JP2005354022A - Stage equipment, exposure apparatus, and device manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は位置決めを行うステージ装置に関するものであり、特には半導体露光装置や液晶露光装置に好適に使用されるステージ装置に関するものである。 The present invention relates to a stage apparatus that performs positioning, and more particularly to a stage apparatus that is suitably used in a semiconductor exposure apparatus or a liquid crystal exposure apparatus.
位置決めを行うステージ装置ような、高精度が要求される分野では、特に問題となるものである。ステージの駆では、ステージが駆動する際の駆動反力が振動や変形を引き起こし、位置決め精度に影響を及ぼす。この影響は、露光装置に用いられるステージ装置の動反力を相殺する機構として、特許文献1では、ガイド(121,107)によってXY方向に移動するステージ(105)を支持する定盤(109)に対して、X軸方向に駆動可能な質量体(113a,113b)と、Y軸方向に駆動可能な質量体(113c,113d)を設けた構成が開示されている(図20)。また、定盤には回転トルクを発生させる回転質量体(不図示)を設けている。このような構成で、XY方向およびθ方向(Z軸回りの回転方向)のステージ駆動反力を相殺するように質量体を駆動させることで駆動反力による振動の影響を低減している。 This is particularly a problem in fields where high accuracy is required, such as stage devices that perform positioning. In the stage drive, the driving reaction force when the stage is driven causes vibration and deformation, which affects the positioning accuracy. This influence is a mechanism for canceling the dynamic reaction force of the stage apparatus used in the exposure apparatus. In Japanese Patent Laid-Open No. 2004-228688, the surface plate (109) that supports the stage (105) moved in the XY directions by the guides (121, 107) On the other hand, a configuration in which mass bodies (113a, 113b) that can be driven in the X-axis direction and mass bodies (113c, 113d) that can be driven in the Y-axis direction is disclosed (FIG. 20). In addition, the surface plate is provided with a rotating mass body (not shown) that generates rotational torque. With such a configuration, the influence of vibration due to the drive reaction force is reduced by driving the mass body so as to cancel the stage drive reaction force in the XY direction and the θ direction (rotation direction around the Z axis).
また、特許文献2では、ステージ(106)を搭載する定盤(109)が基盤(110)に対してエアベアリングにより移動可能に支持されており、定盤の側面および内部には回転自在なロータ(108)が設けられている(図21)。このような構成により、ステージのXY方向の駆動反力は定盤が移動することによって相殺され、θ方向、ωx方向(X軸回りの回転方向)、ωy方向(Y軸回りの回転方向)の駆動反力はロータが回転することで相殺する。
近年、デバイスの生産性向上のためにウエハの径が大きくなり、ウエハの径に比例してステージの大きさも大きくなっている。それに伴いステージの重量も大きくなっている。またスループット(単位時間内で処理できるウエハ枚数)を上げるために、ステージをより早く動かす必要があり、ステージを高い加速度で動かす傾向がある。つまり、ステージ重量の増大とステージの高加速度化により、ステージの推力は以前よりも大きくなっている。 In recent years, the diameter of a wafer has been increased in order to improve device productivity, and the size of the stage has also increased in proportion to the diameter of the wafer. Along with this, the weight of the stage has also increased. Further, in order to increase the throughput (the number of wafers that can be processed within a unit time), the stage needs to be moved faster, and the stage tends to move at a high acceleration. In other words, the thrust of the stage is larger than before due to the increase in the stage weight and the acceleration of the stage.
特許文献2のように定盤を基盤に対してXY方向に移動させることで反力を相殺する構成では、定盤が移動するストローク分だけ空間を設ける必要がある。そのためにステージ装置全体のサイズが大きくなり、結果として、露光装置自体が大きくなるという問題がある。 In the configuration in which the reaction force is canceled by moving the surface plate in the XY directions with respect to the base as in Patent Document 2, it is necessary to provide space for the stroke that the surface plate moves. Therefore, there is a problem that the size of the entire stage apparatus becomes large, and as a result, the exposure apparatus itself becomes large.
ここで、定盤の重量を大きくすることにより、定盤のストロークを小さくすることも考えられるが、ステージ装置の輸送やメンテナンスなどを考慮に入れると重量をあまり大きくすることができない。 Here, it is conceivable to reduce the stroke of the surface plate by increasing the weight of the surface plate, but the weight cannot be increased too much in consideration of transportation and maintenance of the stage apparatus.
