JP2005319422A

JP2005319422A - 窒素酸化物除去用触媒の製造法

Info

Publication number: JP2005319422A
Application number: JP2004141000A
Authority: JP
Inventors: Naomi Imada; 尚美今田; Yasuyoshi Kato; 泰良加藤
Original assignee: Babcock Hitachi KK
Current assignee: Mitsubishi Power Ltd
Priority date: 2004-05-11
Filing date: 2004-05-11
Publication date: 2005-11-17
Anticipated expiration: 2024-05-11
Also published as: JP5156173B2

Abstract

【課題】 TiO₂のシンタリングを防止して高い耐熱性と、SO₂のSO₃への酸化活性を抑え、かつ高い脱硝活性を得ることができる触媒を、従来よりもTi-Si比のコントロールが容易で、かつ結合性の高い高強度の触媒を、複雑な製造工程を経ることなく、できるだけ簡単な方法で調製可能な窒素酸化物除去用触媒の製造法を提供する。
【解決手段】第一成分として平均粒子径が15nm以下の酸化チタンと、第二成分として第一成分よりも小さい平均粒子径を有するコロイダル状のシリカと、第三成分としてタングステンもしくはモリブデンの可溶性の塩類と水とを混合して得られる触媒スラリまたはペーストを担体に担持するか、またはハニカム状に押出し成形後、焼成することを特徴とする窒素酸化物除去用触媒の製造法。
【選択図】なし

Description

本発明は、窒素酸化物除去用触媒の製造法に係り、特に450〜600℃の高温排ガス中に含まれるチッソ酸化物（NOx）や、石炭焚ボイラなど硫黄酸化物（SOx）を含有する排ガス中のNOxを高効率で除去するための触媒の製法に関する。

近年、米国では、電力不足を補うためや、電力使用量のピークに対応するため、ガスタービンを建設し単独で運転する、いわゆるシンプルサイクルガスタービンが増大している。これらに用いられる設備は都市郊外に建設されるため、排ガス中のＮＯｘも効率で分解浄化する必要がある。しかし、シンプルサイクルガスタービン発電では、脱硝装置をガスタービン出口直後の450〜600℃という高温で処理する必要があるため、高温で高い性能と寿命を有する脱硝触媒が必要となる。

また米国では、亜瀝青炭(PRB炭)や瀝青炭など、低品位の炭種を使用するボイラが増加傾向にある。特に米国東部で多く産出される瀝青炭はＳ分を多く含んでおり（１〜３％）、排ガス中のSO₂濃度が2000〜3000ppmと高濃度になるが、このSO₂の一部がＮＯｘ除去用に設けられた脱硝触媒上で酸化されて三酸化硫黄（SO₃）となり、 (1)後流機器の腐食、(2)リークアンモニア（NH₃）と反応して硫安を生成し、後流のエアヒータを閉塞、などの問題を引き起こす。そのため、瀝青炭焚きボイラでは出口のリークNH₃、SO₃発生量をできるだけ押さえた高脱硝活性でかつSO₂のSO₃への酸化率を低減した脱硝触媒が必要である。これに対し、一般に、活性成分の増減で活性をコントロールしようとすると、活性成分を増加させると脱硝活性は向上するが、酸化活性も上昇し、一方、活性成分を低減して酸化活性を下げようとすると脱硝活性も低下するため、高脱硝活性でSO₂酸化活性の低い触媒が得られ難いという問題があった。

一方、触媒（担体）としての二酸化チタン（TiO₂）は、それ単独では300m²/g近い比表面積を有しているものも、例えば600℃で焼成することにより50〜60m²/gにまで比表面積が低下し、熱によるシンタリングが生じやすく、活性や耐久性が悪化する。これに対し、TiO₂に二酸化ケイ素（SiO₂）を添加してTiO₂にSiO₂を修飾すると、TiO₂単独に比べて熱によるシンタリングが生じにくく、600℃で焼成した後も80m²/g近い比表面積が得られること、また、これに活性成分を担持した触媒は、高い脱硝活性と低いSO₂のSO₃への酸化率（SO₂酸化率）を有することが知られている。そこで、高温での耐久性や低いSO₂酸化率が望まれるＮＯｘ除去に使用することを目的に、 TiO₂とSiO₂の複合酸化物に活性成分を担持した触媒の製造方法が多数提案されている（特許文献１〜５）。

