JP2005275766A - Management diagram data processor, management diagram data processing method and program - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an intuitively intelligible management diagram data processor when data selected as data used for production of a management diagram are displayed. <P>SOLUTION: This management diagram data processor has: a table format display means displaying data on a quality characteristic value of a product produced in a production process on a display means in a table format; and a matrix designation means allowing designation of cells of a row and a column from the table format data. The management diagram data processor also has: a first display form change means changing the cell of the row designated by the matrix designation means into a first display form different form the cell of the non-designated row; a second display form change means changing the cell of the column designated by the matrix designation means into a second display form different from the cell of the non-designated column; and a third display form change means changing the cell designated in both the row designated by the matrix designation means and the column designated thereby into a third display form different from the first display form and the second display form. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、管理図データ処理装置、管理図データ処理方法及びプログラムに関し、特に、製造工程から得られる製品又は半製品の管理図用データを処理する管理図データ処理装置、管理図データ処理方法及びプログラムに関する。   The present invention relates to a control chart data processing device, a control chart data processing method, and a program, and more particularly, to a control chart data processing device, a control chart data processing method, and a control chart data processing method for processing product or semi-product control chart data obtained from a manufacturing process. Regarding the program.

従来より、製品の製造工程を管理するために、管理図が利用されている。管理図としては、例えば、平均値範囲管理図、平均値標準偏差管理図がある。製造工程を管理する者は、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の管理図を作成することによって、その製造工程の状態は、安定状態にあったのか、非安定状態にあったのか、の判断をすることができる。非安定状態にあった場合、非安定状態となった原因を追究し、その原因を取り除く対策をとることによって、その製造工程を再び安定状態にすることができる。   Conventionally, control charts are used to manage the manufacturing process of products. Examples of the control chart include an average value range management chart and an average value standard deviation management chart. The person who manages the manufacturing process creates a control chart of quality characteristic values of products or semi-finished products obtained from the manufacturing process, so that the state of the manufacturing process was in a stable state or in an unstable state It can be judged whether. In the case of an unstable state, the manufacturing process can be brought into a stable state again by pursuing the cause of the unstable state and taking measures to remove the cause.

安定状態の工程から製造される製品等は、所望の品質が維持された製品等となるため、管理図の作成を行う種々の装置の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。
製造工程を管理する者は、製造された製品あるいは半製品の複数のサンプルについての所定の品質特性値のデータから、群という単位で複数のデータを処理して、平均値範囲管理図、平均値標準偏差管理図等の管理図を作成する。このとき、複数のサンプルについて測定された多くの品質特性値のデータの中から、管理図の作成に使用するデータと使用しないデータの選別が行われる。これは、例えば、管理図における限界線の値は、サンプル数によって変化するため、得られたデータの中から適切な管理図が作成されるように、偏ったデータが管理図作成に使用されないようにするためである。
特開平9-330858号公報 Since products and the like manufactured from a process in a stable state are products and the like that maintain a desired quality, various devices for creating control charts have been proposed (see, for example, Patent Document 1).
The person who manages the manufacturing process processes multiple data in units of groups from the data of predetermined quality characteristic values for multiple samples of manufactured products or semi-finished products. Create a control chart such as a standard deviation control chart. At this time, the data used for creating the control chart and the data not used are selected from the data of many quality characteristic values measured for a plurality of samples. This is because, for example, the value of the limit line in the control chart changes depending on the number of samples. It is to make it.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-330858

しかし、従来、測定された多くの品質特性値のデータの中から、管理図の作成に使用するデータと使用しないデータを選別するとき、製造工程を管理する者にとって、大量のデータの中から使用するデータを選択する作業は、極めて煩雑なものであった。例えば、表計算ソフトウエアを用いて、コンピュータのモニタの画面上に表形式で複数のデータを表示させ、表示された表形式のデータの中から、使用するデータを特定し選択するが、モニタの画面上には大量のデータが表示されるため、データの選択操作をするオペレータには、モニタ上で選択されたデータと、選択されていないデータの区別がし難かったという問題があった。特に、表形式のデータの行と列の両方を指定することによって、使用するデータを特定し選択するため、表形式のデータの中でどのセルが選択されているのかを識別し難かった。   However, conventionally, when selecting data to be used for creating control charts and data not to be used from many measured quality characteristic value data, it is used from a large amount of data for those who manage the manufacturing process. The operation of selecting data to be performed is extremely complicated. For example, using spreadsheet software, display a plurality of data in tabular form on a computer monitor screen, and specify and select the data to be used from the displayed tabular data. Since a large amount of data is displayed on the screen, there is a problem that it is difficult for an operator who performs a data selection operation to distinguish between data selected on the monitor and data not selected. In particular, it is difficult to identify which cell is selected in the tabular data because the data to be used is specified and selected by specifying both the rows and columns of the tabular data.

そこで、本発明は、管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い管理図データ処理装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a control chart data processing device that is intuitively easy to understand when data selected as data used for creation of a control chart is displayed.

本発明の管理図データ処理装置は、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理装置であって、前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する表形式表示手段と、該表形式表示手段によって表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる行列指定手段と、該行列指定手段によって前記指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する第１表示形態変更手段と、前記行列指定手段によって前記指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する第２表示形態変更手段と、前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する第３表示形態変更手段と、前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する出力手段とを有する。   The control chart data processing apparatus according to the present invention provides control chart data for determining whether or not the manufacturing process is in a stable state based on a variation in quality characteristic values of products or semi-finished products obtained from the manufacturing process. A control chart data processing device for processing, wherein the quality characteristic value data of the product or semi-finished product manufactured in the manufacturing process is displayed on the display means in a table format composed of rows and columns; Matrix specifying means for designating row and column cells from the tabular data displayed by the tabular display means, and cells in the row not designated by the matrix designation means A first display form changing means for changing to a first display form different from the above, and a cell in the column designated by the matrix designating means is changed to a second display form different from a cell in a column not designated. You The second display form changing means and the cells designated in both the designated row and the designated column by the matrix designating means are different from the first display form and the second display form. And a third display form changing means for changing to the three display forms, and an output means for outputting the data of the cells specified in both the specified row and the specified column by the matrix specifying means.

