JP2005277940A - High frequency module and communication apparatus employing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電力増幅器、方向性結合器、デュプレクサ、高周波フィルタなどを一体構成した高周波モジュール、及びその高周波モジュールを搭載した携帯電話機などの通信機器に関するものである。 The present invention relates to a high-frequency module in which a power amplifier, a directional coupler, a duplexer, a high-frequency filter, and the like are integrated, and a communication device such as a mobile phone equipped with the high-frequency module.
近年、携帯電話機の普及が進みつつあり、携帯電話機の機能、サービスの向上が図られている。このような携帯電話機では各送受信系の構成に必要な高周波信号処理回路を基板に搭載している。
従来の、高周波信号処理回路の一般的構成では、アンテナから入力された受信信号とアンテナに給電する送信信号とを切り替えるための送信用フィルタ素子及び受信用フィルタ素子を備えるデュプレクサが設けられている。
In recent years, cellular phones have been widely used, and functions and services of cellular phones have been improved. In such a cellular phone, a high-frequency signal processing circuit necessary for the configuration of each transmission / reception system is mounted on a substrate.
In a conventional general configuration of a high-frequency signal processing circuit, a duplexer including a transmission filter element and a reception filter element for switching between a reception signal input from an antenna and a transmission signal fed to the antenna is provided.
アンテナから入ってきた無線信号は、直接又はデュプレクサの前段に設けられた分波回路を通ってデュプレクサに入力され、ここで受信信号が選択的に通過される。受信信号は、低雑音増幅器で増幅され、信号処理回路に供給される。
一方、送信信号は、所定の周波数帯域を通過させる高周波フィルタを通ってノイズを落とされ、電力増幅器に伝えられる。電力増幅器は、この送信信号を電力増幅し、出力整合回路を通して前記デュプレクサに供給する。
The radio signal that has entered from the antenna is input to the duplexer directly or through a branching circuit provided at the front stage of the duplexer, where the received signal is selectively passed. The received signal is amplified by a low noise amplifier and supplied to a signal processing circuit.
On the other hand, the transmission signal is passed through a high-frequency filter that passes a predetermined frequency band, noise is reduced, and is transmitted to the power amplifier. The power amplifier amplifies the transmission signal and supplies it to the duplexer through an output matching circuit.
また、前記電力増幅器の出力信号強度をモニターするための方向性結合器が、前記出力整合回路に接続されている。
従来、前記デュプレクサ、電力増幅器、高周波フィルタなどは、それぞれ個別部品として製造され、基板の上面にディスクリートに搭載されている。
しかし、それぞれ個別の専用部品を用いて基板に搭載すると、機器の大型化、高コスト化を招来することとなる。
A directional coupler for monitoring the output signal strength of the power amplifier is connected to the output matching circuit.
Conventionally, the duplexer, power amplifier, high-frequency filter, and the like are each manufactured as individual components and discretely mounted on the upper surface of the substrate.
However, if each individual dedicated component is mounted on the substrate, the equipment will be increased in size and cost.
そこで、電力増幅器、方向性結合器、デュプレクサ、高周波フィルタなどを高周波モジュールに一体構成することが行われている。
これにより、通信機器の小型軽量化、低コスト化を有利に展開することができる。
As a result, it is possible to advantageously develop a reduction in size and weight and cost of the communication device.
上述した高周波モジュールの主要特性の一つにスプリアス特性がある。これは、基本周波数以外の高次高調波におけるレベルを規定するものであり、低い方がよい。
このスプリアス特性を調整するには、通常、電力増幅器に含まれる出力整合回路に備えられた、オープンスタブやLC直列回路、電源供給線路等で行っていた。
ところが、モジュール化が進み、小型化が進むにつれ、電力増幅器の出力整合回路のみでスプリアス特性の調整をすることに関しては限界があり、今後さらなるモジュールの小型化が進んでいった場合に、電力増幅器のみでスプリアス調整を行いつつモジュールの小型化を行うことが困難な状況となっている。
One of the main characteristics of the high-frequency module described above is spurious characteristics. This prescribes the level in higher harmonics other than the fundamental frequency, and a lower one is better.
In order to adjust the spurious characteristic, it is usually performed by an open stub, an LC series circuit, a power supply line, or the like provided in an output matching circuit included in the power amplifier.
However, as modularization progresses and miniaturization progresses, there is a limit to adjusting the spurious characteristics using only the output matching circuit of the power amplifier, and if further module miniaturization progresses in the future, the power amplifier It is difficult to reduce the size of the module while adjusting the spurious alone.
そこで本発明は、電力増幅器、方向性結合器、デュプレクサなどを一体化して高周波モジュールを製作した場合、高調波レベル制御を容易に、かつ効率的に行うことができ、電力増幅器に用いられる電力増幅用半導体素子の特性を最大限に引き出すことができる高周波モジュールを提供することを目的とする。 Therefore, in the present invention, when a high frequency module is manufactured by integrating a power amplifier, a directional coupler, a duplexer, etc., harmonic level control can be easily and efficiently performed, and power amplification used in the power amplifier An object of the present invention is to provide a high-frequency module that can maximize the characteristics of a semiconductor device.