また定盤をエアベアリングで浮上させる場合には、重さ数トンの定盤をエアベアリングで浮かすには、それだけ大きな負荷容量を持つエアベアリングが必要となる。しかしながらエアベアリングの負荷容量を大きくすると、供給する空気の流量も大きくする必要があり、設置先のユーティリティーの仕様によっては設置が困難となる場合がある。 When the surface plate is lifted by an air bearing, an air bearing having a large load capacity is required to lift the surface plate weighing several tons with the air bearing. However, when the load capacity of the air bearing is increased, it is necessary to increase the flow rate of the supplied air, and the installation may be difficult depending on the specifications of the utility at the installation destination.
また、特許文献1のように、定盤の側面に質量体を設けた構成であると、設置スペースが増大してしまう。また質量体をぶら下げる構成であるため、定盤に対して好ましくない変形や、姿勢の劣化を引き起こす可能性がある。 Moreover, if it is the structure which provided the mass body in the side surface of the surface plate like patent document 1, an installation space will increase. Moreover, since it is the structure which hangs a mass body, it may cause an unfavorable deformation | transformation with respect to a surface plate, and the deterioration of an attitude | position.
本発明は上述の課題に鑑みなされたものであり、その目的は設置スペースを考慮しつつ、変形等による精度劣化を抑えた反力相殺機構を備えたステージ装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a stage apparatus including a reaction force canceling mechanism that suppresses deterioration in accuracy due to deformation and the like while considering installation space.
上述の目的を達成するために本発明では、ステージ装置において、移動可能なステージと、該ステージを支持する定盤と、該ステージの移動に伴い前記定盤に作用する並進方向の反力を相殺するように移動する質量体とを有し、前記定盤は前記ステージを案内する第1板状部材と、前記質量体を案内する第2板状部材と、前記第1板状部材と前記第2板状部材を連結する側板を有することを特徴としている。 In order to achieve the above-described object, the present invention cancels a translational reaction force that acts on a movable stage, a surface plate that supports the stage, and a surface plate that moves as the stage moves. And the surface plate has a first plate member for guiding the stage, a second plate member for guiding the mass body, the first plate member, and the first plate member. It has the side plate which connects two plate-shaped members, It is characterized by the above-mentioned.
また、本発明は別の観点では、ステージ装置において、移動可能なステージと、該ステージを支持する定盤と、該ステージの移動に伴い前記定盤に作用する並進方向の反力を相殺するように移動する質量体とを有し、前記定盤は中空構造であり、前記質量体は前記定盤の内部に設けられていることを特徴としている。 According to another aspect of the present invention, in the stage apparatus, a movable stage, a surface plate supporting the stage, and a translational reaction force acting on the surface plate as the stage moves are canceled out. The surface plate has a hollow structure, and the mass body is provided inside the surface plate.
本発明によれば、設置スペースを考慮しつつ、変形等による精度劣化を抑えた反力相殺機構を備えたステージ装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the stage apparatus provided with the reaction force cancellation mechanism which suppressed the precision degradation by deformation | transformation etc. can be provided, considering installation space.
