JP2005259426A - Light irradiation device and image sensor testing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、CCD(charge coupled device)センサやCMOS(complementary metal oxide semiconductor)センサ等の撮像素子に試験用の光を照射する光照射装置、ならびに撮像素子の試験装置に関するものである。 The present invention relates to a light irradiation apparatus that irradiates test light onto an image sensor such as a CCD (charge coupled device) sensor or a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) sensor, and an image sensor test apparatus.
CCDセンサやCMOSセンサ等の撮像素子の製造工程には、一般に、撮像素子の光電変換特性を試験する工程が設けられている。
この試験工程では、撮像素子の受光面に種々の条件の光を照射し、これに応じた撮像素子の出力信号を取得して、撮像素子が要求される範囲の特性をもっているかどうかの試験が行われる。
In the manufacturing process of an image sensor such as a CCD sensor or a CMOS sensor, a process for testing the photoelectric conversion characteristics of the image sensor is generally provided.
In this test process, the light receiving surface of the image sensor is irradiated with light of various conditions, the output signal of the image sensor corresponding to this is acquired, and a test is performed to determine whether the image sensor has the required characteristics. Is called.
従来、この試験工程において撮像素子に照射する光は、ハロゲンランプ等の白色の光源から放射される光をND(neutral density)フィルタやカラーフィルタ等の光学フィルタに通すことによって作られている。ND(neutral density)フィルタは、入射光の分光組成を変えずにその強度を減衰させる機能を有し、カラーフィルタは、入射光から特定の分光組成の光を選択する機能を有するフィルタである。通常は、こうした光学フィルタを複数種類用意しておき、駆動機構を用いて機械的に切り替えることにより、試験条件に合った光が作られている。 Conventionally, the light applied to the image pickup device in this test process is made by passing light emitted from a white light source such as a halogen lamp through an optical filter such as an ND (neutral density) filter or a color filter. An ND (neutral density) filter has a function of attenuating its intensity without changing the spectral composition of incident light, and a color filter is a filter having a function of selecting light having a specific spectral composition from incident light. Usually, a plurality of types of such optical filters are prepared and mechanically switched using a drive mechanism, so that light that meets test conditions is produced.
しかしながら、光学フィルタを機械的に切り替えて試験用の光を作る従来の方法では、光強度や分光組成などの試験条件が使用する光学フィルタによって固定されてしまい、照射光の性質を細かく調節することができないという問題がある。
そのため、所望の試験条件を設定するためには、試験条件に合った光学フィルタを特別に容易する必要があり、コストがかかる。また、試験装置において自動的に切り替えることが可能な光学フィルタの数には制限があるため、試験する項目が多い場合は、光学フィルタを人手で切り替えなくてはならず、試験の効率が良くない。
However, in the conventional method of mechanically switching the optical filter to produce test light, the test conditions such as light intensity and spectral composition are fixed by the optical filter used, and the properties of the irradiated light are finely adjusted. There is a problem that can not be.
Therefore, in order to set a desired test condition, it is necessary to specially facilitate an optical filter that matches the test condition, which is expensive. In addition, since the number of optical filters that can be automatically switched in the test apparatus is limited, if there are many items to be tested, the optical filters must be switched manually, and the efficiency of the test is not good. .
更に、機械的な駆動機構を必要とするため、装置が大型化し、重量が増えるという問題や、部品の磨耗等による故障が避けられないという問題がある。 Furthermore, since a mechanical drive mechanism is required, there is a problem that the apparatus becomes large in size and increases in weight, and there is a problem that failure due to wear of parts and the like cannot be avoided.
また、撮像素子の試験工程には、数十ヘルツ程度の周波数で明滅する蛍光灯などの光を模擬する試験を含む場合がある。しかしながら、従来の方法では、シャッタを使って機械的に光を遮断することしかできないため、あまり高い周波数で光を明滅させることができない。すなわち、照射光の性質を動的に変化させる試験の性能が良くないという問題がある。 In addition, the image sensor test process may include a test that simulates light such as a fluorescent lamp that blinks at a frequency of about several tens of hertz. However, in the conventional method, since the light can only be mechanically blocked using a shutter, the light cannot be blinked at a very high frequency. That is, there is a problem that the performance of the test for dynamically changing the property of the irradiation light is not good.
