JP2005297284A - Mold cleaning sheet and cleaning method using it - Google Patents

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平賀  敏
Kenichiro Iwama
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mold cleaning sheet which can improve work properties during cleaning in the cleaning of a mold having a suction hole of a one-surface mold represented by a mold for so-called non-lead package and clean a part impossible for a cleaning resin to enter and a cleaning method. <P>SOLUTION: In the mold cleaning sheet, one surface is made of a heat-resistant cleaning resin solution impermeable material having a thickness of 10-150 μm, the other surface is made of a cleaning resin solution permeable material having a thickness of 0.10-1.0 mm, both surfaces are bonded together, and a curl degree θ is -90°<θ<90°. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば、IC等の電子部品を樹脂材料によって封止成形するための樹脂成形用金型面及びその他の樹脂成形用金型面のクリーニング用シート及びそれを用いたクリーニング方法に関する。更に詳しくは、例えばいわゆるノンリードパッケージといわれるリード線のないタイプのパッケージを樹脂成形する金型で、片面に基板を固定するために吸引孔が設けられた樹脂成形用金型面及びその他の樹脂成形用金型面のクリーニングに用いられるクリーニングシート及びそれを用いたクリーニング方法に関する。   The present invention relates to a resin molding die surface for sealing and molding electronic components such as ICs with a resin material, a cleaning sheet for other resin molding die surfaces, and a cleaning method using the same. More specifically, for example, a mold for resin-molding a package without a lead wire called a so-called non-lead package, and a mold surface for resin molding provided with suction holes for fixing a substrate on one side and other resins The present invention relates to a cleaning sheet used for cleaning a molding die surface and a cleaning method using the same.

例えば、IC、ダイオード、コンデンサー等の電子部品をエポキシレジン等の熱硬化性樹脂材料にて封止成形するための金型としては、両面にキャビティ部等の凹部が設けられたいわゆる両面金型や、片面のみに凹部が設けられたいわゆる片面金型がある。従来樹脂封止される電子部品にはリード線がついていたが、技術の進歩によりリード線を持たないもの、例えばBGA(Ball Grid Array)やCSP(Chip Scale Package)等、いわゆるノンリードパッケージが主流となりつつある。ノンリードパッケージの場合、リード線に相当する部分は樹脂封止された底面に設けられることが多い。   For example, as a mold for sealing and molding electronic components such as ICs, diodes and capacitors with a thermosetting resin material such as an epoxy resin, a so-called double-sided mold in which concave portions such as cavities are provided on both sides, There is a so-called single-sided mold in which a recess is provided only on one side. Conventionally, electronic parts that are encapsulated with resin have lead wires, but those that do not have lead wires due to technological advances, for example, so-called non-lead packages such as BGA (Ball Grid Array) and CSP (Chip Scale Package) are mainly used. It is becoming. In the case of a non-lead package, a portion corresponding to a lead wire is often provided on a resin-sealed bottom surface.

このようなノンリードパッケージを樹脂封止する金型は片面にキャビティ部等の凹部が設けられたいわゆる片面金型である。また、基板自体もフィルムで構成されていることが多く、基板を吸着固定するために平版の金型には吸引孔が設けられている。
ノンリードパッケージの樹脂封止は以下のように実施されている。型開きしている金型間に基板が挿入され、平版の金型に設けられた吸引孔により吸引して基板を所定位置に固定する。基板を位置固定した後金型を型締めし、通常のエポキシ樹脂等の樹脂封止用樹脂が金型に充填される。熱硬化させた後型開きされ、樹脂封止された基板を取り出し、操作が終了する。
A mold for resin-sealing such a non-lead package is a so-called single-sided mold in which a concave portion such as a cavity is provided on one side. In many cases, the substrate itself is also made of a film, and a suction hole is provided in the planographic mold in order to adsorb and fix the substrate.
Resin sealing of the non-lead package is performed as follows. A substrate is inserted between the molds that are opened, and is sucked through a suction hole provided in a lithographic mold to fix the substrate at a predetermined position. After fixing the position of the substrate, the mold is clamped and a resin sealing resin such as a normal epoxy resin is filled into the mold. After thermosetting, the mold is opened and the resin-sealed substrate is taken out, and the operation is completed.

全てのタイプの金型について共通のことではあるが、製品の製造により樹脂封止操作を実施していると、樹脂中のフィラーや樹脂滓等が金型に残留してくる。通常キャビティ部等製品になる部分の金型は、封止された樹脂の上に印刷することが多いためキャビティ部は梨地仕上げ、すなわち微小な凹凸状に仕上げられていることが多い。この部分に汚れが溜りやすく、放置して生産を続けていると印刷不良やバリ等の欠点が生じてくる。また、金型内にこれらの汚れが落下すると金型の型締めに斑が生じ、金型の変形や封止用樹脂の洩れ等の欠点も生じてくる。これらの欠点を解消するために、ある程度樹脂封止による生産を行った後に金型に付着した汚れ等を清掃する必要がある。   Although common to all types of molds, when a resin sealing operation is carried out by manufacturing a product, fillers, resin soot, etc. in the resin remain in the mold. Usually, a mold which is a product such as a cavity portion is often printed on a sealed resin, so that the cavity portion is often finished with a satin finish, that is, a fine unevenness. Dirt is likely to accumulate in this portion, and if it is left for production, defects such as printing defects and burrs will occur. In addition, when these stains fall into the mold, the mold is clamped, and defects such as deformation of the mold and leakage of the sealing resin also occur. In order to eliminate these drawbacks, it is necessary to clean dirt and the like attached to the mold after production by resin sealing to some extent.

これら汚れや異物の除去方法としては、例えば専用のブラシ部材を用いる方法や、高圧縮エアを吹き付ける方法や、メラミン樹脂系のクリーニング用樹脂材料及びクリーニング用のダミーリードフレームを用いて通常のトランスファー成形と同様の樹脂成形を行うことにより、その溶融樹脂材料に金型面の異物を接着させて、これを該樹脂材料と共に金型面から除去する方法等も提案されている。   As a method for removing these stains and foreign matters, for example, a method using a dedicated brush member, a method of spraying highly compressed air, a melamine resin-based cleaning resin material, and a normal transfer molding using a cleaning dummy lead frame A method is also proposed in which the same resin molding is performed to adhere foreign matter on the mold surface to the molten resin material, and this is removed from the mold surface together with the resin material.

しかしながら、上記したブラシ部材を用いる方法や高圧縮エアを吹き付ける方法においては、金型面に付着した異物の剥離除去作用・効果が一様ではないために、その除去効率が低くきわめて不充分なものであった。特に、電子部品の樹脂封止成形時のように、樹脂材料として熱硬化性樹脂材料が用いられる場合は、金型(金属)に対する樹脂の接着性が大きいことから、完全に異物を剥離除去することができず、従って、これらのクリーニング方法を採用しても更にその後処理工程として、 例えば、作業者がクリーニング用ヘラ等の専用部材を用いて異物を確実に剥離除去すると云った人為的な手作業によるクリーニング作業が必要不可欠であった。   However, in the method using the above-described brush member and the method of blowing highly compressed air, the removal / removal action / effect of the foreign matter adhering to the mold surface is not uniform, so the removal efficiency is low and extremely insufficient. Met. In particular, when a thermosetting resin material is used as the resin material as in resin sealing molding of electronic parts, the adhesiveness of the resin to the mold (metal) is high, so that the foreign matter is completely removed and removed. Therefore, even if these cleaning methods are adopted, as a subsequent processing step, for example, an operator is required to manually remove and remove foreign matters by using a dedicated member such as a cleaning spatula. Cleaning work by work was indispensable.

このため、加熱金型面のクリーニングと云う作業上の危険性を解消することができず、また、全体的な生産性が低下すると共に、成形品の品質性及び信頼性が低下し、更に、上記した専用部材には砥粒が含有されているので、却って金型面を損傷する等の問題があった。   For this reason, the operational risk of cleaning the heating mold surface cannot be eliminated, the overall productivity is reduced, and the quality and reliability of the molded product are reduced. Since the above-mentioned dedicated member contains abrasive grains, there are problems such as damage to the mold surface.

