JP2005354473A - 超音波トランスデューサ及びこれを用いた超音波スピーカ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一対の固定電極10A,10Bと、前記一対の固定電極に挟持され、導電層121を有し、該導電層に直流バイアス電圧が印加される振動膜12と、前記一対の固定電極と前記振動膜を保持する部材を有し、前記一対の固定電極は前記振動膜を介して対向する位置に複数の穴を有し、前記一対の固定電極間には交流信号が印加される超音波トランスデューサ55であって、該超音波トランスデューサの背面に音響反射板20が設置されている。この音響反射板は、前記超音波トランスデューサ背面の各開口部から放射された超音波が全て同じ長さの経路で前記超音波トランスデューサ前面に放射されるように配置されている。
【選択図】 図2
Description
ここで、従来の超音波トランスデューサの構成を図10に示す。従来の超音波トランスデューサは、振動素子として圧電セラミックを用いた共振型がほとんどである。図10に示す超音波トランスデューサは、振動素子として圧電セラミックを用いて電気信号から超音波への変換と、超音波から電気信号への変換(超音波の送信と受信)の両方を行う。図10に示すバイモルフ型の超音波トランスデューサは、2枚の圧電セラミック61および62と、コーン63と、ケース64と、リード65および66と、スクリーン67とから構成されている。
共振型の超音波トランスデューサは、圧電セラミックの共振現象を利用しているので、超音波の送信および受信の特性がその共振周波数周辺の比較的狭い周波数帯域で良好となる。
図11に広帯域発振型超音波トランスデューサ(Pull型)の具体的構成を示す。
下電極133の誘電体131側の面には不均一な形状を有する数十〜数百μm程度の微小な溝が複数形成されている。この微小な溝は、下電極133と誘電体131との間の空隙となるので、上電極132および下電極133間の静電容量の分布が微小に変化する。
しかしながら、音圧の最大値は図12に示すように、共振型の超音波トランスデューサが130dB以上であるのに比べ、静電型の超音波トランスデューサでは120dB以下と音圧が低く、超音波スピーカとして利用するには若干音圧が不足していた。
しかし、圧電素子はその材質を問わず鋭い共振点を有しており、その共振周波数で駆動して超音波スピーカとして実用化しているため、高い音圧を確保出来る周波数領域が極めて狭い。すなわち狭帯域であるといえる。
また、Pull型の超音波トランスデューサは、静電力は固定電極側へのみ引き付ける方向にしか働かず振動膜(図7における上電極132に相当する。)の振動の対称性が保たれないため、超音波スピーカに用いる場合、振動膜の振動が直接、可聴音を発生させるという問題が有った。
また、振動薄膜と、固定電極間に印加する電圧を抑えると、膜振動が不安定になり、場所ごとに振幅や位相が不揃いの振動を引き起こしてしまうため、膜振動エネルギーを有効に空中に超音波エネルギーとして放出することができなかった
また、振動膜の振動により第1、第2の固定電極に形成された複数の穴より超音波トランスデューサの前面側及び背面側に超音波周波数帯の音響信号(超音波)が出力される。超音波トランスデューサの背面側に出力される音響信号は上記音響反射板により位相が揃った状態で超音波トランスデューサの前方に放射されるので、超音波トランスデューサの前面側に放射される超音波のみならず、超音波トランスデューサの背面側に放射される超音波も利用でき、振動膜の膜振動エネルギーを最大限に有効活用することができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、音響反射板は、前記超音波トランスデューサ背面の各開口部から放射された超音波が全て同じ長さの経路で前記超音波トランスデューサ前面に放射されるように配置されているため、超音波トランスデューサの背面側に出力される音響信号は上記音響反射板により位相が揃った状態で超音波トランスデューサの前方に放射されるので、超音波トランスデューサの前面側に放射される超音波のみならず、超音波トランスデューサの背面側に放射される超音波も利用でき、振動膜の膜振動エネルギーを最大限に有効活用することができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、超音波トランスデューサの背面に放射された超音波は、超音波トランスデューサ背面のいずれか一方の端部に一端が位置し、該一方の端部から前記超音波トランスデューサ背面の他方の端部方向に45°の角度で配置され、その他端が前記超音波トランスデューサの他方の端部と一致する長さを有する第1の反射板により、水平方向に反射され、この反射波は、前記第1の反射板の他端に直角の角度をなして前記第1の反射板の外側方向に接続され前記第1の反射板長と同等の長さを有する第2の反射板により反射されて超音波トランスデューサの前面に位相の揃った状態で放射される。したがって、超音波トランスデューサの前面側に放射される超音波のみならず、超音波トランスデューサの背面側に放射される超音波も利用でき、振動膜の膜振動エネルギーを最大限に有効活用することができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、超音波トランスデューサの背面に放射された超音波は、超音波トランスデューサ背面の中心位置を基準として前記超音波トランスデューサ背面の両側に対して45°の角度で配置され、その端部が前記超音波トランスデューサの端部と一致する長さの母線を有する円錐形状の第1の反射板により水平方向に反射され、この反射波は、前記第1の反射板の母線と直角の角度をなして前記第1の反射板の外側へ接続される前記第1の反射板長と同等の長さの母線を有する円錐台形状の第2の反射板により反射されて超音波トランスデューサの前面に位相の揃った状態で放射される。