JP2005345364A - Alignment mechanism for measuring optical component - Google Patents

Alignment mechanism for measuring optical component Download PDF

Info

Publication number
JP2005345364A
JP2005345364A JP2004167392A JP2004167392A JP2005345364A JP 2005345364 A JP2005345364 A JP 2005345364A JP 2004167392 A JP2004167392 A JP 2004167392A JP 2004167392 A JP2004167392 A JP 2004167392A JP 2005345364 A JP2005345364 A JP 2005345364A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
light
alignment
optical
optical system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004167392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Kurose
実 黒瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujinon Corp
Original Assignee
Fujinon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujinon Corp filed Critical Fujinon Corp
Priority to JP2004167392A priority Critical patent/JP2005345364A/en
Publication of JP2005345364A publication Critical patent/JP2005345364A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent substantially occurrence of fluctuation of an optical axis after angle alignment by preventing movement of an enlarging optical system when performing the angle alignment. <P>SOLUTION: When performing the angle alignment of a lens 1 to be inspected, in order to take an optical path detouring around the enlarging optical system 6, an optical path detouring optical reflection unit 11 comprising four reflecting mirrors 11a-11d is moved to an angle detection position, and alignment light is reflected by a flat part 1b of the lens 1 to be inspected, and a point image is formed on a solid imaging element 7a through a condensing lens 7b, to thereby perform angle adjustment by an inclination adjusting means 2. Then, when performing in-plane position alignment, the optical path detouring optical reflection unit 11 is removed from the optical path, and the alignment light from a light source means 8 for transmission is allowed to enter the lens surface 1a of the lens 1 to be inspected, and its transmitted light is allowed to pass the enlarging optical system 6. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えばＣＤやＤＶＤ等のピックアップレンズ等として用いられる光学部品の集光性能を測定する測定装置において、光学部品としての被検レンズとその測定手段との間をアライメントするための機構に関するものである。   The present invention relates to a mechanism for aligning a test lens as an optical component and its measuring means in a measuring apparatus that measures the light condensing performance of an optical component used as a pickup lens such as a CD or DVD. Is.

光学部品として、例えばＣＤ，ＤＶＤといった情報記録媒体については、近年益々記録情報の高密度化が図られるようになってきており、このために情報の読み書きを行なうためのピックアップ装置に装着されるピックアップレンズは情報記録面に対して極めて微小な光スポットとなるように集光させる必要がある。このために、このピックアップレンズにおける光スポットの強度分布を計測する装置が開発されている。その一例として、特許文献１に、光ピックアップ装置に用いられるピックアップレンズを被検レンズとして、この被検レンズにより集光されるスポット像を拡大光学系により拡大させて、ＣＣＤカメラに撮像することによって、その強度分布を測定する測定装置及び測定方法が提案されている。   As an optical component, for example, information recording media such as CDs and DVDs have been increasingly used in recent years to increase the density of recorded information. For this purpose, a pickup mounted on a pickup device for reading and writing information. It is necessary to focus the lens so that it becomes a very small light spot with respect to the information recording surface. Therefore, an apparatus for measuring the intensity distribution of the light spot in this pickup lens has been developed. As an example, in Patent Document 1, a pickup lens used in an optical pickup device is used as a test lens, and a spot image collected by the test lens is enlarged by a magnifying optical system and captured by a CCD camera. A measuring apparatus and a measuring method for measuring the intensity distribution have been proposed.

この特許文献１においては、測定用の拡大光学系の一部を構成する低倍率及び高倍率の対物レンズとをレボルバに装着して、被検レンズが載置される支持ステージに対向するように配設して、この対物レンズの光路に結像レンズを配すると共に、光路を分岐させるハーフミラーが設けられる。そして、ハーフミラーにより分岐させた光路には、それぞれ測定用カメラとアライメント用カメラとが設けられている。被検レンズを支持ステージに載置して、この被検レンズから測定用カメラまでの光軸を一致させ、かつ被検レンズからのスポット光が測定用カメラにおける画角の中心に位置するようにアライメントを行なった上で、この被検レンズからのスポット光を測定用カメラにより拡大して撮影するようにしている。   In this patent document 1, a low-magnification and high-magnification objective lens that constitutes a part of a magnifying optical system for measurement is mounted on a revolver so as to face a support stage on which a test lens is placed. A half mirror is provided to dispose the imaging lens in the optical path of the objective lens and to branch the optical path. A measuring camera and an alignment camera are respectively provided on the optical paths branched by the half mirror. The test lens is placed on the support stage, the optical axes from the test lens to the measurement camera are aligned, and the spot light from the test lens is positioned at the center of the angle of view of the measurement camera. After alignment, the spot light from the lens to be examined is enlarged and photographed by a measuring camera.

ここで、アライメントは、光軸の傾きと、光軸と直交する面内での位置との調整を行なうことになる。光軸の傾きを検出するために、被検レンズにおけるレンズ面の外周に形成されている平坦な環状面（通常、この環状面は光ピックアップ装置として構成したときに、レンズホルダに装着される部位）にアライメント光を反射させて、この反射光をアライメントカメラにより撮影する。この光軸の傾きを検出する角度アライメントを正確に行なうために、アライメントカメラにはスポット像を結像させるようにしている。ただし、被検レンズの環状面に反射させることから、この被検レンズに入射されるアライメント光は平行光であり、かつその反射光も平行光とする必要がある。このように、アライメント光を被検レンズに入射及び反射させる際には、レボルバの位置を通過することになるので、レボルバには前述した２種類の対物レンズが装着されるだけでなく、透孔が形成される。そして、角度アライメントを行なう際には、その光路に透孔を配置して、平行光のままでレボルバを通過させるようにしている。   Here, the alignment is performed by adjusting the inclination of the optical axis and the position in the plane orthogonal to the optical axis. In order to detect the inclination of the optical axis, a flat annular surface formed on the outer periphery of the lens surface of the lens to be examined (usually a portion that is attached to the lens holder when this annular surface is configured as an optical pickup device) ) Is reflected, and the reflected light is photographed by the alignment camera. In order to accurately perform angle alignment for detecting the inclination of the optical axis, a spot image is formed on the alignment camera. However, since the light is reflected on the annular surface of the test lens, the alignment light incident on the test lens is parallel light, and the reflected light also needs to be parallel light. As described above, when the alignment light is incident on and reflected from the lens to be measured, the revolver passes through the position of the revolver. Is formed. When angle alignment is performed, a through hole is arranged in the optical path so that the revolver can pass through as parallel light.

