JP2005268658A

JP2005268658A - 沸騰冷却装置

Info

Publication number: JP2005268658A
Application number: JP2004081381A
Authority: JP
Inventors: Sho Ishii; 焦石井; Noriyoshi Miyajima; 則義宮嶋; Yoshiyuki Okamoto; 義之岡本; Takashi Ogura; 隆史小倉
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2004-03-19
Filing date: 2004-03-19
Publication date: 2005-09-29
Also published as: US20050274496A1; CN100414243C; CN1670460A

Abstract

【課題】冷媒槽に対する発熱体の位置に関わらず、且つ冷媒槽が水平方向姿勢に加えて天地方向姿勢で使用される場合でも、高性能で発熱体の冷却を可能とする沸騰冷却装置を提供する。
【解決手段】対向する２つの壁部１１１、１１２のうち、一方の壁部１１１の外表面に発熱体１０が取付けられ、内部に冷媒を貯留する冷媒槽１１０と、２つの壁部１１１、１１２のうち、他方の壁部１１２の外表面に設けられ、発熱体１０によって沸騰気化した冷媒を内部に流入させて凝縮液化した後に冷媒槽１１０に戻す放熱部１２０とを備える沸騰冷却装置において、一方の壁部１１１の内側面に、２つの壁部１１１、１１２が天地方向を向く姿勢で使用される時に下側となる領域から発熱体１０が配置される領域に至る第１のウィック１３１を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、冷媒の沸騰と凝縮による潜熱移動によって半導体素子等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関するものである。

従来の沸騰冷却装置として、例えば特許文献１に示されるものが知られている。即ち、この沸騰冷却装置は、扁平状を成して水平方向配置され、内部に冷媒が貯留される冷媒槽（特許文献１中では冷媒容器）と、この冷媒槽の上側に組付けられる放熱部（特許文献１中では放熱器）とから構成され、冷媒槽の下側には発熱体（半導体素子等）が取付けられる。

放熱部は、冷媒槽の上側に立設される２本のヘッダと、この２本のヘッダを介して冷媒槽内に連通するチューブとから成り、チューブは冷媒槽に対して傾斜するように設けられている。

この沸騰冷却装置においては、冷媒槽内の冷媒は、発熱体の熱を受けて沸騰気化し、上昇してチューブ内へ流れ込み、チューブ内を流れる際に、外気との熱交換により凝縮し、凝縮液となって冷媒槽に還流する。よって、発熱体から発生した熱が冷媒に伝達されて放熱部で外気に放出されることで発熱体が冷却されることになる。

ここでは、チューブ内で凝縮した凝縮冷媒がチューブの傾斜によってスムーズに流れることができ、チューブ内に凝縮冷媒が滞留するのを防止し、冷媒の循環性を向上するようにしている。
特開２００２−２０６８８０号公報

しかしながら、近年、上記のような沸騰冷却装置においては、発熱体の実装密度の向上や各種電子機器への共通使用等のために、冷媒槽を水平方向姿勢に対して、図１１に示す天地方向姿勢での使用も可能となるような要求も出ている。

特に、天地方向姿勢で発熱体１０が冷媒槽１１０の上側に配置される場合には、それに合わせて冷媒液面を高くする必要があり、放熱部１２０における有効な領域（凝縮領域）が減少して著しく性能が低下する。

本発明の目的は、上記問題に鑑み、冷媒槽に対する発熱体の位置に関わらず、且つ冷媒槽が水平方向姿勢に加えて天地方向姿勢で使用される場合でも、高性能で発熱体の冷却を可能とする沸騰冷却装置を提供することにある。

本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。

請求項１に記載の発明では、対向する２つの壁部（１１１、１１２）のうち、一方の壁部（１１１）の外表面に発熱体（１０）が取付けられ、内部に冷媒を貯留する冷媒槽（１１０）と、２つの壁部（１１１、１１２）のうち、他方の壁部（１１２）の外表面に設けられ、発熱体（１０）によって沸騰気化した冷媒を内部に流入させて凝縮液化した後に冷媒槽（１１０）に戻す放熱部（１２０）とを備える沸騰冷却装置において、一方の壁部（１１１）の内側面には、２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時に下側となる領域から発熱体（１０）が配置される領域に至る第１のウィック（１３１）が設けられたことを特徴としている。

