JP2005352394A - レンズ装置 - Google Patents
レンズ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005352394A JP2005352394A JP2004175651A JP2004175651A JP2005352394A JP 2005352394 A JP2005352394 A JP 2005352394A JP 2004175651 A JP2004175651 A JP 2004175651A JP 2004175651 A JP2004175651 A JP 2004175651A JP 2005352394 A JP2005352394 A JP 2005352394A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- driven
- plate
- driving
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
【課題】駆動方向に延設された被駆動部材を利用して位置検出手段を設けることにより、小型化できるレンズ装置を提供する。
【解決手段】レンズ装置は、レンズ枠18、20を駆動させるアクチュエータ30、30を備える。アクチュエータ30は、圧電素子32A、32Bと駆動部材34A、34Bから成り、駆動方向に延設された被駆動板26に駆動部材34A、34Bを摩擦係合させ、被駆動板26を光軸方向に移動させる。被駆動板26には、位置検出手段であるフォトインタラプタ42やフォトリフレクタ40が取り付けられる。被駆動板26は、フォトインタラプタ42の遮光体、或いはフォトリフレクタ40の反射板として兼用される。
【選択図】 図4
【解決手段】レンズ装置は、レンズ枠18、20を駆動させるアクチュエータ30、30を備える。アクチュエータ30は、圧電素子32A、32Bと駆動部材34A、34Bから成り、駆動方向に延設された被駆動板26に駆動部材34A、34Bを摩擦係合させ、被駆動板26を光軸方向に移動させる。被駆動板26には、位置検出手段であるフォトインタラプタ42やフォトリフレクタ40が取り付けられる。被駆動板26は、フォトインタラプタ42の遮光体、或いはフォトリフレクタ40の反射板として兼用される。
【選択図】 図4
Description
本発明はレンズ装置に係り、特にデジタルカメラや携帯電話機等の小型精密機器に搭載されるレンズ装置に関する。
デジタルカメラ等のレンズ部の駆動装置として圧電素子を用いたアクチュエータがある。例えば特許文献1のアクチュエータは、圧電素子の端面に駆動棒が固着され、その駆動棒に鏡筒がスライド自在に支持される。鏡筒には板ばねが取り付けられ、この板ばねの弾性力によって駆動棒との間に摩擦力が働くようになっている。そして、圧電素子には、略鋸歯状の波形をした駆動パルスが印加され、圧電素子は伸び方向と縮み方向で異なる速度で変位する。例えば圧電素子が緩やかに変位すると、駆動棒とともに鏡筒が移動する。逆に、圧電素子が速く変位すると、鏡筒がその質量の慣性によって同じ位置に停まる。したがって、圧電素子に略鋸歯状の波形をした駆動パルスを繰り返し印加することによって、鏡筒を細かなピッチで間欠的に移動させることができる。
しかし、特許文献1に記載のアクチュエータは、長尺状の駆動棒を介して駆動力を伝達するため、圧電素子の振動が駆動棒に吸収されて減衰してしまい、鏡筒を正確に移動させることができないという問題があった。特に高周波の振動は、駆動棒による減衰率が大きいため、鏡筒の応答性が悪くなる。したがって、特許文献1のアクチュエータは、低周波の駆動パルスでしか制御することができず、単位時間あたりの鏡筒の移動回数が少なくなるという問題があった。このため、特許文献1のアクチュエータにおいて鏡筒の移動速度を増加させるには、印加電圧を大きくして圧電素子の変位量を大きくし、鏡筒の一回の移動量を大きくする必要があった。
特許文献2では、5Vの電源電圧を30Vに昇圧することによって、一回の移動量を増加させ、鏡筒の移動速度を増加させている。このため、特許文献2では、昇圧装置が必要になり、装置が大型化するとともに、複雑な制御が必要になるという問題があった。
特許文献3に記載されるアクチュエータは、圧電素子の変位方向の端面に係合部材が取り付けられており、この係合部材が移動板に摩擦係合され、移動板に鏡筒が取り付けられている。そして、圧電素子に駆動パルスを印加することによって、係合部材を介して振動が伝達され、移動板と鏡筒が移動される。
上述した特許文献1〜3に記載のアクチュエータは、圧電素子を駆動源としているため、モータを駆動源としたアクチュエータに比べて小型化することができる。
特許第2633066号
特開2000−50660号公報
特開平10−232337号公報
ところで、特許文献1〜3に記載のアクチュエータをレンズ装置に適用した場合、鏡筒の位置を検出する位置検出手段が必要になる。位置検出手段としては、例えば透過型のフォトインタラプタや反射型のフォトリフレクタが用いられ、これらの位置検出手段の検出値に基づいてアクチュエータが駆動制御される。