本発明の高周波モジュールは、電力増幅用半導体素子と出力整合回路とで構成される電力増幅器、方向性結合器又はデュプレクサの少なくともいずれか1つに、高調波レベル制御のための、オープンスタブ、分布定数線路とコンデンサとの直列共振回路、インダクタとコンデンサとの直列共振回路の中から選ばれる少なくとも1種の素子が設けられていることを特徴とする。 The high-frequency module of the present invention includes an open stub, a distribution for harmonic level control, at least one of a power amplifier, a directional coupler, and a duplexer configured by a semiconductor element for power amplification and an output matching circuit. At least one element selected from a series resonance circuit of a constant line and a capacitor and a series resonance circuit of an inductor and a capacitor is provided.
この構成によれば、電力増幅器の出力整合回路以外の回路、すなわち方向性結合器又はデュプレクサにおいても、前記高調波レベル制御のための素子が設けられているので、高調波レベル制御が可能となる。これにより、より自由度の高い、かつ効率的な高調波レベル制御を達成できる。したがって、スプリアスを確実に押えることができるようになり、電力増幅器に用いられる電力増幅用半導体素子の特性を最大限に引き出すことができる。 According to this configuration, even in a circuit other than the output matching circuit of the power amplifier, that is, in the directional coupler or the duplexer, the element for controlling the harmonic level is provided, so that the harmonic level control can be performed. . Thereby, it is possible to achieve higher harmonic level control with a higher degree of freedom. Therefore, it is possible to reliably suppress spurious and to maximize the characteristics of the power amplification semiconductor element used in the power amplifier.
また、本発明の高周波モジュールは、前記オープンスタブ、分布定数線路又はインダクタが、前記多層基板内部の誘電体層に内装されていることが好ましい。これにより、高調波レベル制御のための素子の実装に要する面積を小さくすることができ、高周波モジュールの小型化、集積化をいっそう進めることができる。
前記デュプレクサに設けられるインピーダンス調整回路を構成する分布定数線路と、前記方向性結合器を構成する分布定数線路とは、前記多層基板内部の誘電体層に内装されていることが好ましい。この構成によれば、これらの分布定数線路を誘電体層に形成するときに、前記オープンスタブ、分布定数線路、インダクタを同時に形成できるので、高周波モジュールの製造工程が簡単になるという利点がある。
In the high-frequency module of the present invention, it is preferable that the open stub, the distributed constant line, or the inductor is embedded in a dielectric layer inside the multilayer substrate. Thereby, the area required for mounting the element for harmonic level control can be reduced, and the miniaturization and integration of the high frequency module can be further promoted.
It is preferable that the distributed constant line constituting the impedance adjusting circuit provided in the duplexer and the distributed constant line constituting the directional coupler are embedded in a dielectric layer inside the multilayer substrate. According to this configuration, when the distributed constant lines are formed in the dielectric layer, the open stub, the distributed constant line, and the inductor can be formed at the same time. Therefore, there is an advantage that the manufacturing process of the high-frequency module is simplified.
前記多層基板には、セラミック誘電体層を含む多層セラミック基板を用いることができる。従来の樹脂基板では方向性結合器や出力整合回路を内装するには、面積が大きくなり、高周波モジュール全体の小型化には困難があった。セラミック誘電体の比誘電率は、樹脂基板に比べて高いため、誘電体層を薄くでき、誘電体層に内装された回路の素子のサイズを小さくでき、素子間距離も狭くすることができる。したがって、樹脂基板を用いる場合に比べて、いっそうの小型化、集積化を実現できる。 As the multilayer substrate, a multilayer ceramic substrate including a ceramic dielectric layer can be used. In the conventional resin substrate, the area becomes large to install the directional coupler and the output matching circuit, and it is difficult to reduce the size of the entire high-frequency module. Since the relative dielectric constant of the ceramic dielectric is higher than that of the resin substrate, the dielectric layer can be made thin, the size of the circuit element incorporated in the dielectric layer can be reduced, and the distance between the elements can also be reduced. Therefore, further downsizing and integration can be realized as compared with the case of using a resin substrate.
また本発明は、上に説明した高周波モジュールを搭載した、携帯電話機などの小型の通信機器に係るものである。 The present invention also relates to a small communication device such as a mobile phone equipped with the high-frequency module described above.
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、携帯電話機等の移動体通信機器に用いられる、CDMAデュアルバンド方式の高周波信号処理部のブロック構成図を示す。
このCDMAデュアルバンド方式では、高周波信号処理部は、セルラー方式800MHz帯及びPCS(Personal Communication Services)方式1.9GHz帯の周波数バンドを持った2つの送受信系と、GPS(Global Positioning System)による測位機能を利用するためGPSの受信バンド1.5GHz帯を持った1つの受信系とから構成される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a block diagram of a CDMA dual-band high-frequency signal processing unit used in mobile communication devices such as mobile phones.