本発明の管理図データ処理方法は、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理方法であって、前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示し、表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させ、指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更し、指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更し、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更し、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する。   According to the control chart data processing method of the present invention, control chart data for determining whether or not the manufacturing process is in a stable state based on a variation in quality characteristic values of a product or a semi-finished product obtained from the manufacturing process. A control chart data processing method for processing, wherein the quality characteristic value data of the product or semi-finished product manufactured in the manufacturing process is displayed on a display means in a table form composed of rows and columns, and the displayed table The row and column cells are specified from the format data, the cells in the specified row are changed to the first display form different from the cells in the unspecified row, and the cells in the specified column are specified. The display mode is changed to a second display mode different from the cells in the column that is not set, and the cells specified in both the specified row and the specified column are changed to the first display mode and the second display mode. Change to the third display form different from the form , And it outputs the data of the specified cell in both of the specified row with the specified column.

このような構成によれば、管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い。   According to such a configuration, it is intuitively easy to understand when the data selected as the data used for creating the control chart is displayed.

本発明のプログラムは、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理するためのプログラムであって、前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する機能と、表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる機能と、指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する機能と、指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する機能と、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する機能と、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する機能とをコンピュータに実現させるプログラムである。   The program of the present invention is for processing control chart data for determining whether or not the manufacturing process is in a stable state based on a variation in quality characteristic values of a product or a semi-finished product obtained from the manufacturing process. A program for displaying the quality characteristic value data of the product or semi-finished product manufactured in the manufacturing process on a display means in a tabular format consisting of rows and columns; The function to specify the cell of the row and the column from, the function to change the cell of the specified row to the first display form different from the cell of the non-specified row, and the cell of the specified column are specified. A function of changing to a second display form different from the cells in the column that has not been performed, and the cells designated in both the designated row and the designated column are designated as the first display form and the second display form. Different from the display form of A function of changing the display mode, a program for realizing the function of outputting the data of the designated cell in both of the specified row with the specified column in the computer.

このような構成によれば、管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い管理図データ処理装置を容易に実現することができる。   According to such a configuration, it is possible to easily realize a control chart data processing device that is intuitively easy to understand when data selected as data used for creation of a control chart is displayed.

また、本発明の管理図データ処理装置において、前記第１、前記第２及び前記第３表示形態変更手段は、前記セルのフォント、又は前記セルの背景の色を変更することによって、前記第１、前記第２及び前記第３表示形態を変更することが望ましい。   In the control chart data processing apparatus of the present invention, the first, second and third display form changing means change the first font by changing the font of the cell or the background color of the cell. It is desirable to change the second and third display modes.

このような構成によれば、色によって選択されたセルと選択されていないセルとの区別がし易い。   According to such a configuration, it is easy to distinguish between a cell selected by color and a cell not selected.

また、本発明の管理図データ処理装置において、前記第３表示形態変更手段によって変更された前記色は、前記第１及び前記第２表示形態変更手段によってそれぞれ変更された前記色を混合したときの色であることが望ましい。   Further, in the control chart data processing apparatus of the present invention, the color changed by the third display form changing unit is a mixture of the colors changed by the first and second display form changing units. The color is desirable.

このような構成によれば、行と列の両方において選択されたセルは、行の色と列の色とを混ぜた色なので、認識し易い。   According to such a configuration, the cells selected in both the row and the column are easy to recognize because they are mixed colors of the row color and the column color.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
まず図１に基づき、本実施の形態に係わるシステムの構成を説明する。図１は、本実施の形態に係わる管理図データ処理装置が処理する管理図データに係わる製造工程の構成を示す構成図である。本実施の形態では、基板の製造工程を例として説明する。その基板は、例えば、半導体装置のウエハ、液晶装置の素子基板、液晶装置のカラーフィルタ基板等である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
First, based on FIG. 1, the structure of the system concerning this Embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a manufacturing process related to control chart data processed by the control chart data processing apparatus according to the present embodiment. In this embodiment, a substrate manufacturing process will be described as an example. The substrate is, for example, a wafer of a semiconductor device, an element substrate of a liquid crystal device, a color filter substrate of a liquid crystal device, or the like.

図１において、ウエハ等の基板１は、複数の処理装置２−１、２−２、２−３、・・２−ｎ（以下、複数のあるいは一つの処理装置を、単に処理装置２ということもある）に順番に搭載されて処理されていく。処理装置２は、例えば、枚葉式の処理装置であり、基板が一枚ずつ搭載されて一枚ずつ処理される。処理装置２−１、２−２、２−３、・・２−ｎには、それぞれ管理図において必要な品質特性値のデータを取得するデータ取得装置３−１、３−２、３−３、・・３−ｎ（以下、複数のあるいは一つのデータ取得装置を、単にデータ取得装置３ということもある）が、それぞれ設けられている。データ取得装置３は、品質特性値として、例えば処理装置２において形成された配線の寸法、薄膜の厚さ等のデータを測定する測定手段としてのセンサからの信号を得ることによって、サンプルである基板１の品質特性値のデータを取得する。なお、データ取得装置３は、オペレータが基板１上に形成された配線の寸法等の品質特性値を測定して、その測定値を入力することによって、測定対象であるサンプルのデータを取得するものであってもよい。また、データ取得装置３は、処理装置２毎に設けられていなくてもよい。   In FIG. 1, a substrate 1 such as a wafer has a plurality of processing apparatuses 2-1, 2-2, 2-3,... 2-n (hereinafter, a plurality or one processing apparatus is simply referred to as a processing apparatus 2. Are also installed in order and processed. The processing apparatus 2 is, for example, a single wafer processing apparatus, and substrates are mounted one by one and processed one by one. The processing devices 2-1, 2-2, 2-3,... ,... 3-n (hereinafter, a plurality of or one data acquisition device may be simply referred to as the data acquisition device 3). The data acquisition device 3 obtains a signal as a quality characteristic value from a sensor as a measuring means for measuring data such as a dimension of a wiring formed in the processing device 2 and a thickness of a thin film. Data of quality characteristic value 1 is acquired. The data acquisition device 3 is an apparatus in which the operator measures quality characteristic values such as the dimensions of the wiring formed on the substrate 1 and inputs the measured values to acquire data of the sample to be measured. It may be. Further, the data acquisition device 3 may not be provided for each processing device 2.