これにより、２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時に、発熱体（１０）の位置に関わらず冷媒槽（１１０）内部の冷媒液面を低い位置に設定しても、第１のウィック（１３１）の毛細管力によって、一方の壁部（１１１）の内壁面に沿って冷媒を発熱体（１０）の配置される領域まで供給することができる。また、冷媒液面を低くすることで、放熱部（１２０）での冷媒凝縮領域を大きくすることができる。よって、冷媒槽（１１０）内の冷媒を沸騰気化させ、沸騰気化した冷媒を放熱部（１２０）で充分に凝縮液化（凝縮潜熱を大気に放熱）して、再び冷媒槽（１１０）に戻すことで発熱体（１０）の冷却が可能となる。

尚、２つの壁部（１１１、１１２）が水平方向を向く姿勢とし、発熱体（１０）が冷媒槽（１１０）の下側に配置されるようにした場合は、冷媒は一方の壁部（１１１）の上に貯まる形となるので、容易に冷媒を沸騰気化させ、放熱部（１２０）で充分に凝縮液化させることができる。

総じて、冷媒槽（１１０）に対する発熱体（１０）の位置に関わらず、且つ冷媒槽（１１０）が水平方向姿勢に加えて天地方向姿勢で使用される場合でも、高性能で発熱体（１０）の冷却を可能とする沸騰冷却装置（１００）とすることができる。

そして、放熱部（１２０）は、請求項２に記載の発明のように、他方の壁部（１１２）から立設されて、一端側が前記冷媒槽（１１０）内に連通する一対のヘッダ（１２１、１２２）と、一対のヘッダ（１２１、１２２）間で２つの壁部（１１１、１１２）に略平行に配置されて、一対のヘッダ（１２１、１２２）内に連通する１以上のチューブ（１２３ａ）とから形成することができる。

また、放熱部（１２０）は、請求項３に記載の発明のように、他方の壁部（１１２）から立設されて、一端側が冷媒槽（１１０）内に連通する複数のチューブ（１２３ｂ）と、複数のチューブ（１２３ｂ）の他端側で接続されて、複数のチューブ（１２３ｂ）同士を連通させる連通ヘッダ（１２５）とから形成するようにしても良い。

通常、２つの壁部（１１１、１１２）が拡がる方向の寸法は、放熱部（１２０）における２つの壁部（１１１、１１２）が対向する方向の寸法より大きく設定される場合が多く、このような場合では、２つの壁部（１１１、１１２）が拡がる方向にチューブ（１２３ｂ）を複数配置することで、冷媒の流路断面積を拡大して、冷媒の流通抵抗を低減することができるので、冷媒の循環を促進して冷却性能を向上させることができる。

請求項４に記載の発明では、２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時の冷媒槽（１１０）内の下側領域には、第２のウィック（１３２）が設けられたことを特徴としている。

これにより、第２のウィック（１３２）の毛細管力によって、放熱部（１２０）側の冷媒を冷媒槽（１１０）側に引っ張ることができ、放熱部（１２０）における冷媒液面を下げて凝縮領域を大きくできるので、冷却性能を向上させることができる。

請求項５に記載の発明では、第２のウィック（１３２）は、第１のウィック（１３１）よりも多孔質構造が粗と成るように形成されたことを特徴としている。

第２のウィック（１３２）においては、放熱部（１２０）側の冷媒を冷媒槽（１１０）側に引っ張るだけの毛細管力があれば事足りるため、第１のウィック（１３１）に比べて大きな毛細管力を必要としないことから、多孔質構造を粗にすることができる訳であり、この分、冷媒が流通する際の流通抵抗を低減することができるので、冷媒の循環をスムーズにして、冷却性能を向上させることができる。

請求項６に記載の発明では、第２のウィック（１３２）は、第１のウィック（１３１）に一体的に形成されたことを特徴としており、これにより、部品点数を低減し、組付けを容易にして、安価な対応ができる。

請求項７に記載の発明では、第２のウィック（１３２）は、発熱体（１０）が配置される領域近傍まで延びるように形成されたことを特徴としている。

これにより、第１のウィック（１３１）に加えて、第２のウィック（１３２）によっても冷媒を発熱体（１０）の領域に供給することができるので、その分、発熱体（１０）による沸騰を促進させ、冷媒の循環量を増加させて、冷却性能を向上させることができる。

請求項８に記載の発明では、２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時の冷媒槽（１１０）内の冷媒の液面より上側と成る領域には、第１のウィック（１３１）を貫通させつつ、冷媒槽（１１０）内を上側と下側とに区切る隔壁（１１３）が設けられたことを特徴としている。