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、機械的な駆動機構を用いることなく、試験対象の撮像素子に種々の条件の光を照射することができる光照射装置を提供すること、ならびに、そのような光照射装置を有する撮像素子の試験装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a light irradiation apparatus capable of irradiating light of various conditions onto an imaging device to be tested without using a mechanical drive mechanism. It is another object of the present invention to provide a test device for an image sensor having such a light irradiation device.
本発明の第1の発明は、撮像素子に試験用の光を照射する光照射装置であって、それぞれ異なる色の光を発生する複数の光源と、光ファイバ束と、光源制御部とを有する。
上記光ファイバ束は、入力端において複数に束ねられ、出力端において1つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射される。また、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置される。
上記光源制御部は、入力される制御信号に応じて、上記複数の光源で発生する光の強さをそれぞれ制御する。
1st invention of this invention is a light irradiation apparatus which irradiates the light for a test to an image pick-up element, Comprising: It has several light sources which generate the light of a respectively different color, an optical fiber bundle, and a light source control part .
The optical fiber bundle includes a plurality of optical fibers bundled in a plurality at the input end and bundled in one at the output end, and light of different colors is incident on the plurality of bundles at the input end from the plurality of light sources. Is done. Further, the optical fibers of the bundles at the input end are dispersedly arranged at the output end so that the light incident on the bundles at the input end is mixed at the output end.
The light source control unit controls the intensity of light generated by the plurality of light sources in accordance with an input control signal.
上記第1の発明によれば、上記光ファイバ束の入力端における複数の束に上記複数の光源からそれぞれ異なる色の光が入射されると、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置されているため、上記光ファイバ束の出力端からは、異なる色の入射光が混ざり合った状態で出射される。上記光源制御部において、上記複数の光源で放射される光の強さがそれぞれ制御されると、これに応じて、上記出力端において混ざり合う異なる色の光の強さがそれぞれ設定されるため、結果として、上記出力端から出射される光の性質(光の強度や分光組成など)が設定される。 According to the first invention, when light of different colors is incident on the plurality of bundles at the input end of the optical fiber bundle from the plurality of light sources, the optical fibers of each bundle at the input end are connected to the output end. Therefore, incident lights of different colors are emitted in a mixed state from the output end of the optical fiber bundle. In the light source control unit, when the intensity of light emitted from the plurality of light sources is respectively controlled, the intensity of light of different colors mixed at the output end is set accordingly. As a result, the properties of light emitted from the output end (light intensity, spectral composition, etc.) are set.
上記第1の発明において、上記複数の光源は、同一種類の色を有する複数の光を放射する光源群を含んでも良く、上記光源群で放射される複数の光が、上記入力端のそれぞれ別の束に入射されても良い。
同一種類の色を有する光を上記入力端の複数の束に入射すると、これを1つ束のみに入射する場合に比べて、上記出力端における光の分散性が良くなる。その結果、異なる種類の色の光が、上記出力端においてより均一に混ざり合う。
In the first invention, the plurality of light sources may include a light source group that emits a plurality of lights having the same type of color, and the plurality of lights emitted from the light source group are respectively separated from the input terminals. It may be incident on the bundle.
When light having the same type of color is incident on a plurality of bundles at the input end, the dispersibility of light at the output end is improved as compared with the case where the light is incident on only one bundle. As a result, the light of different types is mixed more uniformly at the output end.
また、上記光源制御部は、上記光源群で放射される複数の光の強さを一律に制御しても良いし、あるいは、該複数の光を複数のグループに分けて、各グループを独立に制御しても良い。
一律に制御する場合、上記光源群の各光源の制御のために必要な回路を共通化することが可能になり、回路が単純になる。グループごとに独立に制御する場合は、一律に制御する場合に比べて、上記光源群で放射される全体の光の強さを細かく制御することが可能になる。
この場合、上記光源群に含まれる光源の少なくとも一部は、同一種類の色の光を放射する光源をそれぞれ異なる数ずつ含んだ複数の光源のグループにグループ分けされていても良く、上記光源制御部は、上記光源群内の上記グループごとに独立に放射光の強さを制御しても良い。更に、上記光源のグループに含まれる光源の数は、2のべき乗に比例した数でも良い。
The light source control unit may uniformly control the intensity of a plurality of lights emitted from the light source group, or may divide the plurality of lights into a plurality of groups so that each group is independently controlled. You may control.