データ取得装置３は、通信ライン４を介して、管理図データ処理装置であるセンタ装置５に、接続されている。センタ装置５には、記憶装置６が接続されている。記憶装置６には、処理装置２毎における各品質特性値のデータ、後述する管理図データ処理プログラムが記憶されている。なお、本実施の形態に係る記憶装置６は、管理図作成用プログラムも記憶されている。センタ装置５は、管理図作成用のデータを選択するときに使用されるモニタ５ａを有している。管理図は、例えば処理装置２毎に作成されるので、センタ装置５は、処理装置２毎の予め決められた品質特性値データを表示させ、表示させた品質特性値データに対して、選択操作等の処理をすることができるようになっている。   The data acquisition device 3 is connected via a communication line 4 to a center device 5 that is a control chart data processing device. A storage device 6 is connected to the center device 5. The storage device 6 stores data of each quality characteristic value for each processing device 2 and a control chart data processing program to be described later. The storage device 6 according to the present embodiment also stores a control chart creation program. The center device 5 has a monitor 5a used when selecting data for creating a control chart. Since the control chart is created for each processing device 2, for example, the center device 5 displays predetermined quality characteristic value data for each processing device 2, and performs a selection operation on the displayed quality characteristic value data. Etc. can be processed.

図２は、本実施の形態に係わるセンタ装置５の構成例を示す構成図である。センタ装置５は、表示装置であるモニタ５ａと、記憶装置６と、中央処理装置（以下、CPUという）を有するコンピュータ本体７と、キー入力装置であるキーボード８と、ポインティングデバイスであるマウス９とを含む。コンピュータ本体７に、モニタ５ａ、記憶装置６、キーボード８及びマウス９が接続されている。オペレータは、モニタ５ａ上に全ての品質特性値データを表形式で表示させて、センタ装置５に接続されたキーボード８とマウス９を操作して、後述するように管理図作成用データを選択することができる。   FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a configuration example of the center device 5 according to the present embodiment. The center device 5 includes a monitor 5a as a display device, a storage device 6, a computer main body 7 having a central processing unit (hereinafter referred to as a CPU), a keyboard 8 as a key input device, and a mouse 9 as a pointing device. including. A monitor 5a, a storage device 6, a keyboard 8 and a mouse 9 are connected to the computer main body 7. The operator displays all the quality characteristic value data on the monitor 5a in a table format, operates the keyboard 8 and mouse 9 connected to the center device 5, and selects control chart creation data as will be described later. be able to.

センタ装置５には、上述したようにデータ取得装置３から通信ライン４を介して全ての品質特性値データが送信され、記憶装置６に記憶される。あるいは、オペレータが各処理装置２において処理された基板における品質特性値を測定して、その全ての測定データをセンタ装置５に入力することによって、記憶装置６に記憶される。以下、各処理装置について得られ、記憶装置６に記憶された全ての品質特性値データを、原始データという。   As described above, all quality characteristic value data is transmitted from the data acquisition device 3 to the center device 5 via the communication line 4 and stored in the storage device 6. Alternatively, the operator measures quality characteristic values of the substrates processed in each processing apparatus 2 and inputs all of the measurement data to the center apparatus 5, and is stored in the storage device 6. Hereinafter, all quality characteristic value data obtained for each processing device and stored in the storage device 6 will be referred to as original data.

図３は、オペレータが、センタ装置５のモニタ５ａの表示画面１１上に、原始データを表示させた場合の表示画面の例を示す図である。図３に示す表示画面には、原始データＤ０が、行と列からなる表形式で表示されている。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a display screen when the operator displays the original data on the display screen 11 of the monitor 5 a of the center device 5. On the display screen shown in FIG. 3, the original data D0 is displayed in a tabular format consisting of rows and columns.

例えば、処理装置２が枚葉式の処理装置であれば、ある処理装置２において処理された基板１について所定の複数の位置における寸法等の品質特性値データが測定される。図３に示す表形式のデータは、１枚の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における品質特性値データが、グループＧ１、Ｇ２、G３、・・の夫々に対応して表示されている。   For example, if the processing apparatus 2 is a single-wafer processing apparatus, quality characteristic value data such as dimensions at a plurality of predetermined positions is measured for the substrate 1 processed in a certain processing apparatus 2. The table format data shown in FIG. 3 corresponds to the quality characteristic value data at a plurality of positions P1, P2, P3,... On one substrate 1 corresponding to the groups G1, G2, G3,. It is displayed.

例えば、枚葉処理毎に測定される１枚の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における配線パターンの位置の寸法が測定される場合、１回の枚葉処理で得られるデータが、一つのグループとなる。その結果、各枚葉処理を一つのグループとして、１枚の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における品質特性値データが得られる。そして、各グループの全てのデータ、すなわち全ての枚葉処理におけるデータが、センタ装置５の記憶装置６に記憶される。   For example, when the dimension of the position of the wiring pattern at a plurality of positions P1, P2, P3,... On one substrate 1 measured for each single wafer processing is measured, it is obtained by one single wafer processing. Data becomes one group. As a result, quality characteristic value data at a plurality of positions P 1, P 2, P 3,... On one substrate 1 is obtained with each single wafer processing as one group. Then, all the data of each group, that is, the data in all the sheet processing is stored in the storage device 6 of the center device 5.

あるいは、バッチ処理される複数の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における配線パターンの位置の寸法が測定される場合、１回のバッチ処理で得られるデータが、一つのグループとなる。その結果、各バッチ処理を一つのグループとして、複数の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における品質特性値データが得られる。そして、各グループのデータがセンタ装置５の記憶装置６に全て記憶される。
さらにあるいは、複数の枚葉処理、あるいは複数のバッチ処理を纏めて一つのロットとして、一つのロットのデータを、図３における一つのグループとしてもよい。従って、どの範囲のデータを一つのグループとするかは、作成する管理図に応じて決定される。 Alternatively, when dimensions of wiring pattern positions at a plurality of positions P1, P2, P3,... On a plurality of substrates 1 to be batch-processed are measured, data obtained by one batch process is a group. It becomes. As a result, quality characteristic value data at a plurality of positions P1, P2, P3,... On a plurality of substrates 1 is obtained with each batch process as one group. Then, all the data of each group is stored in the storage device 6 of the center device 5.
Further alternatively, a plurality of single wafer processes or a plurality of batch processes may be combined into one lot, and data of one lot may be combined into one group in FIG. Therefore, which range of data is to be included in one group is determined according to the control chart to be created.