In this CDMA dual-band system, the high-frequency signal processing unit has two transmission / reception systems having a frequency band of a cellular system 800 MHz band and a PCS (Personal Communication Services) system 1.9 GHz band, and a positioning function by GPS (Global Positioning System). In order to use this, it is composed of a single reception system having a GPS reception band of 1.5 GHz.
このような構成の高周波信号処理部を搭載した移動体通信機器においては、各部に対する小型化、軽量化の要求が大きく、これらの要求を考慮して、高周波信号処理回路は、所望の特性が達成できる単位で高周波モジュール化されている。
すなわち、図1で太い実線22で示したように、分波回路2、デュプレクサの送受信用フィルタ3a,3b,4a,4b、電力増幅器7,8、方向性結合器5,6などを含む分波系回路及び送信系回路が、1つの基板に形成された1つの高周波モジュール22を形成している。
In a mobile communication device equipped with a high-frequency signal processing unit having such a configuration, there is a great demand for miniaturization and weight reduction for each unit, and considering these requirements, the high-frequency signal processing circuit achieves desired characteristics. High-frequency modules are created in units that can be used.
That is, as indicated by the thick
なお、高周波モジュールを、800MHz帯の高周波モジュールと、1.9GHz帯の2つの高周波モジュールに分けるという実装方法も可能である。さらに低雑音増幅器LNA13,14と受信用高周波フィルタ15,16を含んだ高周波モジュールを追加して形成してもよい。
以下、800MHz帯と、1.9GHz帯の2つの周波数帯を含む1つの高周波モジュール22に基づいて説明する。
A mounting method is also possible in which the high-frequency module is divided into a high-frequency module in the 800 MHz band and two high-frequency modules in the 1.9 GHz band. Further, a high frequency module including the low
Hereinafter, description will be given based on one high-
図1において、1はアンテナ、2は周波数帯を分けるための低域通過フィルタLPFと高域通過フィルタHPFとを含む分波回路、3aは1.9GHz帯の送信系を分離する送信用フィルタ、3bは同受信系を分離する受信用フィルタ、4aは800MHz帯の送信系を分離する送信用フィルタ、4bは同受信系を分離する受信用フィルタである。また、12は前記分波回路2から取り込まれるGPS信号を通過させるためのフィルタである。3c,4cは、受信信号の位相を回転させるインピーダンス調整回路である。
In FIG. 1, 1 is an antenna, 2 is a demultiplexing circuit including a low-pass filter LPF and a high-pass filter HPF for dividing a frequency band, 3a is a transmission filter for separating a transmission system in the 1.9 GHz band, 3b Is a reception filter for separating the reception system, 4a is a transmission filter for separating the transmission system in the 800 MHz band, and 4b is a reception filter for separating the reception system.
5,6は、送信電力をモニターするための方向性結合器である。7,8は、それぞれ800MHz帯,1.9GHz帯の送信信号を電力増幅する電力増幅器である。電力増幅器7,8は、送信信号を増幅する電力増幅用半導体素子24,25と、電力増幅用半導体素子24の出力側でインピーダンスマッチングをとる出力整合回路26,27とを含んでいる。前記電力増幅用半導体素子24と出力整合回路26とによって電力増幅器7を構成し、前記電力増幅用半導体素子25と出力整合回路27とによって電力増幅器8を構成している。
9,10は送信信号の800MHz帯,1.9GHz帯の周波数帯のみ通過させる高周波フィルタBPFである。
前記送信用フィルタ3a,4a及び受信用フィルタ3b,4b、高周波フィルタBPF9,10は、例えばSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタ素子で構成されるものである。SAWフィルタの構造は限定されないが、好ましくは、36°Yカット−X伝搬のLiTaO3結晶、64°Yカット−X伝搬のLiNbO3結晶、45°Xカット−Z伝搬のLiB4O7結晶などからなる基板上に、櫛歯状のIDT(Inter Digital Transducer)電極が形成されたものである。
The
以下、送信系における信号の流れを説明する。送信信号処理回路17から出力されるセルラー送信信号は、高周波フィルタBPF9でノイズが削減され、電力増幅器7に伝えられる。送信信号処理回路17から出力されるPCS送信信号は、高周波フィルタBPF10でノイズが削減され、電力増幅器8に伝えられる。
