JP2005305340A - Method and apparatus for removing dust - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体製造工程や廃棄物処理工程等において発生する有害な粉塵を分離して除去する粉塵の除去方法および除去装置に関する。 The present invention relates to a dust removing method and a removing apparatus for separating and removing harmful dust generated in a semiconductor manufacturing process, a waste treatment process, and the like.
半導体素子製造工程等に用いられる粉塵除去装置として、粉塵を含む気流中に筒状のフィルタを配置し、その外側から内側に含塵気体を貫流させて粉塵を濾過するとともに、目詰まり等を解消するためにフィルタから粉塵を取り除く際には、前記フィルタを回転させて、その遠心力により粉塵をフィルタから取り除くようにした粉塵除去装置が知られている（特許文献１）。 As a dust removal device used in semiconductor device manufacturing processes, etc., a cylindrical filter is placed in the airflow containing dust, and dust is filtered by flowing dust-containing gas from the outside to the inside, and clogging is eliminated. Therefore, when removing dust from the filter, there is known a dust removing device that rotates the filter and removes dust from the filter by centrifugal force (Patent Document 1).
特許文献１の粉塵除去装置は、従来、この種の粉塵除去装置が、筒状フィルタの内側から外側に含塵気体を貫流して粉塵を濾過し、フィルタの内側にて捕集された粉塵をブラシにより取り除くもの（特許文献２、特許文献３）としていたため、ブラシによる摩擦でフィルタの寿命が短かった点を改良しようとするものである。
Conventionally, the dust removing device of
ところが、前記特許文献１の粉塵除去方法は、粉塵が、水分、油分、粘性粉塵などの湿り気を帯びている場合に、遠心力のみでは粉塵を十分に取り除くことができない。そしてこのような場合には、圧損が増大する等して良好な粉塵除去処理が行えなくなる、といった問題がある。
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、フィルタにより捕集される粉塵が湿り気を帯びている場合にも、フィルタを損傷することなく目詰まり等を解消するよう粉塵を取り除き、フィルタの長寿命化と良好な粉塵除去能力の維持とを達成することが可能な粉塵の除去方法および除去装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the problems of the prior art, and removes dust so as to eliminate clogging without damaging the filter even when the dust collected by the filter is damp. An object of the present invention is to provide a dust removal method and a removal device capable of achieving a longer filter life and maintaining good dust removal capability.
本発明の粉塵の除去方法は、含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタを用いた粉塵の除去方法であって、前記フィルタの外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、前記フィルタの外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集し、前記フィルタの外周側表面にブラシを摺接させて、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除くことを特徴とする。 The dust removing method of the present invention is a dust removing method using a filter for collecting dust from dust-containing gas, and the outer surface of the filter has a coating for preventing fuzz by a brush. The dust-containing gas is allowed to flow from the outside to the inside of the filter to collect dust, and the brush is brought into sliding contact with the outer peripheral surface of the filter to remove the dust collected on the filter. Features.
本発明の粉塵の除去方法においては、ブラシを回転させて粉塵を取り除いてもよく、あるフィルタを回転させて粉塵を取り除いてもよい。後者の場合、圧損値信号によりフィルタの回転を制御するのが好ましい。 In the dust removing method of the present invention, the brush may be rotated to remove the dust, or a certain filter may be rotated to remove the dust. In the latter case, the rotation of the filter is preferably controlled by the pressure loss value signal.
本発明の粉塵の除去装置は、含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタを備えてなる粉塵の除去装置であって、前記フィルタが略筒状とされるとともにその外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、その外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集するものとされ、前記フィルタの外周側表面と摺接して、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除くブラシが設けられてなることを特徴とする。 The dust removing device of the present invention is a dust removing device comprising a filter for filtering and collecting dust from dust-containing gas, and the filter is substantially cylindrical and has an outer surface. A coating for preventing fuzz by a brush is made, and the dust-containing gas is allowed to flow from the outside to the inside to collect dust by filtration. The dust is collected in contact with the outer peripheral surface of the filter and collected by the filter. It is characterized in that a brush for removing the generated dust is provided.
本発明の粉塵の除去装置においては、コーティングが無数の微細孔を有し、かつブラシと前記コーティングとが静電気的に中立、または同極性である材質とされてなるのが好ましい。 In the dust removing apparatus of the present invention, it is preferable that the coating has countless fine holes, and the brush and the coating are made of a material that is electrostatically neutral or of the same polarity.