In the case of uniform control, it becomes possible to share a circuit necessary for controlling each light source of the light source group, and the circuit becomes simple. When the control is performed independently for each group, it is possible to finely control the intensity of the entire light emitted from the light source group as compared with the case where the control is performed uniformly.
In this case, at least some of the light sources included in the light source group may be grouped into a plurality of light source groups each including a different number of light sources that emit light of the same color. The unit may control the intensity of the emitted light independently for each of the groups in the light source group. Further, the number of light sources included in the light source group may be a number proportional to a power of two.
好適には、上記光源は発光ダイオードを含み、上記光源制御部は上記発光ダイオードに流れる電流を制御する。 Preferably, the light source includes a light emitting diode, and the light source control unit controls a current flowing through the light emitting diode.
また好適には、上記光源群は、同一種類の色を有する光を放射する発光ダイオードが複数直列に接続された発光ダイオード直列回路を1つまたは複数含み、上記光源制御部は、上記発光ダイオード直列回路に流れる電流を制御する。 Preferably, the light source group includes one or a plurality of light emitting diode series circuits in which a plurality of light emitting diodes emitting light having the same type of color are connected in series, and the light source control unit includes the light emitting diode series. Controls the current flowing through the circuit.
本発明の第2の発明は、撮像素子の試験装置であって、試験対象の撮像素子に光を照射する光照射部と、所定の試験内容に基づいて、上記光照射部の照射光の強度および/または分光組成を制御し、該制御した照射光に応じて上記撮像素子から出力される信号を取得する処理を行う試験処理部とを有する。上記光照射部は、それぞれ異なる色の光を放射する複数の光源と、入力端において複数に束ねられ、出力端において1つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射され、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置された光ファイバ束と、上記試験処理部の指示に従って、上記複数の光源で放射される光の強さをそれぞれ制御する光源制御部とを有する。 A second invention of the present invention is a test apparatus for an image sensor, wherein a light irradiation unit that irradiates light to an image sensor to be tested, and intensity of irradiation light of the light irradiation unit based on predetermined test contents And / or a test processing unit that performs a process of controlling the spectral composition and acquiring a signal output from the imaging device in accordance with the controlled irradiation light. The light irradiation unit includes a plurality of light sources that emit light of different colors and a plurality of optical fibers that are bundled together at the input end and bundled together at the output end. Light beams of different colors are incident on the plurality of bundles at the ends, and the optical fibers of the bundles at the input ends are mixed at the output ends so that the lights incident on the bundles at the input ends are mixed at the output ends. The optical fiber bundle is arranged in a dispersed manner, and a light source control unit that controls the intensity of light emitted from the plurality of light sources in accordance with instructions from the test processing unit.
上記第2の発明によれば、上記光ファイバ束の入力端における複数の束に上記複数の光源からそれぞれ異なる色の光が入射されると、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置されているため、上記光ファイバ束の出力端からは、異なる色の入射光が混ざり合った状態で出射される。上記所定の試験内容に応じた上記試験処理部からの指示に従って、上記複数の光源で放射される光の強さがそれぞれ制御されると、これに応じて、上記出力端において混ざり合う異なる色の光の強さがそれぞれ設定され、その結果、上記試験処理部の指示に応じた性質(光の強度や分光組成など)を有する光が上記撮像素子に照射される。この照射光に応じて上記撮像素子から出力される信号が、上記試験処理部に取得される。 According to the second aspect of the invention, when light of different colors is incident on the plurality of bundles at the input end of the optical fiber bundle from the plurality of light sources, the optical fibers of each bundle at the input end are connected to the output end. Therefore, incident lights of different colors are emitted in a mixed state from the output end of the optical fiber bundle. When the intensity of light emitted from the plurality of light sources is controlled in accordance with an instruction from the test processing unit according to the predetermined test contents, the different colors mixed at the output end are accordingly controlled. The light intensity is set, and as a result, the image sensor is irradiated with light having properties (light intensity, spectral composition, etc.) according to instructions from the test processing unit. A signal output from the image sensor in response to the irradiation light is acquired by the test processing unit.
本発明によれば、機械的な駆動機構を用いることなく、試験対象の撮像素子に照射する光の強度や分光組成などの性質を連続的に細かく設定することが可能になる。 According to the present invention, it is possible to continuously and finely set properties such as the intensity of light irradiated to the test image sensor and the spectral composition without using a mechanical drive mechanism.