電力増幅器7,8は、それぞれ800MHz帯,1.9GHz帯の周波数帯の送信信号を電力増幅する。増幅された送信信号は、方向性結合器5,6を通り、前記送信用フィルタ4a,3aに入力される。
Hereinafter, the flow of signals in the transmission system will be described. The cellular transmission signal output from the transmission
The
方向性結合器5,6は、電力増幅器7,8からの出力信号のレベルをモニタして、そのモニタ信号に基づいて電力増幅器のオートパワーコントロールするためのものである。そのモニタ出力は、検波用回路11に入力される。
一方受信系は、受信用フィルタ4b,3bで分離された受信信号を増幅する低雑音増幅器LNA14,13と、受信信号からノイズを除去する高周波フィルタ16,15とを備えている。高周波フィルタ16,15を通った受信信号は、受信信号処理回路18に伝えられ信号処理される。また、前記GPS用フィルタ12で分離されたGPS信号は、受信信号処理回路18に入力され信号処理される。
The
On the other hand, the reception system includes low
図1において、出力整合回路26の前後に、所定長さの分布定数線路からなるオープンスタブL5,L6、方向性結合器6の後段にオープンスタブL7、送信用フィルタ3aの後段にオープンスタブL8を付加している。出力整合回路27の前後にオープンスタブL1,L2、方向性結合器5の後段にオープンスタブL3、送信用フィルタ4aの後段にオープンスタブL4を付加している。
In FIG. 1, before and after the
これらオープンスタブL1からL8は電力増幅器7・8から発生するスプリアスを低減するための高調波制御用のスタブである。オープンスタブの線路長は、除去したい高調波の周波数に応じて設定するとよい。先に述べたように、通常であれば、電力増幅器7,8の出力整合回路26,27において高調波制御を行っていたのであるが、本発明のように高周波モジュールに一体化する場合には、特に出力整合回路にのみ高調波制御用のスタブを設置する必要はなく、電力増幅用半導体素子から分波回路までの任意の箇所にスタブを付加して高調波制御を行えば良い。
These open stubs L1 to L8 are harmonic control stubs for reducing spurious generated from the
また、図1のオープンスタブL1〜L8の代わりに、図2に示すように、分布定数線路LとコンデンサC1の直列共振回路、または図3に示すように、インダクタL′とコンデンサC2の直列共振回路で構成しても良い。この場合においてもコンデンサC1、C2の容量値ならびに分布定数線路Lの線路長、インダクタL′のインダクタンスを変更することで、同様に任意の高調波レベルの制御が可能となる。 Further, instead of the open stubs L1 to L8 of FIG. 1, as shown in FIG. 2, a series resonance circuit of a distributed constant line L and a capacitor C1, or as shown in FIG. 3, a series resonance of an inductor L 'and a capacitor C2. You may comprise with a circuit. In this case as well, by changing the capacitance values of the capacitors C1 and C2, the line length of the distributed constant line L, and the inductance of the inductor L ′, it is possible to similarly control an arbitrary harmonic level.
特に、オープンスタブ、直列共振回路のうち、より精度よく高調波レベルの制御を行うという点から考えると、図3のような部品定数の変更が可能なインダクタとコンデンサの直列共振回路を設けることが望ましい。
以上のように構成された高周波モジュールでは、電力増幅7,8における出力整合回路26,27以外においても、高調波レベルを制御して低減することができ、これにより、高調波レベルをさらに自由に、かつ効率的に制御できる。
In particular, from the viewpoint of controlling the harmonic level more accurately among open stubs and series resonant circuits, it is possible to provide an inductor-capacitor series resonant circuit capable of changing component constants as shown in FIG. desirable.
In the high-frequency module configured as described above, it is possible to control and reduce the harmonic level in addition to the
図4は、高周波モジュールに含まれる電力増幅器7,8及び方向性結合器5,6の詳細な回路図である。
高周波モジュールは、PCS側の回路とセルラー側の回路とを含んでいるが、PCS側の回路構成は、セルラー側の回路構成と同様であるから、セルラー側のみ説明し、PCS側の説明は省略する。
FIG. 4 is a detailed circuit diagram of the
The high-frequency module includes a circuit on the PCS side and a circuit on the cellular side, but since the circuit configuration on the PCS side is the same as the circuit configuration on the cellular side, only the cellular side will be described, and the description on the PCS side will be omitted. To do.