本発明は、前記の如く構成されているので、フィルタにより捕集される粉塵が湿り気を帯びている場合にも、フィルタを損傷することなく目詰まり等を解消するよう粉塵を取り除き、フィルタの長寿命化と良好な粉塵除去能力の維持とを達成できるという優れた効果が得られる。 Since the present invention is configured as described above, even when the dust collected by the filter is moist, the dust is removed so as to eliminate clogging without damaging the filter. An excellent effect is achieved that it is possible to achieve a long life and maintain good dust removal capability.
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。 Hereinafter, although the present invention is explained based on an embodiment, referring to an accompanying drawing, the present invention is not limited only to this embodiment.
実施形態１
図１に、本発明の実施形態１に係る粉塵の除去方法に適用された粉塵の除去装置（以下、単に除去装置という）を示し、この除去装置１は、例えば半導体製造工程において気体中の粉塵を除去するために用いられるものとされ、含塵気体を取り入れるための気体取入口１１および除塵された気体を送出するための気体送出口１２を有する気密容器からなるケーシング２と、このケーシング２に収納され、前記ケーシング２内部に取り入れられた気体中の粉塵を濾過捕集するフィルタ３と、フィルタ３の濾過捕集機能を再生するようフィルタ３から粉塵を掻き落とす再生処理を行うためのブラシ４と、ブラシ４を駆動するモータ５とを主要構成要素として備えてなる。
FIG. 1 shows a dust removing device (hereinafter simply referred to as a removing device) applied to a dust removing method according to
ケーシング２およびフィルタ３は略同軸心に配される円筒状部材とされる。ケーシング２の上面に設けられた気体取入口１１からケーシング２内部に取り入れられた含塵気体は、ケーシング２内部でフィルタ３の外側から内側に貫流され、これにより気体中から粉塵が濾過捕集される。濾過済み気体は、フィルタ３の内部からケーシング２下部に設けられた気体送出口１２を通して外部に送出される。
The
フィルタ３は、フェルト、または高分子繊維が混織されたフェルトからなり、その粉塵捕集面である外周面には、無数の微細孔を有する例えばＰＴＦＥ（四フッ化エチレン）の薄膜からなるコーティング(毛羽立ち防止コーティングが施されるものとされる。なお、図示はされていないが、フィルタ３は網状の保持部材によりその形状が変化しないよう内面からサポートされている。
The
ブラシ４は、例えばポリプロピレン（ＰＰ）から形成されており、ギアヘッド２１およびカップリング２２を介して、モータ５により回転駆動されるハンガーアーム２３に設けられるものとされる。なお、ブラシ４の材質はＰＰに限定されるものではなく、粉塵除去が可能な適宜材質とできる。
The
ハンガーアーム２３は、略コの字形に形成された細長い板状の部材とされ、コの字の２本の横線に相当するブラシ取付部２３ａ（図には一方のブラシ取付部のみが示されている）と、コの字の１本の縦線に相当するカップリング取付部２３ｂとから構成されている。
The
２本のブラシ取付部２３ａは、フィルタ３を間に挟んで、その内側のブラシ取付面２３ｃをフィルタ３の外周面と常時対向させるように配され、ブラシ４は、その先端をフィルタ３の外周面と摺接させるようブラシ取付面２３ｃに取り付けられるものとされる。
The two
また、ブラシ取付部２４ａの先端部分は、フィルタ３に遊嵌されるセットリング２５に締結され、その開度が規定されるものとされる。
Moreover, the front-end | tip part of the brush attachment part 24a is fastened by the
しかして、ブラシ４は、モータ５により常時回転駆動されており、フィルタ３の外周面と摺接して、フィルタ３の再生処理を行うものとされる。ここで、前記したように、フィルタ３の粉塵捕集面である外周面にはＰＴＦＥからなるコーティングが施されているため、ブラシ４により摩擦されてもフィルタ３表面を毛羽立てる等の損傷を与えることがない。また、ブラシ４により間断なくフィルタ３の再生処理が行われるため、濾過捕集された粉塵が湿り気を帯びているような場合にも、粉塵がフィルタ３に固着してしまうことがなく、フィルタ３の目詰まりによる圧損増大を抑えて、良好な濾過機能を長期間に亘って維持することが可能となる。
Thus, the
また、コーティングの微細孔の径は、粉塵の粒径に対して十分に小さくすることが可能であり、フィルタ３内部への粉塵の侵入を最小限に抑えることが可能である。これにより、圧損増大を抑えて、良好な濾過機能を長期間に亘って維持することが可能となる。
Further, the diameter of the fine pores of the coating can be made sufficiently small with respect to the particle size of the dust, and the intrusion of the dust into the
また、ブラシ４をＰＴＦＥと同様の負電荷の担体であるポリプロピレンから形成することによって、互いに摩擦し合っても静電気を発生することがなく、粉塵のフィルタ３からの掻き落としが容易となる。したがって、フィルタ３の目詰まりによる圧損増大を抑えて、良好な濾過機能を長期間に亘って維持することが可能となる。
Further, by forming the
実施形態２
図２に、実施形態２の粉塵の除去装置１Ａを示す。実施形態２は実施形態１を改変したものであり、同図に示すように、ブラシ４Ａをケーシング２Ａに固定して設ける一方で、フィルタ３Ａをモータ５Ａにより回転駆動し、これにより、その粉塵捕集面である外周面をブラシ４Ａと摺接させて、フィルタ３Ａの再生処理を行うものとされる。
FIG. 2 shows a