これにより、冷媒槽（１１０）内の沸騰冷媒の圧力（ＰＡ）が冷媒槽（１１０）の液冷媒に作用しないようにして、放熱部（１２０）内の冷媒液面の上昇を防止することができるので、放熱部（１２０）の凝縮領域を大きくして、冷却性能を向上さることができる。

請求項２に記載の発明において、請求項９に記載の発明では、一対のヘッダ（１２１、１２２）の一方（１２２）には、このヘッダ（１２２）の反冷媒槽側の先端部から第１のウィック（１３１）に繋がる第３のウィック（１３３）が設けられたことを特徴としている。

これにより、冷媒槽（１１０）を水平方向姿勢として、且つ、発熱体（１０）が冷媒槽（１１０）の上側になるようにして使用する場合でも、放熱部（１２０）の下側に貯まる冷媒を第３のウィック（１３３）の毛細管力によって第１のウィック（１３１）を介して発熱体（１０）に供給することができるので、発熱体（１０）の冷却を可能とする沸騰冷却装置（１００）とすることができる。

請求項３に記載の発明において、請求項１０に記載の発明では、複数のチューブ（１２３ｂ）のいずれかには、連通ヘッダ（１２５）側から第１のウィック（１３１）に繋がる第４のウィック（１３４）が設けられたことを特徴としている。

これにより、請求項９に記載の発明と同様に、冷媒槽（１１０）を水平方向姿勢として、且つ、発熱体（１０）が冷媒槽（１１０）の上側になるようにして使用する場合でも、放熱部（１２０）の下側に貯まる冷媒を第４のウィック（１３４）の毛細管力によって第１のウィック（１３１）を介して発熱体（１０）に供給することができるので、発熱体（１０）の冷却を可能とする沸騰冷却装置（１００）とすることができる。

尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

（第１実施形態）
本発明の沸騰冷却装置１００における第１実施形態を図１、図２に示す。図１は、冷媒槽１１０を天地方向（以下、垂直方向と呼ぶ）姿勢とした場合の沸騰冷却装置１００を示す断面図、図２は、冷媒槽１１０を水平方向姿勢とした場合の沸騰冷却装置１００を示す断面図である。

沸騰冷却装置１００は、半導体素子等の発熱体１０を冷却するようにしたもので、冷媒槽１１０と放熱部１２０とから構成されている。そして、以下説明する各部材は、銅材あるいは銅系材より成り、各部材間で接合される部位に施されたろう材により一体でろう付けされている。

まず、冷媒槽１１０は、扁平箱状を成す容器であり、対向する受熱壁（本発明における一方の壁部に対応）１１１と、放熱壁（本発明における他方の壁部に対応）１１２とを有している。そして、図１に示すように、受熱壁１１１、放熱壁１１２を垂直方向姿勢とした場合の受熱壁１１１の上側には発熱体１０が図示しないボルト等の締め付けにより固定されている。ここで、発熱体１０と受熱壁１１１との間の接触熱抵抗を小さくするために、両者間に熱伝導グリースを介在させても良い。

放熱部１２０は、２本のヘッダ１２１、１２２内に連通する複数本の放熱チューブ（本発明における１以上のチューブに対応）１２３ａと、各放熱チューブ１２３ａ間に介在される放熱フィン１２４とから構成される。２本のヘッダ１２１、１２２は、それぞれ冷媒槽１１０の両端側（図１中の上側と下側）で放熱壁１１２から略直立して組付けられ、冷媒槽１１０の内部空間と連通して設けられている。放熱チューブ１２３ａは、放熱壁１１２と略平行に配列され、２本のヘッダ１２１、１２２を介して冷媒槽１１０の内部空間と連通している。放熱フィン１２４は、周知のコルゲートフィンであり、放熱面積を増大させるために使用される。

そして、本発明の特徴部として冷媒槽１１０の受熱壁１１１の内側面には、受熱壁１１１（冷媒槽１１０）の下側となる領域から発熱体１０が配置される領域に至るウィック（本発明における第１のウィックに対応）１３１を設けるようにしている。尚、ここでは、受熱壁１１１の垂直方向の両端部のどちらが下側になっても上記の条件を満足するように、ウィック１３１は、受熱壁１１１の両端部側（図１中の上側と下側）から発熱体１０の領域に至るように設けている。因みに、ウィック１３１は、周知のように、金網、金属製フェルト、焼結金属等から成る多孔質部材であり、本実施形態では、銅製の焼結金属を用いている。