したがって、超音波トランスデューサの前面側に放射される超音波のみならず、超音波トランスデューサの背面側に放射される超音波も利用でき、振動膜の膜振動エネルギーを最大限に有効活用することができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、音響反射板における反射面の凹凸形状のサイズは、前記超音波トランスデューサから放射される超音波の波長以下であるため、超音波が吸収されずに、有効に反射させることができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、振動膜の振動により発生する超音波が一対の固定電極に形成された円柱状の貫通穴を介して放射される。この円柱状に形成された貫通穴は、製造が最も簡単であるという長所を有するが、振動膜と対向する電極部分が固定電極側に存在しないために振動膜の導電層との間に作用する静電力が弱いという欠点を有している。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、一対の固定電極に直径および深さが各々異なる少なくとも二種類以上のサイズの同心円柱状の穴が連なった貫通穴が形成される。したがって、一対の固定電極に形成された上記二種類以上のサイズの同心円柱状の各穴の縁部分に並行する固定電極部分が振動膜の導電層と対向するように構成されるため、平行コンデンサが形成される。したがって、振動膜の前記各穴の縁部分に対向する部分が、持ち上げられると同時に、引き下げられる力が働くため振動膜の振動を大きくすることができる
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、一対の固定電極に断面がテーパー状の貫通穴が形成されているため、この固定電極のテーパ−部分が、振動膜の導電層と対向するように構成され、平行コンデンサが形成される。
したがって、前記固定電極のテーパ−部分に対向する振動膜の部分が、持ち上げられると同時に、引き下げられる力が働くため振動膜の振動を大きくすることができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、振動膜の振動により発生する超音波が一対の固定電極に形成された平面が矩形状の貫通穴を介して放射される。この平面が矩形状に形成された貫通穴は、製造が最も簡単であるという長所を有するが、振動膜と対向する電極部分が固定電極側に存在しないために振動膜の導電層との間に作用する静電力が弱いという欠点を有している。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、一対の固定電極に同一中心線上に形成され長さが同一で幅および深さが各々異なる少なくとも二種類以上のサイズの矩形状の穴が連なった貫通穴が形成される。したがって、一対の固定電極に形成された上記二種類以上のサイズの矩形状の各穴の縁部分に並行する固定電極部分が振動膜の導電層と対向するように構成されるため、平行コンデンサが形成される。したがって、振動膜の前記各穴の縁部分に対向する部分が、持ち上げられると同時に、引き下げられる力が働くため振動膜の振動を大きくすることができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、一対の固定電極に平面が矩形状で、かつ断面がテーパー状の貫通穴が形成されているため、この固定電極のテーパ−部分が、振動膜の導電層と対向するように構成されるので、平行コンデンサが形成される。
したがって、前記固定電極のテーパ−部分に対向する振動膜の部分が、持ち上げられると同時に、引き下げられる力が働くため振動膜の振動を大きくすることができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、固定電極に形成された穴は、反振動膜側に対して振動膜側の方の穴径が大きく、且つ深さが浅いので、上記二種類以上のサイズの同心円柱状の各穴の縁部分に並行する固定電極部分が振動膜の導電層と対向するように構成されることにより平行コンデンサが形成されるので、振動膜の導電層に働く静電吸引力及び静電斥力を大きくすることができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、固定電極に形成された矩形穴は、反振動膜側に対して振動膜側の方の幅が大きく、且つ深さが浅いので、上記二種類以上のサイズの矩形状の各穴の縁部分に並行する固定電極部分、または固定電極のテーパ−部分が振動膜の導電層と対向するように構成されることにより平行コンデンサが形成されるので、振動膜の導電層に働く静電吸引力及び静電斥力を大きくすることができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、一対の固定電極に各々、同一サイズの貫通穴が形成される。したがって、穴加工が容易であり、製造コストの低減が図れる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、一対の固定電極において各々、対向する位置では同一サイズであり、複数の穴サイズの貫通穴が形成される。したがって、穴加工が容易であり、製造コストの低減が図れる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記一対の固定電極は、単一の導電性部材、例えば、SUS、真鍮、鉄、ニッケル等の導電材料で形成することができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記一対の固定電極は、複数の導電性部材で形成することができる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記一対の固定電極は、導電性部材と絶縁部材から構成される。