JP2005252772A - 整合部材の製造方法および超音波センサ並びに超音波センサを用いた流体の流れ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定湿度条件の下で、台座3に整合部材作成治具5を設けると共に、この整合部材作成治具5に中空球体11を収納した収納体4を装着し、この状態で台座3を受台10に落下衝突させてこのとき生じる振動によって中空球体11の充填度を高める。この後、結合材料13を混入して硬化させる。これによって、収納体4中の中空球体11は凝集や偏在することなく充填されているので整合部材18の密度は均一なのものになり、これを音響整合層として超音波センサに用いればその性能向上が図れる。
【選択図】図1
Description
図1において、矩形の基盤1の四隅より立設した4本のガイド柱2は台座3を上下動自在に支持している。
図6は、上記実施の形態1により得た音響整合層19を使用した超音波センサを示し、導電性材料製の筒状のケース20には天部21があり、その天部21の内壁面に圧電体22が、外壁面に音響整合層19がそれぞれ接着されている。
4 収納体
5 整合部材作成治具
6 収納室
10 受台
11 中空球体
13 結合材料
19 音響整合層
20 筒状ケース
21 天部
22 圧電体
Claims (7)
- 所定湿度範囲の作業環境内で収納体を加振することにより前記収納体内部に中空球体を充填し、次いで、前記中空球体に結合材料を混合させることで前記中空球体を結合材料で包囲することを特徴とする整合部材の製造方法。
- 結合材料は熱硬化性樹脂化合物である請求項1記載の整合部材の製造方法。
- 中空球体に結合材料を混合させた後、この混合物を硬化させるようにした請求項1または2記載の整合部材の製造方法。
- 中空球体はガラス組成を含む請求項1記載の整合部材の製造方法。
- 請求項1から5のいずれか1項記載の製造方法で作成した整合部材を音響整合層として備えた超音波センサ。
- 天部と側壁部を有する筒状ケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部外壁面に接着層を介して設置された音響整合層からなる請求項6記載の超音波センサ。
- 請求項6または7記載の超音波センサを流体の流れ方向に少なくとも一対配置し、前記超音波センサ間の超音波伝搬時間にもとづき流体の速度およびまたは流量を検知するようにした流体の流れ測定装置。
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JP2004061948A JP2005252772A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | 整合部材の製造方法および超音波センサ並びに超音波センサを用いた流体の流れ測定装置 |
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JP2008261732A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器とそれを使用した超音流速流量計 |
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2004
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