高周波フィルタBPF9は電力増幅用半導体素子24の前段に配置されており、送信信号処理回路17と電力増幅用半導体素子24との間の直流分をカットするキャパシタCG9が存在している。
電力増幅用半導体素子24は、初段、中段、後段の3段の電力増幅用半導体素子より構成され、それぞれに対して電圧供給用バイアス線路LG9,LG8,LG7を介して電圧が供給され、この電圧をエネルギー源として、セルラー端子に入力された入力信号の増幅が行われる。電圧供給用バイアス線路LG7,LG8,LG9を高周波に対して4分の1波長のスタブとして機能させることで、高周波信号が直流電圧源に流れ込まないようにしている。
The high-frequency filter BPF9 is disposed in front of the power
The power amplifying
出力整合回路26は、分布定数線路LG6、キャパシタCG6,7から構成される。これにより低域通過フィルタを構成している。この低域通過フィルタは、電力増幅用半導体素子24の出力インピーダンス(0.5〜2Ω程度)と方向性結合器5の入力インピーダンス(30〜50Ω程度)とのインピーダンス整合を行う。出力整合回路27の前段にオープンスタブL1を配置し、出力整合回路27の後段にオープンスタブL2を配置していることは、前述したとおりである。これらのオープンスタブにより、電力増幅用半導体素子24から発生する不要信号を低減するという機能を有する。
The
キャパシタCG5は電力増幅用半導体素子24の入力側にDC成分が流れ込むことを防ぐ機能をもつ。
方向性結合器5は分布定数線路LG4及びキャパシタCG13からなる低域通過フィルタを構成している。この低域通過フィルタにより、前記電力増幅用半導体素子24から発生する不要信号を低減することができる。なお、方向性結合器5は、低域通過フィルタの機能を必ずしも持たせる必要はなく、キャパシタCG13を設けずセルラー帯域の周波数を通過させるための分布定数線路LG4だけで構成しても良い。前述したように、方向性結合器5の後段にオープンスタブL3を付加しているので、このオープンスタブL3によって、前記電力増幅用半導体素子24から発生する不要信号を低減することができる。
The capacitor CG5 has a function of preventing a DC component from flowing into the input side of the power
The directional coupler 5 constitutes a low-pass filter including a distributed constant line LG4 and a capacitor CG13. With this low-pass filter, unnecessary signals generated from the power
また、結合線路LG5を分布定数線路LG4に近接させて、容量結合、及び磁気結合を形成しており、これにより電力増幅用半導体素子24から発生する出力の一部をモニタ信号として、検波用回路11に出力している。結合線路LG5の送信用フィルタ4a側には、終端抵抗RG2が接続されている。検波用回路11は、入力されたモニタ信号に応じて、制御信号を生成し、べースバンドIC19の自動電力制御回路に供給する。
Further, the coupling line LG5 is brought close to the distributed constant line LG4 to form a capacitive coupling and a magnetic coupling, whereby a part of the output generated from the power
また、送信用フィルタ4aの後段にオープンスタブL4を付加しているので、このオープンスタブL4によって、前記電力増幅用半導体素子24から発生する不要信号を低減することができる。
前記電力増幅用半導体素子の構造は、限定されないが、好ましくは、小型化、高効率化を図るためにGaAsHBT(ガリウム砒素ヘテロジャンクションバイポーラトランジスタ)構造、又はP−HEMT構造のトランジスタ、具体的にはGaAsトランジスタ、シリコン若しくはゲルマニウムトランジスタを含む半導体素子で形成されたものである。
Further, since the open stub L4 is added after the
The structure of the semiconductor element for power amplification is not limited, but preferably a GaAsHBT (gallium arsenide heterojunction bipolar transistor) structure or a P-HEMT structure transistor in order to reduce the size and increase the efficiency. It is formed of a semiconductor element including a GaAs transistor, silicon, or germanium transistor.
高周波モジュール22は、同一寸法形状の複数の誘電体層が積層された多層基板構造を有している。
誘電体層は、ガラスエポキシ樹脂などの有機系誘電体基板に対して、銅箔などの導体によって配線導体層が形成されたもの、または、セラミック材料などの無機系誘電体基板に種々の配線導体層を誘電体基板と同時に焼成して形成されたものが用いられる。
The high-
The dielectric layer is formed by forming a wiring conductor layer with a conductor such as copper foil on an organic dielectric substrate such as glass epoxy resin, or various wiring conductors on an inorganic dielectric substrate such as a ceramic material. A layer formed by firing simultaneously with a dielectric substrate is used.
前記セラミック材料としては、(1)Al2O3、AlN、Si3N4、SiCを主成分とする焼成温度が1100℃以上のセラミック材料、(2)金属酸化物による混合物からなる1100℃以下、特に1050℃以下で焼成される低温焼成セラミック材料、(3)ガラス粉末、あるいはガラス粉末とセラミックフィラー粉末との混合物からなる1100℃以下、特に1050℃以下で焼成される低温焼成セラミック材料の群から選ばれる少なくとも1種が選択される。 Examples of the ceramic material include (1) a ceramic material whose main component is Al 2 O 3 , AlN, Si 3 N 4 , and SiC having a firing temperature of 1100 ° C. or higher, and (2) 1100 ° C. or lower made of a mixture of metal oxides. A low-temperature fired ceramic material fired at 1050 ° C. or lower, (3) a group of low-temperature fired ceramic materials fired at 1100 ° C. or lower, particularly 1050 ° C. or lower, comprising glass powder or a mixture of glass powder and ceramic filler powder At least one selected from is selected.