以下、本発明の2つ実施形態について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, two embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<第1の実施形態> <First Embodiment>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る撮像素子の試験装置の構成例を示す図である。
図1に示す撮像素子の試験装置は、光源制御部10と、複数の光源20と、光ファイバ束30と、光学系40と、試験テーブル部50と、試験処理部60と、レンズ70とを有する。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of an image sensor testing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
The imaging device test apparatus shown in FIG. 1 includes a light
なお、光源制御部10は、本発明の光源制御部の一実施形態である。
複数の光源20は、本発明の複数の光源の一実施形態である。
光ファイバ束30は、本発明の光ファイバ束の一実施形態である。
The light
The plurality of
The
光源制御部10は、試験処理部60から入力される制御信号Scontに応じて、複数の光源20で放射される光の強さをそれぞれ制御する。
The light
複数の光源20は、何種類かの異なる色の光を放射する光源を含んでおり、光源制御部10の制御に応じて、それぞれの放射光の強さを変化させる。
複数の光源20には、例えば発光ダイオードが用いられる。
The plurality of
For the plurality of
図2は、光源制御部10の詳細な構成の一例を示す図である。
図2に示す光源制御部10は、トランジスタQ1〜Q10,Q20と、抵抗R1〜R10と、電流計M1〜M10,M20と、駆動信号出力部11とを有する。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a detailed configuration of the light
The light
また、図2の例において、複数の光源20は、5つの発光ダイオードが直列接続された光源群20−1〜20−10を有する。
In the example of FIG. 2, the plurality of
可変抵抗Ri(iは1から10までの整数を示す)、トランジスタQi、光源群20−i、および電流計Miは、互いに直列に接続されている。この直列回路の一方の端は、グランド線Gに接続されており、他方の端は、電流計M20とトランジスタQ20との直列回路を介して、電源線Vccに接続されている。 The variable resistor Ri (i is an integer from 1 to 10), the transistor Qi, the light source group 20-i, and the ammeter Mi are connected in series with each other. One end of this series circuit is connected to the ground line G, and the other end is connected to the power supply line Vcc via a series circuit of an ammeter M20 and a transistor Q20.
可変抵抗Riは、光源群20−iの発光強度を手動で変化させるための抵抗である。
トランジスタQiは、光源群20−iの発光強度を駆動信号Siに応じて変化させる。
電流計Miは、光源群20−iの発光ダイオードに流れる電流を観測するための測定器である。
The variable resistor Ri is a resistor for manually changing the light emission intensity of the light source group 20-i.
The transistor Qi changes the light emission intensity of the light source group 20-i according to the drive signal Si.
The ammeter Mi is a measuring instrument for observing the current flowing through the light emitting diodes of the light source group 20-i.
トランジスタQ20は、全ての光源群(20−1〜20−10)を駆動信号S20に応じてオンオフさせるためのスイッチである。トランジスタQ20は、例えば、所定の周波数で明滅する光を生成するために用いられる。
電流計20は、全ての光源群(20−1〜20−10)に流れる合計の電流を観測するための測定器である。
The transistor Q20 is a switch for turning on and off all the light source groups (20-1 to 20-10) according to the drive signal S20. The transistor Q20 is used, for example, to generate light that blinks at a predetermined frequency.
The
なお、図2の例において、光源群20−1,20−2は青色、光源群20−3,20−4は水色、光源群20−5,20−6は緑色、光源群20−7,20−8は黄色、光源群20−9,20−10は赤色の発光ダイオードでそれぞれ構成されている。 In the example of FIG. 2, the light source groups 20-1 and 20-2 are blue, the light source groups 20-3 and 20-4 are light blue, the light source groups 20-5 and 20-6 are green, and the light source group 20-7, 20-8 is yellow, and the light source groups 20-9 and 20-10 are red LEDs.
駆動信号出力部11は、試験処理部60からの制御信号Scontに応じて、トランジスタQ1〜Q10,Q20のベースに入力する駆動信号S1〜S10,S20を生成する。
The drive
図1の説明に戻る。
光ファイバ束30は、入力端31において複数に束ねられ、出力端32において1つに束ねられた、複数の光ファイバを含んでいる。入力端31の複数の束には、それぞれ、複数の光源20からの光がレンズ70を介して入射される。すなわち、図2に示す光源群20−1〜20−10における1つの発光ダイオードの放射光が、入力端31の1つの束にそれぞれ入射される。
Returning to the description of FIG.