一方、本発明者等は、表面に水酸基を有する酸化チタンとタングステン酸、あるいはその塩類を水の存在下で混合すると、TiO₂の水酸基とタングステン酸が縮合してTiO₂結晶間に架橋が作られ、これを焼成するとゼオライト細孔にも匹敵する50Å以下の微細孔が形成されること、また、この細孔内にVを触媒活性成分として含浸すると極めて高い活性を示すだけでなく、V化合物の作用によるTiO₂の焼結を防止できる現象を見出している（特許文献６）。

特公昭５７−３０５３２号公報特公昭６２−１４３３９号公報特開平０８−２５７３９９号公報特開２０００−２５４４９３号公報特開２００１−１１３１７０号公報特開平０８−２２９４０７号公報

前述した従来技術におけるTiO₂-SiO₂複合酸化物の製造方法は、主に、チタン源として、焼成してチタン酸化物を生成する無機および有機の化合物、例えば、四塩化チタン、硫酸チタンなどの無機チタン化合物または蓚酸チタン、テトライソプロピルチタネートなどの有機チタン化合物を、ケイ素源として、コロイド状シリカ、水ガラス、微粒子ケイ素、四塩化ケイ素、シリカゲルなどの無機ケイ素化合物およびテトラエチルシリケートなどの有機ケイ素化合物と共に、共沈法により沈殿させた後、乾燥・焼成する方法が一般的である。しかしながら、この方法は、(１)シリカ含有量を多くして耐熱性を高めようとすると脱硝活性に悪影響を及ぼす、(２)TiO₂の製造過程でSiO₂を添加するため、Ti/Si比の異なる組成で触媒を製造する場合、触媒仕様の変更や触媒性能のコントロールが容易でない、(３)従来法で得られる酸化チタンーシリカ複合化合物は結合性に乏しいため、高強度の触媒が得られ難い、などの改良すべき問題があった。

本発明の課題は、上記従来技術の有する問題点に鑑み、TiO₂のシンタリングを防止して高い耐熱性と、SO₂のSO₃への酸化活性を抑え、かつ高い脱硝活性を得ることができる触媒を、従来よりもTi-Si比のコントロールが容易で、かつ結合性の高い高強度の触媒を、複雑な製造工程を経ることなく、できるだけ簡単な方法で調製することができる、窒素酸化物除去用触媒の製造法を提供することにある。

本発明者等は、上記課題を達成するため、酸化チタンを主成分とする、耐熱・活性とも飛躍的に向上せしめた触媒を開発すべく、鋭意研究を重ねた結果、次のように本発明に到った。
TiO₂は加熱によりシンタリング、すなわち結晶成長を生じ、比表面積が減少して耐熱性が悪化する。これを防止するには、TiO₂粒子の周囲をシリカ粒子で覆い、TiO₂同士が接触して結合し結晶成長することを防止することが有効であると考えた。これを実現するためには、酸化チタンと、酸化チタン粒子よりも小さい粒子径を有するシリカとを水の存在下で混合し、酸化チタン粒子表面をシリカ粒子で覆うことにより、TiO₂結晶同士の接触を防止して熱によるTiO₂結晶の成長を阻害し、高温でも比表面積の低下を防止できることが分かった。シリカ粒径が酸化チタンより大きい場合、二次凝集した酸化チタン粒子間にシリカが進入できないし、進入したとしても酸化チタン粒子をシリカ粒子で覆うことはできない。

本発明の方法では、前述のタングステンによる触媒の微細孔形成効果と、上記の微粒シリカによる酸化チタンの結晶成長防止効果とをより効果的に発現させるために、微粒子径を有するシリカゾルと、シリカゾルに任意に混合可能なタングステン酸またはその塩類とを混合して得られるゾル状物を酸化チタンと混合する。これにより、Ｗとシリカとをそれぞれ単独で用いるよりもこれらの併用による相乗効果が得られ、触媒活性の向上及び耐熱性向上効果が得られることを見出した。
すなわち、本願で特許請求される発明は下記のとおりである。