また、メラミン樹脂系のクリーニング用樹脂材料等を用いる方法においては、クリーニング用樹脂溶液が充填される金型面、即ち、該樹脂溶液の移送用通路や上下両キャビティ及びエアベントの内に残存付着した異物との接着効果は認められるが、これらの充填部からリードフレームのセット用凹所やその他の金型面に浸入して硬化した異物についての剥離除去作用・効果は全く期待することができないものであった。従って、このような場合は、金型のポット及び移送用通路の周辺部・セット用凹所の全面・エアベントの周辺部等には未だ異物が残存付 着していることになるので、該方法を採用しても、該部位に残存付着した異物の剥離除去を目的としたクリーニング作業を別に行う必要があるため、このようなクリーニング方法においても全体的な生産性や品質性及び信頼性を低下させると云う上述したと同様の問題を改善することができないものであった。   Further, in the method using a melamine resin-based cleaning resin material or the like, it remains adhered to the mold surface filled with the cleaning resin solution, that is, the resin solution transfer passage, the upper and lower cavities, and the air vent. Adhesion effect with foreign material is recognized, but the removal and removal action / effect cannot be expected for foreign material that has hardened by entering into the recess of lead frame or other mold surface from these filling parts. Met. Therefore, in such a case, foreign matters still remain on the periphery of the mold pot and transfer passage, the entire surface of the set recess, the periphery of the air vent, etc. Even if such a cleaning method is used, it is necessary to perform a separate cleaning operation for the purpose of peeling and removing the foreign matter remaining on the part, so that the overall productivity, quality and reliability are reduced even in such a cleaning method. However, the problem similar to that described above cannot be improved.

以上のような金型クリーニングにおける欠点を解消するためのクリーニング方法として特許文献1にダミーフレームの替わりにネット状素材からなる金型クリーニングシートを用いて金型をクリーニングする方法が提案されている。この方法によれば従来の金型クリーニングにおける欠点をほぼ解消することが可能であるが、いわゆるノンリードパッケージ用の金型では一方の金型に基板を固定するための細かい吸引孔が設けられているため、ネット状素材を通してクリーニング用の樹脂が吸引孔へ吸い込まれ吸引孔が詰まる等の問題があった。   As a cleaning method for solving the above-described drawbacks in mold cleaning, Patent Document 1 proposes a method of cleaning a mold using a mold cleaning sheet made of a net-like material instead of a dummy frame. According to this method, it is possible to substantially eliminate the drawbacks of conventional mold cleaning, but a so-called non-lead package mold has a fine suction hole for fixing the substrate to one mold. Therefore, there is a problem that the cleaning resin is sucked into the suction hole through the net-like material and the suction hole is clogged.

この問題を解決するために、マスクシートとクリーニングシートを有するクリーニング用シートが特許文献2に提案されている。この方法によればクリーニング樹脂が吸引孔へ吸い込まれる危険性は激減するが、マスクシートやクリーニングシートを選ばないとクリーニング樹脂がキャビティ等の金型凹部内部に充分に行き渡らなかったり、クリーニング樹脂が固化後に取り出そうとするとクリーニングシートとの一体性が悪くキャビティ内部に樹脂が残留しこれを取り除くのに手間がかかったり、残留物の破片等によりクリーニング後の生産で不良品の発生率が高くなったりすることがあった。また、クリーニングシートから発生する異物等による再汚染の可能性も否定できないものであった。更には、当然のことながらクリーニング樹脂が接触している部分はクリーニングできるもののクリーニング樹脂が接触しない部分、例えば金型の合わせ部等は何らクリーニング効果が期待できないものであった。また、マスクシートとクリーニングシートの複合方法や素材の選定によっては、金型にセットする場合、金型が高温のためマスクシートやクリーニングシートがカールして作業性が非常に低下するという可能性が大きいものであった。
特許第1903680号公報 特開2002−225040号公報
In order to solve this problem, Patent Document 2 proposes a cleaning sheet having a mask sheet and a cleaning sheet. According to this method, the risk of the cleaning resin being sucked into the suction hole is drastically reduced. However, if the mask sheet or cleaning sheet is not selected, the cleaning resin does not reach the inside of the mold recess such as the cavity or the cleaning resin is solidified. If you try to remove it later, the integrity of the cleaning sheet will be poor and the resin will remain inside the cavity, and it will take time to remove it, and the occurrence of defective products will increase in the production after cleaning due to debris etc. There was a thing. In addition, the possibility of recontamination due to foreign matters generated from the cleaning sheet cannot be denied. Further, as a matter of course, a portion where the cleaning resin is in contact can be cleaned, but a portion where the cleaning resin is not in contact, for example, a mating portion of the mold, cannot be expected to have any cleaning effect. In addition, depending on the combination method of mask sheet and cleaning sheet and the selection of materials, there is a possibility that the mask sheet and cleaning sheet will curl due to the high temperature of the mold and the workability will be greatly reduced when setting in the mold. It was a big one.
Japanese Patent No. 1903680 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-2225040

本発明は、いわゆるノンリードパッケージ用の金型に代表される片面金型でかつ一方に吸引孔を備えた金型のクリーニングにおいてクリーニング時の作業性を向上させ、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分も清掃できる金型クリーニングシートと金型クリーニング方法を提供することを目的とする。   The present invention is a single-sided mold typified by a so-called non-lead package mold and improves the workability during cleaning in cleaning a mold having a suction hole on one side, and does not contain a cleaning resin. Another object of the present invention is to provide a mold cleaning sheet and a mold cleaning method that can be cleaned.

本発明者等は、前記課題を解決するためネット状素材の金型クリーニングシートの金型クリーニング特性と吸引孔へクリーニング樹脂を流入させない方法を鋭意検討した結果、吸引孔側にクリーニング用樹脂溶液非透過性材料を用いつつ、これに接着される金型クリーニングシートのもう片面の素材と特性を特定の再生セルロース混不織布とすることでクリーニング樹脂の未充填や固化樹脂の脱落が発生しにくく、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分をも清掃できることを見出し、本発明をなすに至った。   In order to solve the above problems, the present inventors have intensively studied the mold cleaning characteristics of the net-shaped material mold cleaning sheet and the method of preventing the cleaning resin from flowing into the suction hole. While using a permeable material, making the material and properties of the other side of the mold cleaning sheet to be bonded to this a specific regenerated cellulose-mixed non-woven fabric is less likely to cause unfilling of the cleaning resin and falling off of the solidified resin, and Thus, the present inventors have found that it is possible to clean even a portion where the cleaning resin does not enter, thereby achieving the present invention.

すなわち、本発明は以下のとおりである。
(1)片面が厚み10〜150μmの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み0.1〜1mmの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが−90°<θ<90°であることを特徴とする金型クリーニングシート。
(2)クリーニング樹脂溶液透過性材料が再生セルロース連続長繊維不織布である(1)に記載の金型クリーニングシート。
(3)金型片面Aに吸引孔を有し、もう一方の金型片面Bにキャビティ部等の成形用凹部を有する樹脂成形用金型をクリーニングする方法において、樹脂成形用金型面間に(1)または(2)に記載の金型クリーニングシートをセットすることを特徴とする樹脂成形用金型面のクリーニング方法。
That is, the present invention is as follows.
(1) A heat-resistant cleaning resin solution non-permeable material having a thickness of 10 to 150 μm on one side, and a cleaning resin solution permeable material comprising a regenerated cellulose mixed nonwoven fabric having a thickness of 0.1 to 1 mm on the other side. A mold cleaning sheet having a curl degree θ of −90 ° <θ <90 °.
(2) The mold cleaning sheet according to (1), wherein the cleaning resin solution-permeable material is a regenerated cellulose continuous long fiber nonwoven fabric.
(3) In a method for cleaning a resin molding die having a suction hole on one side A of the mold and having a molding recess such as a cavity on the other side B of the mold, (1) A method for cleaning a mold surface for resin molding, comprising setting the mold cleaning sheet according to (2).

