JP2005298293A - マイクロ波プラズマcvd装置およびダイヤモンド膜を成長する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マイクロ波プラズマCVD装置10は、合成炉1に原料ガス源2を備えている。合成炉1内には、基材Bを支持する基材ホルダ8が設けられる。基材ホルダ8は、蓋8Tと容器8Bとを有している。容器8Bは略円筒形状をした容器である。容器8Bは開口8aを有する。開口8aにより固体ドーパント源Dを収容する収容室8rが形成される。蓋8Tは円盤状をなす。容器8Bは、容器8Bに載置されて開口8aを塞ぐ。蓋8Tはその上面の支持部8bで基材Bを支持する。蓋8Tは、気化したドーパント源が原料ガスGのプラズマPが形成される領域に到達するように貫通孔8hを複数有する。
【選択図】 図1
Description
上記の構成によれば、基材ホルダに固体ドーパント源を収容する収容室が設けられているので、固体ドーパント源にプラズマが直接に接触しない。
上記の構成によれば、容器と蓋とにより、収容された固体ドーパント源にプラズマが直接に接触しない。また蓋により、固体ドーパント源と基材とが直接に接触しない。
上記の構成によれば、基材ホルダの収容室に固体ドーパント源を収容するため、固体ドーパント源にプラズマが直接に接触しない。
本発明の製造方法は、気体原料として適当な気体化合物がないリチウムをドープする場合に特に有用である。
図1(a)は本発明の第1実施形態に係るマイクロ波プラズマCVD装置の装置構成を示す図である。図1(a)に示すように、このマイクロ波プラズマCVD装置10は、合成炉1と、原料ガス源2と、マイクロ波発生装置5と、導波路4とを備えている。合成炉1内には、基材Bを支持するための基材ホルダ8が設けられている。
まず図1(a)に示す合成炉1のガス導入口7より、原料ガスとして水素、メタン、及び必要な場合は窒素を含む原料ガスGを導入する。合成炉1内部の圧力は、合成炉1の排気手段3により真空排気されることによって、数千〜2万数千Pa(数十〜百数十Torr)に保持される。導波路4にマイクロ波5を導入すると、合成炉1内部にプラズマPが発生する。基材Bおよび基材ホルダ8は、プラズマPにより加熱される。プラズマPによる加熱温度は、マイクロ波発生装置5からのマイクロ波Wの投入パワー及び合成炉1内部の圧力を調節することによって調整される。
前述したように、プラズマの温度を変化させて固体ドーパント源Dの昇華量を制御しようとすれば基材温度も変化してしまう。基材温度を変化させると配向性も変化する。しかし、本実施形態においては、この温度制御手段6により、基材ホルダ8の温度を独立して制御することができる。そのため、基材温度や結晶成長の配向性を変化させることなく、ドープ量を制御することができる。
以上によれば、本発明によるマイクロ波プラズマCVD装置及びダイヤモンド膜の成長方法により、ダイヤモンド膜が好適に作製可能である。
Claims (4)
- マイクロ波プラズマCVD装置であって、
ダイヤモンド膜を成長するための原料ガスを供給する原料ガス源と、
前記原料ガスのプラズマが生成される領域を提供する合成炉と、
前記合成炉内に設けられており、ダイヤモンド膜が成長される基材を支持するための基材ホルダと、を備え、
前記基材ホルダは、固体ドーパント源を収容する収容室と、該収容室から前記合成炉の前記領域に通じており気化したドーパント源を前記合成炉の前記領域に提供するための貫通孔とを有する、ことを特徴とするマイクロ波プラズマCVD装置。 - 前記基材ホルダは、開口を含み前記収容室を形成する容器と、前記開口を塞ぐ蓋とを有しており、
前記貫通孔は前記蓋に設けられており、
前記蓋は前記基材を支持する、ことを特徴とする請求項1に記載されたマイクロ波プラズマCVD装置。 - ダイヤモンド膜を成長する方法であって、
固体ドーパント源を収容する収容室を有する基材ホルダ上に基材を配置し、
マイクロ波を用いて原料ガスのプラズマを生成すると共に、気化したドーパント源を前記基材ホルダに設けられた貫通孔を通して供給して、ドープされたダイヤモンド膜を前記基材上に成長する、
ことを特徴とする方法。 - 前記固体ドーパント源は、リチウム化合物であることを特徴とする請求項3に記載のダイヤモンド膜を成長する方法。
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