そして、真空引きされた沸騰冷却装置１００の内部空間には、所定量の冷媒が封入されている。冷媒は、ここでは水を使用しており、封入量としては、冷媒槽１１０の容積以下となるようにしている。冷媒（水）の沸点は、通常（一気圧で）１００℃であるが、沸騰冷却装置１００内を真空引きしているため、沸点は、３０〜４０℃となっている。尚、冷媒としては、水の他にアルコール、フロロカーボン、フロン等を用いても良い。

次に、上記構成に基づく沸騰冷却装置１００の作動および作用効果について説明する。

まず、冷媒槽１１０の受熱壁１１１、放熱壁１１２を垂直方向にして用いた場合（図１）、沸騰冷却装置１００内の冷媒は、冷媒槽１１０、放熱チューブ１２３ａの下側およびヘッダ１２２に貯まる形となり、その液面は発熱体１０よりも低い位置と成るが、この冷媒は、ウィック１３１の毛細管力によって吸い上げられ、発熱体１０の領域に供給されることになる。

そして、この冷媒は発熱体１０から受熱して沸騰気化し、冷媒槽１１０内を上昇し、一方のヘッダ１２１内に流れ込み（図１中の破線）、そのヘッダ１２１から各放熱チューブ１２３ａに分散して流れる。放熱チューブ１２３ａ内へ流入した冷媒蒸気は、この放熱チューブ１２３ａ内を流れる際に、例えば図示しない送風手段から供給される冷却風を受けて冷却され、凝縮液となって他方のヘッダ１２２から冷媒槽１１０へと還流する（図１中の実線）。

このように、発熱体１０から発生した熱が冷媒に伝達されて放熱部１２０へ輸送され、この放熱部１２０で冷媒蒸気が凝縮する際に凝縮潜熱として放出され、放熱フィン１２４を介して外気（冷却風）に放熱される。即ち、発熱体１０から発生した熱が冷媒に伝達されて放熱部１２０で外気に放出されることで発熱体１０が冷却される訳である。

本発明においては、２つの壁部１１１、１１２が垂直方向を向く姿勢で使用される時に、発熱体１０の位置に関わらず冷媒槽１１０内部の冷媒液面を発熱体１０より低い位置に設定しても、上記したようにウィック１３１の毛細管力によって、受熱壁１１１の内壁面に沿って冷媒を発熱体１０の配置される領域まで供給することができる。また、冷媒液面を低くすることで、従来技術の項で説明した図１１に比較して、放熱部１２０での冷媒凝縮領域を大きくすることができる。よって、冷媒槽１１０内の冷媒を沸騰気化させ、沸騰気化した冷媒を放熱部１２０で充分に凝縮液化（凝縮潜熱を大気に放熱）して、再び冷媒槽１１０に戻すことで発熱体１０の冷却が可能となる。

尚、図２に示すように、放熱部１２０が上を向くように冷媒槽１１０の受熱壁１１１、放熱壁１１２を水平方向にして用いた場合は、冷媒は冷媒槽１１０内で受熱壁１１１の上に貯まる形となるので、容易に冷媒を沸騰気化させ、放熱部１２０で充分に凝縮液化させることができる。

総じて、冷媒槽１１０に対する発熱体１０の位置に関わらず、且つ冷媒槽１１０が水平方向姿勢に加えて垂直方向姿勢で使用される場合でも、高性能で発熱体１０の冷却を可能とする沸騰冷却装置１００とすることができる。

尚、変形例１として放熱部１２０については、図３に示すように、放熱壁１１２から立設されて、一端側が冷媒槽１１０内に連通する複数のチューブ１２３ｂと、これら複数のチューブ１２３ｂの他端側で接続されて、複数のチューブ１２３ｂ同士を連通させる連通ヘッダ１２５とから成るものとしても良い。

通常、２つの壁部１１１、１１２が拡がる方向（図３中の上下方向）の寸法は、放熱部１２０における２つの壁部１１１、１１２が対向する方向（図３中の左右方向）の寸法より大きく設定される場合が多く、このような場合では、上下方向に放熱チューブ１２３ｂを複数配置することで、冷媒の流路断面積を拡大して、冷媒の流通抵抗を低減することができるので、冷媒の循環を促進して冷却性能を向上させることができる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を図４、図５に示す。第２実施形態は、上記第１実施形態に対して、ウィック（本発明における第２のウィックに対応）１３２を追加したものである。