本発明の金型クリーニングシートは、いわゆるノンリードパッケージ用の金型に代表される片面金型でかつ一方に吸引孔を備えた金型のクリーニングにおいてクリーニング時の作業性を向上させ、かつ、クリーニング樹脂が入らない部分も清掃できる極めて有効なものである。   The mold cleaning sheet of the present invention is a single-sided mold typified by a so-called non-lead package mold and improves the operability during cleaning in cleaning a mold having suction holes on one side. It is extremely effective because it can clean the part that does not contain resin.

本発明について、以下具体的に説明する。
本発明の金型クリーニングシートは、片面に耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面にクリーニング樹脂溶液透過性材料が接着されてなる構造である。当初、接着剤がクリーニングシートを介して金型面へ付着することで金型を汚染することが懸念されたため圧着により各材料の一体化を検討したが圧着部のクリーニングシートに密度斑ができクリーニング樹脂の固着性が低下したり、クリーニングシートに凹凸が生じ金型凹部内に凸部が接触したりしてクリーニング樹脂が未充填になったり、圧着時に耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料が破れてクリーニング樹脂がキャビティ部等の凹部以外に洩れだしたり、クリーニング樹脂固化後に耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料とクリーニング樹脂溶液透過性材料が外れて作業性が極端に低下したりして、この方法では目的を達成するに足るクリーニングシートを製造することは困難であった。このため、接着する方法を検討した結果、耐熱性の接着剤、例えばポリエステル系の接着剤を使用し、かつ、耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料に非常に薄くこれを塗布することにより、耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料とクリーニング樹脂溶液透過性材料の一体性が良好で、かつ、接着剤がクリーニングシートを介して金型面へ付着することで金型を汚染することがほとんどないクリーニングシートが得られることがわかった。
The present invention will be specifically described below.
The mold cleaning sheet of the present invention has a structure in which a heat-resistant cleaning resin solution non-permeable material is bonded on one side and a cleaning resin solution permeable material is bonded on the other side. Initially, there was concern about contamination of the mold due to the adhesive adhering to the mold surface through the cleaning sheet. Deterioration of resin adhesion, irregularities in the cleaning sheet, and projections come into contact with the recesses of the mold and the cleaning resin is not filled. The cleaning resin leaks to other than the cavity and other recesses, or the heat-resistant cleaning resin solution non-permeable material and the cleaning resin solution permeable material come off after the cleaning resin is solidified, resulting in extremely low workability. In this method, it is difficult to produce a cleaning sheet sufficient to achieve the object. For this reason, as a result of studying the bonding method, a heat-resistant adhesive, for example, a polyester-based adhesive is used, and the heat-resistant cleaning resin solution non-permeable material is applied very thinly. , The heat-resistant cleaning resin solution non-permeable material and the cleaning resin solution permeable material have good integrity, and the adhesive adheres to the mold surface via the cleaning sheet to contaminate the mold. It was found that a cleaning sheet with almost no slag could be obtained.

例えばクリーニングシートは以下のようにして製造できる。耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料として接着剤塗布面にコロナ処理を行ったポリエステルフィルムに接着剤が塗られたロールと接触させてフィルムに接着剤を付与し、接着剤を乾燥させた後、クリーニング用樹脂溶液透過性材料を接着剤塗布面側に挿入して加圧加熱することで一体化させる、いわゆるドライラミネーションにより製造できる。押し出しラミネーションでも可能であるが、接着剤量がドライラミネーションに比べて多くなる傾向にあるのでドライラミネーションが好ましい製造方法である。   For example, the cleaning sheet can be manufactured as follows. As a heat-resistant cleaning resin solution impermeable material, the adhesive coated surface was contacted with a roll coated with an adhesive on a polyester film subjected to corona treatment, the adhesive was applied to the film, and the adhesive was dried. Thereafter, it can be manufactured by so-called dry lamination in which a resin solution-permeable material for cleaning is inserted into the adhesive application surface side and integrated by heating under pressure. Extrusion lamination is also possible, but dry lamination is a preferred manufacturing method because the amount of adhesive tends to be larger than dry lamination.

本発明の金型クリーニングシートは、該クリーニング樹脂溶液透過性材料が再生セルロース混不織布である。ここでいう再生セルロースとはビスコース法レーヨンや銅アンモニア法レーヨン、溶剤法によるリヨセルやテンセルのことをいう。再生セルロース混不織布とは、再生セルロースが少なくとも60重量%以上混合された不織布のことをいい、他素材が混合されている場合は耐熱性、少なくとも融点が200℃以上の素材が混合されているものをいう。   In the mold cleaning sheet of the present invention, the cleaning resin solution-permeable material is a regenerated cellulose mixed nonwoven fabric. Here, regenerated cellulose means viscose rayon, copper ammonia rayon, lyocell or tencel by solvent method. Recycled cellulose-mixed non-woven fabric refers to a non-woven fabric in which regenerated cellulose is mixed at least 60% by weight or more. When other materials are mixed, heat-resistant, at least a material having a melting point of 200 ° C. or higher is mixed. Say.

ビスコース法レーヨンや銅アンモニア法レーヨンに代表される再生セルロース繊維は、公定水分率(20℃、65%RH条件下における水分率)が11%と他のセルロース繊維、特に天然セルロース繊維である綿などに比べて大きい。クリーニング樹脂による金型クリーニング工程では金型に熱がかかるので、この熱により繊維中の水分が蒸発し、セルロース繊維が収縮するのでクリーニング樹脂がない部分においても金型表面の汚れ等を噛み込んで取る効果が向上する。また、型締めされた部分では収縮により更に密度が上がるためクリーニング樹脂の不慮の横漏れ防止にも効果がある。これらの効果はクリーニング時に使用する温度でシートの強力や伸度の変化の少ない素材である再生セルロース繊維の特徴である。再生セルロースの混率は、60重量%以上が収縮による汚れ除去効果の点で好ましい。   Recycled cellulose fibers typified by viscose rayon and copper ammonia rayon have an official moisture content (water content under conditions of 20 ° C. and 65% RH) of 11%, and other cellulose fibers, especially cotton that is natural cellulose fiber. Bigger than that. In the mold cleaning process using the cleaning resin, heat is applied to the mold, so that moisture in the fiber evaporates and the cellulose fiber contracts. The effect to take is improved. Further, since the density is further increased by shrinkage in the clamped portion, it is effective in preventing the side leakage of the cleaning resin. These effects are characteristic of the regenerated cellulose fiber, which is a material with little change in sheet strength and elongation at the temperature used during cleaning. The mixing ratio of regenerated cellulose is preferably 60% by weight or more from the viewpoint of the effect of removing dirt due to shrinkage.

また、再生セルロース連続長繊維不織布で構成すると、繊維が連続しているので短繊維で構成されたものに比べてシート表面からの発塵が非常に少ないため、クリーニング作業の一連の工程においてシートから金型面への異物汚染を少なくすることができる。再生セルロース長繊維不織布としては、例えば銅アンモニア法レーヨンを流下緊張紡糸法で製造した旭化成株式会社製『ベンリーゼ(R)』がある。特に、旭化成株式会社製『ベンリーゼ(R)』は再生セルロース連続長繊維が自己接着により不織布を形成するので、繊維自身をばらけさせないために通常使われるバインダーを使用していないため、金型に直接接触しても金型クリーニング時にかかる熱や洗浄用の溶剤などによりバインダーが溶出して金型面を汚染することもないので金型クリーニングシートとして最適の素材である。   In addition, since it is composed of regenerated cellulose continuous long-fiber nonwoven fabric, since the fibers are continuous, dust generation from the sheet surface is very small compared to that composed of short fibers. Foreign matter contamination on the mold surface can be reduced. As the regenerated cellulose long fiber nonwoven fabric, for example, “Benlyse (R)” manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., which is produced by a falling tension spinning method using copper ammonia rayon, is available. In particular, "Benlyse (R)" manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd. uses regenerated cellulose continuous fibers to form a non-woven fabric by self-adhesion, so it does not use a binder that is normally used to prevent the fibers themselves from being scattered. Even if it is in direct contact, the binder does not elute due to heat applied during mold cleaning or a solvent for cleaning, and the mold surface is not contaminated.