図３に示す原始データＤ０は、行と列からなる表形式のデータとして表示される。行方向のデータは、同じ位置におけるデータである。列方向のデータは、同じグループのデータである。オペレータは、表形式データを処理できる表形式データ処理プログラム、例えばＥＸＣＥＬ（商品名）を利用することによって、モニタ５ａの画面上に原始データＤ０を表示させて、記憶装置６に記憶されたデータの中から、どの行のデータとどの列のデータを管理図の作成に使用するかを、マウス９を用いて選択し指定することができる。すなわち、オペレータは、モニタ５ａの表示画面１１上にされた原始データＤ０に対して、マウス９を用いて、管理図に使用するデータを選択し指定する操作を行うことができる。   The primitive data D0 shown in FIG. 3 is displayed as tabular data consisting of rows and columns. The data in the row direction is data at the same position. The data in the column direction is data of the same group. The operator displays the original data D0 on the screen of the monitor 5a by using a tabular data processing program that can process tabular data, for example, EXCEL (product name), and stores the data stored in the storage device 6. It is possible to select and specify which row of data and which column of data is used to create a control chart from the inside using the mouse 9. That is, the operator can use the mouse 9 to select and specify data to be used for the control chart with respect to the source data D0 displayed on the display screen 11 of the monitor 5a.

図３に示すように、オペレータが、マウス９を使うことによって、管理図の作成に使用するデータとして、位置Ｐ１に対応する行を選択したとすると、その行の各セルは、選択された行である旨を示す表示状態となる。なお、図３では、選択された範囲を点線ＤＲ１で示す。選択された行である旨を示す表示状態とは、後述するように、予め決められた色表示の状態である。ここでは、選択された行であることを示す色は、黄色である。同様に、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、位置Ｐ３、Ｐ５等の行も追加して選択したとすると、点線ＤＲ２、ＤＲ３等で示された行もそれぞれ選択された状態を示す色、すなわち黄色になる。   As shown in FIG. 3, if the operator uses the mouse 9 to select a row corresponding to the position P1 as data to be used for creating the control chart, each cell in that row is displayed in the selected row. Is displayed. In FIG. 3, the selected range is indicated by a dotted line DR1. The display state indicating the selected row is a predetermined color display state as will be described later. Here, the color indicating the selected row is yellow. Similarly, if the operator also adds and selects rows such as positions P3 and P5 as data to be used for creating the control chart, the rows indicated by dotted lines DR2 and DR3 also indicate the selected state. The color turns yellow.

さらに、図３に示すように、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、グループＧ１に対応する列を選択したとすると、その列の各セルは、選択された列であることを示す表示状態となる。なお、図３では、選択された範囲を点線ＤＣ１で示す。選択された列であることを示す表示状態とは、後述するように、予め決められた色表示の状態である。ここでは、選択された列であることを示す色は、青色である。同様に、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、グループＧ３、Ｇ４、Ｇ５、Ｇ７等の列も追加して選択したとすると、点線ＤＣ２、ＤＣ３等で示された列もそれぞれ選択された状態を示す色、すなわち青色になる。   Furthermore, as shown in FIG. 3, if the operator selects a column corresponding to the group G1 as data used to create a control chart, each cell in the column indicates that it is a selected column. Display state. In FIG. 3, the selected range is indicated by a dotted line DC1. The display state indicating the selected column is a predetermined color display state as will be described later. Here, the color indicating the selected column is blue. Similarly, if the operator also selects and adds columns such as groups G3, G4, G5, and G7 as data used to create the control chart, the columns indicated by dotted lines DC2, DC3, etc. are also selected. The color indicating the state is blue, that is, blue.

なお、本明細書において、選択された行あるいは列の各セルの表示状態の変更とは、表示されているデータ自体の形態の変更でもよいし、表示されているデータのセルの背景のパターン、色等の形態の変更でもよい。   In this specification, the change in the display state of each cell in the selected row or column may be a change in the form of the displayed data itself, or the background pattern of the displayed data cell, It may be changed in form such as color.

オペレータが、管理図用のデータとして、行の選択だけを行った場合は、選択された行の各セルは、全て黄色に表示状態が変更される。同様に、オペレータが、管理図用のデータとして、列の選択だけを行った場合は、選択された列の各セルは、全て青色に表示状態が変更される。   When the operator only selects a row as control chart data, the display state of each cell in the selected row is changed to yellow. Similarly, when the operator only selects a column as control chart data, the display state of all the cells in the selected column is changed to blue.

また、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、行と列の両方の選択を行った場合は、選択された行と列の両方において選択されたセルは、行と列の両方により選択されていることを示す表示状態になる。なお、図３では、行と列の両方により選択された範囲を点線ＤＢで示す。行と列の両方が選択されたことを示す表示状態とは、後述するように、予め決められた色表示の状態である。ここでは、行と列の両方が選択されたセルであることを示す色は、緑色である。このような構成によれば、色によって選択されたセルと選択されていないセルとの区別がし易い。   If the operator selects both rows and columns as the data used to create the control chart, the cells selected in both the selected rows and columns are selected by both the rows and columns. Is displayed. In FIG. 3, the range selected by both the row and the column is indicated by a dotted line DB. The display state indicating that both the row and the column are selected is a predetermined color display state as will be described later. Here, the color indicating that both the row and the column are selected cells is green. According to such a configuration, it is easy to distinguish between a cell selected by color and a cell not selected.

本実施の形態では、選択された行と列の両方において選択されたセルは、選択された行のセルを示す黄色と、選択された列のセルを示す青色とが混ざった色である緑になっている。行と列の両方において選択されたセルについて、行の色と列の色とを混ぜた色、すなわち混色を使用すると、オペレータに認識し易い。   In the present embodiment, the cells selected in both the selected row and column are green, which is a color in which yellow indicating cells in the selected row and blue indicating cells in the selected column are mixed. It has become. For cells selected in both rows and columns, using a color that is a mixture of the row color and the column color, that is, a mixed color, is easy for the operator to recognize.