これに対して、光軸と直交する面内での位置調整、つまり平面内位置アライメントを行なう際には、測定用カメラを用い、被検レンズに光源からの光を透過させる。従って、被検レンズにより所定の位置に焦点を結ばせるようになし、レボルバに装着した対物レンズの焦点位置を被検レンズの焦点位置と一致させる。そして対物レンズから出射された光を結像レンズ及びリレーレンズを介して測定用カメラにスポット像として結像させる。従って、この平面内位置アライメントは対物レンズ、具体的には高倍率対物レンズを光路に臨ませることになるために、角度アライメントを行なった後にレボルバを所定角度回動させるように操作することになる。
特開２００４−４５３２７号公報 On the other hand, when performing position adjustment in a plane orthogonal to the optical axis, that is, in-plane position alignment, a measurement camera is used to transmit light from the light source to the lens to be measured. Therefore, the test lens is made to focus on a predetermined position, and the focus position of the objective lens mounted on the revolver is matched with the focus position of the test lens. Then, the light emitted from the objective lens is imaged as a spot image on the measurement camera via the imaging lens and the relay lens. Therefore, in this in-plane position alignment, since the objective lens, specifically, the high-magnification objective lens faces the optical path, the revolver is operated to rotate a predetermined angle after performing the angle alignment. .
JP 2004-45327 A

ところで、前述した特許文献１のように、対物レンズをレボルバに装着して、この対物レンズを被検レンズからの光路に進退させるように構成した場合、このレボルバは、その透孔を光路に臨ませた状態から、対物レンズを光路に臨ませるように回動させるように変位させる。このときに、対物レンズの位置決め精度等の問題から、角度アライメント時から動かしたときに光軸のずれが生じる可能性がある。たとえ角度アライメント時に被検レンズの光軸を対物レンズから測定用カメラまでの光軸に対する傾きを一度正確に補正しても、レボルバを回動させることにより再び光軸が傾いたり、ずれたりする可能性がある。勿論、レボルバを高精度に組み立てることにより、角度アライメント後における光軸の変動をある程度は抑制できるが、被検レンズの測定精度をより向上させるために、被検レンズのスポット形状を極めて高い倍率で観察する場合には、レボルバの操作による光軸の変動の影響が無視し得ない程度のものとなってしまう。   By the way, when the objective lens is attached to the revolver and the objective lens is advanced and retracted in the optical path from the test lens as in Patent Document 1 described above, the revolver has its through hole in the optical path. From this state, the objective lens is displaced so as to rotate so as to face the optical path. At this time, due to problems such as the positioning accuracy of the objective lens, there is a possibility that the optical axis shifts when moved from the angle alignment. Even if the optical axis of the lens to be tested is accurately corrected once with respect to the optical axis from the objective lens to the measurement camera during angular alignment, the optical axis can be tilted or shifted again by rotating the revolver. There is sex. Of course, by assembling the revolver with a high degree of accuracy, fluctuations in the optical axis after angular alignment can be suppressed to some extent, but in order to further improve the measurement accuracy of the test lens, the spot shape of the test lens can be set at an extremely high magnification. When observing, the influence of the fluctuation of the optical axis due to the operation of the revolver is not negligible.

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、角度アライメントを行なう際に、拡大用光学系を動かさないようにすることによって、角度アライメント後における光軸の変動が実質的に発生しないようにすることにある。   The present invention has been made in view of the above points. The object of the present invention is to prevent the optical axis after angle alignment from moving when the angle alignment is performed. The purpose is to prevent substantial fluctuations.

前述した目的を達成するために、本発明は、載置台上に載置した被検レンズのスポット像を拡大光学系により拡大させて撮像手段で撮像することによりその測定を行なうに当って、前記被検レンズと前記拡大光学系との間のアライメントを行なうアライメント機構であって、前記載置台は少なくとも傾き方向及びその光軸と直交する平面内の位置を調整可能なものであり、前記載置台に載置された前記被検レンズの角度アライメント手段及び平面内位置アライメント手段を備え、前記角度アライメント手段は少なくとも４面の反射面を有する光路迂回用光反射ユニットからなり、この光路迂回用光反射ユニットは、その両端に位置する反射面を前記拡大光学系を挟んだ前後に配置させて前記拡大光学系を迂回する光路を形成する角度検出位置と、前記拡大光学系を通る光路を形成する退避位置との間に移動可能な構成としたことをその特徴とするものである。   In order to achieve the above-described object, the present invention performs the measurement by enlarging the spot image of the lens to be tested placed on the mounting table by the magnifying optical system and taking the image with the imaging means. An alignment mechanism for performing alignment between a test lens and the magnifying optical system, wherein the mounting table is capable of adjusting at least a tilt direction and a position in a plane perpendicular to the optical axis, An angle alignment means and an in-plane position alignment means for the test lens mounted on the optical path, the angle alignment means comprising an optical path detouring light reflection unit having at least four reflecting surfaces, and this optical path detouring light reflection The unit is an angle detection position that forms an optical path that bypasses the magnifying optical system by disposing the reflecting surfaces located at both ends thereof before and after the magnifying optical system. Is intended to its characterized in that a movable structure between a retracted position that forms an optical path through said enlarging optical system.

要するに、平面内位置アライメントの前段階で、角度アライメントを行なうが、アライメント時には拡大光学系から撮像手段までの各部材の位置関係を固定的に保持する。アライメント時には、平行光を必要とすることから、拡大光学系を介さないで被検レンズにアライメント光を導く際には、拡大光学系を迂回する光路を取るように設定する。このために光路迂回用光反射ユニットが用いられる。この光路迂回用光反射ユニットは、４つ以上で、偶数の反射面を有する構成とする。従って、４枚の反射ミラーで構成するのが最も望ましい。ただし、拡大光学系の構造や配置によっては、４枚以上の反射ミラーを用いることができる。そして、この光路迂回用光反射ユニットは拡大光学系の光軸と直交する方向に移動可能な構成とする。また、４つの反射面のうち、２面はプリズムで構成し、第１段反射面と最終段反射面を反射ミラーで構成することもできる。いずれにしろ、光路を迂回させるための各反射面の反射面は、光路に進退させる際に、相対角度等が変化しないように固定的に保持されていなければならない。   In short, angle alignment is performed before the in-plane position alignment, but the positional relationship of each member from the magnifying optical system to the imaging means is fixedly held during alignment. Since parallel light is required at the time of alignment, when the alignment light is guided to the lens to be examined without going through the magnifying optical system, an optical path that bypasses the magnifying optical system is set. For this purpose, an optical path detouring light reflection unit is used. The number of the light path detouring light reflection units is four or more and has an even number of reflection surfaces. Therefore, it is most desirable to use four reflecting mirrors. However, depending on the structure and arrangement of the magnifying optical system, four or more reflecting mirrors can be used. The optical path detouring light reflecting unit is configured to be movable in a direction perpendicular to the optical axis of the magnifying optical system. In addition, two of the four reflecting surfaces may be configured by prisms, and the first-stage reflecting surface and the final-stage reflecting surface may be configured by reflecting mirrors. In any case, the reflecting surface of each reflecting surface for detouring the optical path must be fixedly held so that the relative angle or the like does not change when moving forward and backward in the optical path.