（１）第一成分として平均粒子径が15nm以下の酸化チタンと、第二成分として第一成分よりも小さい平均粒子径を有するコロイダル状のシリカと、第三成分としてタングステンまたはモリブデンの可溶性の塩類と、水とを混合して得られる触媒スラリまたはペーストを担体に担持するか、またはハニカム状に押出し成形後、焼成することを特徴とする窒素酸化物除去用触媒の製造法。

（２）前記第一成分、第二成分及び第三成分の化合物と水とを混合する際に、さらに第四成分としてセリウム、バナジウムまたはニオブから選ばれる1種以上の元素の化合物を加えて混合することを特徴とする（１）記載の方法。

（３）前記第一成分、第二成分及び第三成分の化合物の混合物に、前記第四成分の化合物と水とを混合して得られた触媒スラリまたはペーストを、担体に担持するかまたはハニカム状に押出し成形後焼成することを特徴とする（２）記載の方法。

（４）前記担体が、金属もしくは無機繊維の網状物、無機繊維織布、またはシリカアルミナ無機繊維シートをコルゲート加工して得られたコルゲートハニカム担体であることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の方法。

本発明において、第一成分である酸化チタン原料は、平均粒子径が15nm以下であれば良く、含水酸化チタンや酸化チタンのゾル状物の乾燥体を用いることができる。平均粒子径が15nm以下であれば、比表面積が大きいため酸化チタン表層にシリカが覆い易く、効果が得やすい。15nmより大きい粒子径を有する酸化チタンの場合、比表面積が小さく、シリカが酸化チタン粒子の間隙内に進入しづらいため効果が得難い。

一方、第二成分であるシリカ原料は、上記酸化チタンの結晶子径よりも小さい平均粒子径を有するシリカ、具体的には、平均粒子径が２〜10nm、好ましくは2〜5nmの範囲内のシリカのコロイダル状物であることが重要である。平均粒子径が酸化チタンの結晶子径よりも大きいと、酸化チタン粒子同士が凝集して形成された酸化チタンの２次粒子内に入り込んで酸化チタン結晶成長を防止する効果が得られ難い。一方、平均粒子径が2nm以下のコロイダル状シリカゾルは液性状が不安定でゲル化しやすく取り扱い上問題が生じやすい。その添加量は、酸化チタン重量の１〜15wt%、好ましくは５〜10wt%が好ましい。添加量が少ないと耐熱性や、強度の悪化を招き、多すぎると細孔閉塞を生じ活性低下を引き起こし易い。

また、第三成分であるタングステン（Ｗ）原料は、該当する金属のＭＯ₄型イオン（Ｍ：Ｗ）または可溶性の塩類で、コロイダル状シリカに任意に混合可能な塩類、例えばメタタングステン酸アンモニウムが好ましく使用される。シリカとＷ原料とが緊密混合された原料を用いることにより、Ｗとシリカが酸化チタンの粒子間に架橋を形成し、酸化チタンの結晶成長を防止することができる。その添加量は１〜20原子％である。同じ第三成分であるモリブデン（Ｍｏ）原料には、該当する金属のＭＯ₄型イオン（Ｍ： Mo）または可溶性の塩類で、モリブデン酸アンモニウムなどのアンモニウム塩が好ましい。モリブデン酸アンモニウムはシリカとゲル化しやすいため、シリカとの混合状態で添加するよりも、別々に酸化チタンと混合する方が、効果が得やすい。その添加量は１〜20原子％である。

また、Ｗを使用すると高温での耐熱性が優れるため、高耐熱性が必要な場合、特にシンプルサイクルガスタービン発電など550℃以上の高温排ガス中のＮＯｘ除去にはＷを、500℃以下の比較的低温の排ガス用にはMoを使用すると好結果を与える。Ｗは、添加量が少ないと耐熱性の悪化を招き、多すぎると活性成分を保持する酸化チタンの比率が減少して活性低下を引き起こす。望ましくは5〜15原子％が適当である。Ｍｏは、添加量が多すぎても少な過ぎても性能低下を引き起こすため、同じく5〜15原子％が適当である。
第四成分であるセリウム（Ce）原料には、硝酸セリウムなどの塩類のほか、有機アルカリや酸を安定化剤に含む水にCeO₂を分散させた酸化セリウムのゾル状物などを用いることができる。その添加量は、0〜10原子%であり、少ない場合は高い活性が得難く、多すぎると500℃以上での活性低下を引き起こしやすい。望ましくは1〜5原子％の範囲が好結果を与えやすい。