(実施例1)
図1に実施例1に係るステージ装置の概略図を示す。図2は図1の定盤断面図である。ステージ11は不図示のエアベアリングによって、定盤15の上面に非接触で支持されている。定盤15は、天板15A、底板15B、四面に配置された側板15Cによって囲まれた中空構造となっており、底板15Bの上面には質量体としてのマス12が支持されている。マス12は定盤15の内部でXY方向に移動可能となっている。
Example 1
FIG. 1 is a schematic diagram of a stage apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a sectional view of the surface plate of FIG. The
天板15A,底板15B,側板15Cは一体に締結されており、床または不図示のエアマウント(除振台)によって支持されている。エアマウントは床振動がステージ性能に与える影響が無視できないときには用いた方がよく、無視できる場合には用いない方がコストを抑えることができる。
The
側板15Cの中央部にはそれぞれ回転質量体としてのロータ14が取り付けられている。ロータ14は、側板15Cに固定された固定部(不図示)と、固定部に対して回転する可動部(不図示)を有する。また、天板15Aのステージ11とは反対側の面にもロータ13が設けられており、同様に固定部と可動部を有する。
A
ステージ11およびマス12の移動方法について説明する。
A method for moving the
ステージ11はいわゆる平面モータによって、固定子(不図示)が固定された天板15Aから力を受けて、XY方向に移動することができる。ここで、固定子は天板15Aと一体的に構成してもよい。平面モータは可変磁気抵抗方式(以下、平面パルスモータとする)であっても、ローレンツ方式であってもよい。
The
可変磁気抵抗方式の場合には、固定子として極歯を有する構成となり、特開平11−190786号公報や特開2002−023764号公報に開示されている。また、ローレンツ方式については、固定子として磁石またはコイルを有する構成となり、特願2003−123832号公報において開示されている。これらの駆動機構については、詳細な説明は省略する。なお、ステージ11はXY方向だけでなく、X,Y,Z,θ(Z軸回りの回転方向),ωx(X軸回りの回転方向),ωy(Y軸回りの回転方向)方向に移動するものであってもよい。
In the case of the variable magnetoresistive method, the stator has pole teeth, which are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 11-190786 and 2002-023764. Further, the Lorentz system has a configuration having a magnet or a coil as a stator, and is disclosed in Japanese Patent Application No. 2003-123832. Detailed description of these drive mechanisms is omitted. The
マス12もステージ11と同様に平面モータによって、固定子としての底板15Bに対してXY方向に移動することができ、上述のどちらの方式であってもよい。なお、マスをガイドを有するモータにより駆動した例は実施例2に示す。
Similarly to the
つぎに、ステージの反力を相殺する方法について、図2を用いて説明する。 Next, a method for canceling the reaction force of the stage will be described with reference to FIG.
ステージ11に+X方向で推力F1を与えて加速した場合、天板15Aにはステージの駆動反力F1’が−X方向に作用する。そこで、ステージ11が駆動するのと同時に、マス12を−X方向に推力F2を与えて加速させる。すると、底板15Bにはマス12の駆動反力F2’が作用する。この2つの駆動反力F1’とF2’が等しいように調整することで、定盤15に加わる駆動反力は相殺され、結果として、定盤15に作用する力を低減することができる。また、Y方向においてもX方向と同様にして定盤15に作用する力を低減することができる。
When the
つづいて、ステージのモーメント反力を相殺する方法を図2を用いて説明する。図2においてロータ14を点線で表している。
Next, a method for canceling the moment reaction force of the stage will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the
ステージ11がX方向に加速すると、天板15Aにはステージの駆動反力F1’が作用する。ステージの駆動反力F1’の作用点は定盤15の重心と一致しないため、定盤15にはモーメントT1が作用する。またステージ11がX方向に加速すると、ステージの重心とステージに加わる力の作用点の違いによりステージにモーメントT(不図示)が作用し、このモーメントTは定盤15にも作用する。
When the
またマス12がX方向に加速すると、底板15Bにはマス12の駆動反力F2’が作用し、定盤15にはモーメントT2が作用する。またマス12がX方向に加速するとマスの重心と力点の違いにより、マスにはモーメントT3(不図示)が作用し、このモーメントT3は定盤15にも作用する。結局、定盤15にはT+T1+T2+T3の時計回りまたは反時計回りのモーメントが作用する。定盤に作用するモーメントを相殺する為に、側板15Cに設けたロータ14を回転させて、反モーメントを作用させてモーメントを相殺する。その結果、定盤15に作用するY軸回りのモーメントを低減することができる。また、X軸回りにおいてもY軸回りと同様にして定盤15に作用するモーメントを低減することができる。
When the
ロータ13と同様のロータを用いて、Z軸回りのモーメントを相殺する方法について図3を用いて説明する。
A method for canceling the moment around the Z-axis using a rotor similar to the
図3は、ステージ装置を上から見た図である。ステージ11が+X方向に加速した場合、ステージ11の駆動反力F1’は天板15Aに対して−X方向に作用する。そのために定盤15にはモーメントt1が時計回りに作用する。またマス12が−X方向に加速した場合、マス12の駆動反力F2’によりモーメントt2が時計回り方向に作用する。そこで、これらのモーメントt1とt2を打ち消すために、天板15Aの下面に設けたロータ13を時計回りに回転させる。これにより、定盤15には反時計回りの方向に反モーメントt3が作用するため、t3がt1とt2の和と等しくなるように調整することで、定盤15に作用するZ軸回りのモーメントを低減することができる。
FIG. 3 is a view of the stage apparatus as viewed from above. When the
なお、上述の説明における時計回り/反時計回りはステージ11やマス12が定盤15の重心に対してどの位置にあるかによって決まるものである。