図３において選択された品質特性値データは、管理図作成用データＤ１として指定されて、記憶装置６に記憶され、管理図作成のために管理図作成プログラムによって使用される。   The quality characteristic value data selected in FIG. 3 is designated as control chart creation data D1, stored in the storage device 6, and used by the control chart creation program for creating the control chart.

オペレータは、記憶装置６に記憶された管理図作成用データＤ１をモニタ５ａの画面上に表示させることができる。図４は、オペレータが、センタ装置５のモニタ５aの表示画面１１上に、管理図作成用データＤ１を表示させた場合の表示画面の例を示す図である。図４に示す表示画面１１には、オペレータによって選択された行と列の両方で指定されたセルの品質特性値データが、行と列からなる表形式で表示されている。具体的には、図４に示されたセルのデータは、図３において、行と列の両方により選択され指定された、点線ＤＢで示された範囲のデータである。   The operator can display the control chart creation data D1 stored in the storage device 6 on the screen of the monitor 5a. FIG. 4 is a diagram showing an example of a display screen when the operator displays the control chart creation data D1 on the display screen 11 of the monitor 5a of the center device 5. On the display screen 11 shown in FIG. 4, the quality characteristic value data of the cells designated by both the row and the column selected by the operator are displayed in a table format consisting of the row and the column. Specifically, the cell data shown in FIG. 4 is data in the range indicated by the dotted line DB, which is selected and designated by both the row and the column in FIG.

次に、管理図用データを指定する処理について説明する。図５は、センタ装置５における管理図データの指定処理の流れの例を示すフローチャートである。なお、図５に示す処理は、センタ装置５のＣＰＵが記憶装置６に記憶された管理図データ処理プログラムを読み出して実行することによってなされる。
オペレータが、記憶装置６に記憶されている原始データＤ０を、センタ装置５のモニタ５ａの画面上に表示させるコマンドを指示すると、センタ装置５は、原始データＤ０を、センタ装置５のモニタ５ａの画面上に表示させる（ステップ（以下、Sと略す）１）。 Next, processing for designating control chart data will be described. FIG. 5 is a flowchart showing an example of the flow of the control chart data designation process in the center device 5. The processing shown in FIG. 5 is performed by the CPU of the center device 5 reading and executing the control chart data processing program stored in the storage device 6.
When the operator instructs a command to display the original data D0 stored in the storage device 6 on the screen of the monitor 5a of the center device 5, the center device 5 displays the original data D0 on the monitor 5a of the center device 5. It is displayed on the screen (step (hereinafter abbreviated as S) 1).

オペレータは、表示された原始データの中から、マウス９等を利用して管理図作成用のデータを選択し、指定するための指定処理が行われる（S2）。S2の処理については、後で図６を用いて詳述する。   The operator uses the mouse 9 or the like from the displayed original data to select control chart creation data and performs a designation process for designation (S2). The processing of S2 will be described in detail later using FIG.

指定操作が終了して、オペレータが、管理図作成用のデータを確定する旨のコマンドを入力したか否かが判断される（S3）。オペレータが、管理図作成用のデータを確定する旨のコマンドを入力した場合は、S3でYESとなって、ＣＰＵは、選択されたセルのデータだけを、管理図作成用データＤ１として記憶装置６のデータベースに出力し（S4）、記憶装置６のデータベースが更新される。このとき、モニタ５ａの表示画面は、図３の画面から図４の画面に切り替わる。出力された管理図作成用データＤ１に基づいて、管理図が作成される。   After the designation operation is completed, it is determined whether or not the operator has input a command to confirm the data for creating the control chart (S3). When the operator inputs a command to confirm the data for creating the control chart, the answer is YES in S3, and the CPU stores only the data of the selected cell as the control chart creation data D1. (S4), and the database of the storage device 6 is updated. At this time, the display screen of the monitor 5a is switched from the screen of FIG. 3 to the screen of FIG. A control chart is created based on the output control chart creation data D1.

図６は、図５における管理図用データの指定処理の流れの例を示すフローチャートである。
オペレータは、上述したように、表示された原始データＤ０の中から、マウス９等を利用して管理図作成用のデータを、図３に示すように選択する。従って、まず、ＣＰＵは、オペレータがマウス９を操作することによって、行の選択が行われたか否かの判断を行う（S11）。行の選択が行われたと判断されると、S11でYESとなって、行選択処理が行われる（S12）。行選択処理は、オペレータによって選択された行の複数のセルについて、行選択されたセルであることを示すフラグデータ等の行選択コードを、記憶させる処理である。 FIG. 6 is a flowchart showing an example of the flow of control chart data designation processing in FIG.
As described above, the operator uses the mouse 9 or the like to select control chart creation data from the displayed source data D0 as shown in FIG. Therefore, the CPU first determines whether or not a row has been selected by the operator operating the mouse 9 (S11). If it is determined that a row has been selected, YES is determined in S11 and a row selection process is performed (S12). The row selection process is a process of storing a row selection code such as flag data indicating that a cell has been selected for a plurality of cells in a row selected by an operator.

行の選択が行われなかった場合、及び行選択処理が行われた後に、ＣＰＵは、オペレータがマウス９を操作することによって、列の選択が行われたか否かの判断を行う（S13）。列の選択が行われたと判断されると、S13でYESとなって、列選択処理が行われる（S14）。列選択処理は、オペレータによって選択された列の複数のセルについて、列選択されたセルであることを示すフラグデータ等の列選択コードを、記憶させる処理である。   When no row is selected and after the row selection process is performed, the CPU determines whether or not a column has been selected by operating the mouse 9 (S13). If it is determined that a column has been selected, YES is determined in S13, and a column selection process is performed (S14). The column selection process is a process of storing a column selection code such as flag data indicating that a cell is selected for a plurality of cells in a column selected by an operator.

また、行と列の両方の選択がされたセルについては、両方のフラグデータ等、すなわち行選択コードと列選択コードが、記憶される。以上のように、表形式で表示された原始データの中で、選択された行及び列のセル毎に、行のみの選択がされたセルか、列のみの選択がされたセルか、あるいは行と列の両方の選択がされたセルか、が判別できるような識別コードのデータが記憶される。   For cells in which both rows and columns are selected, both flag data and the like, that is, row selection codes and column selection codes are stored. As described above, in the source data displayed in the table format, for each cell in the selected row and column, a cell in which only a row is selected, a cell in which only a column is selected, or a row The data of the identification code is stored so that it can be determined whether the cell has been selected for both the column and the column.