さらに、同じ第四成分であるバナジウム（Ｖ）原料には、メタバナジン酸アンモニウムなどのアンモニウム塩などの塩類を用いることができるが、硫酸バナジルのような酸化チタンに強吸着しやすい原料は、SO₂酸化活性を上昇させやすいため好ましくない。Vの添加量は0〜10原子%であり、少ない場合は高い活性が得難く、多すぎるとSO₂酸化率の上昇を引き起こしやすい。望ましくは1〜5原子％の範囲が好結果を与えやすい。
また、ニオブ（Nb）原料は、ニオブ酸や、有機アルカリや酸を安定化剤に含む水に酸化ニオブを分散させたゾル状物等を用いると好結果を与える。その添加量は、0〜10原子%であり、少ない場合は高い活性が得難く、多すぎると500℃以上での活性低下を引き起こしやすい。望ましくは1〜5原子％の範囲が好結果を与えやすい。

本発明の方法では、触媒活性成分の添加順序としては、第一成分の酸化チタンに第二成分のシリカと第三成分のW、Mo原料を添加して混合した後、第四成分のCe、V及び/又はNb化合物を添加することが好ましい。こうすることで、シリカとＷまたはMoにより酸化チタン粒子間に架橋を形成し、その後に添加したCe、V及びNbが、酸化チタン粒子間に担持され、これらが酸化チタンに強吸着して酸化チタンのシンタリングを促進することを防止する。第四成分の化合物を加える際の第一、第二および第三成分の混合物は、水との混合物（スラリまたはペースト）であってもよいし、または乾燥、焼成後の混合物であってもよい。

上記化合物を含む触媒スラリまたはペーストを担持する担体には、前述のように無機繊維シートをコルゲート加工したハニカム状担体、無機繊維製不織布、金網やメタルラスなどの網状物、E-ガラス繊維などの無機繊維ヤーンを網状に織った網状物などが用いられる。これらは公知の強化剤で強化したり、触媒成分の付着性増加や金属基材の酸化を防止する目的のコーティング層を設けて用いてもよい。

担持方法はどのようなものでもよいが、金属またはセラミック製網状物を用いる場合には、網状物の目が小さい場合には、水分が30-35％の触媒ペーストに無機繊維を添加したものをローラを用いて網状物の目を埋めるように塗布する方法を採用することができる。一方、無機繊維製コルゲートハニカムやセラミック製不織布、セラミックハニカム担体などには、30〜50wt%の触媒成分を有するスラリに浸漬して繊維間隙または表面に触媒スラリをコーティングする方法が適している。また、水分が30-35％の触媒ペーストに無機繊維を添加したものを金型で押出してハニカム状に成形する方法も可能である。
以上の方法により各種基材に触媒スラリまたは触媒ペーストが担持されたものは、必要に応じて切断、成形、変形などの処理を経た後、風乾や熱風乾燥など公知の手段で乾燥され、しかる後に500〜700℃で焼成して触媒として用いられる。

請求項記載の本発明によれば、TiO₂のシンタリングを防止して高い耐熱性と、SO₂のSO₃への酸化活性を抑えた、高い脱硝活性を有すると共に、従来よりもTi-Si比のコントロールが容易で、かつ結合性の高い高強度の触媒を、複雑な製造工程を経ることなく、簡単な方法で製造することができる。

さらに、従来法ではあらかじめTiO₂−SiO₂化合物を調製後、これに活性成分や無機繊維、バインダ等を混合して触媒スラリもしくは触媒ペーストを得、これを担体に担持するかもしくはハニカム状に押出し成形する方法が取られるが、従来法で得られたTiO₂-SiO₂化合物は結合性に乏しいため、強度が出難い。これに対し、本発明の方法では、TiO₂−SiO₂化合物の形成と活性成分担持とを一段に行うことができ、このとき添加するシリカゾルがそのまま無機バインダとしての働きを有するため、容易に機械的強度の高い触媒を得ることができる。Ｓ分を含有する石炭焚き燃焼ボイラでは排ガス中に灰が多く含まれ、この燃焼灰によって触媒が摩耗することが懸念されるが、本発明の方法であれば、高強度の触媒を得ることができる。