前記(2)の混合物としては、BaO−TiO2系、Ca−TiO2系、MgO−TiO2系等のセラミック材料が用いられ、これらのセラミック材料に、SiO2、Bi2O3、CuO、Li2O、B2O3等の助剤を適宜添加したものが用いられる。(3)のガラス組成物としては、少なくともSiO2を含み、Al2O3、B2O3、ZnO、PbO、アルカリ土類金属酸化物、アルカリ金属酸化物のうちの少なくとも1種以上を含有したものであって、具体的には、SiO2−B2O3−RO系、SiO2−BaO−Al2O3−RO系、SiO2−B2O3−Al2O3−RO系、SiO2−Al2O3−RO系、さらにはこれらの系にZnO、PbO、Pb、ZrO2、TiO2等を配合した組成物が挙げられる。また、ガラスとしては、焼成処理することによっても非晶質ガラスであるもの、また焼成処理によって、アルカリ金属シリケート、クォーツ、クリストバライト、コージェライト、ムライト、エンスタタイト、アノーサイト、セルジアン、スピネル、ガーナイト、ディオプサイド、イルメナイト、ウイレマイト、ドロマイト、ペタライトやその置換誘導体の結晶を少なくとも1種を析出する結晶化ガラスなどが用いられる。 As the mixture of (2), ceramic materials such as BaO—TiO 2 , Ca—TiO 2 , and MgO—TiO 2 are used. These ceramic materials include SiO 2 , Bi 2 O 3 , CuO, Li 2 O, which was added B 2 O aids such as 3 appropriately is used. The glass composition (3) contains at least SiO 2 and contains at least one of Al 2 O 3 , B 2 O 3 , ZnO, PbO, alkaline earth metal oxide, and alkali metal oxide. Specifically, SiO 2 —B 2 O 3 —RO system, SiO 2 —BaO—Al 2 O 3 —RO system, SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —RO system , SiO 2 —Al 2 O 3 —RO system, and compositions obtained by blending ZnO, PbO, Pb, ZrO 2 , TiO 2 and the like with these systems. In addition, the glass is an amorphous glass by baking treatment, and by baking treatment, alkali metal silicate, quartz, cristobalite, cordierite, mullite, enstatite, anorthite, serdian, spinel, garnite, Crystallized glass that precipitates at least one crystal of diopside, ilmenite, willemite, dolomite, petalite, and substituted derivatives thereof is used.
また、前記(3)におけるセラミックフィラーとしては、Al2O3、SiO2(クォーツ、クリストバライト)、フォルステライト、コージェライト、ムライト、ZrO2、ムライト、フォルステライト、エンスタタイト、スピネル、マグネシア、AlN、Si3N4、SiC、MgTiO3、CaTiO3などのチタン酸塩の群から選ばれる少なくとも1種が挙げられ、ガラス20〜80質量%、フィラー20〜80質量%の割合で混合されることが望ましい。 Further, as the ceramic filler in (3), Al 2 O 3 , SiO 2 (quartz, cristobalite), forsterite, cordierite, mullite, ZrO 2 , mullite, forsterite, enstatite, spinel, magnesia, AlN, Examples include at least one selected from the group consisting of titanates such as Si 3 N 4 , SiC, MgTiO 3 , and CaTiO 3 , and glass 20 to 80% by mass and filler 20 to 80% by mass. desirable.
一方、配線導体層は、誘電体基板と同時焼成して形成するために、誘電体基板を形成するセラミック材料の焼成温度に応じて種々組み合わせられ、例えば、セラミック材料が前記(1)の場合、タングステン、モリブデン、マンガン、銅の群から選ばれる少なくとも1種を主成分とする導体材料が好適に用いられる。また、低抵抗化のために、銅などとの混合物としてもよい。セラミック材料が前記(2)(3)の低温焼成セラミック材料を用いる場合、銅、銀、金、アルミニウムの群から選ばれる少なくとも1種を主成分とする低抵抗導体材料が用いられる。 On the other hand, since the wiring conductor layer is formed by simultaneous firing with the dielectric substrate, various combinations are made according to the firing temperature of the ceramic material forming the dielectric substrate. For example, when the ceramic material is (1), A conductor material mainly containing at least one selected from the group consisting of tungsten, molybdenum, manganese, and copper is preferably used. Moreover, it is good also as a mixture with copper etc. for resistance reduction. When the ceramic material is the low-temperature fired ceramic material of (2) or (3) above, a low-resistance conductor material mainly containing at least one selected from the group consisting of copper, silver, gold, and aluminum is used.
誘電体基板は、誘電率を高くすることで、小さな面積でも充分な静電容量を得ることができるため、ストリップライン長を短縮して、全体構造の小型化に供することができる。また、配線や線路などを低損失の低抵抗導体によって形成できることから、前記(1)(2)の低温焼成セラミック材料によって形成することが望ましい。
この多層基板の具体的な製造方法を説明する。アルミナ、ムライト、フォルステライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、ガラスなどをベースとして、公知の焼結助剤や高誘電率化に寄与するチタン酸塩などの化合物をこれに添加混合してセラミックグリーンシートを作成する。
Since the dielectric substrate can obtain a sufficient capacitance even in a small area by increasing the dielectric constant, the strip line length can be shortened and the entire structure can be miniaturized. Further, since the wiring, the line, and the like can be formed by a low-loss low-resistance conductor, it is desirable to form the low-temperature fired ceramic material of the above (1) and (2).