フォトインタラプタやフォトリフレクタはそれ自体、非常に小型であるが、遮光体や反射板が大きいため、レンズ装置が大型化するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、圧電素子を用いたアクチュエータと位置検出手段を備えたレンズ装置において、小型化することのできるレンズ装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は前記目的を達成するために、圧電素子と、該圧電素子に一体的に取り付けられた駆動部材と、該駆動部材に摩擦係合されるとともに駆動方向に沿って延設された被駆動部材と、該被駆動部材に一体的に取り付けられるとともに前記圧電素子の動力により光軸方向に移動されるレンズ枠とを備えたレンズ装置において、前記レンズ枠の位置を検出する位置検出手段が前記被駆動部材を用いて形成されることを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、駆動方向に延設された被駆動部材を利用して位置検出手段を設けたので、位置検出手段の設置スペースが小さくなり、レンズ装置を小型化することができる。また、請求項1に記載の発明によれば、被駆動部材に位置検出手段を設けたので、レンズ枠の変位量を正確に測定できる。
請求項2に記載の発明は請求項1の発明において、前記位置検出手段は、前記被駆動部材を遮光体とする透過型のフォトインタラプタであることを特徴とする。フォトインタラプタは、高出力で高精度の検出が行える反面、設置スペースが大きくなるという問題があるが、請求項2に記載の発明によれば、被駆動部材がフォトインタラプタの遮光体を兼用するので、レンズ装置を小型化することができる。
請求項3に記載の発明は請求項1の発明において、前記位置検出手段は、前記被駆動部材に反射面が形成された反射型のフォトリフレクタであることを特徴とする。請求項3に記載の発明によれば、被駆動部材にフォトリフレクタの反射面が形成されるので、位置検出手段の設置スペースを小さくすることができ、レンズ装置を小型化することができる。
本発明に係るレンズ装置によれば、駆動方向に延設された被駆動部材を利用して位置検出手段を設けたので、レンズ装置の変位量を正確に測定できるとともに、レンズ装置を小型化することができる。
以下、添付図面に従って本発明に係るレンズ装置の好ましい実施形態について説明する。図1は、本発明に係るレンズ装置の主要構成を示す斜視図である。同図に示すレンズ装置はケース本体12と蓋14とから成る箱型のケースを有し、ケース本体12の側面には固定レンズ16が取り付けられている。
ケース本体12の内部には二つのレンズ枠18、20が設けられ、この二つのレンズ枠18、20に、ズームレンズやフォーカスレンズ等の移動レンズが保持される。また、二つのレンズ枠18、20は、固定レンズ16の光軸と平行に配設された二本のガイド棒22、24によって、光軸方向にスライド自在に支持される。すなわち、レンズ枠18の外周面には、ガイド部23が突出形成されており、このガイド部23の貫通孔にガイド棒24が挿通されてガイドされるとともに、ガイド部23の反対側に突出形成された係合部(不図示)のU状溝にガイド棒22が係合されることによって、レンズ枠18が光軸方向にスライド自在に支持される。同様に、レンズ枠20の外周面には、ガイド部25が突出形成されており、このガイド部25の貫通孔にガイド棒22が挿通されてガイドされるとともに、ガイド部25の反対側に突出形成された係合部27のU状溝にガイド棒24が係合されることによって、レンズ枠20が光軸方向にスライド自在に支持される。
レンズ枠18、20にはそれぞれ被駆動板26、26が一体的に形成されている。被駆動板26は、細長い矩形状に形成されており、その長手方向が光軸と平行になるように配置されている。被駆動板26の材質等は特に限定されるものではないが、軽量で、且つ剛性の強い材質、例えばセラミック等が選択される。
各被駆動板26、26には、アクチュエータ30、30が配設されている。各アクチュエータ30、30は蓋14の開口部に嵌め込まれることによって固定される。
図2はアクチュエータ30の基本構造を説明する斜視図である。以下は、レンズ枠18を駆動するアクチュエータ30の例で説明するが、レンズ枠20を駆動するアクチュエータ30も同様に構成される。
図2に示すようにアクチュエータ30は主として、圧電素子32A、32B、駆動部材34A、34B、及び押えばね36によって構成される。圧電素子32A、32Bは、被駆動板26を挟んで両側に配置される。また、圧電素子32A、32Bは、その変位方向が被駆動板26の長手方向(すなわち駆動方向)になるように配置される。各圧電素子32A、32Bの変位方向の一方の端面には、ケースの蓋14(図1参照)に固定された押え板38A、38Bが配設され、もう一方の端面には駆動部材34A、34Bが一体的に取り付けられる。駆動部材34A、34Bは、略矩形のブロック状に形成されており、上述した被駆動板26と同様に、軽量で剛性の大きい材質、例えばセラミックで構成される。駆動部材34A、34Bには、被駆動板26に対面する側の反対側の側面に窪み35A、35Bが形成され、この窪み35A、35Bに押えばね36が係合される。押えばね36は、二つの駆動部材34A、34Bを挟み込む板ばねであり、この押えばね36の付勢力によって駆動部材34A、34Bが被駆動板26に押し付けられる。これにより、駆動部材34A、34Bが被駆動板26に摩擦係合される。駆動部材34A、34Bと被駆動板26との摩擦力は、後述するように、圧電素子32A、32Bに緩やかな電圧変化の駆動パルスを印加した際にその駆動力よりも摩擦力が大きくなるように、そして、圧電素子32A、32Bに急激な電圧変化の駆動パルスを印加した際にその駆動力よりも摩擦力が小さくなるように設定される。