The clockwise / counterclockwise rotation in the above description is determined by the position of the
さらに、図1に示すステージユニット16全体の重心が定盤15の中心に位置するようにステージ11およびマス12を位置決めすることにより、ステージ11およびマス12が移動しても、移動荷重によって発生するモーメントを零とすることが可能となる。この場合、別途移動荷重を補償するためのシステムを設ける必要がなくなる。
Further, by positioning the
上述の実施例において、定盤15がステージ11を支持する案内面(天板15Aの上面)と、ステージ15の移動に伴い定盤15に作用する並進方向の反力を相殺するように移動するマス12を案内する案内面(底板15Bの上面)を有することにより、ステージは、マスの移動に伴う定盤の変形といった外乱の影響を受けにくくすることができる。
In the above-described embodiment, the
また、定盤15は中空構造であり、マス12は定盤15の内部に設けられているため、上述の効果に加えて、反力を相殺するために定盤が大ストロークで移動する必要がない上に、定盤に対してマスを外付けして設置スペースが増大することも防ぐことができる。
Further, since the
さらに、上述のマスに加えて、ステージの移動に伴い定盤に作用する回転方向の反力を相殺するように移動するロータを有することで、並進方向に加えて回転方向の反力を相殺することができるため、結果として、設置スペースが抑えつつステージの各軸方向への反力を相殺する機構を提供することができる。 Furthermore, in addition to the above-mentioned mass, by having a rotor that moves so as to cancel the reaction force in the rotation direction acting on the surface plate as the stage moves, the reaction force in the rotation direction is canceled in addition to the translation direction. As a result, it is possible to provide a mechanism that cancels the reaction force in the axial direction of the stage while reducing the installation space.
また、定盤15はステージを案内する天板15Aとマスを案内する底板15Bを側板15Cで連結した構造であることにより、ステージとマスの移動による影響は各板状部材に分散するため、局所的な変形等を防ぐことができる。
The
ここで、ステージおよびマスの案内面がそれぞれステージおよびマスを支持する支持面を兼ねることにより、変形および外乱の影響を低減する効果はさらに顕著となるものである。 Here, the effect of reducing the influence of deformation and disturbance becomes more remarkable when the guide surfaces of the stage and the mass also serve as support surfaces for supporting the stage and the mass, respectively.
なお、ステージは平面モータを用いて定盤に対して移動可能となっているが、これによりステージ装置全体として設置スペースを抑えた簡略な構成が可能となり、さらにガイド等の変形の影響が少ないため、結果として高精度化が実現できるものである。 The stage can be moved with respect to the surface plate using a flat motor, but this enables a simple configuration with a reduced installation space as a whole stage device, and is less affected by deformation of the guide and the like. As a result, high accuracy can be realized.
<変形例>
図4〜図7に変形例を示す。以下の変形例では、ステージ11とマス12とロータ13の支持位置を変えた例を説明する。
<Modification>
A modification is shown in FIGS. In the following modification, an example in which the support positions of the
実施例1(図2)では、ロータ13が天板15Aの下面に設けられていたが、図4ではロータ13は底板15Bに設けられている。このように、Z軸回りの回転方向の反力を相殺するためのロータ13をステージ11を案内する天板15Aとは別部材に支持にすることでロータ13の自重変形による影響をステージ11に与えないようにできる。
In the first embodiment (FIG. 2), the
また、マス12を底板15Bの下面に配置することで、マスの自重をベース面で支持することが可能であり、局所的な変形を防ぐことができる。
Further, by disposing the
ここで、マス12は反力相殺の機能を有するために、底板15B側から駆動力を受ける必要がある。駆動力については、ガイドを有するリニアモータであってもよく、ガイドを有しない、いわゆる平面モータであってもよい。
Here, since the
図5は図4と同様にステージ、マス、ロータを支持した配置であり、天板15Aと底板15Bとの間に減衰材を介在させている。これにより各板状部材に発生する振動を減衰させる効果と、各板状部材間の振動の伝達を減少させる効果が期待できる。
FIG. 5 shows an arrangement in which a stage, a mass, and a rotor are supported as in FIG. 4, and an attenuation material is interposed between the
図6は、ステージ11を天板15Aの下面に設け、マス12を底板15Bの上面、ロータを底板15Bの下面に設けた例である。
FIG. 6 shows an example in which the
図7は、天板15Aと底板15Cとの間に中板15Eを設けた例である。また、ステージ11に計測手段(または加工手段)18を設けて、計測対象物(または加工対象物)19を中板15Eに固定することで、定盤15内部で移動するステージ、計測対象物、マスの支持を定盤15で一体的に支持することができるため、コンパクトに装置が構成できる。ここで、計測手段の例としては電気的計測、メカ寸法計測等が挙げられ、計測対象物の例としては電気基板、メカ部品が挙げられる。また、加工手段の例として、レーザー加工ツールが、加工対象物として金属材料等が挙げられる。
FIG. 7 shows an example in which an
(実施例2)
図8〜図10に実施例2の概略図を示す。
(Example 2)
8 to 10 show schematic diagrams of the second embodiment.