A specific method for manufacturing the multilayer substrate will be described. Based on alumina, mullite, forsterite, aluminum nitride, silicon nitride, glass, etc., ceramic green sheets are prepared by adding and mixing known sintering aids and compounds such as titanates that contribute to higher dielectric constants. create.
セラミックグリーンシートの表面に導体層を形成する。導体層の形成方法は、前記金属を含有する導体ペーストをセラミックグリーンシートの表面に塗布したり、金属箔を貼付したりする。
上述した各回路を構成する導体パターンをそれぞれ形成した後、導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層し、所要の圧力と温度の下で熱圧着し、焼成する。この場合、各誘電体層には、複数の層にわたって形成された回路を厚み方向に接続するために、貫通孔に導体ペーストが充填してなるビアホール導体が適宣形成される。
A conductor layer is formed on the surface of the ceramic green sheet. The conductor layer is formed by applying the metal-containing conductor paste to the surface of the ceramic green sheet or attaching a metal foil.
After forming the conductor patterns constituting each circuit described above, the ceramic green sheets on which the conductor patterns are formed are laminated, thermocompression-bonded under a required pressure and temperature, and fired. In this case, in each dielectric layer, in order to connect a circuit formed over a plurality of layers in the thickness direction, a via-hole conductor in which a through paste is filled with a conductive paste is appropriately formed.
そして、セラミックグリーンシートを、これらの導体層と同時焼結する。
なお、本発明の高周波モジュールにおいて、多層基板を構成する誘電体層の比誘電率は、10以上、特に15〜25であることが望ましい。このように誘電体層を高誘電率化することで、各回路を構成する分布定数線路の長さを短縮するとともに、キャパシタ素子の対向面積を減少することができ、高周波モジュールの小型化を実現することが可能となる。
And a ceramic green sheet is simultaneously sintered with these conductor layers.
In the high-frequency module of the present invention, it is desirable that the dielectric constant of the dielectric layer constituting the multilayer substrate is 10 or more, particularly 15 to 25. By increasing the dielectric constant of the dielectric layer in this way, the length of the distributed constant lines that make up each circuit can be reduced, and the opposing area of the capacitor elements can be reduced, resulting in a smaller high-frequency module. It becomes possible to do.
図5に、セラミック多層基板に実装された本発明の高周波モジュール22の概略平面図を示し、図6に高周波モジュールを構成するセラミック多層基板の断面模式図を示す。図7は、高周波モジュール22の概略斜視図である。
多層基板23の表層52には、各種の導体パターン、各種チップ部品のほか、高周波フィルタBPF9,10、送信用フィルタ3a,4a、受信用フィルタ3b,4b、並びに電力増幅器7,8の一部を構成する出力整合回路26,27及び電力増幅用半導体素子24,25などが搭載され、これらは半田などで誘電体層上の導体パターンに接合されている。これらの他、GPS用のフィルタ12、検波用回路11なども搭載されているが、図示していない。
FIG. 5 shows a schematic plan view of the high-
On the
電力増幅用半導体素子24,25は、多層基板23上の導体パターンとワイヤーボンディングで接続されている。電力増幅用半導体素子24,25の周囲には、同じく電力増幅器7,8の一部を構成する出力整合回路26,27がチップ部品や導体パターンで形成されている。
多層基板23の内部には、方向性結合器5,6、インピーダンス調整回路3c,4cを構成する分布定数線路、結合線路、分布型キャパシタ、抵抗などの導体パターンが、誘電体層中にそれぞれ形成されている。なお、方向性結合器5,6以外に、分波回路2などを構成する受動素子も誘電体層中に形成されているが、図示していない。
The power
Conductor patterns such as distributed constant lines, coupled lines, distributed capacitors, resistors, etc. constituting the
そして、各誘電体層には複数の層にわたって、回路を縦に接続するため必要なビア導体ホール導体が形成されている。例えば、図6における50は、電力増幅用半導体素子24,25で発生する熱をグランド層40に逃がすため設けられた、誘電体層を上下に貫通するサーマルビア導体である。40は最下層に設けられたグランド導体層である。
図8は、前記送信用フィルタ3a,4aや高周波フィルタBPF9,10の多層基板23への実装例を示す図である。送信用フィルタ3a,4aや高周波フィルタBPF9,10は、図8に示すように、SAWエレメント41で構成され、多層基板23に直接フリップチップ実装される。SAWエレメント41の裏面にはフィルタ電極42、入力と出力のパターン電極43及び気密封止するための電極44が形成される。一方多層基板23には、SAWエレメント41と対向して、入出力のパッド45と、気密封止するための電極46が形成されている。多層基板23のこれらのパターンに半田のバンプを形成しSAWエレメント41を熱で圧着して封止することで従来のパッケージ品と同等の信頼性特性が得られる。前記半田バンプは、多層基板23に半田を印刷し、必要チップ部品を実装し、リフローして形成することが出来る。この場合、多層基板23の電極には、半田濡れ性の点から、たとえばNi下地の金メッキを施しておくとよい。その後SAWエレメント41を熱圧着する。電力増幅用半導体素子24・25を実装しワイヤーボンドで接続し、全体をエポキシ樹脂等で封止し、高周波モジュールができあがる。