ここで、実施形態２においては、フィルタ３Ａの内外の差圧を計測する差圧計（不図示である）が設けられており、その計測値に基づく圧損値信号が制御装置３０に入力される。制御装置３０は、入力された圧損値信号を参照して、フィルタ３Ａにおける圧損が所定レベル以上に達したときにモータ５Ａを起動し、フィルタ３Ａの再生処理を実行する一方で、圧損が所定レベル以下に減衰したときにはモータ５Ａを停止し、再生処理の実行を停止するよう制御するものとされる。
Here, in the second embodiment, a differential pressure gauge (not shown) that measures the differential pressure inside and outside the
この構成によって、常時の再生処理が不要であるような運転条件においては圧損が増大したときにのみ再生処理を実行するようにして、ランニングコストの削減を図ることが可能である。また、フィルタ３Ａの再生処理を、その回転による遠心力を利用して実行することも可能となる。したがって、よりいっそうの再生効果が期待できる。
With this configuration, it is possible to reduce the running cost by executing the regeneration process only when the pressure loss increases under an operating condition where the regular regeneration process is unnecessary. Further, it is possible to execute the regeneration process of the
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明かかる実施形態のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態２ではモータ駆動とされているが、手動駆動とされてもよい。 As described above, the present invention has been described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to the embodiment, and various modifications can be made. For example, although the motor drive is used in the second embodiment, it may be a manual drive.
本発明によれば、粉塵が湿気を帯びているような場合にも、フィルタを損傷することなく粉塵をフィルタから取り除いて、良好な濾過機能を発揮させることが可能である。 According to the present invention, even when the dust is damp, it is possible to remove the dust from the filter without damaging the filter and to exhibit a good filtering function.
１ 粉塵の除去装置
２ ケーシング
３ フィルタ
４ ブラシ
５ モータ
１１ 気体取入口
１２ 気体送出口
２３ ハンガーアーム
３０ 制御装置
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記フィルタの外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、
前記フィルタの外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集し、
前記フィルタの外周側表面にブラシを摺接させて、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除く
ことを特徴とする粉塵の除去方法。 A dust removal method using a filter for collecting dust from dust-containing gas by filtration,
The outer surface of the filter is coated to prevent fuzz with a brush,
Dust is collected by filtration through the dust-containing gas from the outside to the inside of the filter,
A dust removing method, wherein a brush is brought into sliding contact with the outer peripheral surface of the filter to remove dust collected by the filter.
前記フィルタが略筒状とされるとともにその外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、その外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集するものとされ、前記フィルタの外周側表面と摺接して、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除くブラシが設けられてなることを特徴とする粉塵の除去装置。 A dust removing device including a filter for collecting dust from dust-containing gas by filtration,
The filter has a substantially cylindrical shape and a coating for preventing fuzz by a brush is made on the outer surface thereof, and dust is filtered and collected by allowing the dust-containing gas to flow from the outside to the inside. A dust removing device, characterized in that a brush for removing dust collected by the filter is provided in sliding contact with the outer peripheral surface of the filter.
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