なお、図2には、駆動部材34A、34Bを被駆動板26に付勢する付勢手段として押えばね36を用いた例を示したが、他の付勢手段、例えば圧縮ばねやゴム等の弾性体によって駆動部材34A、34Bを個別に付勢するようにしてもよい。
図3(A)、図3(B)は圧電素子32A、32Bに印加する駆動パルスの例を示したものである。図3(A)は、図2のレンズ枠18を左方向に移動させる際の駆動パルスであり、図3(B)は図2のレンズ枠18を右方向に移動させる際の駆動パルスである。
図3(A)、図3(B)に示すように、圧電素子32A、32Bには、同じ鋸歯状の駆動パルスが同時に印加される。例えば、図3(A)では、時刻β1から時刻β2にかけて緩やかに立ち上がり、時刻β3で急激に立ち下がる駆動パルスが圧電素子32A、32Bに印加される。したがって、時刻β1から時刻β2では、圧電素子32A、32Bが緩やかに伸長し、これに伴って駆動部材34A、34Bが緩やかに移動するので、被駆動板26は駆動部材34A、34Bとともに移動する。これにより、図2の被駆動板26を左方向に移動させることができる。時刻β3では、圧電素子32A、32Bが急激に縮むので、図2の駆動部材34A、34Bは右方向に移動する。その際、駆動部材34A、34Bが急激に移動するので、被駆動板26は慣性によってその位置に停止したまま、駆動部材34A、34Bだけが移動する。したがって、図3(A)に示した鋸歯状の駆動パルスを繰り返し印加することによって、図2の被駆動板26は左方向への移動と停止を繰り返すので、レンズ枠18を左方向に移動させることができる。
図3(B)に示す場合、時刻β4から時刻β5にかけて緩やかに立ち下がり、時刻β6で急激に立ち上がる駆動パルスが圧電素子32A、32Bに印加される。したがって、時刻β4から時刻β5では、圧電素子32A、32Bが緩やかに縮み、これに伴って駆動部材34A、34Bが緩やかに移動するので、被駆動板26は駆動部材34A、34Bとともに移動する。これにより、図2の被駆動板26を右方向に移動させることができる。時刻β6では、圧電素子32A、32Bが急激に伸長するので、駆動部材34A、34Bは図2の右方向に移動する。その際、駆動部材34A、34Bが急激に移動するので、被駆動板26は慣性によってその位置に停止したまま、駆動部材34A、34Bだけが移動する。したがって、図3(B)に示した鋸歯状の駆動パルスを繰り返し印加することによって、図2の被駆動板26は右方向への移動、停止を繰り返すので、レンズ枠18を右方向に移動させることができる。
ところで、本実施の形態のレンズ装置には、図4に示すように、レンズ枠18、20の位置を検出する位置検出手段が設けられている。レンズ枠18の位置を検出する位置検出手段としては、反射型のフォトリフレクタ40が用いられ、レンズ枠20の位置を検出する位置検出手段としては透過型のフォトインタラプタ42が用いられている。また、図5には、図4のレンズ装置の正面図が示されている。
フォトインタラプタ42は、レンズ枠18と一体の被駆動板26に沿ってアクチュエータ30に並んで配置されている。また、フォトインタラプタ42は、門型状に形成され、下部が二つに別れており、その一方に発光部が設けられ、もう一方に受光部が設けられる。そして、この発光部と受光部との間に被駆動板26が挿脱されるようになっている。すなわち、アクチュエータ30を駆動すると、被駆動板26は光軸方向に駆動され、その先端が発光部と受光部との間に挿脱される。したがって、フォトインタラプタ42の発光部から受光部に向けて投光し、その光を受光部で受光して光量を検出することによって、被駆動板26の位置を検出することができる。
上記の如く構成された位置検出手段は、被駆動板26がフォトインタラプタ42用の遮光体を兼ねているので、遮光体を新たに設ける必要がない。また、アクチュエータ30によって駆動する被駆動板26の位置をフォトインタラプタ42で直接検出しているので、位置検出を正確に行うことができる。
一方、フォトリフレクタ40は、レンズ枠20と一体の被駆動板26に沿ってアクチュエータ30に並んで配置されている。フォトリフレクタ40は、投光部と受光部を有し、投光部から発した光の反射光を受光部で受光し、その光量を検出するように構成されている。また、フォトリフレクタ40は、ケースの蓋14(図1参照)に取り付けられた支持部材44に支持され、被駆動板26に対向して配置される。
被駆動板26のフォトリフレクタ40側の面には、反射板46が取り付けられている。反射板46には、複数の反射体48が被駆動板26の長手方向に一定間隔で配設されている。したがって、フォトリフレクタ40で反射板46の反射体48を検出することによって、被駆動板26の移動量を検出することができる。