The
また、光ファイバ束20では、入力端31の各束に入射された光が出力端において混ざり合うように、入力端31の各束の光ファイバが出力端において分散して配置されている。
Further, in the
光学系40は、光ファイバ束30の出力端32から出射される光を試験対象の撮像素子51に導く。
The
光学系40は、例えば図1に示すように、レンズ41〜43を有する。
レンズ41は、光ファイバ束20の出力端32から出射された光を収束して、レンズ42に入射する。
レンズ42は、照度分布を均一化するためのレンズであり、例えば単レンズを縦横にマトリクス状に配列したフライアイレンズが用いられる。
レンズ43は、レンズ42において照度分布が均一化された光を更に収束して、試験対象の撮像素子51に照射する。
The
The
The
The
試験テーブル部51は、光学系41からの光の照射位置に対して試験対象の撮像素子51の受光面を適切な位置に保持する。また、撮像素子51の信号入出力ピンと電気的に接触する図示しないプローブを含んでおり、このプローブを介して、試験処理部60と撮像素子51とを電気的に接続する。
The
試験処理部60は、所定の試験内容に基づいて、複数の光源20から放射される光の強さをそれぞれ指示する制御信号Scontを生成し、光源制御部10に入力する。また、この光源20からの光に応じて試験対象の撮像素子51から出力される信号(撮像画像信号など)を、試験テーブル部51経由で取得する。試験処理部60は、撮像素子51から取得した信号に基づいて、撮像素子51が要求された特性を有しているか否か等の評価を行う。
The test processing unit 60 generates control signals Scont that respectively indicate the intensity of light emitted from the plurality of
次に、上述した構成を有する撮像素子の試験装置の動作を説明する。 Next, the operation of the image sensor testing apparatus having the above-described configuration will be described.
まず、試験テーブル部51に試験対象の撮像素子51を配置し、試験処理部60から試験内容に応じた制御信号Scontを出力する。
First, the
光源制御部10は、制御信号Scontに応じて、複数の光源20における光の強さをそれぞれ制御する。
すなわち、駆動信号出力部11が、制御信号Scontに応じた駆動信号S1〜S10を出力し、これに応じて、光源群20−1〜20−10のそれぞれに流れる電流が設定される。光源群20−1〜20−10の各発光ダイオードは、この設定電流に応じた強度を有する光を放射する。
したがって、光ファイバ束30の入力端31には、制御信号Scontに応じた強度を有する複数色の光が入射される。
The light
That is, the drive
Accordingly, light of a plurality of colors having an intensity corresponding to the control signal Scont is incident on the
光ファイバ束30の入力端31の各束に入射される光は、それぞれの束を構成する光ファイバを通って、出力端31から出射される。
光ファイバ束30では、入力端31の各束の光ファイバが出力端31において分散して配置されているため、各束に入射される光源20からの光は、出力端31において互いに混ざりあった状態になる。すなわち、光ファイバ束30は、複数の光源20から放射される光を混合する。
Light incident on each bundle at the
In the
このようにして複数色の光を混合した光は、光学系40において照度分布を均一化されて収束され、試験対象の撮像素子51の受光面に照射される。
この照射光に応じて撮像素子51から出力される信号は、試験テーブル部50を介して試験処理部60に入力される。
試験処理部60は、撮像素子51からの出力信号を取得し、この取得した信号に基づいて、撮像素子51が要求された特性を有しているか否か等の評価を行う。
In this way, the light obtained by mixing the light of a plurality of colors is converged by making the illuminance distribution uniform in the
A signal output from the
The test processing unit 60 acquires an output signal from the
以上説明したように、本実施形態の複数の光源20には、何種類かの異なる色の光を放射する光源が含まれており、各色の光の強さは、所定の試験内容に応じてそれぞれ制御される。この複数の光源20と、光ファイバ束30の入力端31における複数の束とは一対一に対応しており、光源20からの放射光は、入力端31の対応する束にそれぞれ入射される。光ファイバ束30では、入力端31の各束の光ファイバが出力端32において分散して配置されているため、入力端31に入射された複数の光源20からの光は、光ファイバ束30の出力端31において混ざり合った状態で出射される。試験対象の撮像素子51には、この出力端32からの光が光学系40を介して照射される。
このように、複数の光源20における各色の放射光の強さを試験内容に応じて制御することによって、試験対象の撮像素子51に照射する光に含まれる異なる色の光の強さをそれぞれ設定することが可能になることから、試験対象の撮像素子51に照射する光の強度や分光組成などの性質を、機械的な駆動機構を用いることなく、試験内容に応じて自由に設定することが可能になる。
したがって、機械的な駆動機構を用いる場合に比べて装置を小型化、軽量化することが可能になるとともに、部品の磨耗等による故障がなくなるため、信頼性が向上する。
As described above, the plurality of
In this way, by controlling the intensity of the emitted light of each color in the plurality of
Therefore, the apparatus can be reduced in size and weight as compared with the case where a mechanical drive mechanism is used, and failure due to wear of parts is eliminated, so that reliability is improved.
