JP2005294300A - 非単結晶トランジスタ集積回路及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】先ず、高分子フィルム1に、スルーホール加工を施す。このように形成された孔を通じて、表裏面の電極2,3に電気的な導通をとる。次に、ゲート絶縁膜5を塗布し、オーブンで硬化させる。その後、ポリイミドの一部を剥離し、ビアを形成するための準備をする。さらに、有機半導体層6を、蒸着法などで形成する。この蒸着の際に、メタルマスクを用いることによって、必要な箇所だけに有機半導体層6を形成し、素子分離を行う。最後に、ソース電極7及びドレイン電極8を形成して有機トランジスタ9を完成させる。このようにして有機トランジスタ9の集積回路を形成した後、有機トランジスタ9の集積回路を有するN枚(Nは2以上の自然数。図1の場合、3)のシート10を重ねて貼り合わせる。
【選択図】図1
Description
"CUT-AND-PASTE ORGANIC FET CUSTOMIZED ICS FOR APPLICATION TO ARTIFICIAL SKIN", T. Someya, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Technical Digest of 2004 IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC 2004), San Francisco Marriott, San Francisco, CA, February 14- 19, 2004, No. 16.2, Page 288.
(1)非単結晶トランジスタの占有面積の縮小。
(2)高精度での圧力の検出。
(3)高精度での歪の検出。
(4)フォトディテクタにおける容易な白黒の判別。
(5)解像度の向上。
(6)非結晶トランジスタの機械的な衝撃や圧力からの保護。
(7)非結晶トランジスタの動作速度の向上。
高分子フィルムにスルーホールを形成するステップと、
前記スルーホールを通じて、前記高分子フィルムの両面を電気的に接続するステップと、
前記高分子フィルムの一方の面に非単結晶トランジスタを設けるステップと、
前記非単結晶トランジスタが形成された高分子フィルムを、縦方向にN層(Nを2以上の自然数とする。)重ね合わせ、前記スルーホールを通じて各高分子フィルムの非単結晶トランジスタを電気的に接続するステップとを具えることを特徴とする。
縦方向にN層(Nを2以上の自然数とする。)重ね合わせた高分子フィルムを具え、
前記高分子フィルムの各々について、一方の面に単結晶トランジスタが設けられるともに、両面を電気的に接続するためのスルーホールが形成され、前記スルーホールを通じて各高分子フィルムの単結晶トランジスタを電気的に接続したことを特徴とする。
第1の高分子フィルムと、
前記高分子フィルムに設けられた共通電極と、
前記共通電極に設けられた誘電体と、
前記誘電体に設けられた第2の高分子フィルムと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、圧力が加えられた際に、前記誘電体の厚さの変化量を容量の変化として読み出す圧力センサと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、前記圧力センサを読み出すための非単結晶トランジスタとを具えることを特徴とする。
第1の高分子フィルムと、
前記高分子フィルムに設けられた共通電極と、
前記共通電極に設けられた圧電性高分子材料と、
前記誘電体に設けられた第2の高分子フィルムと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、圧力が加えられ又は折り曲げ変形された際に、前記圧電性高分子材料の変形量を歪として読み出す歪センサと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、前記歪センサを読み出すための非単結晶トランジスタとを具えることを特徴とする。
開口部及び遮光部を有する透明高分子フィルムと、
前記遮光部に設けられた電極と、
前記電極に設けられた第1の型の非単結晶材料層と、
前記第1の型の非単結晶材料層に設けられた第2の型の非単結晶材料層と、
前記第2の型の非単結晶材料層に設けられた透明電極と、
前記透明電極に設けられた高分子フィルムと、
前記高分子フィルムに設けられ、前記透明電極と電気的に接続した非単結晶トランジスタとを具えることを特徴とする。
m行n列(m,nを共に2以上の自然数とする。)のセルのアレイと、
前記アレイの秒及び/又は列を選択する手段とを具え、
これらセルの各々が、所定の物理量及び又は科学的特性を検出する検出手段と、そのセンサに接続された、スイッチング機能を有する非単結晶トランジスタとを有し、
前記セルのアレイを、所定の単位ごとに粗くスキャンし、応答があった場合のみ後に細かく読み出すように構成したことを特徴とする。
高分子フィルムと、
前記高分子フィルムの一方の面に設けられた非単結晶トランジスタと、
前記非単結晶トランジスタを保護するための保護膜とを具えることを特徴とする。
高分子フィルムと、
前記高分子フィルムの一方の面に設けられた非単結晶トランジスタとを具え、
前記非単結晶トランジスタが、
ゲート電極と、
チャネル部分の厚さをそれ以外の部分に比べて小さくしたゲート絶縁膜と、
前記チャネル部分に対応する箇所に設けられた非単結晶材料と、
前記非単結晶材料に電気的に接続するように、前記ゲート絶縁膜に設けられたソース電極及びドレイン電極とを有することを特徴とする。