上記の如く構成された位置検出手段は、被駆動板26に反射板46を設けているので、フォトリフレクタ40用の反射部材を新たに設ける必要がない。また、アクチュエータ30によって駆動する被駆動板26の位置をフォトリフレクタ40で直接検出しているので、位置検出を正確に行うことができる。
次に上記の如く構成されたレンズ装置の作用について説明する。
図6は、比較例のレンズ装置として、位置検出手段を一般の方法で取り付けたレンズ装置の正面図を示している。同図に示すレンズ装置は、位置検出手段であるフォトリフレクタ40とフォトインタラプタ42が、下方の空いたスペースに配置されている。フォトリフレクタ40はL状の支持部材52を介してケース本体12(図1参照)に固定され、フォトインタラプタ42はケース本体12(図1参照)に直接固定されている。フォトインタラプタ42に挿脱される遮光体50はレンズ枠20に一体的に形成されており、光軸方向に延設されている。一方、フォトリフレクタ40用の反射板46は、レンズ枠18に一体形成された支持部材54に支持されており、この支持部材54と反射板46は光軸方向に延設されている。
したがって、図6のレンズ装置は、遮光体50と反射板46の支持部材54が光軸方向に延設されており、大きなスペースが必要になる。さらに、遮光体50と支持部材54は、レンズ枠18、20に一体的に形成されており、レンズ枠18、20とともに光軸方向に移動するため、そのスペースも確保する必要がある。したがって、図6のレンズ装置は、レンズ枠18、20の下方に大きなスペースを必要とし、レンズ装置が大型化するという問題があった。
これに対し、図4及び図5に示した本実施の形態のレンズ装置は、光軸方向に延設された被駆動板26を利用して位置検出手段を構成している。すなわち、レンズ枠18側の位置検出手段は、被駆動板26がフォトインタラプタ42用の遮光体を兼ねており、レンズ枠20側の位置検出手段は、被駆動板26にフォトリフレクタ40用の反射板46を設けている。したがって、図6に示した遮光体50や反射板46の支持部材54が不要になるので、レンズ装置を小型化することができる。
このように本実施の形態のレンズ装置によれば、被駆動板26を利用して位置検出手段を構成したので、位置検出手段の設置スペースを小さくすることができ、レンズ装置を小型化することができる。さらに、本実施の形態では、フォトインタラプタ42やフォトリフレクタ40を、アクチュエータ30の隣の空いたスペースに配置しているので、レンズ装置をより小型化することができる。
また、本実施の形態では、アクチュエータ30によって移動させた被駆動板26の位置を、フォトインタラプタ42やフォトリフレクタ40で直接検出しているので、被駆動板26の移動量を正確に測定することができる。したがって、フォトリフレクタ40やフォトインタラプタ42の検出値に基づいてアクチュエータ30を制御することによって、レンズ枠18、20の駆動制御を精度良く行うことができる。
なお、上述した実施の形態は、レンズ枠18の位置検出手段としてフォトリフレクタ40を用い、レンズ枠20の位置検出手段としてフォトインタラプタ42を用いたが、これに限定するものではなく、両方ともフォトリフレクタ40を用いたり、フォトインタラプタ42を用いたりしてもよい。
また、上述した実施の形態は、圧電素子32A、32Bに略鋸歯状の駆動パルスを印加するようにしたが、印加する駆動パルスの形状はこれに限定するものではない。例えば図7(A)、図7(B)に示す駆動パルスを印加するようにしてもよい。図7(A)の場合、圧電素子34Aには、時刻α1から時刻α2にかけて緩やかに立ち上がり、時刻α3で急激に立ち下がる略鋸歯状の駆動パルスの電圧を印加しており、圧電素子34Bには、時刻α1から時刻α2にかけて緩やかに立ち上がり、時刻α4で急激に立ち下がる略鋸歯状の駆動パルスの電圧を印加している。したがって、圧電素子34Aが急激に縮むタイミングと圧電素子34Bが急激に縮むタイミングが、時刻α3と時刻α4の間隔だけずれている。同様に、図7(B)の場合、圧電素子34Aには、時刻α5から時刻α6にかけて緩やかに立ち下がり、時刻α7で急激に立ち上がる略鋸歯状の駆動パルスの電圧を印加しており、圧電素子34Bには、時刻α5から時刻α6にかけて緩やかに立ち下がり、時刻α8で急激に立ち上がる略鋸歯状の駆動パルスの電圧を印加している。したがって、圧電素子34Aが急激に伸長するタイミングと圧電素子34Bが急激に伸長するタイミングが、時刻α7と時刻α8の間隔だけずれている。
このように圧電素子34A、34Bが急激に変形するタイミングをずらした場合、駆動部材36Aが急激に移動する際には駆動部材36Bが停止しており、駆動部材36Bが急激に移動する際には駆動部材36Aが停止している。このため、被駆動板26は駆動部材36A、36Bにつられて移動しにくくなり、被駆動板26を確実に停止させておくことができる。よって、上記の駆動パルスの如く電圧を印加することによって、被駆動板26の移動と停止を確実に制御することができ、被駆動板30の駆動制御を正確に行うことができる。