光路迂回用光反射ユニットは拡大光学系と被検レンズとの間に進退させて、角度検出位置と退避位置との間に変位させる。拡大光学系と被検レンズとの間に光路迂回用光反射ユニットが進入する際に、これら各部材が干渉しないように移動させるようにする。光路迂回用光反射ユニットを通る光は平行光であることから、被検レンズが載置される載置台を拡大光学系の光軸方向に移動可能な構成とすることにより、光路迂回用光反射ユニットの光路への進退時にこの光路迂回用光反射ユニットが被検レンズ及び拡大光学系等と干渉するおそれはない。   The light path detouring light reflecting unit is moved back and forth between the magnifying optical system and the lens to be tested, and is displaced between the angle detection position and the retracted position. When the optical path detouring light reflecting unit enters between the magnifying optical system and the test lens, these members are moved so as not to interfere with each other. Since the light passing through the optical path detouring light reflection unit is parallel light, the optical path detouring light reflection is achieved by adopting a configuration in which the mounting table on which the test lens is mounted can be moved in the optical axis direction of the magnifying optical system. There is no possibility that the light path detouring light reflection unit interferes with the lens to be examined, the magnifying optical system, and the like when the unit moves forward and backward.

角度アライメントを行なう際に、光路迂回用光反射ユニットを拡大光学系を含む光路に臨ませることによって、アライメント時に拡大光学系等の部材を移動させる必要がなくなり、もって角度アライメント終了後に被検レンズとその測定手段との間における光軸の傾きやずれが生じることはない。   When angle alignment is performed, it is not necessary to move members such as the magnifying optical system during alignment by having the light path detouring light reflecting unit face the optical path including the magnifying optical system, and therefore, after the angle alignment is completed, There is no tilting or deviation of the optical axis between the measuring means.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２に被検レンズの光スポットの強度分布を測定する装置におけるアライメント機構概略構成を示す。ここで、図１は角度アライメントを行なっている状態が示されており、また図２は平面内位置アライメントを行なっている状態が示されている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show a schematic configuration of an alignment mechanism in an apparatus for measuring the intensity distribution of the light spot of the lens to be examined. Here, FIG. 1 shows a state where angle alignment is performed, and FIG. 2 shows a state where in-plane position alignment is performed.

図中において、１は光学部品としての被検レンズであり、被検レンズ１は曲面形状（球面若しくは非球面）となったレンズ面１ａと、このレンズ面１ａの周囲に形成した円環状の平面部１ｂとを有するものである。被検レンズ１は傾き調整手段２上に着脱可能に設置されるようになっている。この傾き調整手段２は、例えば圧電素子等からなるアクチュエータを有し、その上に設置された被検レンズ１を所望の方向に微小角度傾けることができる構成としている。この傾き調整手段２は載置台３上に設けられている。載置台３は被検レンズ１を支持するためのものであり、この被検レンズ１は、その平面部１ｂが傾き調整手段２に当接するようにして載置される。そして、このときにレンズ面１ａが位置する部位は透孔３ａとなっている。載置台３はＺ軸調整手段を構成する昇降ガイド４に沿って上下方向に向けて移動するようになっており、またこの昇降ガイド４は平面内位置調整手段５によって水平面内での直交２軸（Ｘ，Ｙ軸）方向に移動可能となっている。この平面位置内調整手段５はＸ軸テーブル５ＸとＹ軸テーブル５Ｙとから構成される。   In the figure, reference numeral 1 denotes a test lens as an optical component. The test lens 1 has a curved lens surface (spherical or aspherical surface), and an annular plane formed around the lens surface 1a. Part 1b. The test lens 1 is detachably installed on the tilt adjusting means 2. This inclination adjusting means 2 has an actuator made of, for example, a piezoelectric element, and is configured to be able to incline the lens 1 to be tested mounted thereon by a minute angle in a desired direction. The inclination adjusting means 2 is provided on the mounting table 3. The mounting table 3 is for supporting the test lens 1, and the test lens 1 is mounted such that the flat surface portion 1 b abuts against the inclination adjusting means 2. At this time, the portion where the lens surface 1a is located is a through hole 3a. The mounting table 3 moves in the vertical direction along an elevating guide 4 that constitutes a Z-axis adjusting means. The elevating guide 4 is orthogonally biaxial in a horizontal plane by an in-plane position adjusting means 5. It is movable in the (X, Y axis) direction. The in-plane position adjusting means 5 includes an X-axis table 5X and a Y-axis table 5Y.

６は例えば顕微鏡対物レンズ等からなる拡大光学系であって、この拡大光学系６は被検レンズ１のスポット像を、例えば２０００倍乃至それ以上の倍率となるように拡大できるようにしている。また、７は測定手段であり、この測定手段７は、固体撮像素子（ＣＣＤ）７ａと、集光レンズ７ｂとから構成され、拡大光学系６で拡大された被検レンズ１のスポット像を集光レンズ７ｂによって固体撮像素子７ａに集光させるようになっており、この固体撮像素子７ａ上に点像として結像されることになる。   Reference numeral 6 denotes a magnifying optical system composed of, for example, a microscope objective lens and the like. The magnifying optical system 6 is capable of magnifying the spot image of the lens 1 to be examined to a magnification of, for example, 2000 times or more. Reference numeral 7 denotes measurement means. The measurement means 7 is composed of a solid-state imaging device (CCD) 7a and a condenser lens 7b, and collects a spot image of the lens 1 to be examined that has been magnified by the magnification optical system 6. The light lens 7b focuses the light on the solid-state image sensor 7a, and the image is formed as a point image on the solid-state image sensor 7a.

８は透過用光源手段であって、透過用光源手段８は、光源としてのレーザダイオード８ａとコリメータレンズ８ｂ及び反射ミラー８ｃとから構成される。この透過用光源手段８は被検レンズ１の図中下方に配置されている。そして、レーザダイオード８ａからの光は、コリメータレンズ８ｂにより平行光束化されて、反射ミラー８ｃを経て載置台３に形成した透孔３ａから被検レンズ１のレンズ面１ａに向けてアライメント光として入射される。その結果、被検レンズ１のレンズ面１ａを透過した光は焦点位置Ｆにおいてスポット像として集光される。そして、この被検レンズ１の焦点位置Ｆに拡大光学系６の焦点位置となるように配置される。さらに、この拡大光学系６により拡大されたスポット像は測定手段７に導かれ、この測定手段７を構成する集光レンズ７ｂによって固体撮像素子７ａに点像として結像されることになる。ここで、透過用光源手段８からの光は平面内位置アライメントを行なう際と、測定時とに使用されるものである。   Reference numeral 8 denotes a transmissive light source means. The transmissive light source means 8 includes a laser diode 8a as a light source, a collimator lens 8b, and a reflection mirror 8c. The transmission light source means 8 is disposed below the lens 1 to be tested in the figure. Then, the light from the laser diode 8a is collimated by the collimator lens 8b, and is incident as alignment light from the through hole 3a formed in the mounting table 3 through the reflecting mirror 8c toward the lens surface 1a of the lens 1 to be examined. Is done. As a result, the light transmitted through the lens surface 1a of the lens 1 to be examined is condensed as a spot image at the focal position F. And it arrange | positions so that it may become a focus position of the expansion optical system 6 in the focus position F of this lens 1 to be examined. Further, the spot image magnified by the magnifying optical system 6 is guided to the measuring means 7 and is formed as a point image on the solid-state imaging device 7a by the condenser lens 7b constituting the measuring means 7. Here, the light from the transmissive light source means 8 is used for in-plane position alignment and for measurement.