[実施例１]
低温乾燥酸化チタン（ミレニアム社製Ｇ５、表面積275m²/g、平均粒径6nm以上）を120g、メタタングステン酸アンモニウム水溶液（(NH₄)₆・H₂W₁₂O₄₀・XH₂O、WO₃として50wt%含有）79g、微粒シリカゾル（日産化学社製、OXSゾル、濃度10wt%、平均粒子径5nm）を120gとを混合し、砂浴上で攪拌しながら蒸発乾固し、大気中150℃で５時間乾燥して、Ti-W-Si化合物を得た。このときの含有量はTi/W原子比で9/1、シリカは酸化チタン重量の10wt%である。

[実施例２]
実施例１のメタタングステン酸アンモニウムをモリブデン酸アンモニウム（(ＮＨ₄)₆・Ｍｏ₇Ｏ₂₄・４Ｈ₂Ｏ）29.4gに変えた以外は実施例１と同様にしてTi-Mo-Si化合物を得た。このときの含有量はTi/Mo原子比で9/1、シリカは酸化チタン重量の10wt%である。

[実施例３]
実施例１の微粒シリカゾルを平均粒径2.1nmのシリカゾル（日産化学社製、濃度3wt%）1.6kgに変えた以外は実施例１と同様にしてTi-W-Si化合物を得た。このときの含有量はTi/W原子比で9/1、シリカは酸化チタン重量の10wt%である。

[実施例４、５]
実施例１の微粒シリカゾルを60、180gに変えた以外は実施例１と同様にしてTi-W-Si化合物を得た。このときの含有量はTi/W原子比で9/1、シリカは酸化チタン重量の5、15wt%である。

[実施例６〜８]
実施例１で得られたTi-W-Si化合物の乾燥粉末109gを乳鉢で粉砕し、これに、それぞれメタバナジン酸アンモニウム（ＮＨ₄ＶＯ₃）1.28g、酸化ニオブゾル（多木化学製、ニオブゾル、５酸化ニオブ濃度10wt%）14.5g、酸化セリウムゾル（多木化学製、ニードラールU-15、酸化セリウム濃度15wt%）12.4gと水150gとを加え、砂浴上で蒸発乾固して、大気中150℃で５時間乾燥した。それぞれTi-W-Si-V化合物、Ti-W-Si-Nb化合物、Ti-W-Si-Ce化合物を得た。このときの含有量はいずれもTi/W原子比で9/1、Ti/V、Ti/Nb、Ti/Ceはいずれも原子比で99/1、シリカはいずれも酸化チタン重量の10wt%である。

[比較例１]
実施例１の微粒シリカゾルをシリカゾル（日産化学社製、ＯＬゾル、平均粒径45nm）に変えた以外は、実施例１と同様にしてTi-W化合物を得た。このときの含有量はTi/W原子比で9/1ある。
[比較例２]
実施例１で用いた酸化チタンのみを水とともに混合し、砂浴上で攪拌しながら蒸発乾固し、大気中150℃で５時間乾燥した。
[比較例４]
実施例１で用いた酸化チタンに実施例６と同様にメタバナジン酸アンモニウムを添加し、後は実施例６と同様にしてTi-V化合物を得た。このときのTi/V比は原子比で99/1である。

実施例１〜８、及び比較例１〜３で得られた化合物の150℃乾燥品をそれぞれ600℃で２時間、２０時間焼成した。得られた化合物の乾燥品、及び焼成品の比表面積をBET比表面積測定法にて測定するとともに、Ｘ線回折装置により酸化チタンの結晶子径を測定した。
実施例及び比較例の化合物の組成を表１に、比表面積及び酸化チタン結晶子径の測定結果を表２に示す。比較例３に示した酸化チタンのみの比表面積は、乾燥のみでは270m²/g以上の高い数値なのに対し、600℃で焼成することで1/5以下に低下する。これにＶを添加した比較例４ではさらに比表面積の低下が大きく、結晶成長が大きくなる。これに対し実施例の触媒は、いずれも600℃焼成後の比表面積低下及び酸化チタンの結晶子径の成長が小さく、本発明方法が酸化チタンのシンタリング防止効果が大きいことを示している。また、シリカ粒子径の大きなシリカゾルを用いた比較例１ではシンタリング防止効果が小さく、より小さな微粒子シリカゾルを使用した実施例３の結果と比較すると、本発明方法がいかに優れているかが明らかである。