ウィック１３２は、図４に示すように、２つの壁部１１１、１１２が垂直方向を向く姿勢で使用される時の冷媒槽１１０内の下側領域に配置されるようにしている。そして、ウィック１３２は、ウィック１３１に対して多孔質構造が粗（形成される孔が大きい）と成るようにしている。

沸騰冷却装置１００においては、発熱体１０の発熱に伴って冷媒の沸騰が促進され、冷媒循環量が増加する。すると、放熱チューブ１２３ａにおける冷媒の流通抵抗が増大し（冷媒の圧力損失が増大し）、図５に示すように、冷媒槽１１０内のＡ点における圧力ＰＡに対して、放熱チューブ１２３ａ内のＢ点の圧力ＰＢが低下し（圧力ＰＡ＞圧力ＰＢ）、冷媒液にヘッド差ｈが生じる。即ち、凝縮領域が減少してしまう。

しかしながら、本第２実施形態では、ウィック１３２の毛細管力によって、放熱部１２０側の冷媒を冷媒槽１１０側に引っ張ることができるので、放熱部１２０における冷媒液面を下げて凝縮領域を大きくして、冷却性能を向上させることができる。

また、ウィック１３２においては、放熱部１２０側の冷媒を冷媒槽１１０側に引っ張るだけの毛細管力があれば事足りるため、ウィック１３１に比べて大きな毛細管力を必要としないことから、多孔質構造を粗にすることができる訳であり、この分、冷媒が流通する際の流通抵抗を低減することができるので、冷媒の循環をスムーズにして、冷却性能を向上させることができる。

尚、第２実施形態の変形例２として図６に示すように、ウィック１３２は、ウィック１３１と一体に形成するようにしても良く、これにより、部品点数を低減し、組付けを容易にして、安価な対応ができる。ここで、ウィック１３１と１３２の一体化に当っては、上記で説明したように、ウィック１３２を多孔質構造が粗となるものとして、両ウィック１３１、１３２を焼結によって一体化させたものとしても良い。

また、変形例３として図７に示すように、ウィック１３２は、発熱体１０が配置される領域まで延ばすようにしても良く、これにより、ウィック１３１に加えて、ウィック１３２によっても冷媒を発熱体１０の領域に供給することができるので、その分、発熱体１０による沸騰を促進させ、冷媒の循環量を増加させて、冷却性能を向上させることができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態を図８に示す。第３実施形態は、上記第２実施形態に対して、隔壁１１３によって、冷媒液のヘッド差ｈを低減するようにしたものである。

隔壁１１３は、２つの壁部１１１、１１２が垂直方向を向く姿勢で使用される時の冷媒槽１１０内の冷媒の液面より上側となる領域に、ウィック１３１を貫通させつつ、冷媒槽１１０内を上側と下側とに区切るように配設されている。

これにより、冷媒槽１１０内の沸騰冷媒の圧力ＰＡが冷媒槽１１０の液冷媒に作用しないようにして、放熱部１２０（放熱チューブ１２３ａ）内の冷媒液面の上昇を防止することができるので、放熱部１２０の凝縮領域を大きくして、冷却性能を向上さることができる。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態を図９に示す。第４実施形態は、冷媒槽１１０が上記第１実施形態〜第３実施形態に対して、更に異なる姿勢で使用される場合でも発熱体１０の冷却を可能とするようにしたものである。

ここでは、ヘッダ１２２内に、このヘッダ１２２の反冷媒槽側の先端部からのウィック１３１に繋がるウィック（本発明における第３のウィックに対応）１３３を設けるようにしている。

これにより、冷媒槽１１０を水平方向姿勢として、且つ、発熱体１０が冷媒槽１１０の上側になるようにして使用する場合でも、放熱部１２０の下側に貯まる冷媒をウィック１３３の毛細管力によってウィック１３１を介して発熱体１０に供給することができるので、発熱体１０の冷却を可能とする沸騰冷却装置１００とすることができる。

尚、放熱部１２０を複数の放熱チューブ１２３ｂと連通ヘッダ１２５から成るものとした場合は、変形例４として図１０に示すように、複数のチューブ１２３ｂのいずれか（ここでは図中右側のチューブ１２３ｂ）に、連通ヘッダ１２５側からウィック１３１に繋がるウィック（本発明における第４のウィックに対応）１３４を設けてやれば良く、これにより、上記と同様の効果を得ることができる。