実施例2は実施例1におけるマスにガイドを設けた構成である。実施例1と同一の部分については説明を省略する。 The second embodiment has a configuration in which a guide is provided on the mass in the first embodiment. Description of the same parts as those in the first embodiment is omitted.
図8は実施例2に係るステージ装置の全体概略図である。図中点線で示した定盤15の内部が特徴となる部分であり、図9は定盤内部を表す図である。
FIG. 8 is an overall schematic diagram of the stage apparatus according to the second embodiment. The inside of the
定盤内部には、マス22が井の字型に設けられたガイド23対して移動可能に案内されている。ここで、ガイド23は定盤15に対して固定されており、リニアモータの固定子を有している。そのため、ガイドからリニアモータ可動子としてのマス22(※に力を与えることが可能であり、その反力はガイド23を介して定盤15に伝わる。
Inside the surface plate, a
マス22はX方向に並行な2本のガイドのそれぞれに対して設けられており、図示をしていないが、Y方向に並行な2本のガイドのそれぞれに対しても設けられている。
The
実施例2における反力の相殺方法について図9を用いて説明する。ステージ11が+X方向に加速した場合、その駆動反力F1’は定盤15に−X方向に作用する。この駆動反力を打ち消すために、定盤15内に設けた2つのマス22を−X方向にステージの推力の半分で加速させる。するとステージの駆動反力F1’とマスの駆動反力F2’の2倍が等しくなり、ステージ駆動による反力は完全に相殺される。Y方向の反力の相殺方法もX方向の場合と同様である。
A reaction force canceling method according to the second embodiment will be described with reference to FIG. When the
実施例2におけるZ軸回りに作用するモーメントを相殺する方法については、実施例1と考え方は同じである。ただし実施例2の場合、マス22の力点P1、P2が定盤の重心線Lに対して対称な位置になるために、マス22が動いてもZ軸回りにモーメントは生じない。そのためにステージ11が加速した時に定盤15に生じるZ軸回りのモーメントと等しくなるように、ロータ13を回転させればよい。
The method for canceling out the moment acting around the Z axis in the second embodiment is the same as in the first embodiment. However, in the case of the second embodiment, since the force points P1 and P2 of the
またX、Y軸回りに作用するモーメントを相殺する方法を図10を用いて説明する。図10は実施例2を側面から見た図である。もしマス22が駆動している時にリニアモータ固定子に作用する反力の力点P3が定盤15の重心線L上にあれば、マス64が駆動することで作用するモーメントは0(ゼロ)になる。そのためロータ14を回転させるために必要なモーメントは、ステージ11が駆動した場合に定盤に作用する反力F1’によって発生するモーメントと、ステージ11加速時にステージの力点と重心の違いによって作用するモーメントの和でよい。
A method for canceling out moments acting around the X and Y axes will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a side view of the second embodiment. If the force point P3 of the reaction force acting on the linear motor stator when the
ただし、マスの反力の力点P3が重心線L上に無い場合、マス22の駆動により定盤15にモーメントが作用する。その時は、リニアモータの反力の力点P3とステージの力点間の距離にマスおよびステージの推力をかけた値と、ステージの力点と重心間の距離にステージの推力をかけた値と、マスの力点と重心間の距離にマスの推力をかけた値を足し合わせたモーメントをロータ14に発生させる。
However, when the force point P3 of the mass reaction force is not on the center of gravity line L, a moment acts on the
なお、本実施例では井の字形状にリニアモータを配置したが、その他に十字やH字にリニアモータを配置してもよい。井の字形状にするメリットとして、ロータ13を設置するためのスペースを設けることができ、装置全体として小型化できる。
In this embodiment, the linear motor is arranged in the shape of a well, but the linear motor may be arranged in a cross or an H shape. As a merit of making the shape of a well, a space for installing the
(実施例3)
図11に実施例3に係るステージ装置の定盤内の概略図を示す。実施例1及び実施例2とは定盤15内のマスの構成が異なる。ステージの移動については実施例1や実施例2と同様であるため詳細な説明は省略する。
(Example 3)
FIG. 11 is a schematic view of the inside of the surface plate of the stage apparatus according to the third embodiment. The configuration of the mass in the