また、放射光の強さを駆動信号に応じて連続的に変化させることが可能な発光ダイオードなどの発光素子を光源20として用いることにより、試験対象の撮像素子51に照射する光に含まれる異なる色の光の強さをそれぞれ連続的に変化させることが可能になり、その結果、試験対象の撮像素子51に照射する光の強度や分光組成などの性質を連続的に変化させることが可能になる。
したがって、試験対象の撮像素子に照射する光の性質を連続的に調節することが可能になる。
これにより、試験条件に合った光学フィルタを特別に容易する必要がなくなるため、コストの削減を図ることができるとともに、光学フィルタを人手で切り替える等の作業が不要になるため、試験の効率を向上させることができる
Further, by using a light emitting element such as a light emitting diode capable of continuously changing the intensity of radiated light according to a drive signal as the
Therefore, it is possible to continuously adjust the property of light applied to the image sensor to be tested.
This eliminates the need for specially easy optical filters that match the test conditions, thus reducing costs and eliminating the need for manual switching of optical filters, improving test efficiency. Can be
また、光源20に供給する駆動信号を制御することにより、試験対象の撮像素子51に照射する光の強度や分光組成等の性質を変化させることができるため、機械的な方法によりこれらの性質を変化させる従来の方法に比べて、変化のスピードを高速化することができる。すなわち、照射光の性質を動的に変化させる試験(照射光を明滅させる試験など)の性能を、従来の方法に比べて向上させることができる。
In addition, by controlling the drive signal supplied to the
しかも、本実施形態によれば、同一種類の色の光を放射する光源20が光源群(20−1〜20−10)を形成しており、各光源群から放射される複数の光が、入力端31のそれぞれ別の束に入射される。そのため、1種類の色の光を入力端31の1つ束のみに入射する場合に比べて、出力端32における光の分散性が良くなる。その結果、異なる種類の色の光を、出力端32においてより均一に混ぜ合わせることができる。
And according to this embodiment, the
また、本実施形態によれば、1つの光源群を構成する5つの発光ダイオードの放射光が一律に制御されるため、これらを別々に制御する場合に比べて制御回路を簡易化することができる。 In addition, according to the present embodiment, since the emitted light of the five light emitting diodes constituting one light source group is uniformly controlled, the control circuit can be simplified as compared with the case where these are controlled separately. .
<第2の実施形態>
次に、第2の実施形態を述べる。
<Second Embodiment>
Next, a second embodiment will be described.
図3は、発光ダイオードに流れる電流と発光強度との関係の一例を示す図である。
図3に示すように、発光ダイオードは、しきい電流ILより電流が小さい場合に、ほとんど発光が起こらない性質がある。このしきい電流ILは、個体毎のばらつきが大きいため、図2に示すように複数の発光ダイオードを直列接続した場合、直列接続された発光ダイオードの全体の発光強度は、各発光ダイオードのしきい電流IL付近において不連続に変化する。すなわち、微小な発光強度の設定精度が悪くなるという問題がある。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the relationship between the current flowing through the light emitting diode and the light emission intensity.
As shown in FIG. 3, the light emitting diode has a property that light emission hardly occurs when the current is smaller than the threshold current IL. Since the threshold current IL varies greatly from individual to individual, when a plurality of light emitting diodes are connected in series as shown in FIG. 2, the total light emission intensity of the light emitting diodes connected in series is the threshold of each light emitting diode. It changes discontinuously in the vicinity of the current IL. That is, there is a problem that the setting accuracy of the minute light emission intensity is deteriorated.