また、９は反射用光源手段であり、この反射用光源手段９はレーザダイオード９ａとコリメータレンズ９ｂとから構成され、光源としてのレーザダイオード９ａからの光はコリメータレンズ９ｂにより平行光束化されることによりアライメント光となる。このアライメント光は、ビームスプリッタ１０により拡大光学系６と測定手段７との間の位置でその間の光路に合流させるようにしている。従って、反射用光源手段９からの光は被検レンズ１に反射させて、この反射光の一部はビームスプリッタ１０を透過して測定手段７における集光レンズ７ｂを通過して固体撮像素子７ａに点像として結像される。   Reference numeral 9 denotes a light source means for reflection. The light source means 9 for reflection is composed of a laser diode 9a and a collimator lens 9b, and light from the laser diode 9a as a light source is converted into a parallel beam by a collimator lens 9b. As a result, alignment light is obtained. This alignment light is caused to merge into the optical path between the magnifying optical system 6 and the measuring means 7 by the beam splitter 10. Accordingly, the light from the reflection light source means 9 is reflected by the lens 1 to be tested, and a part of the reflected light passes through the beam splitter 10 and passes through the condenser lens 7b in the measurement means 7 to pass through the solid-state imaging device 7a. Is formed as a point image.

反射用光源手段９からのアライメント光は被検レンズ１において、平面部１ｂに照射されるものであり、この平面部１ｂからの反射光はビームスプリッタ１０を透過させる。そして、この透過光は測定手段７に取り込まれ、集光レンズ７ｂの作用により固体撮像素子７ａに点像として結像させる。この被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光を固体撮像素子７ａに結像させるのは、被検レンズ１と測定手段７との間における角度アライメントを行なうためである。   The alignment light from the reflection light source means 9 is applied to the plane portion 1 b in the lens 1 to be examined, and the reflected light from the plane portion 1 b is transmitted through the beam splitter 10. Then, this transmitted light is taken into the measuring means 7 and is formed as a point image on the solid-state imaging device 7a by the action of the condenser lens 7b. The reason why the reflected light from the flat surface portion 1b of the test lens 1 is imaged on the solid-state imaging device 7a is to perform angle alignment between the test lens 1 and the measuring means 7.

被検レンズ１の光軸と測定手段７の光軸との間をアライメントするには、被検レンズ１の平面部１ｂに平行光を入射させて、その反射光の光路が入射光の光路と一致していなければならない。そして、角度アライメントを行なう際には、反射用光源手段９からの出射光及び被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光は平行光束とする必要がある。つまり、反射用光源手段９からの出射光及び被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光の光路に光路断面が変化する拡大光学系６を介在させてはならない。   In order to align between the optical axis of the lens 1 to be measured and the optical axis of the measuring means 7, parallel light is incident on the flat portion 1b of the lens 1 to be measured, and the optical path of the reflected light is the optical path of the incident light. Must match. And when performing angle alignment, it is necessary to make the emitted light from the light source means 9 for reflection and the reflected light from the plane part 1b of the lens 1 to be examined into a parallel light beam. That is, the magnifying optical system 6 whose optical path section changes must not be interposed in the optical path of the outgoing light from the light source means 9 for reflection and the reflected light from the flat portion 1b of the lens 1 to be examined.

以上のことから、光路迂回用光反射ユニット１１が用いられる。この光路迂回用光反射ユニット１１は、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄから構成され、図３に示したように、概略コ字状に形成したケーシング１２内において、それぞれ所定の位置に正確に位置調整された状態で固定的に保持されている。これら４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄに光が入射されると、それぞれ光路を９０°曲折するようにして反射することになる。ケーシング１２には導光用開口１２ａ，１２ｂが上下に２箇所開設されており、反射用光源手段９におけるレーザダイオード９ａからの光はコリメータレンズ９ｂにより平行光束化されてアライメント光となる。このアライメント光はビームスプリッタ１０に反射して、導光用開口１２ａからケーシング１２内に導かれて、第１の反射ミラー１１ａに反射して、垂直方向から水平方向に光路が曲折され、また第２の反射ミラー１１ｂにより再び垂直方向の光路を取るようになり、さらに第３の反射ミラー１１ｃにより水平方向に光路が向けられた後に、第４の反射ミラー１１ｄによって光路は垂直方向に向けられて、導光用開口１２ｂから被検レンズ１に光が入射される。ここで、各反射ミラー１１ａ〜１１ｄは図示したものに限定されない。要するに、光路迂回用光反射ユニット１全体において、第１の反射ミラー１１ａへの入射光の光軸と、第４の反射ミラー１１ｄからの反射光の光軸とが一致するか、若しくは平行になるように各反射ミラー１１ａ〜１１ｄの位置が調整されておれば良い。   From the above, the light path detouring light reflecting unit 11 is used. This optical path detouring light reflecting unit 11 is composed of four reflecting mirrors 11a to 11d, and as shown in FIG. 3, each is accurately positioned at a predetermined position in a casing 12 formed in a substantially U shape. It is fixedly held in an adjusted state. When light is incident on these four reflecting mirrors 11a to 11d, each of the light paths is reflected by being bent by 90 °. The casing 12 is provided with two light guide openings 12a and 12b in the vertical direction, and the light from the laser diode 9a in the light source means 9 for reflection is converted into parallel light by the collimator lens 9b to become alignment light. The alignment light is reflected by the beam splitter 10, guided from the light guide opening 12a into the casing 12, reflected by the first reflecting mirror 11a, and the optical path is bent from the vertical direction to the horizontal direction. The second reflection mirror 11b takes the optical path in the vertical direction again. Further, after the optical path is directed in the horizontal direction by the third reflection mirror 11c, the optical path is directed in the vertical direction by the fourth reflection mirror 11d. Then, light enters the lens 1 to be examined from the light guide opening 12b. Here, each reflecting mirror 11a-11d is not limited to what was illustrated. In short, in the entire optical path detouring light reflecting unit 1, the optical axis of the incident light to the first reflecting mirror 11 a and the optical axis of the reflected light from the fourth reflecting mirror 11 d match or become parallel. Thus, the position of each reflection mirror 11a-11d should just be adjusted.

なお、この光路迂回用光反射ユニットは、少なくとも４面の反射面を有しておれば良く、例えば図４に示したように、プリズム２０を用い、このプリズム２０を構成する２つの面２０ａ，２０ｂを第２，第３の反射面として機能させ、これと第１の反射ミラー２１，第４の反射ミラー２２とにより光路迂回用光反射ユニット２３を構成することもできる。   The light path bypassing light reflecting unit only needs to have at least four reflecting surfaces. For example, as shown in FIG. 4, the prism 20 is used, and the two surfaces 20a, 20b, The optical path detouring light reflection unit 23 can also be configured by causing 20b to function as the second and third reflection surfaces, and the first reflection mirror 21 and the fourth reflection mirror 22.

