に記載の方法であって、前記第1ロウおよび前記第1カラムの間に第2電位差を印加することによって前記放射光の前記第1空間部分の前記阻止を維持することをさらに含む方法。
- 請求項54〜56に記載の方法であって、前記放射光の前記第2空間部分が前記PSFを通って前記検出器に到達することを阻止することは、第2ロウおよび第2カラムに第2電位差を印加することによって達成され、前記第2電位差は前記第1電位差より小さい方法。
- 請求項57に記載の方法であって、前記放射光の前記第2空間部分が以前に前記PSFを透過することを阻止されていたときに、前記第2電圧は、所定量だけ前記第1電圧より小さい方法。
- 請求項57に記載の方法であって、前記放射光の前記第2空間部分が以前に前記PSFを通って透過されていたときに、前記第2電圧は、前記第1所定量より大きい第2所定量だけ、前記第1電圧より小さい方法。
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