図4は、このような発光強度の設定精度の悪化を改善した、本実施形態に係る光源群20A−1〜20A−10の構成の一例を示す図である。その他の試験装置の構成については、図1および図2に示す構成と同様である。
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the configuration of the
図4に示す光源群20A−1〜20A−10は、それぞれ、図2に示す光源群20−1〜20−10を置き換えたものである。
光源群20A−1は、直列接続された4つの青色発光ダイオードを含む。
光源群20A−2は、直列接続された4つの水色発光ダイオードを含む。
光源群20A−3は、直列接続された4つの緑色発光ダイオードを含む。
光源群20A−4は、直列接続された4つの黄色発光ダイオードを含む。
光源群20A−5は、直列接続された4つの赤色発光ダイオードを含む。
光源群20A−6は、1つの白色発光ダイオードを含む。
光源群20A−7は、直列接続された2つの白色発光ダイオードを含む。
光源群20A−8は、直列接続された4つの白色発光ダイオードを含む。
光源群20A−9は、直列接続された8つの白色発光ダイオードを含む。
光源群20A−10は、直列接続された15の白色発光ダイオードを含む。
The
The
The
The
The
The
The
The
The
The
The
図4に示す光源の構成によると、白色光を発生する光源が、5つの光源群(20A−6〜20A−10)にグループ分けされており、この各グループが、駆動信号S5〜S10に応じて独立に制御される。そのため、白色光の強度を、発光ダイオードのしきい電流付近の微小な強度に設定する場合には、光源群20A−6の1つの白色発光ダイオードのみを発光させれば良いため、しきい電流のばらつきによる上述した設定精度の悪化は起こらない。
According to the configuration of the light source shown in FIG. 4, the light sources that generate white light are grouped into five light source groups (20A-6 to 20A-10), and these groups correspond to the drive signals S5 to S10. Are controlled independently. Therefore, when the intensity of the white light is set to a minute intensity in the vicinity of the threshold current of the light emitting diode, only one white light emitting diode of the
また、設定する白色光の強度に応じて、光源群20A−6〜20A−10から適切な光源を選択し発光させることにより、白色光の強度の微妙な調節は、光源群20A−6の1つの白色発光ダイオードの電流を調節することにより行うことが可能である。例えば、白色発光ダイオードの6個分から7個分の範囲の光強度を設定する場合、トランジスタQ7およびQ8をオン、トランジスタQ9およびQ10をオフさせた状態で、トランジスタQ6の電流を調節すれば良い。
このように、本実施形態によれば、複数の発光ダイオードに流れる電流を一律に制御する方法に比べて、発光強度のより微妙な調節が可能になる。
Further, by selecting an appropriate light source from the
As described above, according to the present embodiment, the light emission intensity can be more finely adjusted than the method of uniformly controlling the currents flowing through the plurality of light emitting diodes.
しかも、光源群20A−6〜20A−9に含まれる発光ダイオードの数が2のべき乗に比例した数になっているため、白色光の強度として試験処理部60から2進数のデータが与えられる場合に、トランジスタQ7〜Q10のオンとオフの状態を、データの各桁のビット値に対応付けて設定し易くなる。
In addition, since the number of light emitting diodes included in the
以上、本発明の好ましい2つの実施形態について述べたが、本発明はこれらの形態にのみ限定されるものではない。 While two preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments.
例えば、上述した実施形態では、光源20と光ファイバ束30の入力端31との間にレンズ70を設けているが、本発明はこれに限定されない。
光源20から放射される光の指向性が鋭い場合には、例えば図5(A)に示すように、光源20の光線を入力端31に直接入射しても良い。
また、内面に鏡面を持つ円筒状のミラー71(図5(C))や、球体レンズ72(図5(D))などを用いて、光源20の放射光を入力端31に集めることも可能である。
For example, in the above-described embodiment, the
When the directivity of light emitted from the
It is also possible to collect the emitted light of the
上述した実施形態では、光源として発光ダイオードを用いているが、これに限定されず、駆動信号に応じて発光強度を連続的に可変することが可能な他の種々の発光素子を用いても良い。 In the above-described embodiment, the light emitting diode is used as the light source. However, the present invention is not limited to this, and various other light emitting elements capable of continuously changing the light emission intensity according to the drive signal may be used. .