以上の構成を有する光路迂回用光反射ユニット１１のケーシング１２は、リニアガイド１３により水平方向にガイドされるスライダ１４に装着されて、図３に矢印で示した水平方向に移動可能となっている。従って、この光路迂回用光反射ユニット１１は、図１に示したように、第１の反射ミラー１１ａと第４の反射ミラー１１ｄとが拡大光学系６を挟んだ上下に配置され、これら反射ミラー１１ａ，１１ｄが拡大光学系６の光軸と一致する角度検出位置と、図２に示したように、拡大光学系６から退避して、この拡大光学系６の光路に対して干渉しない退避位置との間に変位させることができるようになっている。   The casing 12 of the optical path detouring light reflecting unit 11 having the above configuration is mounted on a slider 14 guided in the horizontal direction by a linear guide 13 and is movable in the horizontal direction indicated by an arrow in FIG. . Accordingly, as shown in FIG. 1, the optical path detouring light reflecting unit 11 is configured such that the first reflecting mirror 11a and the fourth reflecting mirror 11d are arranged above and below the magnifying optical system 6, and these reflecting mirrors are arranged. Angle detection positions where 11a and 11d coincide with the optical axis of the magnifying optical system 6, and evacuation positions where the magnifying optical system 6 is retracted and does not interfere with the optical path of the magnifying optical system 6, as shown in FIG. It can be displaced between.

なお、これら４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄのうち、最終段を構成する第４の反射ミラー１１ｄは、そのサイズが他の反射ミラーより小さくなっている。これは、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄを組み付けるに当って、基準となる１枚の反射ミラーを設定して、この基準となる反射ミラーに対して他の反射ミラーの位置を順次調整することによって、光路迂回用光反射ユニット１１の光路の引き回し調整を行なうようにする。従って、基準となる反射ミラーは他の反射ミラーよりサイズが小さいものを用いることができる。この場合、最もサイズの小さい反射ミラーを第４の反射ミラー１１ｄとすることによって、被検レンズ１と拡大光学系６との間に進入させる際に、被検レンズ１がそれと干渉しないように、載置台３を昇降ガイド４に沿って下降させるが、この下降ストロークを最小限に抑制できる。   Of the four reflecting mirrors 11a to 11d, the fourth reflecting mirror 11d constituting the final stage is smaller in size than the other reflecting mirrors. In assembling the four reflecting mirrors 11a to 11d, one reflecting mirror is set as a reference, and the positions of the other reflecting mirrors are sequentially adjusted with respect to the reflecting mirror serving as the reference. Thus, the optical path routing of the optical path detouring light reflecting unit 11 is adjusted. Accordingly, a reference reflecting mirror having a smaller size than other reflecting mirrors can be used. In this case, by setting the smallest reflecting mirror as the fourth reflecting mirror 11d, the lens 1 to be tested does not interfere with it when entering between the lens 1 to be examined and the magnifying optical system 6. Although the mounting table 3 is lowered along the raising / lowering guide 4, this downward stroke can be suppressed to the minimum.

本実施の形態は以上のように構成されるものであって、図１及び図２に示した載置台３に被検レンズ１を載置して、この被検レンズ１の集光位置での光スポットにおける強度分布を測定するためのものである。この測定を行なう際に、被検レンズ１の焦点位置Ｆにおける光スポットを拡大光学系６により拡大させて、測定用撮像手段（図示せず）により撮像して、その光の強度分布を検出する。従って、少なくとも被検レンズ１と拡大光学系６との間で正確にアライメントが取れていなければならない。このアライメントは、載置台３に載置されている被検レンズ１の位置を調整することにより行なわれる。そして、アライメントは被検レンズ１の拡大光学系６に対する角度アライメントと、光軸と直交する面内での平面内位置アライメントとからなり、先に角度アライメントを行なって、被検レンズ１と拡大光学系６との間で光軸の傾きをなくした後に平面内位置アライメントを行なうようにする。   The present embodiment is configured as described above, and the test lens 1 is placed on the mounting table 3 shown in FIGS. This is for measuring the intensity distribution in the light spot. When performing this measurement, the light spot at the focal position F of the lens 1 to be examined is enlarged by the magnifying optical system 6 and imaged by a measurement imaging means (not shown) to detect the intensity distribution of the light. . Accordingly, at least the test lens 1 and the magnifying optical system 6 must be accurately aligned. This alignment is performed by adjusting the position of the test lens 1 mounted on the mounting table 3. The alignment includes angular alignment of the test lens 1 with respect to the magnifying optical system 6 and in-plane position alignment in a plane orthogonal to the optical axis. The angle alignment is performed first, and the test lens 1 and the magnifying optical system are aligned. In-plane position alignment is performed after eliminating the inclination of the optical axis with the system 6.

ここで、拡大光学系６及び測定手段７を構成する固体撮像素子７ａ及び集光レンズ７ｂは、予め光軸が正確に一致するように組み立てられている。従って、これら拡大光学系６若しくは測定手段７を移動させない限り、相互の光軸に傾きが生じたり、ずれたりすることはない。   Here, the solid-state imaging device 7a and the condensing lens 7b constituting the magnifying optical system 6 and the measuring means 7 are assembled in advance so that their optical axes coincide with each other accurately. Therefore, unless the magnifying optical system 6 or the measuring means 7 is moved, the mutual optical axes are not inclined or shifted.

まず、角度アライメントを行なう方法について説明する。図１に示したように、リニアガイド１３によって光路迂回用光反射ユニット１１を角度検出位置に移動させる。ここで、角度検出位置では、光路迂回用光反射ユニット１１を構成する第１の反射ミラー１１ａと第４の反射ミラー１１ｄとが拡大光学系６の配設位置の前後において、この拡大光学系６の光軸と一致する位置に配置する。ここで、被検レンズ１を、その焦点位置Ｆを対物光学系６の焦点位置と一致させると、その間に光路迂回用光反射ユニット１１が進入できない場合には、昇降ガイド４に沿って載置台３を下降させて、その間に進入する光路迂回用光反射ユニット１１との干渉を防止する。   First, a method for performing angle alignment will be described. As shown in FIG. 1, the optical path detouring light reflecting unit 11 is moved to the angle detection position by the linear guide 13. Here, at the angle detection position, the first reflecting mirror 11a and the fourth reflecting mirror 11d constituting the light path bypassing light reflecting unit 11 are arranged before and after the position where the magnifying optical system 6 is disposed. It is arranged at a position that coincides with the optical axis. Here, when the focal position F of the lens 1 to be examined is made coincident with the focal position of the objective optical system 6, when the light path detouring light reflection unit 11 cannot enter between them, the mounting table along the lifting guide 4. 3 is lowered to prevent interference with the optical path detouring light reflecting unit 11 entering between them.