列の選択が行われなかった場合、及び列選択処理が行われた後に、センタ装置５は、表示処理を行う（S15）。表示処理の内容については、図７を用いて詳述する。表示処理の後に、オペレータが管理図作成用のデータの選択処理を終了する旨のコマンドを指示したか否かの判断される（S16）。オペレータが管理図作成用のデータの選択処理を終了する旨のコマンドを指示しなければ、処理は、S11の処理に戻り、そのコマンドの指示があれば、処理は終了する。   When the column is not selected and after the column selection process is performed, the center device 5 performs a display process (S15). The contents of the display process will be described in detail with reference to FIG. After the display process, it is determined whether or not the operator has instructed a command to end the data selection process for creating the control chart (S16). If the operator does not instruct a command to end the process of selecting data for creating the control chart, the process returns to the process of S11, and if the command is instructed, the process ends.

図７は、図６の表示処理の流れの例を示すフローチャートである。まず、センタ装置５のＣＰＵは、各セルについて、行のみの選択がされたセルであるか否かを判断する（S21）。行のみの選択がされたセルであるか否かを判断は、上述した場合であれば、そのセルに行選択コードのみが記憶されているか否かによって行われる。行のみの選択がされたセルについては、表示状態を、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択もされていないセルの表示状態とは異ならせるように変更する。ここでは、具体的には、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択もされていないセルの表示状態を無色とし、上述したように、行のみの選択がされたセルの表示状態としてセルの色を黄色に変更する場合は、セルのフォントの色指定データ、あるいはセルの背景のパターンの色指定データを黄色にするように変更され（S22）、処理は終了する。   FIG. 7 is a flowchart showing an example of the flow of the display process of FIG. First, the CPU of the center device 5 determines whether or not each cell is a cell in which only a row is selected (S21). In the case described above, whether or not a cell has been selected for only a row is determined based on whether or not only the row selection code is stored in that cell. For a cell in which only a row is selected, the display state is changed to be different from the display state of a cell in which only a row, only a column, or both are not selected. Here, specifically, the display state of a cell in which only a row, only a column, or both are not selected is made colorless, and as described above, the display state of a cell in which only a row is selected When the cell color is changed to yellow, the cell font color designation data or the cell background pattern color designation data is changed to yellow (S22), and the process ends.

ＣＰＵは、S21でNOの場合、すなわち各セルについて、行のみの選択がされたセルでないと判断された場合は、各セルについて、列のみの選択がされたセルであるか否かを判断する（S23）。列のみの選択がされたセルであるか否かを判断は、上述した場合であれば、そのセルに列選択コードのみが記憶されているか否かによって行われる。列のみの選択がされたセルについては、表示状態を、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択がされていないセルの表示状態とは異ならせるように変更する。さらに、行のみ選択されたセルの表示状態とも異ならせるように、セルの表示状態が変更させる。ここでは、具体的には、上述したように、列のみの選択がされたセルの表示状態としてセルの色を青色に変更する場合は、セルのフォントの色指定データ、あるいはセルの背景のパターンの色指定データを青色にするように変更され（S24）、処理は終了する。   If NO in S21, that is, if it is determined that each cell is not a cell in which only a row is selected, the CPU determines whether or not each cell is a cell in which only a column is selected. (S23). In the case described above, whether or not a cell has been selected for only a column is determined by whether or not only a column selection code is stored in that cell. For a cell in which only a column is selected, the display state is changed so as to be different from the display state of a cell in which none of the selection is made, that is, only a row, only a column, or both. Further, the display state of the cell is changed so as to be different from the display state of the cell in which only the row is selected. Specifically, as described above, when the cell color is changed to blue as the display state of the cell in which only the column is selected, the cell font color designation data or the cell background pattern is selected. The color designation data is changed to blue (S24), and the process ends.

ＣＰＵは、S23でNOの場合、すなわち各セルについて、行のみの選択がされたセルでも、列のみの選択がされたセルでないと判断された場合は、各セルについて、行と列の両方の選択がされたセルか否かを判断する（S25）。行と列の両方の選択がされたセルについては、行と列の両方の選択がされたセルの表示状態を、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択がされていないセルの表示状態とは異ならせるように変更する。さらに、行のみ選択されたセル及び列のみ選択されたセルの表示状態とも異ならせるように、セルの表示状態が変更させる。ここでは、具体的には、上述したように、行と列の両方の選択がされたセルの表示状態としてセルの色を緑色に変更する場合は、セルのフォントの色指定データ、あるいはセルの背景のパターンの色指定データを緑色にするように変更され（S26）、処理は終了する。   If the CPU determines NO in S23, that is, if it is determined that each cell is a cell in which only a row is selected but is not a cell in which only a column is selected, both the row and the column are determined for each cell. It is determined whether or not the cell has been selected (S25). For cells with both row and column selections, the display status of the cells with both row and column selections is displayed, and only the rows, columns, and both are displayed. Change to be different from the state. Furthermore, the display state of the cells is changed so as to be different from the display states of the cells in which only the rows are selected and the cells in which only the columns are selected. More specifically, as described above, when the cell color is changed to green as the display state of the cell in which both the row and the column are selected, the cell font color designation data or the cell The background pattern color designation data is changed to green (S26), and the process ends.

従って、図５から図７の処理によれば、表形式で表示された原始データＤ０の中から、管理図作成用のデータを選択するとき、選択された行と列のセルが、それぞれ他のセルと異なる表示状態、ここでは異なる色によって表示され、かつ、選択された行と選択された列の両方に係るセルについても、行のみ選択されたセルと、列とのみ選択されたセルとも異なる色によって表示される。よって、オペレータは、原始データＤ０の中から、管理図に使用するデータを選択するときに、選択されたデータを視認し易くなるので、管理図用データを指定する操作効率が向上する。   Therefore, according to the processing of FIGS. 5 to 7, when selecting the data for creating the control chart from the source data D0 displayed in the tabular format, the cells in the selected row and column are changed to the other data. Different display states from cells, here different colors, and for both the selected row and the selected column, the row only selected cell and the column only selected cell are also different Displayed by color. Therefore, when the operator selects the data to be used for the control chart from the source data D0, the selected data can be easily viewed, so that the operation efficiency for specifying the control chart data is improved.