なお、上述したレンズ装置の用途としては、例えばデジタルカメラや携帯電話等の小型精密機器に適用することができる。特に携帯電話は、3V以下の低い電圧で駆動する必要があるが、本発明のレンズ装置を用いることによって、20kHz程度の高周波であっても駆動することができ、レンズ枠18、20を2mm/s以上の高速度で移動させることができる。よって、10mm程度の移動が必要となるズームレンズであっても、迅速に移動させることができる。
18、20…レンズ枠、32A、32B…圧電素子、34A、34B…駆動部材、36…押えばね、40…フォトリフレクタ、42…フォトインタラプタ
Claims (3)
- 圧電素子と、該圧電素子に一体的に取り付けられた駆動部材と、該駆動部材に摩擦係合されるとともに駆動方向に沿って延設された被駆動部材と、該被駆動部材に一体的に取り付けられるとともに前記圧電素子の動力により光軸方向に移動されるレンズ枠とを備えたレンズ装置において、
前記レンズ枠の位置を検出する位置検出手段が前記被駆動部材を用いて形成されることを特徴とするレンズ装置。 - 前記位置検出手段は、前記被駆動部材を遮光体とする透過型のフォトインタラプタであることを特徴とする請求項1に記載のレンズ装置。
- 前記位置検出手段は、前記被駆動部材に反射面が形成された反射型のフォトリフレクタであることを特徴とする請求項1に記載のレンズ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004175651A JP2005352394A (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | レンズ装置 |
US11/148,384 US7646137B2 (en) | 2004-06-11 | 2005-06-09 | Actuator and its control method and lens device |
EP05012579A EP1605290A3 (en) | 2004-06-11 | 2005-06-10 | Piezoelectric actuator, its control method and a lens device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004175651A JP2005352394A (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | レンズ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005352394A true JP2005352394A (ja) | 2005-12-22 |
JP2005352394A5 JP2005352394A5 (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=35586896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004175651A Withdrawn JP2005352394A (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-14 | レンズ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005352394A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010097216A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Samsung Techwin Co Ltd | レンズ駆動ユニット及びこれを備えるカメラモジュール |
JP2011239677A (ja) * | 2007-05-29 | 2011-11-24 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 圧電アクチュエータとこれを有するレンズ移送装置 |
JP2013532843A (ja) * | 2010-07-15 | 2013-08-19 | ニューポート・コーポレイション | 絶対位置フィードバックを用いて調整可能な光学マウント |
US9425711B2 (en) | 2014-04-15 | 2016-08-23 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
US10161560B2 (en) | 2015-01-29 | 2018-12-25 | Newport Corporation | Integrated picomotor mount |
JP2019086686A (ja) * | 2017-11-08 | 2019-06-06 | キヤノン株式会社 | 撮像ユニット及び撮像装置 |
JP2022506125A (ja) * | 2018-10-30 | 2022-01-17 | ホアウェイ・テクノロジーズ・カンパニー・リミテッド | 撮像装置と情報端末 |