第１実施形態における沸騰冷却装置の冷媒槽を垂直方向姿勢で用いる場合を示す断面図である。第１実施形態における沸騰冷却装置の冷媒槽を水平方向姿勢で用いる場合を示す断面図である。第１実施形態における沸騰冷却装置の変形例１を示す断面図である。第２実施形態における沸騰冷却装置の冷媒槽を垂直方向姿勢で用いる場合を示す断面図である。沸騰冷却装置に生じる冷媒液のヘッド差を示す断面図である。第２実施形態における沸騰冷却装置の変形例２を示す断面図である。第２実施形態における沸騰冷却装置の変形例３を示す断面図である。第３実施形態における沸騰冷却装置の冷媒槽を垂直方向姿勢で用いる場合を示す断面図である。第４実施形態における沸騰冷却装置の冷媒槽を水平方向姿勢とし、発熱体を上側にして用いる場合を示す断面図である。第４実施形態における沸騰冷却装置の変形例４を示す断面図である。従来技術における沸騰冷却装置の冷媒槽を垂直方向姿勢で用いる場合を示す断面図である。

符号の説明

１０発熱体
１００沸騰冷却装置
１１０冷媒槽
１１１受熱壁（一方の壁部）
１１２放熱壁（他方の壁部）
１１３隔壁
１２０放熱部
１２１、１２２ヘッダ
１２３ａ放熱チューブ（１以上のチューブ）
１２３ｂ放熱チューブ（複数のチューブ）
１２５連通ヘッダ
１３１ウィック（第１のウィック）
１３２ウィック（第２のウィック）
１３３ウィック（第３のウィック）
１３４ウィック（第４のウィック）

Claims

対向する２つの壁部（１１１、１１２）のうち、一方の壁部（１１１）の外表面に発熱体（１０）が取付けられ、内部に冷媒を貯留する冷媒槽（１１０）と、
前記２つの壁部（１１１、１１２）のうち、他方の壁部（１１２）の外表面に設けられ、前記発熱体（１０）によって沸騰気化した前記冷媒を内部に流入させて凝縮液化した後に前記冷媒槽（１１０）に戻す放熱部（１２０）とを備える沸騰冷却装置において、
前記一方の壁部（１１１）の内側面には、前記２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時に下側となる領域から前記発熱体（１０）が配置される領域に至る第１のウィック（１３１）が設けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。
前記放熱部（１２０）は、前記他方の壁部（１１２）から立設されて、一端側が前記冷媒槽（１１０）内に連通する一対のヘッダ（１２１、１２２）と、
前記一対のヘッダ（１２１、１２２）間で前記２つの壁部（１１１、１１２）に略平行に配置されて、前記一対のヘッダ（１２１、１２２）内に連通する１以上のチューブ（１２３ａ）とから成ることを特徴とする請求項１に記載の沸騰冷却装置。
前記放熱部（１２０）は、前記他方の壁部（１１２）から立設されて、一端側が前記冷媒槽（１１０）内に連通する複数のチューブ（１２３ｂ）と、
前記複数のチューブ（１２３ｂ）の他端側で接続されて、前記複数のチューブ（１２３ｂ）同士を連通させる連通ヘッダ（１２５）とから成ることを特徴とする請求項１に記載の沸騰冷却装置。
前記２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時の前記冷媒槽（１１０）内の下側領域には、第２のウィック（１３２）が設けられたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
前記第２のウィック（１３２）は、前記第１のウィック（１３１）よりも多孔質構造が粗と成るように形成されたことを特徴とする請求項４に記載の沸騰冷却装置。
前記第２のウィック（１３２）は、前記第１のウィック（１３１）に一体的に形成されたことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の沸騰冷却装置。
前記第２のウィック（１３２）は、前記発熱体（１０）が配置される領域近傍まで延びるように形成されたことを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
前記２つの壁部（１１１、１１２）が天地方向を向く姿勢で使用される時の前記冷媒槽（１１０）内の前記冷媒の液面より上側と成る領域には、前記第１のウィック（１３１）を貫通させつつ、前記冷媒槽（１１０）内を上側と下側とに区切る隔壁（１１３）が設けられたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
前記一対のヘッダ（１２１、１２２）の一方（１２２）には、このヘッダ（１２２）の反冷媒槽側の先端部から前記第１のウィック（１３１）に繋がる第３のウィック（１３３）が設けられたことを特徴とする請求項２に記載の沸騰冷却装置。
前記複数のチューブ（１２３ｂ）のいずれかには、前記連通ヘッダ（１２５）側から前記第１のウィック（１３１）に繋がる第４のウィック（１３４）が設けられたことを特徴とする請求項３に記載の沸騰冷却装置。