例えば、ガラスエポキシ基板や紙フェノール基板等の絶縁部材に所望の穴加工をした後、ニッケルや金、銀、銅等でメッキ処理をすることにより、固定電極を導電性部材と絶縁部材で形成することができる。これにより、超音波トランスデューサの軽量化が図れる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、振動膜は絶縁性高分子フィルムの両面に電極層が形成される。そしてこの場合に後述するように振動膜に対向する固定電極側には絶縁層が設けられる。したがって、振動膜の作製が容易になる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、電極層を絶縁層(絶縁高分子フィルム)で挟むように振動膜が形成される。したがって、固定電極側の絶縁処理が不要になり、超音波トランスデューサの製造が容易になる。また、振動膜に対する固定電極の配置の対称性の確保が容易になる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、絶縁性高分子フィルムの片面に電極層が形成された薄膜を2枚使用し、各々電極層同士を密着させることにより振動膜が形成される。したがって、振動膜の作製が容易となる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記振動膜は、エレクトレットフィルムが用いられる。この場合に固定電極側には絶縁層が形成される。したがって、振動膜の作製が容易となる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、振動膜として絶縁層(絶縁フィルム)の両面に導電層(電極層)が形成された振動膜を使用する場合、あるいは振動膜としてエレクトレットフィルムを使用する場合には固定電極の振動膜側に電気的絶縁処理が施される。したがって、絶縁層(絶縁フィルム)の両面に導電層(電極層)が形成された両面電極蒸着膜や、エレクトレットフィルムを振動膜として使用することが可能となる。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記振動膜には、単一極性の直流バイアス電圧が印加される。したがって、振動膜の電極層には常に同極性の電荷が蓄積されるので、前記一対の固定電極に印加される交流信号により変化する固定電極の電圧の極性に応じて、振動膜が静電吸引力及び静電斥力を受け、振動する。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記固定電極と振動膜を保持する部材は絶縁材料で構成される。したがって、固定電極と振動膜との間の電気的絶縁が保持される。
このように構成した本発明の超音波トランスデューサでは、前記振動膜は膜平面上における直角四方向に張力をかけて固定される。したがって、従来、振動膜を固定電極側に吸着させるために数百ボルトの直流バイアス電圧を振動膜に印加する必要があったが、振動膜の膜ユニット作製時に膜に張力をかけて固定することにより、従来、上記直流バイアス電圧が担っていた引張り張力と同様の作用をもたらすため、上記直流バイアス電圧を低減することができる。
したがって、本発明の超音波スピーカでは、上記構成の超音波トランスデューサを用いて構成したので、広周波数帯域にわたってパラメトリックアレイ効果を得るのに十分高い音圧レベルの音響信号を発生することができるとができるとともに、振動膜の膜振動エネルギーを最大限に有効活用することができるので、低パワー化が図れる。
図1において、本発明が適用される超音波トランスデューサ1は、電極として機能する導電性材料で形成された導電部材を含む一対の固定電極10A、10Bと、一対の固定電極に挟持され、導電層121を有する振動膜12と、一対の固定電極10A、10Bと振動膜を保持する部材(図示せず)とを有している。
固定電極10Aと電極層121、固定電極10Bと電極層121は、それぞれコンデンサが形成されている。
一方、一対の固定電極10A、10Bには、信号源18より交流信号が印加される。
また、このとき、対向する固定電極10Bには、負の電圧が印加されるために、振動膜12の前記表面部分12Aの裏面側である裏面部分12Bには、静電吸引力が作用し、裏面部分12Bは、図1上、さらに下方に引っ張られる。
本発明が適用される超音波トランスデューサ1は、従来の、振動膜に静電吸引力のみしか作用しない静電型の超音波トランスデューサ(Pull型)に比して、広帯域性と高音圧を同時に満たす能力を持っている。
すなわち、音響反射板20は、超音波トランスデューサ55背面の中心位置Mに一端が位置し、該中心位置を基準として超音波トランスデューサ55背面の両側に対して45°の角度で配置され他端が超音波トランスデューサ55の端部X1、X2と一致する長さの一対の第1の反射板200、200と、一対の第1の反射板200、200の前記端部と直角の角度をなして各々前記第1の反射板の外側方向に接続され前記第1の反射板長と同等の長さを有する一対の第2の反射板とを有している。
0≦a≦r …… (1)
図3において、本実施形態に係る超音波トランスデューサでは、音響反射板30は、超音波トランスデューサ55背面のいずれか一方の端部(X1、またはX2:本実施形態ではX1)に一端Aが位置し、該一方の端部X1から超音波トランスデューサ55背面の他方の端部X2方向に45°の角度で配置され、その他端Bが超音波トランスデューサ55の他方の端部X2と一致する長さを有する第1の反射板(AB)300と、第1の反射板300の他端Bに直角の角度をなして第1の反射板300の外側方向に接続され第1の反射板長と同等の長さを有する第2の反射板(BC)302とを有している。