以上の状態で、反射用光源手段９における光源としてのレーザダイオード９ａを点灯させる。このレーザダイオード９ａからの光はコリメータレンズ９ｂにより平行光束化されてアライメント光となり、ビームスプリッタ１０に一部が反射して、光路迂回用光反射ユニット１１に光路が向けられる。このアライメント光は平行光束のままで光路迂回用光反射ユニット１１を構成する４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄに順次反射して、載置台３上に載置した被検レンズ１で反射される。ここで、角度アライメントを行なう際には、被検レンズ１のうち、レンズ面１ａからの反射ではなく、平面部１ｂからの反射光が利用される。即ち、平行光を平面部１ｂに反射させると、この平行光の入射角と反射角との角度ずれを検出することができ、かつこの角度ずれ以外の成分は実質的に含まれていない。従って、被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光を平行光のまま４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄを通る戻り光としてビームスプリッタ１０を透過させる。このようにして透過した光は測定手段７を構成する集光レンズ７ｂにより集光されて、実質的に点像として固体撮像素子７ａに結像されることになる。   In the above state, the laser diode 9a as the light source in the light source means 9 for reflection is turned on. The light from the laser diode 9a is collimated by the collimator lens 9b to become alignment light, a part of which is reflected by the beam splitter 10, and the optical path is directed to the light path detouring light reflecting unit 11. This alignment light is reflected as it is by the four reflection mirrors 11a to 11d constituting the optical path detouring light reflection unit 11 in the form of a parallel light beam, and is reflected by the test lens 1 placed on the placement table 3. Here, when performing the angle alignment, the reflected light from the flat surface portion 1b is used instead of the reflection from the lens surface 1a of the lens 1 to be tested. That is, when the parallel light is reflected on the flat surface portion 1b, an angle shift between the incident angle and the reflection angle of the parallel light can be detected, and components other than the angle shift are substantially not included. Accordingly, the reflected light from the flat surface portion 1b of the lens 1 to be examined is transmitted through the beam splitter 10 as return light passing through the four reflection mirrors 11a to 11d while being parallel light. The light transmitted in this way is collected by the condenser lens 7b constituting the measuring means 7 and is substantially formed as a point image on the solid-state imaging device 7a.

固体撮像素子７ａの受光面には所定の基準位置が設けられており、被検レンズ１と集光レンズ７ｂとの光軸が一致しておれば、固体撮像素子７ａには基準位置に点像が現れる。従って、点像が基準位置からずれていると、被検レンズ１の光軸が集光レンズ７ｂの光軸に対して傾いていることが検出される。そこで、載置台３における傾き調整手段２を作動させて、固体撮像素子７ａにおける点像の位置が基準位置と一致するように被検レンズ１の角度調整を行なう。これによって、被検レンズ１の光軸が集光レンズ７ｂの光軸に対する傾き調整、即ち角度アライメントが取れることになる。   A predetermined reference position is provided on the light receiving surface of the solid-state image sensor 7a. If the optical axes of the lens 1 and the condenser lens 7b coincide with each other, the solid-state image sensor 7a has a point image at the reference position. Appears. Therefore, when the point image is deviated from the reference position, it is detected that the optical axis of the test lens 1 is inclined with respect to the optical axis of the condenser lens 7b. Therefore, the tilt adjustment means 2 in the mounting table 3 is operated to adjust the angle of the lens 1 to be tested so that the position of the point image on the solid-state image sensor 7a matches the reference position. As a result, the tilt adjustment of the optical axis of the lens 1 to be examined with respect to the optical axis of the condenser lens 7b, that is, the angle alignment can be obtained.

ここで、角度アライメントを行なう際には、拡大光学系６を迂回させるために、光路迂回用光反射ユニット１１を角度検出位置に移動させるが、この光路迂回用光反射ユニット１１を移動させたときに、ケーシング１２が僅かに傾く等、位置ずれが生じるおそれがある。ただし、光路迂回用光反射ユニット１１のケーシング１２内においては４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄの相対位置関係は極めて厳格に調整されている。そして、これら４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄにより光路が入射時から繰り返しの反射により元の位置に戻るように曲折されるから、入射時の角度と出射時の角度との間で変化することはない。つまり、光路迂回用光反射ユニット１１の移動時における位置ずれは、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄでの反射の繰り返しにより吸収される。   Here, when performing the angle alignment, the optical path detouring light reflecting unit 11 is moved to the angle detection position in order to detour the magnifying optical system 6, but when the optical path detouring light reflecting unit 11 is moved. In addition, there is a possibility that the position shift occurs, for example, the casing 12 is slightly inclined. However, in the casing 12 of the light path detouring light reflecting unit 11, the relative positional relationship between the four reflecting mirrors 11a to 11d is adjusted very strictly. And since the optical path is bent by these four reflection mirrors 11a to 11d so as to return to the original position by repeated reflection from the time of incidence, it changes between the angle at the time of incidence and the angle at the time of emission. Absent. That is, the positional deviation at the time of movement of the optical path detouring light reflecting unit 11 is absorbed by repeated reflection by the four reflecting mirrors 11a to 11d.

以上のようにして、載置台３上に載置した被検レンズ１の光軸の角度は、測定手段７を構成する集光レンズ７ｂ及び固体撮像素子７ａに対して光軸の角度と正確に一致するようにに調整される。拡大光学系６と測定手段７との間は予め正確に位置調整された状態で組み立てられており、かつこれら拡大光学系６及び測定手段７は固定的に保持されている。従って、被検レンズ１の光軸の測定手段７に対する角度アライメントを行なうことによって、拡大光学系６との光軸に対しても一致した角度となる。   As described above, the angle of the optical axis of the lens 1 to be tested placed on the mounting table 3 is exactly the same as the angle of the optical axis with respect to the condenser lens 7b and the solid-state imaging device 7a constituting the measuring means 7. Adjusted to match. The magnifying optical system 6 and the measuring means 7 are assembled in a state where the position is accurately adjusted in advance, and the magnifying optical system 6 and the measuring means 7 are fixedly held. Therefore, by performing the angle alignment with respect to the measuring means 7 of the optical axis of the lens 1 to be examined, the angle coincides with the optical axis of the magnifying optical system 6.