本発明の金型クリーニングシートは、該クリーニング樹脂溶液透過性材料が、好ましくは、再生セルロース連続長繊維不織布であり、かつ、その厚みが、好ましくは0.10〜1.0mm、より好ましくは0.20〜0.90mm、更に好ましくは0.30〜0.80mmである。
本発明は、BGA等の金型クリーニングシートを目的としているが、BGA等の基板は薄膜化が進んでおり、厚みが1.0mmを超えるクリーニングシートを用いると金型の型締めによりクリーニング樹脂溶液透過性材料が浮きやすく、キャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。また、0.10mm未満であるとクリーニング樹脂溶液の保持性が低下して固化後にキャビティ内に固化樹脂が残留する、いわゆる剥離不良が発生することがある。
In the mold cleaning sheet of the present invention, the cleaning resin solution-permeable material is preferably a regenerated cellulose continuous long fiber nonwoven fabric, and the thickness thereof is preferably 0.10 to 1.0 mm, more preferably 0. .20 to 0.90 mm, more preferably 0.30 to 0.80 mm.
The present invention is intended for a mold cleaning sheet such as BGA, but the substrate of BGA or the like is becoming thinner, and if a cleaning sheet having a thickness exceeding 1.0 mm is used, a cleaning resin solution is obtained by clamping the mold. The permeable material tends to float and may come into contact with the wall surface or the bottom surface of a recess such as a cavity to cause an unfilled phenomenon of the cleaning resin. Also, if the thickness is less than 0.10 mm, the retention of the cleaning resin solution is lowered, and a solidified resin remains in the cavity after solidification, so-called peeling failure may occur.

尚、クリーニング樹脂溶液透過性材料の厚みは以下の方法で測定されたものをいう。測定圧0.49kPaでクリーニングシート全体の厚みd1を測定する。クリーニングシートの厚み方向を電子顕微鏡で観察してクリーニング樹脂溶液非透過性材料の厚みd2を測定する。クリーニング樹脂溶液透過性材料の厚みdは次式で与えられる。
d=d1−d2
本発明の金型クリーニングシートはカール度θが好ましくは−90°<θ<90°、より好ましくは−60°≦θ≦60°、更に好ましくは−45°≦θ≦45°である。ここでいうカール度とは以下の方法で測定されたものをいう。
The thickness of the cleaning resin solution-permeable material is measured by the following method. The thickness d1 of the entire cleaning sheet is measured at a measurement pressure of 0.49 kPa. The thickness direction d2 of the cleaning resin solution impermeable material is measured by observing the thickness direction of the cleaning sheet with an electron microscope. The thickness d of the cleaning resin solution permeable material is given by the following equation.
d = d1-d2
The mold cleaning sheet of the present invention preferably has a curl degree θ of −90 ° <θ <90 °, more preferably −60 ° ≦ θ ≦ 60 °, and further preferably −45 ° ≦ θ ≦ 45 °. The curl degree here means that measured by the following method.

20cm四方の試料を180℃のプレート上に置き、30秒間放置する。試料がカールする方向を確認する。新たに20cm四方の試料を準備し、上向きにカールするように試料を180℃のプレート上に置き、30秒後のカール状態を写真で記録する。この際、図1に示すように水平方向から写真撮影を行う。カールした試料の端から接線を引き、プレートとの角度を求めカール度θとする。尚、試料が1回以上巻いた状態の場合は、プレートとの角度に巻いた回数×360°を加えたものがカール度θとなる。カール度が負の値になる場合は、図1において上に凸の状態でカールする場合である。
カール度θが±90°を超えると第1金型と第2金型を型締めする際に折れ曲がり一部が2枚重ね以上の状態で型締めされるのでクリーニング樹脂の洩れやクリーニングしたい部分への樹脂の未充填等が発生したり、圧力分布が不均一となり金型が変形する恐れがある。また、これらの修正や後処理等に時間がかかり作業効率が低下することがある。
A 20 cm square sample is placed on a 180 ° C. plate and left for 30 seconds. Check the direction in which the sample curls. A new 20 cm square sample is prepared, placed on a 180 ° C. plate so as to curl upward, and the curled state after 30 seconds is recorded with a photograph. At this time, the photograph is taken from the horizontal direction as shown in FIG. A tangent line is drawn from the end of the curled sample, and the angle with the plate is obtained as the curl degree θ. When the sample is wound once or more, the curl degree θ is obtained by adding the number of times of winding to the angle of the plate × 360 °. The case where the curl degree is a negative value is a case where the curl is curled upward in FIG.
If the curl degree θ exceeds ± 90 °, the first mold and the second mold are folded when the mold is clamped, and part of the mold is clamped in two or more layers. The resin may be unfilled or the like, or the pressure distribution may be uneven and the mold may be deformed. In addition, these corrections and post-processing may take time and work efficiency may be reduced.

カールはクリーニング樹脂溶液透過性材料とクリーニング用樹脂溶液非透過性材料の熱収縮差で発生すると考えられる。このため、カールの発生を抑制するには、例えばクリーニング樹脂溶液透過性材料とクリーニング用樹脂溶液非透過性材料の熱収縮差が少ない素材同士を張り合わせたり、貼り合せ時の張力調整により熱収縮差を抑えたり、クリーニング用樹脂溶液非透過性材料の厚みを増大させることによりクリーニング樹脂溶液透過性材料の熱収縮を抑制したりすることでカールをコントロールすることができる。   Curling is considered to occur due to a difference in thermal shrinkage between the cleaning resin solution permeable material and the cleaning resin solution non-permeable material. For this reason, in order to suppress the occurrence of curling, for example, a material having a small heat shrinkage difference between the cleaning resin solution permeable material and the cleaning resin solution non-permeable material is bonded to each other, or the heat shrinkage difference is adjusted by adjusting the tension at the time of bonding. Curling can be controlled by suppressing heat shrinkage of the cleaning resin solution-permeable material by suppressing the thickness of the cleaning resin solution-impermeable material.

本発明の金型クリーニングシートは、該クリーニング樹脂溶液透過性材料の繊維充填率が5〜30%であることが好ましく、より好ましくは10〜20%である。ここでいう繊維充填率とは、以下の方法で算出したものをいう。前述の方法で求めたクリーニング樹脂溶液透過性材料の厚みd(cm)と、クリーニングシート10000cm当たりの重量w(g)を測定する。まずは次式で100%繊維充填時の1m当たりの重量s(g)を算出し、その後繊維充填率を算出する。
100%繊維充填時の1m当たりの重量 s =10000cm×d cm×(素材の比重)
繊維充填率(%)=w/s×100
In the mold cleaning sheet of the present invention, the fiber filling rate of the cleaning resin solution-permeable material is preferably 5 to 30%, more preferably 10 to 20%. The fiber filling rate here means that calculated by the following method. The thickness d (cm) of the cleaning resin solution permeable material obtained by the above method and the weight w (g) per 10,000 cm 2 of the cleaning sheet are measured. First, the weight s (g) per 1 m 2 when 100% fiber is filled is calculated by the following formula, and then the fiber filling rate is calculated.
Weight per 1 m 2 when filled with 100% fiber s = 10000 cm 2 × d cm × (specific gravity of material)
Fiber filling rate (%) = w / s × 100

尚、素材の比重は化繊協会刊行の繊維ハンドブック等に掲載の数値を用いる。例えば、ビスコース法レーヨンは1.51、銅アンモニア法レーヨンは1.50の数値を用いる。
繊維充填率が5%未満であると金型型締め時にクリーニング樹脂溶液透過性材料が浮きやすく、キャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。繊維充填率が30%を超えるとクリーニング樹脂の保持性が低下して固化後にキャビティ内に固化樹脂が残留する、いわゆる剥離不良が発生することがある。
In addition, the specific gravity of a material uses the numerical value published in the fiber handbook published by the Chemical Fiber Association. For example, a numerical value of 1.51 is used for the viscose rayon and 1.50 for the copper ammonia rayon.
If the fiber filling rate is less than 5%, the cleaning resin solution-permeable material is likely to float when the mold is clamped, and the cleaning resin may not fill with the surface of the concave wall such as a cavity. When the fiber filling rate exceeds 30%, the retention of the cleaning resin is lowered, and the solidified resin remains in the cavity after solidification, so-called peeling failure may occur.