In each dielectric layer, via conductor hole conductors necessary to connect circuits vertically are formed across a plurality of layers. For example,
FIG. 8 is a diagram showing an example of mounting the
また、電力増幅用半導体素子24,25をワイヤーボンディングでなく、SAWエレメント41と同様にフリップチップ実装することもできる。
なお、電力増幅用半導体素子24,25、出力整合回路26,27、高周波フィルタBPF9,10、送受信用フィルタ3a,4a,3b,4bなどを構成する複数のチップを、多層基板23に縦に配置することにより、さらなる小型化を図ることもできる。例えば、多層基板の表面に凹部を設けこの凹部に搭載したり、多層基板の裏面に搭載するようにしてもよい。
Further, the power
A plurality of chips constituting the power
図9(a)(b)は、このような本発明の搭載例を示している。図9(a)では多層基板23の表面に凹部51を設け、受信用フィルタ3b,4bを格納し、その上にさらに送信用フィルタ3a,4aを上述のフリップチップで実装している。これにより、高周波モジュールの面積を大幅に削減することが出来る。特にデュプレクサ用の送受信用フィルタは送信側のエレメントが耐電力構造のため受信側のエレメントより大型になり、このように実装配置することで高周波モジュールの面積を小型化することができる。
FIGS. 9A and 9B show such mounting examples of the present invention. In FIG. 9A, a
図9(b)は、多層基板23の裏面側に凹部51を設け、受信用フィルタ3b,4bを格納し高周波モジュールを小型化した構造を示す。
このように、多層基板23の表面または裏面に凹部51を形成し、SAWエレメントの約半数を格納することで、高周波モジュールの小型化が実現できる。
以上で、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の実施は、前記の各形態に限定されるものではない。例えば、図2、3では、多層基板23に出力整合回路26,27、方向性結合器5,6、及び送信用フィルタ3a,4aを実装している例で説明したが、2つ以上のバンドを扱う高周波モジュールの場合、分波回路2の少なくとも一部のフィルタ素子を内装することもできる。これにより、マルチバンドの高周波モジュール全体として小型化が実現可能となる。その他、本発明の範囲内で種々の変更を施すことが可能である。
FIG. 9B shows a structure in which the
Thus, by forming the
While the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention are not limited to the above embodiments. For example, in FIGS. 2 and 3, the example in which the
1 アンテナ
2 分波回路
3a,3a 送信用フィルタ
4a,4b 受信用フィルタ
5、6 方向性結合器(カプラ)
7、8 電力増幅器
9、10 高周波フィルタ
11 検波回路
12 受信用フィルタ
13、14 低雑音増幅器LNA
15、16 受信用フィルタ
17 送信信号処理回路RFIC
18 受信信号処理回路RFIC
19 ベースバンドIC
22 高周波モジュール
23 多層基板
24、25 電力増幅用半導体素子
26、27 出力整合回路
DESCRIPTION OF
7, 8
15, 16
18 Received signal processing circuit RFIC
19 Baseband IC
22 High-
Claims (5)
前記電力増幅器は、電力増幅用半導体素子と出力整合回路とで構成され、
前記電力増幅器、方向性結合器又はデュプレクサの少なくともいずれか1つに、高調波レベル制御をするための、次の(a)から(c)の中から選ばれる少なくとも1種の素子が設けられていることを特徴とする高周波モジュール。
(a)オープンスタブ、
(b)分布定数線路とコンデンサとの直列共振回路、
(c)インダクタとコンデンサとの直列共振回路。 A duplexer that is connected to the antenna terminal directly or through a demultiplexing circuit and switches between a transmission system and a reception system, a power amplifier that amplifies a transmission signal in a predetermined transmission passband, and a directionality for detecting the output power of the power amplifier A high-frequency module in which a coupler is mounted on a multilayer substrate,
The power amplifier is composed of a power amplification semiconductor element and an output matching circuit,
At least one element selected from the following (a) to (c) is provided in at least one of the power amplifier, the directional coupler, and the duplexer for harmonic level control. A high-frequency module characterized by
(A) open stub,
(B) a series resonant circuit of a distributed constant line and a capacitor;
(C) A series resonant circuit of an inductor and a capacitor.
前記インピーダンス調整回路を構成する分布定数線路と、前記方向性結合器を構成する分布定数線路とは、前記多層基板内部の誘電体層に内装されている請求項2記載の高周波モジュール。 The duplexer is provided with an impedance adjustment circuit,
3. The high frequency module according to claim 2, wherein the distributed constant line constituting the impedance adjusting circuit and the distributed constant line constituting the directional coupler are housed in a dielectric layer inside the multilayer substrate.
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