このようにして角度アライメントが行なわれた後に、光軸と直交する面内での位置を調整する平面内位置アライメントを行なう。この平面内位置アライメント時には、拡大光学系６が用いられる。そこで、まず図２に示したように、光路迂回用光反射ユニット１１を被検レンズ１の光路から退避させる。また、昇降ガイド４を作動させて、載置台３を上昇させて、この被検レンズ１の焦点位置Ｆが固定的に配置されている拡大光学系６の焦点位置と一致する位置に変位させる。そして、光源を反射用光源手段９側から透過用光源手段８に切り換えて、レーザダイオード８ａからの光をコリメータレンズ８ｂにより平行光束化させて、反射ミラー８ｃに反射させて、載置台３の透孔３ａを介して被検レンズ１のレンズ面１ａに入射させる。この入射された光は、レンズ面１ａの作用により焦点位置Ｆに焦点が結ばれてスポット光からなる平面内位置アライメント用のアライメント光となる。そして、このアライメント光は拡大光学系６により拡大されながらビームスプリッタ１０を透過して集光レンズ７ｂに向かうことになる。   After the angle alignment is performed in this manner, in-plane position alignment is performed to adjust the position in the plane orthogonal to the optical axis. In this in-plane position alignment, the magnifying optical system 6 is used. Therefore, first, as shown in FIG. 2, the optical path detouring light reflecting unit 11 is retracted from the optical path of the lens 1 to be examined. Further, the raising / lowering guide 4 is operated to raise the mounting table 3 so that the focal position F of the test lens 1 is displaced to a position that coincides with the focal position of the magnifying optical system 6 that is fixedly arranged. Then, the light source is switched from the reflection light source means 9 side to the transmission light source means 8, and the light from the laser diode 8 a is converted into a parallel beam by the collimator lens 8 b and reflected by the reflection mirror 8 c, and transmitted through the mounting table 3. The light is incident on the lens surface 1a of the lens 1 to be examined through the hole 3a. The incident light is focused on the focal position F by the action of the lens surface 1a and becomes alignment light for in-plane position alignment consisting of spot light. The alignment light passes through the beam splitter 10 while being magnified by the magnification optical system 6 and travels toward the condenser lens 7b.

このアライメント光は集光レンズ７ｂの作用により固体撮像素子７ａに点像を生じさせる。そして、固体撮像素子７ａには基準位置が形成されており、前述した点像がこの基準位置からずれていると、被検レンズ１の光軸と直交する方向の位置が拡大光学系６及び測定手段７に対して光軸と直交する面内でずれていることが検出される。即ち、前の段階で角度アライメントが行なわれていることから、固体撮像素子７ａ上での基準位置からのずれは平面内位置のずれを表している。従って、平面内位置調整手段５を構成するＸ軸テーブル５Ｘ，Ｙ軸テーブル５Ｙを適宜作動させて、点像が基準位置と一致するように調整する。これによって、平面内位置アライメントが行なわれ、被検レンズ１の光軸が拡大光学系６及び測定手段７と正確に一致することになる。   This alignment light generates a point image on the solid-state imaging device 7a by the action of the condenser lens 7b. A reference position is formed in the solid-state imaging device 7a. If the above-described point image is deviated from this reference position, the position in the direction perpendicular to the optical axis of the lens 1 to be examined is changed to the magnification optical system 6 and the measurement. It is detected that the means 7 is displaced in a plane perpendicular to the optical axis. That is, since the angle alignment is performed in the previous stage, the deviation from the reference position on the solid-state imaging device 7a represents the deviation in the in-plane position. Accordingly, the X-axis table 5X and the Y-axis table 5Y constituting the in-plane position adjusting means 5 are operated as appropriate so that the point image matches the reference position. As a result, in-plane position alignment is performed, and the optical axis of the lens 1 to be inspected exactly matches the magnifying optical system 6 and the measuring means 7.

ここで、平面内位置アライメントをより厳格に行なうには、固体撮像素子７ａに結像される点像の直径をできるだけ小さくする必要がある。このためには、測定手段７を構成する集光レンズ７ｂを光軸方向に変位させて、点像をより小さく、かつシャープなものとする。   Here, in order to perform the in-plane position alignment more strictly, it is necessary to make the diameter of the point image formed on the solid-state imaging device 7a as small as possible. For this purpose, the condensing lens 7b constituting the measuring means 7 is displaced in the optical axis direction to make the point image smaller and sharper.

ところで、角度アライメントを行なった後、平面内位置アライメントを行なう際に、載置台３を上昇させることによって、また平面内位置アライメントの際に平面位置調整手段５を作動させることによって、被検レンズ１の光軸が僅かではあるが傾くことがある。しかしながら、被検レンズ１の焦点距離が短い場合には、その光軸が角度アライメントを行なった後に僅かに傾いたとしても、光スポットの強度分布を測定する上で、殆ど影響を与えることはない。一方、光スポットの強度分布を測定するに当って、例えばこの強度分布を三次元的に表示する場合には、その中心位置がずれると、つまり平面内位置アライメントが厳格に行なわれていないと、強度分布のプロファイルに影響を与えることになる。従って、特に被検レンズ１の光スポットを、例えば２０００倍乃至それ以上というように、拡大倍率を極端に大きくする場合に、平面内位置アライメントを正確に行なうことは極めて重要である。   By the way, after performing the angle alignment, when the in-plane position alignment is performed, the mounting table 3 is raised, and the in-plane position alignment is operated by operating the plane position adjusting means 5 to thereby detect the test lens 1. The optical axis may be slightly tilted. However, when the focal length of the lens 1 to be examined is short, even if the optical axis is slightly inclined after the angle alignment, there is almost no influence on the measurement of the light spot intensity distribution. . On the other hand, when measuring the intensity distribution of the light spot, for example, when displaying this intensity distribution three-dimensionally, if the center position is shifted, that is, the in-plane position alignment is not strictly performed, This will affect the profile of the intensity distribution. Therefore, it is extremely important to accurately perform in-plane position alignment, particularly when the magnification of the light spot of the lens 1 to be examined is extremely large, for example, 2000 times or more.

本発明の実施の一形態を示す光学部品測定用アライメント機構の角度アライメントを行なっている状態を示す構成説明図である。It is composition explanatory drawing which shows the state which is performing the angle alignment of the alignment mechanism for optical components measurement which shows one Embodiment of this invention. 本発明の実施の一形態を示す光学部品測定用アライメント機構の平面内位置アライメントを行なっている状態を示す構成説明図である。It is composition explanatory drawing which shows the state which is performing the position alignment in the plane of the alignment mechanism for optical components measurement which shows one Embodiment of this invention. 光路迂回用光反射ユニットの構成説明図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an optical path detouring light reflecting unit. 光路迂回用光反射ユニットの他の例を示す構成説明図である。It is composition explanatory drawing which shows the other example of the light reflection unit for optical path detours.