本発明でいうのクリーニング用樹脂非透過性材料の厚みは10〜150μmが好ましく、より好ましくは15〜130μm、更に好ましくは20〜100μmである。10μm未満であると擦れや異物との接触により破れが生じやすく、また、クリーニング樹脂の圧力により破れを生じ樹脂洩れが発生しやすくなる。また、150μmを超えるとクリーニング樹脂非透過性材料の強度にもよるが、金型に設置された凸部、例えば基板端面寄せピン、エジェクタ−ピン、位置決めピン等を痛めることがある。   The thickness of the resin impermeable material for cleaning referred to in the present invention is preferably 10 to 150 μm, more preferably 15 to 130 μm, and still more preferably 20 to 100 μm. If it is less than 10 μm, it is easy to break due to rubbing or contact with foreign matter, and it is easy to break due to the pressure of the cleaning resin and to cause resin leakage. On the other hand, when the thickness exceeds 150 μm, depending on the strength of the cleaning resin non-permeable material, a convex portion installed in the mold, for example, a substrate end face alignment pin, an ejector pin, a positioning pin, or the like may be damaged.

本発明におけるクリーニング用樹脂非透過性材料とは、溶融状態で供給されるクリーニング用樹脂を透過しない材料のことをいう。このため、溶融状態で供給されるクリーニング用樹脂を透過しない材料であれば素材は特に限定されないが、耐熱性が要求される。金型をクリーニングする場合、通常クリーニング樹脂及び金型は180℃程度に加温される。このため、クリーニング用樹脂非透過性材料は融点が200℃以上であることが好ましく、熱による軟化点も200℃以上であることが好ましい。   The cleaning resin impermeable material in the present invention refers to a material that does not transmit the cleaning resin supplied in a molten state. For this reason, the material is not particularly limited as long as it does not pass through the cleaning resin supplied in a molten state, but heat resistance is required. When cleaning the mold, the cleaning resin and the mold are usually heated to about 180 ° C. For this reason, the resin impermeable material for cleaning preferably has a melting point of 200 ° C. or higher, and preferably has a softening point by heat of 200 ° C. or higher.

本発明におけるクリーニング用樹脂非透過性材料の素材は上記の条件を満足していれば特に限定されないが、取り扱い性や熱伝導率の観点から非金属材料であることが好ましい。金属材料を用いると比重が重いため金型間へセットする手間がかったり、変形した状態で金型間にセットされると型締め時に金型に圧力斑が生じる原因となり、クリーニング用樹脂溶液が漏れ出したりすることがある。また、金属材料であると熱伝導率が高いため他の材料に比べてクリーニング用樹脂を硬化させるのに時間がかかることがある。以上の観点からクリーニング用樹脂非透過性材料は非金属であることが好ましい。非金属のクリーニング用樹脂非透過性材料としては、例えばポリエステルフィルム、芳香族ポリアミドフィルムやポリイミドフィルム等がある。   The material of the resin impermeable material for cleaning in the present invention is not particularly limited as long as the above conditions are satisfied, but is preferably a nonmetallic material from the viewpoints of handleability and thermal conductivity. If a metal material is used, the specific gravity is heavy, so it takes time to set between molds, and if it is set between molds in a deformed state, it will cause pressure spots on the mold during clamping, and the cleaning resin solution will leak. Sometimes out. In addition, since a metal material has high thermal conductivity, it may take time to cure the cleaning resin as compared to other materials. From the above viewpoint, the cleaning resin impermeable material is preferably a nonmetal. Non-metallic cleaning resin impermeable materials include, for example, polyester films, aromatic polyamide films, polyimide films, and the like.

また、本発明のクリーニング用樹脂非透過性材料は加圧、加温下において収縮や膨張等の寸法変化が少ない材料が好ましい。寸法変化により、金型型締め時の圧力斑による金型の変形やクリーニング用樹脂の金型への付着等が発生することがあるからである。寸法変化の目安としては200℃、30分のリラックス条件下において常温の寸法に対して5%以内であれば問題なく使用することができる。   In addition, the resin impermeable material for cleaning of the present invention is preferably a material with little dimensional change such as shrinkage or expansion under pressure and heating. This is because dimensional changes may cause deformation of the mold due to pressure spots when the mold is clamped, adhesion of the cleaning resin to the mold, and the like. As a guideline for the dimensional change, it can be used without any problem if it is within 5% of the normal temperature dimension under a relaxing condition of 200 ° C. for 30 minutes.

本発明の金型クリーニングシートの目付けは、10〜150g/mであることが好ましい。クリーニングシートの目付けはシートの保形性や厚みとも関連しており、10g/m未満であると保形性が低く、シートをセットしにくくなり作業性が低下する。また、150g/mを超えると保形性は向上するものの厚みも増すことがあり金型型締めによりキャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。 The basis weight of the mold cleaning sheet of the present invention is preferably 10 to 150 g / m 2 . The basis weight of the cleaning sheet is also related to the shape retaining property and thickness of the sheet, and if it is less than 10 g / m 2 , the shape retaining property is low, making it difficult to set the sheet and the workability is lowered. Further, if it exceeds 150 g / m 2 , the shape retaining property is improved, but the thickness may be increased, and the mold may be brought into contact with the concave wall surface or the bottom surface of the cavity or the like to cause an unfilling phenomenon of the cleaning resin. .

また、保形性についてはクリーニングシートの柔軟性を代用特性とすることができる。クリーニングシートが柔らか過ぎると、金型へセットする際に作業性が悪くなる。JIS−L−1096記載の布帛の柔軟度測定方法であるカンチレバー法による測定で機械軸方向、及び機械軸に垂直な方向での測定を行い、どちらか一方が6cm以上であることが好ましく、更に好ましくは8cm以上である。あるいは機械軸方向と機械軸に垂直な方向での測定結果の和が10cm以上であってもクリーニングシートセット時の取り扱い性が向上するので好ましい。   For the shape retention, the flexibility of the cleaning sheet can be used as a substitute characteristic. If the cleaning sheet is too soft, workability is deteriorated when it is set in the mold. Measurement in the direction of the machine axis and the direction perpendicular to the machine axis is performed by the cantilever method, which is a method for measuring the flexibility of the fabric described in JIS-L-1096, and either one is preferably 6 cm or more. Preferably it is 8 cm or more. Alternatively, even if the sum of the measurement results in the machine axis direction and the direction perpendicular to the machine axis is 10 cm or more, it is preferable because the handling property when the cleaning sheet is set is improved.

本発明の金型クリーニングシートの強度は、シートの引張強度を代用特性とすることができる。幅10cm、長さ10cmで測定したシートの引張強度が好ましくは40N以上、更に好ましくは80N以上である。引張強度が40N未満であるとクリーニング樹脂固化後に金型を型開きしてクリーニング樹脂と一体化したクリーニングシートを取り出す際にクリーニングシートが破れることがある。   The strength of the mold cleaning sheet of the present invention can be obtained by substituting the tensile strength of the sheet. The tensile strength of the sheet measured at a width of 10 cm and a length of 10 cm is preferably 40 N or more, more preferably 80 N or more. If the tensile strength is less than 40 N, the cleaning sheet may be broken when the mold is opened after the cleaning resin is solidified and the cleaning sheet integrated with the cleaning resin is taken out.

本発明の金型クリーニングシートの厚みは測定圧0.49kPaでの測定で、0.10〜0.75mmが好ましい。0.1mm未満では金型へのセット時に取り扱い性が低下することがある。0.75mmを超えると前述のとおりキャビティ等の凹部壁面や底面に接触してクリーニング樹脂の未充填現象が発生することがある。
本発明の金型クリーニングシートの大きさは特に限定されず、金型の大きさに合せて適宜選択すればよい。金型寸法より若干小さいサイズが一般的に用いられている。
The thickness of the mold cleaning sheet of the present invention is preferably 0.10 to 0.75 mm as measured at a measurement pressure of 0.49 kPa. If it is less than 0.1 mm, the handleability may be deteriorated when it is set in a mold. If it exceeds 0.75 mm, as described above, it may come into contact with the wall surface or bottom surface of the concave portion such as a cavity and the cleaning resin may not be filled.
The size of the mold cleaning sheet of the present invention is not particularly limited, and may be appropriately selected according to the size of the mold. A size slightly smaller than the mold size is generally used.