[実施例９]
本発明の触媒を実現するための実施例として、本発明を適用した板状触媒の製造例を示す。
酸化チタン（石原産業社製、比表面積250m²/g）12kg、メタタングステン酸アンモニウム4.25kg（粉末状、WO₃として93%）、シリカゾル（日産化学社製、OXSゾル）8.1kgと水をニーダに入れて20分混練後、メタバナジン酸アンモニウム399gを添加して20分混練し、シリカアルミナ系セラミック繊維（東芝ファインフレックス社製）を3.2kgを徐々に添加しながら30分間混練して水分29％の触媒ペーストを得た。得られたペーストを厚さ0.2mmのSUS430製鋼板をメタルラス加工した基材の上に置き、これを二枚のポリエチレンシートに挟んで一対の加圧ローラを通して、メタルラス基材の網目間及び表面に塗布した。これを風乾後、500℃で2時間焼成して板状触媒を得た。得られた触媒の厚さは0.9mmであった。

[比較例３]
実施例１ TiO₂を30％および硫酸根を2.7％含有するメタチタン酸スラリ40kgに、珪酸エチル5.78kgを添加し、ニーダで３時間混合した。さらにメタタングステン酸アンモニウム4.04kg(粉末状、WO₃として93%)を加えて加熱しながら混練し、水分32％のペーストとした。これを3mmφの円柱状に押出造粒し、150℃で12時間乾燥した後、ハンマミルで粉砕しTi/W/Siの粉末を得た。
得られた触媒粉末12kgとメタバナジン酸アンモニウム270gと水を添加して20分混練し、シリカアルミナ系セラミック繊維（東芝ファインフレックス社製）を3.3kgを徐々に添加しながら30分間混練したが、ダイラタンシィーな性質が発現し、ペースト水分が34％と実施例９よりも高水分の触媒ペーストが得られた。得られたペーストを実施例９と同様に基材に塗布しようとすると、ペーストがローラに付着する現象が見られた。得られた触媒を風乾後、500℃で2時間焼成して板状触媒を得た。得られた触媒の厚さは1.3mmであった。

実施例9及び比較例３で得られた触媒を表３に示す条件で350℃の脱硝率を、表４に示す条件で380℃でのSO₂酸化率を測定した。また、触媒の摩耗強度を測定するため、100mm×100mmに切断した触媒を45゜傾けて設置し、その50cm上部から直径0.7mm前後のグリッド8kgを触媒表面に自然落下させて、グリッドによる摩耗強度試験を実施した。その結果を表5に示す。実施例9の触媒は、高強度で高い脱硝性能及び低いSO₂酸化率を示すが、比較例3の触媒は、強度が低く良好な成形体が得られず、また脱硝性能が低くまたSO₂酸化率が高い。このことからも、本発明の方法が従来法よりも優れた製造法であることが明白である。

本発明によれば、低濃度でも高い活性が得られる窒素酸化物除去用触媒が得られ、ＨＲＳＧを持たないガスタービン排ガスなどの高温排ガス中のNOxを効率よく浄化でき、またこれによりコンパクトな脱硝装置を実現することができる。

Claims

第一成分として平均粒子径が15nm以下の酸化チタンと、第二成分として第一成分よりも小さい平均粒子径を有するコロイダル状のシリカと、第三成分としてタングステンまたはモリブデンの可溶性の塩類と、水とを混合して得られる触媒スラリまたはペーストを担体に担持するか、またはハニカム状に押出し成形後、焼成することを特徴とする窒素酸化物除去用触媒の製造法。
前記第一成分、第二成分及び第三成分の化合物と水とを混合する際に、さらに第四成分としてセリウム、バナジウムまたはニオブから選ばれる1種以上の元素の化合物を加えて混合することを特徴とする請求項１記載の方法。
前記第一成分、第二成分及び第三成分の化合物の混合物に、前記第四成分の化合物と水とを混合して得られた触媒スラリまたはペーストを、担体に担持するかまたはハニカム状に押出し成形後焼成することを特徴とする請求項２記載の方法。
前記担体が、金属もしくは無機繊維の網状物、無機繊維織布、またはシリカアルミナ無機繊維シートをコルゲート加工して得られたコルゲートハニカム担体であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の方法。