上述した実施形態において示した回路や、光源の種類、個数、光学系の構成、配置などは、何れも説明上の一例に過ぎず、任意に変更可能である。 The circuits, the types and number of light sources, the configuration of the optical system, the arrangement, and the like shown in the above-described embodiments are merely examples for explanation, and can be arbitrarily changed.
10…光源制御部、11…駆動信号出力部、20…光源、20−1〜20−10,20A−1〜20A−10…光源群、30…光ファイバ束、40…光学系、50…試験テーブル部、60…試験処理部、70…レンズ、Q1〜Q10,Q20…トランジスタ、R1〜R10…可変抵抗、M1〜M10,M20…電流計
DESCRIPTION OF
Claims (8)
それぞれ異なる色の光を放射する複数の光源と、
入力端において複数に束ねられ、出力端において1つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射され、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置された光ファイバ束と、
入力される制御信号に応じて、上記複数の光源で放射される光の強さをそれぞれ制御する光源制御部と、
を有する光照射装置。 A light irradiation device for irradiating a test light to an image sensor,
A plurality of light sources that emit light of different colors,
A plurality of optical fibers bundled together at the input end and bundled together at the output end, and light of different colors is incident on the plurality of bundles at the input end from the plurality of light sources; An optical fiber bundle in which the optical fibers of each bundle at the input end are dispersed and arranged at the output end so that the light incident on each bundle is mixed at the output end;
A light source control unit for controlling the intensity of light emitted from the plurality of light sources, respectively, according to an input control signal;
A light irradiation apparatus.
上記光源群で放射される複数の光が、上記入力端のそれぞれ別の束に入射されている、
請求項1に記載の光照射装置。 The plurality of light sources includes a light source group that emits a plurality of lights having the same type of color,
A plurality of lights emitted from the light source group are incident on different bundles of the input ends,
The light irradiation apparatus according to claim 1.
請求項2に記載の光照射装置。 The light source control unit uniformly controls all the intensity of a plurality of lights emitted from the light source group, or divides the plurality of lights into a plurality of groups, and controls each group independently.
The light irradiation apparatus according to claim 2.
上記光源制御部は、上記光源群内の上記グループごとに独立に放射光の強さを制御する、
請求項3に記載の光照射装置。 At least some of the light sources included in the light source group are grouped into a plurality of light source groups each including a different number of light sources that emit light of the same type of color,
The light source control unit independently controls the intensity of emitted light for each of the groups in the light source group;
The light irradiation apparatus according to claim 3.
請求項4に記載の光照射装置。 The number of light sources included in the light source group is a number proportional to a power of two.
The light irradiation apparatus according to claim 4.
上記光源制御部は、上記発光ダイオードに流れる電流を制御する、
請求項1に記載の光照射装置。 The light source includes a light emitting diode,
The light source control unit controls a current flowing through the light emitting diode;
The light irradiation apparatus according to claim 1.
上記光源制御部は、上記発光ダイオード直列回路に流れる電流を制御する、
請求項2乃至5の何れか1つに記載の光照射装置。 The light source group includes one or a plurality of light emitting diode series circuits in which a plurality of light emitting diodes that emit light having the same type of color are connected in series,
The light source control unit controls a current flowing through the light emitting diode series circuit;
The light irradiation apparatus as described in any one of Claims 2 thru | or 5.
上記光照射部は、
それぞれ異なる色の光を放射する複数の光源と、
入力端において複数に束ねられ、出力端において1つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射され、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置された光ファイバ束と、
上記試験処理部の指示に従って、上記複数の光源で放射される光の強さをそれぞれ制御する光源制御部と、を有する、
撮像素子の試験装置。
Based on the light irradiation unit that irradiates light to the image sensor to be tested, and predetermined test contents, the intensity and / or spectral composition of the irradiation light of the light irradiation unit is controlled, and the above-mentioned according to the controlled irradiation light An image sensor testing apparatus having a test processing unit for performing processing for acquiring a signal output from the image sensor,
The light irradiation part is
A plurality of light sources that emit light of different colors,
A plurality of optical fibers bundled together at the input end and bundled together at the output end, and light of different colors is incident on the plurality of bundles at the input end from the plurality of light sources; An optical fiber bundle in which the optical fibers of each bundle at the input end are dispersed and arranged at the output end so that the light incident on each bundle is mixed at the output end;
A light source control unit for controlling the intensity of light emitted from the plurality of light sources in accordance with instructions from the test processing unit,
Image sensor testing device.
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