本発明の金型クリーニングシートにはクリーニングシートを金型へセットする際の作業効率を更に向上させるために位置決め穴が開いていても問題はない。また、樹脂ポット、すなわちクリーニング樹脂の供給孔が吸引孔を有する金型面にある場合には樹脂ポット部に孔を設ける必要がある。樹脂を供給するための孔の径は、樹脂供給孔の直径の50%以上、90%以下が好ましい。50%未満であると圧損の関係からクリーニングしたい金型の凹部に樹脂が行き渡らない、いわゆる未充填を生じることがある。また、90%を超えると樹脂供給孔周辺で樹脂洩れが生じ、作業性が低下することがある。   In the mold cleaning sheet of the present invention, there is no problem even if a positioning hole is opened in order to further improve the working efficiency when the cleaning sheet is set in the mold. Further, when the resin pot, that is, the cleaning resin supply hole is on the mold surface having the suction hole, it is necessary to provide a hole in the resin pot portion. The diameter of the hole for supplying the resin is preferably 50% or more and 90% or less of the diameter of the resin supply hole. If it is less than 50%, so-called unfilling may occur in which the resin does not reach the concave portion of the mold to be cleaned due to pressure loss. On the other hand, if it exceeds 90%, resin leakage may occur around the resin supply hole and workability may be reduced.

また、本発明のクリーニングシートはクリーニング用樹脂透過性材料に離型剤を使用して離型性を向上させることもできる。再生セルロース繊維は各種溶剤に非常に安定な素材であり、かつ吸液性能に優れているので離型剤を含浸させた際の保液性が良好である。離型剤を用いる場合はクリーニング樹脂によるクリーニングが終了した後、本生産に入る前に実施すればよい。
本発明の金型クリーニングシートは連続した長尺状に形成されていてもよい。通常のクリーニング作業では数回以上のクリーニング操作を実施する。連続した長尺状、例えばロール状に巻かれたもので供給することで作業効率が向上する。ここでいう連続した長尺状とは、少なくともクリーニング操作を連続5回以上できる長さのことをいい、金型の形状やクリーニング用樹脂非透過性材料の投入方向にもよるが、1m以上であることをいう。
In addition, the cleaning sheet of the present invention can improve the releasability by using a release agent as the cleaning resin permeable material. Regenerated cellulose fiber is a material that is very stable in various solvents and has excellent liquid absorption performance, and therefore has good liquid retention when impregnated with a release agent. When a mold release agent is used, it may be carried out after the cleaning with the cleaning resin is completed and before the production is started.
The mold cleaning sheet of the present invention may be formed in a continuous long shape. In a normal cleaning operation, a cleaning operation is performed several times or more. Working efficiency is improved by supplying a continuous long shape, for example, a roll wound. The continuous long shape here means a length at least that allows the cleaning operation to be continuously performed 5 times or more. Depending on the shape of the mold and the direction in which the resin impermeable material for cleaning is charged, the length is 1 m or more. Say something.

本発明の金型クリーニング方法は、吸引孔が存在する金型面側にクリーニング用樹脂非透過性材料面が配置され、キャビティ部等が存在する金型面側にクリーニング用樹脂透過性材料面が配置されてセットされる。基板を樹脂封止する工程では、この時点で平版金型に設けられた吸引孔から吸引して基板を固定するが、クリーニング操作においては通常は吸引しない。この状態で金型を型締めし、メラミン系等のクリーニング用樹脂を溶融させて通常の樹脂封止と同様の操作で金型に圧入し、クリーニングシートに一体化させつつクリーニング用樹脂を固化せしめ、金型の凹部等に付着した汚れ等をクリーニング用樹脂に転写させ、汚れが転写しクリーニングシートと一体化したクリーニング用樹脂を型開きして金型間から取り除くことにより金型に付着した汚れを除去することができる。
この方法によればクリーニング用樹脂非透過性材料が吸引孔側に配置されているので、吸引孔へクリーニング用樹脂を流入させることなく、金型をクリーニングすることができる。
In the mold cleaning method of the present invention, the cleaning resin non-permeable material surface is disposed on the mold surface side where the suction holes are present, and the cleaning resin permeable material surface is disposed on the mold surface side where the cavity portion and the like are present. Arranged and set. In the step of resin-sealing the substrate, the substrate is fixed by suction from a suction hole provided in the lithographic mold at this point, but is not normally sucked in the cleaning operation. In this state, the mold is clamped, the melamine-based cleaning resin is melted, and is pressed into the mold in the same manner as normal resin sealing, and the cleaning resin is solidified while being integrated with the cleaning sheet. The dirt attached to the mold is transferred to the cleaning resin by transferring the dirt etc. to the cleaning resin, and the dirt is transferred and the cleaning resin integrated with the cleaning sheet is opened and removed from between the molds. Can be removed.
According to this method, since the cleaning resin impermeable material is arranged on the suction hole side, the mold can be cleaned without flowing the cleaning resin into the suction hole.

本発明を実施例に基づいて説明する。尚、金型のクリーニング効果については以下の方法で評価した。
(1)汚れた金型の準備
下金型に吸引孔及び樹脂供給孔があり、上金型にキャビティ部等の樹脂封止用の凹部が設けられたノンリードパッケージ用のトランスファーモールド装置で、エポキシ系の樹脂を用いて通常のノンリードパッケージの樹脂封止生産を1500ショット行い、キャビティ部等が汚れた金型を準備した。
(2)クリーニングシートの準備
実施例及び比較例で得られたクリーニングシートを金型のサイズとほぼ同等の大きさにカットし、樹脂供給部にあたる部分に樹脂供給孔の直径の80%の孔を開けた。
The present invention will be described based on examples. The mold cleaning effect was evaluated by the following method.
(1) Preparation of dirty mold A transfer mold apparatus for a non-lead package in which a lower mold has a suction hole and a resin supply hole, and an upper mold is provided with a recess for resin sealing such as a cavity. A normal non-lead package of resin-encapsulated production was performed with 1,500 shots using an epoxy resin, and a mold with a dirty cavity portion and the like was prepared.
(2) Preparation of cleaning sheet The cleaning sheets obtained in the examples and comparative examples were cut into a size substantially equal to the size of the mold, and a hole corresponding to a resin supply hole having a diameter of 80% of the diameter of the resin supply hole was formed. I opened it.

(3)吸引孔の孔詰まり状態の評価
前述のクリーニングシートを用いて、クリーニング用樹脂による10回のクリーニング操作が終了した後、吸引孔を確認し、クリーニング樹脂等による孔詰まり数Pを計測する。孔総数Qに対する穴詰まり数Pの割合を穴詰まり率R(%)として算出した。
孔詰まり率R(%)=(P/Q)×100
(3) Evaluation of the clogged state of the suction holes After the ten cleaning operations with the cleaning resin are completed using the above-described cleaning sheet, the suction holes are confirmed, and the number P of clogging due to the cleaning resin is measured. . The ratio of the clogging number P to the total number Q of holes was calculated as the clogging rate R (%).
Hole clogging rate R (%) = (P / Q) x 100

(4)上金型のキャビティ部のクリーニング状態
クリーニング用樹脂による10回のクリーニング操作が終了した後、熟練した作業員5名がクリーニング後のキャビティ部表面及びクリーニング樹脂のキャビティ部に対応する固化物の状態からクリーニング性を判断して以下の等級で評価し、5名の評価結果の平均を求めた。
5:非常にクリーニング状態が良好である
4:ややクリーニング状態が良好である
3:クリーニング状態が良好である
2:ややクリーニング状態が悪い
1:非常にクリーニング状態が悪い
(4) Cleaning state of cavity portion of upper mold After 10 cleaning operations with the cleaning resin are completed, 5 skilled workers have solidified material corresponding to the surface of the cavity portion after cleaning and the cavity portion of the cleaning resin. The cleaning property was judged from the above state and evaluated according to the following grades, and the average of the evaluation results of five people was obtained.
5: Very good cleaning condition 4: Somewhat good cleaning condition 3: Good cleaning condition 2: Somewhat poor cleaning condition 1: Very bad cleaning condition