定盤15の内部にはZ軸回りのモーメント反力を相殺するためのロータ13、X軸及びY軸回りのモーメント反力を相殺するためのロータ14、X方向及びY方向の反力を相殺するためのマス31が設けられている。
Inside the
図12は本実施例に係るマス31を詳細に説明する図である。X方向に移動するXマス32にはXモータ可動部33が設けられており、Y方向に移動するYマス35にはYモータ可動部36が設けられている。Xモータ固定部34はYマス35に固定されており、Yモータ固定部37は定盤内部の天板に取付板38を介して固定されている。Xモータ及びYモータはいわゆるリニアモータであり、Xマス32及びYマス35をそれぞれリニアガイド(不図示)でX及びY方向にのみ移動するように拘束されている。ここで、リニアガイドはボールやローラを用いた転動式のリニアガイドでよい。
FIG. 12 is a diagram illustrating the
ここで、Yマス35の駆動反力はYモータ固定部37および取付板38を介して定盤15に伝わり、Xマス32の駆動反力はXモータ固定部34、Yマス35、Yリニアガイド(不図示)、Yモータ固定部37、取付板38を介して定盤に伝わる。
Here, the driving reaction force of the
これらのマスを実施例1及び2と同様にステージの移動方向と反対方向に移動させることでXY方向の反力を相殺することができる。 The reaction force in the XY directions can be canceled by moving these masses in the opposite direction to the moving direction of the stage as in the first and second embodiments.
なお、マス31は定盤内に2つ設けられているがこれについては適宜設計により変更が可能である。また、X軸回りのロータとY軸回りのロータも定盤内部に設けているため、設置スペースを小さくすることができる。
Two
本実施例では、Xマス32とYマス35を積重ねた構成としており、これにより反力相殺機構が省スペース化でき、定盤内部にマス等の反力相殺機構を設けた場合に特に有効である。さらに、Y方向にはYマス35とともにXマス32も移動する(Xマスの自重がYマスによって支持されている)ため、設置スペースの増大を抑えつつマスの重量を大きくすることが可能となる。
In this embodiment, the
<変形例>
図13は実施例3のXマス32上にZ軸回りのモーメント反力を相殺するためのロータを設けた変形例である。Z軸回りのモーメント反力は、Xマス32に固定されたロータ13の固定部、Xマス32、Yマス35、リニアガイド等を介して定盤に伝わる。
<Modification>
FIG. 13 shows a modification in which a rotor for canceling the moment reaction force around the Z axis is provided on the
このように、Z軸回りのモーメント反力を相殺するロータ13をXマス上に設けることで、Y方向にはYマス35とXマス32とロータ13が移動し、X方向にはXマス32とロータ13が移動するため、設置スペースの増大を抑えつつマスの重量を大きくすることが可能となる。
Thus, by providing the
図14は実施例3のXマス32にX軸回り及びY軸回りのモーメント反力を相殺するためのロータ14を設けた変形例である。X軸回り及びY軸回りのモーメント反力は、Xマス32に固定されたロータ14の固定部、Xマス32、Yマス35、リニアガイド等を介して定盤に伝わる。
FIG. 14 shows a modification in which the
このように、X軸回り及びY軸回りのモーメント反力を相殺するロータ14をXマス上に設けることで、Y方向にはYマス35とXマス32とロータ13、14が移動し(Xマスおよびロータの自重をYマスが支持しており)、X方向にはXマス32とロータ13、14が移動する(ロータの自重をXマスが支持している)ため、設置スペースの増大を抑えつつマスの重量を大きくすることが可能となる。
In this way, by providing the
(実施例4)
図15に実施例4に係るステージ装置の概略図を示す。実施例1〜3と同様の機能を有する点については詳細な説明は省略する。実施例1〜3はステージが1つの場合であったが、実施例4はステージが複数(ここでは2つ)設けられている。つまり、定盤15上にはステージ91、92があり、定盤97の裏面にはマス93,94がある。なお図15の示すステージユニット全体の重心が、定盤97の重心と一致するようにステージ91,92とマス93,94が配置されている。定盤97の側面にはロータ95、96が、定盤97の天板の下面にはロータ98が設けられている。
Example 4
FIG. 15 is a schematic diagram of a stage apparatus according to the fourth embodiment. A detailed description of points having the same functions as those of the first to third embodiments will be omitted. In the first to third embodiments, the number of stages is one, but in the fourth embodiment, a plurality of (here, two) stages are provided. That is, the
ステージ駆動時に定盤97に作用する反力、モーメントの相殺方法に関しては実施例1〜3と同じである。ただしステージ91が加減速した場合に定盤に作用する駆動反力はマス93で相殺させ、ステージ92が加減速した場合に定盤に作用する駆動反力はマス94で相殺させる。
The method of canceling the reaction force and moment acting on the