符号の説明Explanation of symbols

１ 被検レンズ １ａ レンズ面
１ｂ 平面部 ２ 傾き調整手段
３ 載置台 ３ａ 透孔
４ 昇降ガイド ５平面内位置調整手段
６ 拡大光学系 ７ 測定手段
７ａ 固体撮像素子 ７ｂ 集光レンズ
８ 透過用光源手段 ９ 反射用光源手段
１１，２３ 光路迂回用光反射ユニット
１１ａ〜１１ｄ，２１，２２ 反射ミラー
１２ ケーシング １３ リニアガイド
１４ スライドブロック ２０ プリズム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Test lens 1a Lens surface 1b Planar part 2 Inclination adjustment means 3 Mounting stand 3a Through-hole 4 Lifting / lowering guide 5 In-plane position adjustment means 6 Magnification optical system 7 Measuring means 7a Solid-state image sensor 7b Condensing lens 8 Transmission light source means 9 Reflection light source means 11, 23 Light path detouring light reflection units 11a-11d, 21, 22 Reflection mirror 12 Casing 13 Linear guide 14 Slide block 20 Prism

Claims (3)

載置台上に載置した被検レンズのスポット像を拡大光学系により拡大させて撮像手段で撮像することによりその測定を行なうに当って、前記被検レンズと前記拡大光学系との間のアライメントを行なうアライメント機構であって、
前記載置台は少なくとも傾き方向及びその光軸と直交する平面内の位置を調整可能なものであり、
前記載置台に載置された前記被検レンズの角度アライメント手段及び平面内位置アライメント手段を備え、
前記角度アライメント手段は少なくとも４面の反射面を有する光路迂回用光反射ユニットからなり、この光路迂回用光反射ユニットは、その両端に位置する反射面を前記拡大光学系を挟んだ前後に配置させて前記拡大光学系を迂回する光路を形成する角度検出位置と、前記拡大光学系を通る光路を形成する退避位置との間に移動可能な
構成としたことを特徴とする光学部品測定用アライメント機構。 Alignment between the test lens and the magnifying optical system is performed by enlarging the spot image of the test lens placed on the mounting table with the magnifying optical system and taking the image with the imaging means. An alignment mechanism for performing
The mounting table can adjust at least a tilt direction and a position in a plane perpendicular to the optical axis thereof,
An angle alignment means and an in-plane position alignment means for the lens to be examined placed on the mounting table,
The angle alignment means includes an optical path detouring light reflecting unit having at least four reflecting surfaces, and the optical path detouring light reflecting unit is configured such that the reflecting surfaces located at both ends thereof are arranged before and after the magnifying optical system. An optical component measuring alignment mechanism characterized in that it is movable between an angle detection position for forming an optical path that bypasses the magnifying optical system and a retracted position for forming an optical path that passes through the magnifying optical system. . 前記光路迂回用光反射ユニットは、４枚の反射ミラーを備えたものであり、この光路迂回用光反射ユニットは前記拡大光学系の光軸と直交する方向に移動可能な構成としたことを特徴とする請求項１記載の光学部品測定用アライメント機構。 The optical path detouring light reflecting unit includes four reflecting mirrors, and the optical path detouring light reflecting unit is configured to be movable in a direction perpendicular to the optical axis of the magnifying optical system. The optical component measurement alignment mechanism according to claim 1. 前記載置台は前記拡大光学系の光軸方向に移動可能な昇降手段を備える構成としたことを特徴とする請求項１記載の光学部品測定用アライメント機構。 2. The optical component measuring alignment mechanism according to claim 1, wherein the mounting table includes a lifting / lowering means movable in an optical axis direction of the magnifying optical system.
JP2004167392A 2004-06-04 2004-06-04 Alignment mechanism for measuring optical component Pending JP2005345364A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004167392A JP2005345364A (en) 2004-06-04 2004-06-04 Alignment mechanism for measuring optical component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004167392A JP2005345364A (en) 2004-06-04 2004-06-04 Alignment mechanism for measuring optical component

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005345364A true JP2005345364A (en) 2005-12-15

Family

ID=35497883

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004167392A Pending JP2005345364A (en) 2004-06-04 2004-06-04 Alignment mechanism for measuring optical component

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005345364A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007295449A (en) * 2006-04-27 2007-11-08 Oki Electric Ind Co Ltd Photographing apparatus and monitoring system
JP2012042395A (en) * 2010-08-20 2012-03-01 Hoya Corp Transmitted wave front measuring apparatus for lens
CN109029925A (en) * 2018-06-12 2018-12-18 中国科学院上海技术物理研究所 It is a kind of for aim at monitoring telescope optic axis block prism light calibration device
CN109470178A (en) * 2018-12-27 2019-03-15 赛纳生物科技(北京)有限公司 A kind of optical system angle of assembling detection device and its method
KR102038227B1 (en) * 2018-07-25 2019-10-29 한국광기술원 Apparatus for measuring quality of lens for vehicle and system for using the same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007295449A (en) * 2006-04-27 2007-11-08 Oki Electric Ind Co Ltd Photographing apparatus and monitoring system
JP4697033B2 (en) * 2006-04-27 2011-06-08 沖電気工業株式会社 Automatic transaction equipment
JP2012042395A (en) * 2010-08-20 2012-03-01 Hoya Corp Transmitted wave front measuring apparatus for lens
CN109029925A (en) * 2018-06-12 2018-12-18 中国科学院上海技术物理研究所 It is a kind of for aim at monitoring telescope optic axis block prism light calibration device
CN109029925B (en) * 2018-06-12 2023-12-26 中国科学院上海技术物理研究所 Cubic prism optical correction device for sighting and monitoring telescope optical axis
KR102038227B1 (en) * 2018-07-25 2019-10-29 한국광기술원 Apparatus for measuring quality of lens for vehicle and system for using the same
CN109470178A (en) * 2018-12-27 2019-03-15 赛纳生物科技(北京)有限公司 A kind of optical system angle of assembling detection device and its method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI413823B (en) Image inspection system for correcting focal position in autofocusing
KR100192097B1 (en) Configuration measuring method and apparatus for optically detecting a displacement of a probe due to an atomic force
TWI292033B (en)
JP5207213B2 (en) Autofocus device
JP4553030B2 (en) Automatic focus control unit, electronic equipment, automatic focus control method
JP4751156B2 (en) Autocollimator and angle measuring device using the same
JPWO2009139190A1 (en) Position detection device, substrate overlay device
JP2005345364A (en) Alignment mechanism for measuring optical component
JP2005201703A (en) Interference measuring method and system
JP5346670B2 (en) Non-contact surface shape measuring device
JP4830837B2 (en) Lens measuring device
JP2006118944A (en) Evaluation device of lens
JP4323230B2 (en) Optical system eccentricity measuring apparatus and optical system eccentricity measuring method
JP4245851B2 (en) Objective lens, combination of objective lenses, and method of adjusting optical system using objective lens
WO2005109420A1 (en) Adjuster and adjusting method for optical pickup
JP4710630B2 (en) Lens measuring device and measuring method
JP2003148939A (en) Autocollimator provided with microscope, and instrument for measuring shape using the same
JP4656880B2 (en) Optical pickup outgoing light measuring device and adjustment method
JP4760012B2 (en) Lens eccentricity measuring method and apparatus
JP2004101427A (en) Interferometer apparatus
JP4656879B2 (en) Optical pickup outgoing light measuring device and measuring method
JP2002008249A (en) Optical axis adjusting machine for optical pickup device
JP2022010533A (en) Hardness tester
JP2529526Y2 (en) Alignment device for optical components
JP2005140589A (en) Interferometer

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081028

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081111

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090805