図1は、本発明による非単結晶トランジスタ集積回路の製造方法を説明するための図である。この場合、先ず、ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等の高分子フィルム(ベースフィルム)1に、スルーホール加工を施す。
例えば、上記実施の形態において、非単結晶トランジスタが有機トランジスタである場合について説明したが、多結晶シリコントランジスタ、アモルファスシリコントランジスタ等の他の任意の種類の非単結晶トランジスタを用いることもできる。
2,3,17,18,27,28,34 電極
4,72 ゲート電極
5,73 ゲート絶縁膜
6,26,75 有機半導体層
7,77 ソース電極
8,78 ドレイン電極
9,16,39,62 有機トランジスタ
10 シート
12,22 共通電極
13,74,76 絶縁膜
15 静電容量型圧力センサ
23 高分子圧電材料部
25 歪センサ
31 開口部分
32 遮光部分
33 透明高分子フィルム
35 N型有機半導体
36 P型有機半導体
37 透明電極
40 光
41 対象
51 センサアレイ
52 ロー(行)デコーダ
53 カラム(列)セレクタ
63 保護用ゴムシート
65 感圧導電ゴム
Claims (9)
- 高分子フィルムにスルーホールを形成するステップと、
前記スルーホールを通じて、前記高分子フィルムの両面を電気的に接続するステップと、
前記高分子フィルムの一方の面に非単結晶トランジスタを設けるステップと、
前記非単結晶トランジスタが形成された高分子フィルムを、縦方向にN層(Nを2以上の自然数とする。)重ね合わせ、前記スルーホールを通じて各高分子フィルムの非単結晶トランジスタを電気的に接続するステップとを具えることを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路の製造方法。 - 縦方向にN層(Nを2以上の自然数とする。)重ね合わせた高分子フィルムを具え、
前記高分子フィルムの各々について、一方の面に単結晶トランジスタが設けられるともに、両面を電気的に接続するためのスルーホールが形成され、前記スルーホールを通じて各高分子フィルムの単結晶トランジスタを電気的に接続したことを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。 - 前記高分子フィルム間で段差が生じないようにするダミーシートを更に具えることを特徴とする請求項2記載の非単結晶トランジスタ集積回路。
- 第1の高分子フィルムと、
前記高分子フィルムに設けられた共通電極と、
前記共通電極に設けられた誘電体と、
前記誘電体に設けられた第2の高分子フィルムと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、圧力が加えられた際に、前記誘電体の厚さの変化量を容量の変化として読み出す圧力センサと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、前記圧力センサを読み出すための非単結晶トランジスタとを具えることを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。 - 第1の高分子フィルムと、
前記高分子フィルムに設けられた共通電極と、
前記共通電極に設けられた圧電性高分子材料と、
前記誘電体に設けられた第2の高分子フィルムと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、圧力が加えられ又は折り曲げ変形された際に、前記圧電性高分子材料の変形量を歪として読み出す歪センサと、
前記第2の高分子フィルムに設けられ、前記歪センサを読み出すための非単結晶トランジスタとを具えることを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。 - 開口部及び遮光部を有する透明高分子フィルムと、
前記遮光部に設けられた電極と、
前記電極に設けられた第1の型の非単結晶材料層と、
前記第1の型の非単結晶材料層に設けられた第2の型の非単結晶材料層と、
前記第2の型の非単結晶材料層に設けられた透明電極と、
前記透明電極に設けられた高分子フィルムと、
前記高分子フィルムに設けられ、前記透明電極と電気的に接続した非単結晶トランジスタとを具えることを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。 - m行n列(m,nを共に2以上の自然数とする。)のセルのアレイと、
前記アレイの秒及び/又は列を選択する手段とを具え、
これらセルの各々が、所定の物理量及び又は科学的特性を検出する検出手段と、そのセンサに接続された、スイッチング機能を有する非単結晶トランジスタとを有し、
前記セルのアレイを、所定の単位ごとに粗くスキャンし、応答があった場合のみ後に細かく読み出すように構成したことを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。 - 高分子フィルムと、
前記高分子フィルムの一方の面に設けられた非単結晶トランジスタと、
前記非単結晶トランジスタを保護するための保護膜とを具えることを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。 - 高分子フィルムと、
前記高分子フィルムの一方の面に設けられた非単結晶トランジスタとを具え、
前記非単結晶トランジスタが、
ゲート電極と、
チャネル部分の厚さをそれ以外の部分に比べて小さくしたゲート絶縁膜と、
前記チャネル部分に対応する箇所に設けられた非単結晶材料と、
前記非単結晶材料に電気的に接続するように、前記ゲート絶縁膜に設けられたソース電極及びドレイン電極とを有することを特徴とする非単結晶トランジスタ集積回路。
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