またステージ91、92及びマス93及び94が加減速した場合に定盤97に生じるX,Y,Z軸回りのモーメントは、実施例1〜3と同様の方法で相殺させることができる。ただし、ステージとマスがそれぞれ2つずつあるため、各ステージ及びマスの加減速によって定盤97に作用するモーメントをそれぞれ計算し、足し合わせたモーメントを相殺させるように、ロータ93,94にモーメントを作用させる必要がある。
Further, the moments about the X, Y, and Z axes generated on the
<変形例>
図16は、実施例3の構成でステージを複数設けた場合の定盤内部を表す図である。
<Modification>
FIG. 16 is a diagram illustrating the inside of the surface plate when a plurality of stages are provided in the configuration of the third embodiment.
定盤97の内部は、Z軸回りのモーメントを相殺するためのロータカウンタ98と、Y軸回りのモーメントを相殺するためのロータカウンタ95、X軸回りのモーメントを相殺するためのロータカウンタ96によって構成されている。定盤97上を移動する図示していないステージの反力およびモーメントは、定盤97の内部にあるマス99及びロータ95、96、98で相殺する。
The inside of the
マス99は実施例3のようにXマスとYマスを積重ねた構成となっており、これにより省スペースとすることができる。さらに変形例のようにロータを積重ねた構成であってもよい。
The
ここで、定盤97は2つに分割された構成になっているため、それぞれの定盤で反力を相殺することができ、互いの定盤間の振動の伝達を低減することができる。
Here, since the
(露光装置に適用した例)
図17は、上述のステージ装置を半導体デバイス製造用の露光装置に適用した例を示す図である。
(Example applied to exposure equipment)
FIG. 17 is a diagram showing an example in which the above-described stage apparatus is applied to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor device.
この露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用され、原版であるレチクルを介して基板としての半導体ウエハW上に照明系ユニット101からの露光エネルギーとしての露光光(この用語は、可視光、紫外光、EUV光、X線、電子線、荷電粒子線等の総称である)を投影系としての投影レンズ103(この用語は、屈折レンズ、反射レンズ、反射屈折レンズシステム、荷電粒子レンズ等の総称である)を介して照射することによって、ウエハステージ104に搭載された基板上に所望のパターンを形成している。
This exposure apparatus is used in the manufacture of semiconductor devices such as semiconductor integrated circuits and devices in which fine patterns are formed, such as micromachines and thin film magnetic heads, on a semiconductor wafer W as a substrate via a reticle as an original plate. Projection lens 103 (the term is a general term for visible light, ultraviolet light, EUV light, X-rays, electron beams, charged particle beams, etc.) as exposure energy from the illumination system unit 101 as a projection system. This term is a general term for a refractive lens, a reflective lens, a catadioptric lens system, a charged particle lens, etc.), thereby forming a desired pattern on a substrate mounted on the
ウエハステージ104に搭載したチャック上に基板であるウエハを保持し、照明系ユニット101によって、レチクルステージ102に搭載された原版であるレチクルのパターンをウエハ上の各領域にステップアンドリピートもしくはステップアンドスキャンで転写する。
A wafer, which is a substrate, is held on a chuck mounted on a
また、ウエハ内の各ショットの位置合わせ、およびウエハとレチクルを位置合わせ(アライメント)を行うためのアライメントスコープ(不図示)が設けられている。ここで、アライメント工程と露光工程が並行して行われる露光装置の場合には、実施例3のようなステージを2つ有する構成となりうる。 In addition, an alignment scope (not shown) is provided for aligning each shot in the wafer and aligning (alignment) the wafer and the reticle. Here, in the case of an exposure apparatus in which the alignment process and the exposure process are performed in parallel, a configuration having two stages as in the third embodiment may be employed.
