JP2005349446A - レーザ穴あけ加工方法 - Google Patents
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Abstract
出口直径が入口直径(以下、Rという。)の2分の1以下というテーパ状の穴を加工する。
【解決手段】
ガウス分布のビーム径(以下、rという。)をRの8分の3とした紫外線レーザを用い、ビーム中心を、所定の穴位置からRの約6分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行い、ビーム中心を、所定の穴位置から(R−r)/2の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行う、ビーム中心を、所定の穴位置からRの約20分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行う、ビーム中心を、所定の穴位置からRの約10分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行う、所定の穴位置にバースト加工で穴を貫通させる。
【選択図】図5
Description
この発明は、上記従来技術の問題点を解決することを課題とする。
第1ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約6分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する(以下、サークル加工という。)、
第2ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置から(R−r)/2の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行う、
第3ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約20分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行う、
第4ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約10分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心としてサークル加工を行う、
第5ステップ:所定の穴位置に連続パルス照射して(以下、バースト加工という。)、穴を貫通させる、
という各ステップの順に加工することによりテーパ状の貫通穴の加工を解決することができる。
また、上記第5ステップを、
第5ステップ:デスミア処理により金属層を露出させる、
というステップに変更することにより、テーパ状の底付き穴の加工を解決することができる。
ガウス分布のビーム径rを所定入口直径Rの8分の3とした紫外線レーザを用いる。ここで、ガウス分布のレーザビーム径は、エネルギーが1/e2になるところで定義される。
金属層1:銅 5μm厚、
絶縁樹脂層2:ビスマレイド−トリアジン 100μm、
金属層3:銅 5μm、
紫外線レーザ:波長 355nm、ビーム直径 37.5μm、ビームエネルギー 100μJ/パルス、パルス幅 25ns、繰り返し周波数 25kHz、
ステップ1:r1=16.5μm、照射ピッチ 4μm、26ショット(1周)、
ステップ2:r2=31.25μm、照射ピッチ 4μm、49ショット(1周)、
ステップ3:r3=5μm、照射ピッチ 1.3μm、25ショット(1周)、
ステップ4:r4=9.5μm、照射ピッチ 2.4μm、25ショット(1周)、
ステップ5:バースト加工10ショット。
これにより、入口直径100μm±10μm、出口直径25μm±5μmの加工精度であけることができた。
2・・・絶縁樹脂層
3・・・金属層
Claims (2)
- 絶縁樹脂層の両側に金属層を有する基板に、出口直径が入口直径(R)の2分の1以下のテーパ状の貫通穴をレーザを用いてあけるレーザ穴あけ加工方法において、ガウス分布のビーム径(r)をRの8分の3とした紫外線レーザを用い、
第1ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約6分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第2ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置から(R−r)/2の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第3ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約20分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第4ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約10分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第5ステップ:所定の穴位置に、連続パルス照射して穴を貫通させる、
という各ステップの順に加工することを特徴とするレーザ穴あけ加工方法。 - 絶縁樹脂層の両側に金属層を有する基板に、出口直径が入口直径(R)の2分の1以下のテーパ状の底付き穴をレーザを用いてあけるレーザ穴あけ加工方法において、ガウス分布のビーム径(r)をRの8分の3とした紫外線レーザを用い、
第1ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約6分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第2ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置から(R−r)/2の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第3ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約20分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第4ステップ:ビーム中心を、所定の穴位置からRの約10分の1の半径だけシフトし、穴位置を中心として、ビーム外周包絡線が円に近くなるようなピッチで連続パルス照射しながら一周する、
第5ステップ:デスミア処理により金属層を露出させる、
という各ステップの順に加工することを特徴とするレーザ穴あけ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004174199A JP2005349446A (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-11 | レーザ穴あけ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004174199A JP2005349446A (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-11 | レーザ穴あけ加工方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005349446A true JP2005349446A (ja) | 2005-12-22 |
Family
ID=35584332
Family Applications (1)
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JP2004174199A Pending JP2005349446A (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-11 | レーザ穴あけ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005349446A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007294743A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Hitachi Cable Ltd | 光モジュール及びその製造方法 |
CN102513779A (zh) * | 2012-01-06 | 2012-06-27 | 南车成都机车车辆有限公司 | 一种风扇内锥孔加工方法 |
CN106166648A (zh) * | 2015-09-01 | 2016-11-30 | 深圳光韵达光电科技股份有限公司 | 一种激光钻孔加工方法 |
-
2004
- 2004-06-11 JP JP2004174199A patent/JP2005349446A/ja active Pending
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