(5)上金型のキャビティ部以外のクリーニング状態
クリーニング用樹脂による10回のクリーニング操作が終了した後、熟練した作業員5名がクリーニング後のキャビティ部以外の部分のクリーニング性を判断して以下の等級で評価し、5名の評価結果の平均を求めた。
5:非常にクリーニング状態が良好である
4:ややクリーニング状態が良好である
3:クリーニング状態が良好である
2:ややクリーニング状態が悪い
1:非常にクリーニング状態が悪い
(5) Cleaning state other than the cavity portion of the upper mold After the 10 cleaning operations with the cleaning resin are completed, five skilled workers judge the cleaning performance of the portion other than the cavity portion after the cleaning, and the following. The average of the evaluation results of five people was obtained.
5: Very good cleaning condition 4: Somewhat good cleaning condition 3: Good cleaning condition 2: Somewhat poor cleaning condition 1: Very bad cleaning condition

(6)クリーニング樹脂とクリーニングシートとの一体性
熟練した作業員5名が作業を行い、一体性の尺度としてクリーニング樹脂固化後、取り出し時の樹脂の剥離性を以下の等級で評価し、5名の評価結果の平均を求めた。
5:非常に剥離性が良い
4:やや剥離性が良い
3:剥離性が良い
2:やや剥離性が悪い
1:非常に剥離性が悪い
(6) Integration of cleaning resin and cleaning sheet Five skilled workers work, and as a measure of integrity, after the cleaning resin is solidified, the peelability of the resin at the time of removal is evaluated according to the following grade. The average of the evaluation results was obtained.
5: Very good peelability 4: Somewhat good peelability 3: Good peelability 2: Somewhat bad peelability 1: Very bad peelability

(7)総合作業性
熟練した作業員5名が作業を行い、一連の作業の作業性を以下の等級で評価し、5名の評価結果の平均を求めた。
5:非常に作業性が良い
4:やや作業性が良い
3:作業性が良い
2:やや作業性が悪い
1:非常に作業性が悪い
(7) Total workability Five skilled workers performed the work, and the workability of a series of work was evaluated according to the following grade, and the average of the evaluation results of the five persons was obtained.
5: Very good workability 4: Slightly good workability 3: Good workability 2: Slightly poor workability 1: Very low workability

(8)クリーニングシート、不織布、樹脂非透過性材料の厚み
前述の方法で測定した。
(9)カール度
前述の方法で測定した。
(10)繊維充填率
前述の方法で測定した。
(8) Thickness of cleaning sheet, non-woven fabric, resin impermeable material Measured by the method described above.
(9) Curling degree It measured by the above-mentioned method.
(10) Fiber filling rate It measured by the above-mentioned method.

[実施例1]
コットンリンターを銅アンモニア溶液で溶解し、流下緊張下で連続して紡糸し、シート形成させ、平均単繊度2.1dtex、目付50g/m、厚み0.204mmの再生セルロース連続長繊維不織布を得た。
片面にコロナ処理を行った厚み16μm、目付22.4g/mのポリエステルフィルムと上記再生セルロース連続長繊維不織布を通常のドライラミネーションにより貼り合せた。ポリエステルフィルムのコロナ処理面にポリエステル系接着剤(不揮発分30重量%)を乾燥重量で5g/m均一塗布し、80℃で1分間乾燥させた後、上記再生セルロース連続長繊維不織布と重ね、ゴムロールと80℃の金属ロールで圧縮して貼り合せた後、40℃の恒温室に100時間保管して金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付80g/m、厚み0.20mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.18mm、開孔部は0.02個/cm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが16μmであった。
[Example 1]
Cotton linter is dissolved in a copper ammonia solution, continuously spun under flowing tension, and formed into a sheet to obtain a regenerated cellulose continuous long fiber nonwoven fabric having an average single fineness of 2.1 dtex, a basis weight of 50 g / m 2 and a thickness of 0.204 mm. It was.
A polyester film having a thickness of 16 μm and a basis weight of 22.4 g / m 2 subjected to corona treatment on one side and the above-mentioned regenerated cellulose continuous long-fiber non-woven fabric were bonded together by ordinary dry lamination. A polyester adhesive (non-volatile content: 30% by weight) was uniformly applied at a dry weight of 5 g / m 2 on the corona-treated surface of the polyester film, dried at 80 ° C. for 1 minute, and then overlaid with the regenerated cellulose continuous long fiber nonwoven fabric. After compression and bonding with a rubber roll and an 80 ° C. metal roll, the mold cleaning sheet was obtained by storing in a constant temperature room at 40 ° C. for 100 hours. The obtained mold cleaning sheet has a basis weight of 80 g / m 2 , a thickness of 0.20 mm, a thickness of the cleaning resin permeable material of 0.18 mm, and 0.02 holes / cm 2 of opening portions, and a cleaning resin impermeable property. The material thickness was 16 μm.

上金型に深さ0.25mmのキャビティ部とランナー部等の凹部が設けられ、下金型に吸引孔の細孔が設けられたBGAタイプのパッケージ用金型で、トランスファーモールド装置を用いて以下の方法で金型のクリーニングを実施した。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、得られた金型クリーニングシートは金型クリーニング性及び作業性に極めて優れたものであった。
This is a BGA type package mold in which the upper mold is provided with a cavity part having a depth of 0.25 mm and a recess such as a runner part, and the lower mold is provided with suction holes. The mold was cleaned by the following method.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, the obtained mold cleaning sheet was extremely excellent in mold cleaning and workability.

[実施例2]
ビスコース法レーヨン短繊維70重量%、ポリエステル30重量%で構成された不織布で、目付60g/m、厚み0.285mmの再生セルロース混不織布を用いた以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付90g/m、厚み0.28mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.26mm、開孔部は0.03個/cm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが16μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、若干の脱落繊維は見られたものの得られた金型クリーニングシートは金型クリーニング性及び作業性に極めて優れたものであった。
[Example 2]
In the same manner as in Example 1, except that a non-woven fabric composed of 70% by weight of viscose rayon short fibers and 30% by weight of polyester and a regenerated cellulose mixed non-woven fabric having a basis weight of 60 g / m 2 and a thickness of 0.285 mm was used. A mold cleaning sheet was obtained. The obtained mold cleaning sheet has a basis weight of 90 g / m 2 , a thickness of 0.28 mm, a thickness of the cleaning resin permeable material of 0.26 mm, an opening of 0.03 pieces / cm 2 , and a cleaning resin non-permeable property. The material thickness was 16 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, although some dropped fibers were seen, the obtained mold cleaning sheet was extremely excellent in mold cleaning and workability.

[比較例1]
目付40g/m、厚み0.244mmのポリエステルスパンボンド不織布を使用した以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付70g/m、厚み0.25mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.234mm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが16μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂がクリーニングシートに密着せず、多く金型面に残留しており、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
[Comparative Example 1]
A mold cleaning sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polyester spunbond nonwoven fabric having a basis weight of 40 g / m 2 and a thickness of 0.244 mm was used. The obtained mold cleaning sheet had a basis weight of 70 g / m 2 , a thickness of 0.25 mm, a cleaning resin permeable material thickness of 0.234 mm, and a cleaning resin non-permeable material thickness of 16 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, the cleaning resin did not adhere to the cleaning sheet and remained on the mold surface, and the mold cleaning performance and workability were poor.

[比較例2]
実施例1において目付け13.5g/m、厚み0.07mmの再生セルロース連続長繊維不織布を使用した以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付42.2g/m、厚み0.09mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.074mm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが16μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂がクリーニングシートに密着せず、多く金型面に残留しており、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
[Comparative Example 2]
A mold cleaning sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a regenerated cellulose continuous long fiber nonwoven fabric having a basis weight of 13.5 g / m 2 and a thickness of 0.07 mm was used in Example 1. The obtained mold cleaning sheet had a basis weight of 42.2 g / m 2 , a thickness of 0.09 mm, a cleaning resin permeable material thickness of 0.074 mm, and a cleaning resin non-permeable material thickness of 16 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, the cleaning resin did not adhere to the cleaning sheet and remained on the mold surface, and the mold cleaning performance and workability were poor.