実施例1〜実施例3に係るステージ装置を上述のウエハステージまたはレチクルステージ、もしくはその双方に用いることで、露光装置は設置面積を大きくすることなく精度を向上することができる。 By using the stage apparatus according to the first to third embodiments for the above-described wafer stage and / or reticle stage, the exposure apparatus can improve the accuracy without increasing the installation area.
(デバイス製造方法)
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図18は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
(Device manufacturing method)
Next, a semiconductor device manufacturing process using this exposure apparatus will be described. FIG. 18 is a diagram showing a flow of an entire manufacturing process of a semiconductor device. In step 1 (circuit design), a semiconductor device circuit is designed. In step 2 (mask fabrication), a mask is fabricated based on the designed circuit pattern.
一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記のマスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ5によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ7でこれを出荷する。 On the other hand, in step 3 (wafer manufacture), a wafer is manufactured using a material such as silicon. Step 4 (wafer process) is called a pre-process, and an actual circuit is formed on the wafer by using the above-described exposure apparatus and lithography technology using the above-described mask and wafer. The next step 5 (assembly) is called a post-process, which is a process for forming a semiconductor chip using the wafer produced in step 5, and is an assembly process (dicing, bonding), packaging process (chip encapsulation), etc. Process. In step 6 (inspection), the semiconductor device manufactured in step 5 undergoes inspections such as an operation confirmation test and a durability test. A semiconductor device is completed through these processes, and is shipped in Step 7.
上記ステップ4のウエハプロセスは以下のステップを有する(図19)。ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するCVDステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに転写する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップ。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。 The wafer process in Step 4 has the following steps (FIG. 19). An oxidation step for oxidizing the surface of the wafer, a CVD step for forming an insulating film on the wafer surface, an electrode formation step for forming electrodes on the wafer by vapor deposition, an ion implantation step for implanting ions on the wafer, and applying a photosensitive agent to the wafer A resist processing step, an exposure step for transferring the circuit pattern to the wafer after the resist processing step by the above exposure apparatus, a development step for developing the wafer exposed in the exposure step, and an etching step for scraping off portions other than the resist image developed in the development step A resist stripping step that removes the resist that has become unnecessary after etching. By repeating these steps, multiple circuit patterns are formed on the wafer.
11,31,32,91,92 ステージ
12,22x,22y,33,34,93,94 マス
13、14,95,96 ロータ
15,97 定盤
15A 天板
15B 底板
15C 側板
15D 中板
16 ステージ装置
17 減衰部材
18 計測手段(加工手段)
19 計測対象物(加工対象物)
23x,23y ガイド
31 マス
32 Xマス
33 Xモータ可動部
34 Xモータ固定部
35 Yマス
36 Yモータ可動部
37 Yモータ固定部
38 取付板
101 照明系ユニット
102 レチクルステージ
103 投影レンズ
104 ウエハステージ
11, 31, 32, 91, 92
19 Measurement object (processing object)
23x,
Claims (15)
前記定盤は前記ステージを案内する第1板状部材と、前記質量体を案内する第2板状部材と、前記第1板状部材と前記第2板状部材を連結する側板を有することを特徴とするステージ装置。 A movable stage, a surface plate that supports the stage, and a mass body that moves so as to cancel the reaction force in the translational direction that acts on the surface plate as the stage moves,
The surface plate includes a first plate member for guiding the stage, a second plate member for guiding the mass body, and a side plate for connecting the first plate member and the second plate member. A featured stage device.
前記定盤は中空構造であり、前記質量体は前記定盤の内部に設けられていることを特徴とするステージ装置。 A movable stage, a surface plate that supports the stage, and a mass body that moves so as to cancel a translational reaction force acting on the surface plate as the stage moves,
The stage apparatus is characterized in that the surface plate has a hollow structure, and the mass body is provided inside the surface plate.
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