JP2005345165A - 形状測定方法および形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まず、被測定面4の設計形状z=f(x、y)に基づいて狙いの測定経路5上の法線方向にプローブ先端球2の半径分だけオフセットした仮測定用プローブ走査経路6を求めてプローブ1を走査させ、仮測定を行う。仮測定データから演算によってセッティング誤差と形状誤差を分離して、新たな座標系および新たな設計形状に基づく本番測定用プローブ走査経路を演算し、本番測定を行う。本番測定において被測定面4とプローブ先端球2との接触点が狙いの測定経路から大きくずれることがないため、高精度な形状測定を行うことができる。
【選択図】図4
Description
2 プローブ先端球
3 被測定物
4 被測定面
5、7、17、27、37 狙いの測定経路
6、8 プローブ走査経路
10 解析用コンピュータ
11 XY軸制御装置
11a X軸ステージ
11b Y軸ステージ
12 Z軸制御装置
12a Z軸ステージ
13 データサンプリング装置
Claims (5)
- 球状先端部を有するプローブを被測定面に接触させながら二次元的に走査し、前記被測定面の面形状を測定する形状測定方法であって、
被測定面の設計形状に基づいて狙いの測定経路から法線方向にプローブの球状先端部の半径分だけオフセットした仮測定用プローブ走査経路を演算する第1の演算処理工程と、
仮測定用プローブ走査経路に沿ってプローブを走査して被測定面の測定を行い仮測定データを得る第1の測定工程と、
仮測定データに基づいて被測定面のセッティング誤差と推定形状を演算する第2の演算処理工程と、
セッティング誤差と推定形状に基づいて本番測定用プローブ走査経路を演算する第3の演算処理工程と、
本番測定用プローブ走査経路に沿ってプローブを走査して被測定面の測定を行い、本番測定データを得る第2の測定工程と、を有し、
本番測定データに基づいて被測定面の面形状を演算することを特徴とする形状測定方法。 - 球状先端部を有するプローブを被測定面に接触させながら二次元的に走査し、前記被測定面の面形状を測定する形状測定方法であって、
被測定面の設計形状に基づいて狙いの測定経路から法線方向にプローブの球状先端部の半径分だけオフセットした仮測定用プローブ走査経路を演算する第1の演算処理工程と、
仮測定用プローブ走査経路に沿ってプローブを走査して被測定面の測定を行い仮測定データを得る第1の測定工程と、
仮測定データに基づいて被測定面のセッティング誤差を演算する第2の演算処理工程と、
セッティング誤差を補正した新たな座標系を用いて本番測定用プローブ走査経路を演算する第3の演算処理工程と、
本番測定用プローブ走査経路に沿ってプローブを走査して被測定面の測定を行い、本番測定データを得る第2の測定工程と、を有し、
本番測定データに基づいて被測定面の面形状を演算することを特徴とする形状測定方法。 - 仮測定用プローブ走査経路より本番測定用プローブ走査経路の方が高密度であることを特徴とする請求項1または2記載の形状測定方法。
- 仮測定用プローブ走査経路が、直交する2軸の方向に少なくとも1本ずつ設けられることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の形状測定方法。
- 被測定物を支持する保持台と、球状先端部を有するプローブと、前記プローブを前記被測定物に対して二次元的に走査するためのXY軸ステージと、前記プローブを前記被測定物の被測定面に接触させ、接触荷重を一定に保つZ軸ステージと、前記プローブの前記球状先端部の三次元位置を検出する検出手段と、前記被測定面の設計形状または推定形状を用いて狙いの測定経路から法線方向に前記プローブの前記球状先端部の半径分だけオフセットしたプローブ走査経路を演算する第1の演算手段と、前記検出手段の出力に基づいて前記被測定面のセッティング誤差と前記推定形状を演算する第2の演算手段と、を有することを特徴とする形状測定装置。
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