最後に、センタ装置５は、記憶装置６に記憶された管理図作成用プログラムを実行することによって、選択された管理図用データＤ１を用いて、各種管理図を作成する。図８は、センタ装置５のモニタ５ａ上に表示された３つの管理図のグラフの例を示す図である。センタ装置５は、図８に示すように、作成された３つの管理図のグラフを、モニタ５ａの表示画面１１上に表示する。図８において、品質特性値の時間的な変動値に基づく平均値管理図１２、品質特性値の時間的な変動値に基づく範囲管理図１３、及び品質特性値の空間的な変動値に基づく範囲管理図１４が、それぞれの時間軸を横方向にして、縦方向において時間が一致するように並べて表示されている。   Finally, the center device 5 creates various control charts by using the selected control chart data D1 by executing the control chart creation program stored in the storage device 6. FIG. 8 is a diagram showing an example of three control chart graphs displayed on the monitor 5 a of the center device 5. As shown in FIG. 8, the center device 5 displays the created three control chart graphs on the display screen 11 of the monitor 5a. 8, the average value management diagram 12 based on the temporal variation value of the quality characteristic value, the range management diagram 13 based on the temporal variation value of the quality characteristic value, and the range based on the spatial variation value of the quality characteristic value. The management chart 14 is displayed side by side so that each time axis is in the horizontal direction, and the times are matched in the vertical direction.

平均値管理図１２には、品質特性値としての配線の幅長の平均値Ｘｂａｒ（ｔ）のデータがプロットされた折れ線グラフ１２−１が表示される。平均値管理図１２には、さらに、平均値Ｘｂａｒ（ｔ）の平均値を示す線１２−２と、上下の限界値を示す点線１２−３，１２−４も表示されている。従って、製造工程を管理する者は、平均値管理図１２においてプロットされる平均値Ｘｂａｒ（ｔ）の値、バラツキ等をみることによって、製造工程の状態を判断することができる。   Average Value Management FIG. 12 displays a line graph 12-1 in which data of the average value Xbar (t) of the wiring width length as quality characteristic values is plotted. Average value management FIG. 12 also displays a line 12-2 indicating the average value of the average value Xbar (t) and dotted lines 12-3 and 12-4 indicating the upper and lower limit values. Therefore, the person who manages the manufacturing process can determine the state of the manufacturing process by looking at the average value Xbar (t) plotted in the average value management chart 12, the variation, and the like.

範囲管理図１３には、品質特性値としての配線の幅長の範囲Ｒ（ｔ）のデータがプロットされた折れ線グラフ１３−１が表示される。範囲管理図１３には、さらに、範囲Ｒ（ｔ）の平均値を示す線１３−２と、限界値を示す点線１３−３も表示されている。従って、製造工程を管理する者は、範囲管理図１３においてプロットされる範囲Ｒ（ｔ）の値、バラツキ等をみることによって、製造工程の状態を判断することができる。   Range management FIG. 13 displays a line graph 13-1 in which data of the range R (t) of the wiring width length as quality characteristic values is plotted. Range management FIG. 13 also shows a line 13-2 indicating the average value of the range R (t) and a dotted line 13-3 indicating the limit value. Therefore, the person who manages the manufacturing process can determine the state of the manufacturing process by looking at the value, variation, etc. of the range R (t) plotted in the range management chart 13.

範囲管理図１４には、品質特性値としての配線の幅長の範囲Ｒ（ｓ）のデータがプロットされた折れ線グラフ１４−１が表示される。範囲管理図１４には、さらに、範囲Ｒ（ｓ）の平均値を示す線１４−２と、上下の限界値を示す点線１４−３，１４−４も表示されている。従って、製造工程を管理する者は、範囲管理図１４においてプロットされる範囲Ｒ（ｓ）の値、バラツキ等をみることによって、製造工程の状態を判断することができる。
これらの管理図の作成において、原始データＤ０の中から選択された管理図作成用データＤ１が使用されているので、各管理図における各限界線の値は、適切な値となっている。 Range management FIG. 14 displays a line graph 14-1 in which data of the range R (s) of the width length of wiring as quality characteristic values is plotted. Range management FIG. 14 also displays a line 14-2 indicating the average value of the range R (s) and dotted lines 14-3 and 14-4 indicating the upper and lower limit values. Therefore, the person who manages the manufacturing process can determine the state of the manufacturing process by looking at the value, variation, etc. of the range R (s) plotted in the range management chart 14.
In the creation of these control charts, the control chart creation data D1 selected from the source data D0 is used, so that the value of each limit line in each control chart is an appropriate value.

以上説明したように、本実施の形態によれば、原始データの中から、管理図の作成に使用するデータと使用しないデータを選別するとき、オペレータには、モニタ上で選択されたデータと、選択されていないデータの表示形態が異なるために、選択されたデータの識別がし易くなる。特に、表形式のデータの行と列の両方を指定することによって、使用するデータを特定し選択するため、表形式のデータの中でどのセルが選択されているのかを直感的に識別し易くなる。   As described above, according to the present embodiment, when selecting data to be used for creating a control chart and data not to be used from the original data, the operator can select the data selected on the monitor, Since the display form of the data that has not been selected is different, the selected data can be easily identified. In particular, it is easy to intuitively identify which cell is selected in the tabular data because it specifies and selects the data to be used by specifying both the row and column of the tabular data. Become.

本明細書における各処理内容は、実施の形態の各機能に対応する概念的なもので、必ずしも特定のハードウエアやソフトウエア・ルーチンに１対１には対応しない。また、本実施の形態における各手順の各ステップは、その性質に反しない限り、実行順序を変更し、複数同時に実行し、あるいは実行毎に異なった順序で実行してもよい。   Each processing content in the present specification is conceptual corresponding to each function of the embodiment, and does not necessarily correspond to specific hardware or software routine on a one-to-one basis. In addition, each step of each procedure in the present embodiment may be executed in a different order for each execution by changing the execution order and performing a plurality of steps at the same time, as long as it does not contradict its nature.