本実施形態においても第1の実施形態に係る超音波トランスデューサと同様の効果が得られる。
本実施形態においても第1,第2の実施形態に係る超音波トランスデューサと同様の効果が得られる。
図6(a)は貫通穴タイプであり、具体的には、一対の固定電極10A,10Bに形成された穴は、円柱状に形成された貫通穴である。この貫通穴が形成された固定電極は、製造は最も簡単であるが振動膜12と対向する電極に相当する部分がないため、静電力が弱いという欠点を有している。
この場合各穴の淵部分に並行する場所が振動膜12と対向しており、この部分が平行板コンデンサを構成している。
この場合、丸穴形状のときと同様に各溝穴の淵部分に並行する場所が振動膜12と対向しており、ここが平行板コンデンサを構成している。
したがって振動膜12の淵部分が持ち上げられると同時に、引き下げられる力が働くため振動膜12の膜振動を大きくさせることができる。
なお、図7(b)、(c)の構成例において、固定電極に形成された矩形穴は、振動膜側の方の幅が大きく、且つ深さが浅くなるように形成されている。
また、前記複数個の貫通穴は、各々対向する位置では同一サイズであり、複数の穴サイズを有するようにしてもよい。
また、本実施形態に係る超音波トランスデューサを構成する固定電極は、導電性部材と絶縁部材から構成してもよい。
また、軽量化を図る必要があるため、回路基板などで一般的に用いられるガラスエポシキ基板や紙フェノール基板に所望の穴加工を施した後、ニッケルや金、銀、銅などでメッキ処理をすることなども可能である。また、この場合成型後のソリを防止するために基板へのメッキ加工は両面に施すなどの工夫も有効である。
また、振動膜12には数百ボルトの直流バイアス電圧が必要となるが、膜ユニット作製時に振動膜12の膜表面上における直角四方向に張力をかけて固定することにより、前記バイアス電圧は低減できる。
この場合も膜電極材料としては、Alが最も一般的で、その他、Ni、Cu、SUS、Tiなどが上記高分子材料との相性、コストなどの面から望ましい。さらに透明導電膜ITO/In,Sn,Zn酸化物などでも良い。
変調器53は、キャリア波発振源52から出力されるキャリア波を可聴周波数波発振源51から出力される可聴波周波数帯の信号波により変調し、パワーアンプ54を介して超音波トランスデューサ55に供給する。
したがって、超音波トランスデューサ55における振動膜の膜振動エネルギーを最大限有効活用できるので、信号源の電圧を低くすることができ、低パワー化を図った超音波スピーカを実現できる。
逆にキャリア周波数が高いと減衰が激しいのでパラメトリックアレイ効果が十分に起きず、音が広がるスピーカが提供することができる。これらは同じ超音波スピーカでも用途に応じて使い分けることが可能なため大変有効な機能である。
Claims (28)
- 複数の穴が形成された第1の固定電極と、
前記第1の固定電極と対をなす複数の穴が形成された第2の固定電極と、
前記一対の固定電極に挟持され、導電層を有し、該導電層に直流バイアス電圧が印加される振動膜と、
前記一対の固定電極と前記振動膜を保持する部材とを有し、
前記第2の固定電極に形成された複数の穴は前記振動膜を介して前記第1の固定電極に形成された複数の穴と対向する位置に全て,または大多数が形成され、前記一対の固定電極間には交流信号が印加される超音波トランスデューサであって、
該超音波トランスデューサの背面に音響反射板を設置したことを特徴とする超音波トランスデューサ。 - 前記音響反射板は、前記超音波トランスデューサ背面の各開口部から放射された超音波が全て同じ長さの経路で前記超音波トランスデューサ前面に放射されるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記音響反射板は、
前記超音波トランスデューサ背面の中心位置に一端が位置し、該中心位置を基準として前記超音波トランスデューサ背面の両側に対して45°の角度で配置され他端が前記超音波トランスデューサの端部と一致する長さの一対の第1の反射板と、
前記一対の第1の反射板の前記端部と直角の角度をなして各々前記第1の反射板の外側方向に接続され前記第1の反射板長と同等の長さを有する一対の第2の反射板とを有することを特徴とする請求項2に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記音響反射板は、
前記超音波トランスデューサ背面のいずれか一方の端部に一端が位置し、該一方の端部から前記超音波トランスデューサ背面の他方の端部方向に45°の角度で配置され、その他端が前記超音波トランスデューサの他方の端部と一致する長さを有する第1の反射板と、
前記第1の反射板の他端に直角の角度をなして前記第1の反射板の外側方向に接続され前記第1の反射板長と同等の長さを有する第2の反射板とを有することを特徴とする請求項2記載の超音波トランスデューサ。 - 前記音響反射板は、
前記超音波トランスデューサ背面の中心位置を基準として前記超音波トランスデューサ背面の両側に対して45°の角度で配置され、その端部が前記超音波トランスデューサの端部と一致する長さの母線を有する円錐形状の第1の反射板と、
前記第1の反射板の母線と直角の角度をなして前記第1の反射板の外側へ接続される前記第1の反射板長と同等の長さの母線を有する円錐台形状の第2の反射板と、