[比較例3]
実施例1において目付け141g/m、厚み1.10mmの再生セルロース連続長繊維不織布と片面にコロナ処理を行った厚み150μm、目付210g/mのポリエステルフィルムを使用した以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付367g/m、厚み1.25mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが1.10mm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが150μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂がクリーニングシートの影響でクリーニングしたいキャビティ等の凹部に完全に充填されず、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
[Comparative Example 3]
Similar to Example 1 except that a regenerated cellulose continuous long-fiber nonwoven fabric having a basis weight of 141 g / m 2 and a thickness of 1.10 mm in Example 1 and a polyester film having a basis weight of 210 μm and a basis weight of 210 g / m 2 were used. Thus, a mold cleaning sheet was obtained. The obtained mold cleaning sheet had a basis weight of 367 g / m 2 , a thickness of 1.25 mm, a cleaning resin permeable material thickness of 1.10 mm, and a cleaning resin non-permeable material thickness of 150 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, the cleaning resin was not completely filled into the recesses such as cavities to be cleaned due to the influence of the cleaning sheet, and the mold cleaning performance and workability were poor.

[比較例4]
実施例1において目付け50g/m、厚み0.33mmの再生セルロース連続長繊維不織布と片面にコロナ処理を行った厚み12μm、目付16.8g/mのポリエステルフィルムを使用し、再生セルロース連続長繊維不織布に実施例1に比べて張力をかけた状態で接着した以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。
得られた金型クリーニングシートは、目付71g/m、厚み0.313mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.301mm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが12μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、金型クリーニングシートを金型へ設置する際にカールがひどく、作業性が低下したり、この状態で型締めを行うとクリーニングシートが折れて金型に密着せず、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
[Comparative Example 4]
In Example 1, a regenerated cellulose continuous long-fiber nonwoven fabric having a basis weight of 50 g / m 2 and a thickness of 0.33 mm and a polyester film having a thickness of 12 μm and a basis weight of 16.8 g / m 2 were used. A mold cleaning sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the non-woven fabric was bonded in a state where tension was applied as compared with Example 1.
The obtained mold cleaning sheet had a basis weight of 71 g / m 2 , a thickness of 0.313 mm, a cleaning resin permeable material thickness of 0.301 mm, and a cleaning resin non-permeable material thickness of 12 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, curling was severe when the mold cleaning sheet was placed on the mold, resulting in poor workability.If the mold was clamped in this state, the cleaning sheet would break and not adhere to the mold. The mold cleaning property and workability were poor.

[比較例5]
比較例4において、再生セルロース連続長繊維不織布を送り込みながら接着した以外は比較例4と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。
得られた金型クリーニングシートは、目付75g/m、厚み0.352mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.340mm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが12μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、金型クリーニングシートを金型へ設置する際にカールがひどく、作業性が低下したり、この状態で型締めを行うとクリーニングシートが折れて金型に密着せず、金型クリーニング性及び作業性が悪いものであった。
[Comparative Example 5]
In Comparative Example 4, a mold cleaning sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 4 except that the regenerated cellulose continuous long fiber nonwoven fabric was bonded while being fed.
The mold cleaning sheet thus obtained had a basis weight of 75 g / m 2 , a thickness of 0.352 mm, a cleaning resin permeable material thickness of 0.340 mm, and a cleaning resin non-permeable material thickness of 12 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, curling was severe when the mold cleaning sheet was placed on the mold, resulting in poor workability.If the mold was clamped in this state, the cleaning sheet would break and not adhere to the mold. The mold cleaning property and workability were poor.

[比較例6]
片面にコロナ処理を行った厚み8μm、目付11.2g/mのポリエステルフィルムを使用した以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付67g/m、厚み0.34mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.332mm、開孔部は0.02個/cm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが8μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、クリーニング樹脂非透過性材料が破れてクリーニング樹脂が洩れ、吸引孔に詰まり作業性が極めて悪いものであった。
[Comparative Example 6]
A mold cleaning sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polyester film having a thickness of 8 μm and a basis weight of 11.2 g / m 2 subjected to corona treatment on one side was used. The obtained mold cleaning sheet has a basis weight of 67 g / m 2 , a thickness of 0.34 mm, a thickness of the cleaning resin permeable material of 0.332 mm, the number of apertures of 0.02 pieces / cm 2 , and a cleaning resin non-permeable property. The material thickness was 8 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, the cleaning resin impermeable material was torn and the cleaning resin leaked, and the suction holes were clogged, so that the workability was extremely poor.

[比較例7]
片面にコロナ処理を行った厚み250μm、目付350g/mのポリエステルフィルムを使用した以外は実施例1と同様の方法で金型クリーニングシートを得た。得られた金型クリーニングシートは、目付407g/m、厚み0.59mmで、クリーニング樹脂透過性材料の厚みが0.34mm、開孔部は0.02個/cm、クリーニング樹脂非透過性材料の厚みが250μmであった。
得られた金型クリーニングシートを実作業がしやすい大きさ、樹脂ポットや位置決めピン部に孔を開け、クリーニング作業を行った。結果を表1に示す。結果からもわかるとおり、基板端面寄せピン等、金型クリーニングシートに孔を開けなかった部分の金型の突起部が変形し、作業性が際寝て悪いものであった。
[Comparative Example 7]
A mold cleaning sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polyester film having a thickness of 250 μm and a basis weight of 350 g / m 2 subjected to corona treatment on one side was used. The obtained mold cleaning sheet has a basis weight of 407 g / m 2 , a thickness of 0.59 mm, a thickness of the cleaning resin permeable material of 0.34 mm, and 0.02 holes / cm 2 of opening portions, and a cleaning resin impermeable property. The material thickness was 250 μm.
The obtained mold cleaning sheet was sized to facilitate actual work, and a hole was made in the resin pot and positioning pin portion to perform the cleaning work. The results are shown in Table 1. As can be seen from the results, the protrusions of the mold that did not open the mold cleaning sheet, such as the substrate end face alignment pins, were deformed, resulting in poor workability.

Figure 2005297284
Figure 2005297284

カール度θを示す模式図。The schematic diagram which shows curl degree (theta). カール度θを示す模式図。The schematic diagram which shows curl degree (theta).

Claims (3)

片面が厚み10〜150μmの耐熱性のクリーニング用樹脂溶液非透過性材料、もう片面が厚み0.10〜1.0mmの再生セルロース混不織布からなるクリーニング樹脂溶液透過性材料であり、両者が接着されてなり、カール度θが−90°<θ<90°であることを特徴とする金型クリーニングシート。   One side is a heat-resistant cleaning resin solution non-permeable material with a thickness of 10 to 150 μm, and the other side is a cleaning resin solution permeable material made of a regenerated cellulose mixed nonwoven fabric with a thickness of 0.10 to 1.0 mm. A mold cleaning sheet having a curl degree θ of −90 ° <θ <90 °. クリーニング樹脂溶液透過性材料が再生セルロース連続長繊維不織布である請求項1に記載の金型クリーニングシート。   The mold cleaning sheet according to claim 1, wherein the cleaning resin solution-permeable material is a regenerated cellulose continuous long-fiber nonwoven fabric. 金型片面Aに吸引孔を有し、もう一方の金型片面Bにキャビティ部等の成形用凹部を有する樹脂成形用金型をクリーニングする方法において、樹脂成形用金型面間に請求項1または2に記載の金型クリーニングシートをセットすることを特徴とする樹脂成形用金型面のクリーニング方法。   In the method of cleaning a resin molding die having a suction hole on one side A of the mold and having a molding recess such as a cavity on the other side B of the mold, it is provided between the resin molding die surfaces. Alternatively, a method for cleaning a mold surface for resin molding, wherein the mold cleaning sheet according to 2 is set.
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