なお、以上説明した動作を実行するプログラムは、フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体や、ハードディスク等の記憶装置等に、その全体あるいは一部が記録され、あるいは記憶されている。そのプログラムがコンピュータにより読み取られて、動作の全部あるいは一部が実行される。あるいは、そのプログラムの全体あるいは一部を通信ネットワークを介して流通または提供することができる。利用者は、通信ネットワークを介してそのプログラムをダウンロードしてコンピュータにインストールしたり、あるいは記録媒体からコンピュータにインストールすることで、容易に本発明の管理図データ処理装置を実現することができる。   The program for executing the operations described above is recorded or stored in whole or in part on a portable medium such as a floppy disk, CD-ROM, or a storage device such as a hard disk. Yes. The program is read by a computer, and all or part of the operation is executed. Alternatively, all or part of the program can be distributed or provided via a communication network. The user can easily realize the control chart data processing apparatus of the present invention by downloading the program via a communication network and installing it on a computer or installing it from a recording medium to a computer.

本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本実施の形態に係わる製造工程の構成を示す構成図。The block diagram which shows the structure of the manufacturing process concerning this Embodiment. 本実施の形態に係わるセンタ装置５の構成例を示す構成図。The block diagram which shows the structural example of the center apparatus 5 concerning this Embodiment. モニタの表示画面上に、原始データを表示させた場合の表示画面の例を示す図。The figure which shows the example of a display screen at the time of displaying primitive data on the display screen of a monitor. モニタの表示画面上に、管理図作成用データを表示させた場合の例を示す図。The figure which shows the example at the time of displaying the data for control chart preparation on the display screen of a monitor. センタ装置における管理図データの指定処理の流れの例を示すフローチャート。6 is a flowchart showing an example of a flow of control chart data designation processing in the center apparatus. 図５における管理図用データの指定処理の流れの例を示すフローチャート。6 is a flowchart showing an example of a flow of control chart data designation processing in FIG. 5. 図６の表示処理の流れの例を示すフローチャート。7 is a flowchart showing an example of the flow of display processing of FIG. センタ装置のモニタ上に表示された３つの管理図のグラフの例を示す図。The figure which shows the example of the graph of three control charts displayed on the monitor of the center apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ 基板、２ 処理装置、３ データ取得装置、４ 通信ライン、５ センタ装置、５ａモニタ、６ 記憶装置、７ 本体、８ キーボード、９ マウス 1 substrate, 2 processing device, 3 data acquisition device, 4 communication line, 5 center device, 5a monitor, 6 storage device, 7 body, 8 keyboard, 9 mouse

Claims (5)

製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理装置であって、
前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する表形式表示手段と、
該表形式表示手段によって表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる行列指定手段と、
該行列指定手段によって前記指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する第１表示形態変更手段と、
前記行列指定手段によって前記指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する第２表示形態変更手段と、
前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する第３表示形態変更手段と、
前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する出力手段とを有することを特徴とする管理図データ処理装置。 A control chart data processing device for processing control chart data for determining whether or not the manufacturing process is in a stable state based on a variation in quality characteristic values of a product or a semi-finished product obtained from the manufacturing process. ,
Tabular display means for displaying the quality characteristic value data of the product or semi-finished product manufactured in the manufacturing process on a display means in a tabular format consisting of rows and columns;
Matrix designating means for designating row and column cells from the tabular data displayed by the tabular display means;
First display form changing means for changing the cells of the row designated by the matrix designation means to a first display form different from the cells of the row not designated;
Second display form changing means for changing the cells in the column designated by the matrix designation means to a second display form different from the cells in the non-designated columns;
A cell that is designated in both the designated row and the designated column by the matrix designating means is changed to a third display form different from the first display form and the second display form. 3 display form changing means;
A control chart data processing apparatus comprising: output means for outputting data of cells designated in both the designated row and the designated column by the matrix designation means. 前記第１、前記第２及び前記第３表示形態変更手段は、前記セルのフォント、又は前記セルの背景の色を変更することによって、前記第１、前記第２及び前記第３表示形態を変更することを特徴とする請求項１に記載の管理図データ処理装置。   The first, second, and third display form changing means change the first, second, and third display forms by changing a font of the cell or a background color of the cell. The control chart data processing apparatus according to claim 1, wherein: 前記第３表示形態変更手段によって変更された前記色は、前記第１及び前記第２表示形態変更手段によってそれぞれ変更された前記色を混合したときの色であることを特徴とする請求項２に記載の管理図データ処理装置。   3. The color changed by the third display form changing means is a color when the colors changed by the first and second display form changing means are mixed. The control chart data processing device described. 製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理方法であって、
前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示し、
表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させ、
指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更し、
指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更し、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更し、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力することを特徴とする管理図データ処理方法。 A control chart data processing method for processing control chart data for determining whether or not the manufacturing process is in a stable state based on fluctuations in quality characteristic values of products or semi-finished products obtained from the manufacturing process. ,
The data of the quality characteristic value of the product or semi-finished product manufactured in the manufacturing process is displayed on the display means in a tabular format consisting of rows and columns,
Specify row and column cells from the displayed tabular data,
Change the cells in the specified row to the first display form different from the cells in the unspecified row,
Change the cell in the specified column to a second display form different from the cell in the non-specified column,
Changing cells designated in both the designated row and the designated column to a third display form different from the first display form and the second display form;
A control chart data processing method comprising: outputting data of a specified cell in both the specified row and the specified column. 製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理するためのプログラムであって、
前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する機能と、
表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる機能と、
指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する機能と、
指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する機能と、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する機能と、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する機能とをコンピュータに実現させるためのプログラム。
A program for processing control chart data for determining whether or not the manufacturing process is in a stable state based on a change in quality characteristic values of products or semi-finished products obtained from the manufacturing process,
A function for displaying the quality characteristic value data of the product or semi-finished product manufactured in the manufacturing process on a display unit in a table format composed of rows and columns;
A function to specify row and column cells from the displayed tabular data;
A function of changing a cell in a designated row to a first display form different from a cell in a row not designated;
A function of changing a cell in a designated column to a second display form different from a cell in a non-designated column;
A function of changing cells designated in both the designated row and the designated column to a third display form different from the first display form and the second display form;
A program for causing a computer to realize a function of outputting data of a designated cell in both the designated row and the designated column.
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