を有することを特徴とする請求項2に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記音響反射板における反射面の凹凸形状のサイズは、前記超音波トランスデューサから放射される超音波の波長以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極に形成された穴は、円柱状に形成された貫通穴であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極に形成された穴は、直径および深さが各々異なる少なくとも二種類以上のサイズの同心円柱状の穴が連なって形成された貫通穴であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極に形成された穴は断面がテーパー状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極に形成された穴は、平面が矩形状の貫通穴であることを特徴とする請求項1乃至6に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極に形成された穴は、同一中心線上に形成され長さが同一で幅および深さが各々異なる少なくとも二種類以上のサイズの矩形状の穴が連なって形成された貫通穴であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極に形成された矩形状の貫通穴は断面がテーパー状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記固定電極に形成された穴は、反振動膜側に対して振動膜側の方の穴径が大きく、且つ深さが浅いことを特徴とする請求項8に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記固定電極に形成された矩形穴は、反振動膜側に対し振動膜側の方の幅が大きく、且つ深さが浅いことを特徴とする請求項11または12のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記複数個の貫通穴は、各々同一サイズであることを特徴とする請求項7乃至14のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記複数個の貫通穴は、各々対向する位置では同一サイズであり、複数の穴サイズを有することを特徴とする請求項7乃至14のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極は、単一の導電性部材からなることを特徴とする請求項7乃至16のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極は、複数の導電性部材からなることを特徴とする請求項7乃至16のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記一対の固定電極は、導電性部材と絶縁部材からなることを特徴とする請求項7乃至16のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記振動膜は、絶縁性高分子フィルムの両面に電極層が形成された薄膜であることを特徴とする請求項1乃19のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記振動膜は、電極層が2枚の絶縁性高分子フィルムで挟むように形成された薄膜であることを特徴とする請求項1乃至19のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記振動膜は、絶縁性高分子フィルムの片面に電極層が形成された薄膜を2枚使用し、各々電極層同士を密着させて構成されていることを特徴とする請求項16に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記振動膜は、エレクトレットフィルムを用いていることを特徴とする請求項1乃至19のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 請求項20または請求項23に記載の振動膜を用いる場合は、前記一対の固定電極の各々の振動膜側に電気的絶縁処理を施すことを特徴とする請求項1乃至19のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記振動膜には、単一極性の直流バイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項1乃至24のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記固定電極と振動膜を保持する部材は絶縁材料で構成することを特徴とする請求項1乃至24のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 前記振動膜は膜平面上における直角四方向に張力をかけて固定されていることを特徴とする請求項1乃至26のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
- 請求項1乃至27のいずれかに記載の超音波トランスデューサと、
可聴周波数帯の信号波を生成する信号源と、
超音波周波数帯のキャリア波を生成し、出力するキャリア波供給手段と、
前記キャリア波を前記信号源から出力される可聴周波数帯の信号波により変調する変調手段とを有し、
前記超音波トランスデューサは、前記固定電極と前記振動膜の電極層との間に印加される前記変調手段から出力される変調信号により駆動されることを特徴とする超音波スピーカ。
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JP2004173947A JP2005354473A (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-11 | 超音波トランスデューサ及びこれを用いた超音波スピーカ |
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