-
2004
- 2004-06-14 JP JP2004175651A patent/JP2005352394A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011239677A (ja) * | 2007-05-29 | 2011-11-24 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 圧電アクチュエータとこれを有するレンズ移送装置 |
JP2010097216A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Samsung Techwin Co Ltd | レンズ駆動ユニット及びこれを備えるカメラモジュール |
JP2013532843A (ja) * | 2010-07-15 | 2013-08-19 | ニューポート・コーポレイション | 絶対位置フィードバックを用いて調整可能な光学マウント |
US9425711B2 (en) | 2014-04-15 | 2016-08-23 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
US10389276B2 (en) | 2014-04-15 | 2019-08-20 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
US10161560B2 (en) | 2015-01-29 | 2018-12-25 | Newport Corporation | Integrated picomotor mount |
JP2019086686A (ja) * | 2017-11-08 | 2019-06-06 | キヤノン株式会社 | 撮像ユニット及び撮像装置 |
JP7005295B2 (ja) | 2017-11-08 | 2022-01-21 | キヤノン株式会社 | 撮像ユニット及び撮像装置 |
JP2022506125A (ja) * | 2018-10-30 | 2022-01-17 | ホアウェイ・テクノロジーズ・カンパニー・リミテッド | 撮像装置と情報端末 |
JP7267414B2 (ja) | 2018-10-30 | 2023-05-01 | ホアウェイ・テクノロジーズ・カンパニー・リミテッド | 撮像装置と情報端末 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7646137B2 (en) | Actuator and its control method and lens device | |
EP1605529B1 (en) | Piezoelectric actuator | |
JP3909066B2 (ja) | レンズ駆動装置 | |
JP2007049879A (ja) | アクチュエータ | |
EP1752806B1 (en) | Actuator and lens drive apparatus | |
US5745800A (en) | Camera shake compensation device | |
JP2007049874A (ja) | アクチュエータ | |
JP2007053826A (ja) | アクチュエータ | |
JPH11155292A (ja) | 電気機械変換素子を用いた駆動機構 | |
JP2006330053A (ja) | レンズ鏡胴 | |
JP2007049875A (ja) | アクチュエータ | |
JP2006330054A (ja) | レンズ鏡胴 | |
JP2007114707A (ja) | レンズ装置 | |
KR100526242B1 (ko) | 이송장치 | |
JP2006054979A (ja) | アクチュエータ | |
JP2007049873A (ja) | アクチュエータ | |
JP2005352394A (ja) | レンズ装置 | |
JP2005354866A (ja) | アクチュエータ | |
JP2005354829A (ja) | アクチュエータ及びその制御方法 | |
JP2007049876A (ja) | アクチュエータ | |
TWI437353B (zh) | 驅動裝置 | |
JP2005354832A (ja) | アクチュエータ | |
JP4809016B2 (ja) | アクチュエータ | |
KR101173341B1 (ko) | 빔 프로젝터의 초점 조절 장치 | |
JP2005354867A (ja) | アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070118 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070201 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20090318 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |