JP2005250129A - パターン形成方法及びパターン形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板60に、パターン構成色が異なる塗布液からなる複数のパターンを塗布ローラ2R、2G、2Bを介して転写して、パターン形状が同一のパターンの組み合わせ部分を有する複合パターンを基板60に形成するに際し、塗布液が塗布された複数の塗布ローラ2R、2G、2Bを一つの凸版41に順次押圧し、この一つの凸版41により複数の塗布ローラ2R、2G、2Bそれぞれからネガパターンの塗布液を転写除去する。
【選択図】 図1
Description
また、各パターン構成色のパターンごとに、パターンのネガパターンとした凸部を有する凸版を用意し、パターン構成色ごとのローラにパターン構成色の着色樹脂組成物を定厚で塗布し、このローラをパターン構成色に対応する前記凸版に押圧して、前記凸版の凸部にてネガパターンに対応する着色樹脂組成物を転写除去することで、パターン構成色ごとのローラに所期のパターンを形成し、これらのパターンを上述と同様に黒を基準として、その間に赤、次に緑、青とそれぞれ各パターン構成色が重ならないように基板に順次転写することで、カラーフィルタとしてのパターンを形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)
しかしながら、上述した印刷手法(凸版で余剰部分を除去する方式)によるものでは、同一形状のパターンを備えた版をパターン構成色ごとに作成して、これらを複数のローラの移動方向に並べて直列配置することとなり、印刷装置が大型化するという不都合がある。また、同一形状のパターンを備えた版をパターン構成色ごとに作成することになるが、各版におけるパターンを構成するインキ受領部分の各部位のピッチを、版相互で同じにして作成することが非常に困難である。そのため、それぞれパターン構成色ごとに異なる版で形成されたパターンを、一つの基準、即ち、黒を基準として基板で組み合わせた場合に、ピッチずれが補正できずにフィルタとしての複合パターンが不良になり易いという問題がある。例えば一色のパターンのピッチ不良で一部分がずれてその部分で白抜けが生じ、その白抜けを補正するために版の位置を位置調整すると、そのパターンの他の色部分で基準に対する位置ずれが大きくなって、その部分で黒部分を越えて他色のパターンとの重なりを生じさせてしまうことがある。このような問題は液晶表示装置用のカラーフィルタの場合だけでなく、パターン構成材料が異なってパターン形状が同一の複数のパターンを組み合わせる部分を有した複合パターンを印刷法で形成するときに生じる問題であった。
そこで、本発明は上記事情に鑑み、パターン形状が同一でかつパターン構成材料が異なる複数のパターンを版による位置ずれがなく形成することを課題とし、その版からなるパターン構成材料ごとの複数のパターンを基板での基準に対する位置合わせ容易に転写して、良好な複合パターンを形成することを目的とするものである。
また、上記凸版の凸部を、塗布ローラの塗布液を転写除去する部分に対応させる凸版の位置合せと、前記凸版の凸部に転移した塗布液の除去とを、塗布ローラの上記転写除去工程ごとに行なうものとすることが可能である。
また、上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給するものであることが良好である。
また、上記凸版の塗布液の除去は、凸版の洗浄と洗浄された凸版の乾燥とを行なうものとすることが良好である。
また、上記凸版の凸部を、塗布ローラの塗布液を転写除去する部分に対応させるように上記凸版を位置させる凸版位置調整手段を備えるものとすることが可能である。
また、上記塗布液供給手段として、定厚塗布液供給ユニットを有するものとすることが可能である。
また、上記塗布ローラそれぞれに対応配置され、上記凸版の転写除去ごとに、該凸版から塗布液を除去する凸版残存塗布液除去装置を有するものとすることが良好である。
また、上記凸版残存塗布液除去装置は、洗浄手段と乾燥手段とを備えるものとすることが良好である。
(パターン形成装置)
図中1はパターン形成装置で、該パターン形成装置1は図4に示すカラーフィルタとしての複合パターンPを形成するものである。この複合パターンPは、三色のパターン構成色である赤、緑、青(R、G、B)において、赤のパターン構成色からなり、ストライプが一定間隔で並ぶパターンPrと、緑のパターン構成色からなり、ストライプが一定間隔で並ぶパターンPgと、青のパターン構成色からなり、ストライプが一定間隔で並ぶパターンPbとを、各パターンのストライプが一定間隔をおいて順に並ぶように組み合わせて、組み合わせ部分P1を形成し、黒のパターン構成色のパターンP2を、前記組み合わせ部分P1以外の部分として形成し、これらP1とP2とから前記複合パターンPが形成されている。
(塗布ローラ連接移動機構部)
前記塗布ローラ連接移動機構部2は、黒インキを受ける塗布ローラ2BM、上記赤のパターンPrを得るための赤インキを受ける塗布ローラ2R、同じく緑のパターンPgを得るための緑インキを受ける塗布ローラ2G、青のパターンPbを得るための青インキを受ける塗布ローラ2Bとを間隔をおいて配置し、これら四つの塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bをステー20にて回転可能に支持し、塗布ローラ連接移動機構部2の待機部分に対して順に位置設定されている前記第一塗布液除去部4、第二塗布液除去部5、基板支持部6それぞれの上方位置に前記四つの塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bが一体となった状態で移動できるように設けられている。また、この塗布ローラ連接移動機構部2には図示されているように、四つの塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bそれぞれに対応するようにして、塗布ローラ移動方向となる側に凸版残存塗布液除去装置7が配置され、これらも前記ステー20に支持された状態で前記塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bとともに一体的に移動するように設けられている。なお、凸版残存塗布液除去装置7については後述する。
待機位置にあるときの上記塗布ローラ連接移動機構部2の各塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bそれぞれに対して、この塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bに対して設定されているインキが供給できるようにするために、上記塗布液供給部3は黒インキを供給する定厚塗布液供給ユニット3BM、赤インキを供給する定厚塗布液供給ユニット3R、緑インキを供給する定厚塗布液供給ユニット3G、青インキを供給する定厚塗布液供給ユニット3Bが塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bに対応配置され、ローラの回転に伴いこれら定厚塗布液供給ユニットから各インキが定厚にして塗布されるようにしている。
上記第一塗布液転写除去部4は、塗布液供給手段として上記塗布液供給部3での定厚塗布液供給ユニット3BM、3R、3G、3Bから黒インキが定厚で塗布された塗布ローラ2BM、赤インキが定厚で塗布された塗布ローラ2R、緑インキが定厚で塗布された塗布ローラ2G、青インキが定厚で塗布された塗布ローラ2Bとが一体となった塗布ローラ連接移動機構部2が横移動するとき、この第一塗布液転写除去部4と回転する塗布ローラ2R、2G、2Bとの接触によって、各塗布ローラ2R、2G、2B上からパターン以外の余剰な塗布液を転写除去するものである。この第一塗布液転写除去部4は、上記組み合わせ部分P1を構成するそれぞれ形状同一のパターンPr、Pg、Pbのネガパターンとして凸部40を備える凸版41を凸版位置調整手段42に取付支持させてなるものである。
(塗布ローラへの凸版位置合わせ、インキの転写除去)
図示の実施の形態においては、塗布ローラ連接移動機構部2の移動方向を凸部40によるストライプの長手方向に揃えている。そして、塗布ローラ連接移動機構部2が印刷方向として上記基板支持部6側に移動を開始した時点では最初に上記黒インキが塗布供給されている塗布ローラ2BMがこの第一塗布液転写除去部4に差し掛かることから、この塗布ローラ2BMとの接触を避けるために第一塗布液転写除去部4は一旦下がり、塗布ローラ2BMとその後位の凸版残存塗布液除去装置7とが通過した時点で定位置に戻るように設けられている。この定位置に戻った第一塗布液転写除去部4の凸版41に塗布ローラ2Rが押圧する前に、この塗布ローラ2Rの塗布液を転写除去する部分、即ち、塗布ローラ2R上において形成する赤インキによるパターンPr(上記基板支持部6側で設定される赤インキによるパターンPrの位置に対応するパターン)のネガパターンに、凸版41の凸部40が対応位置するように上記凸版位置調整手段42により位置合わせされる。この位置合わせが塗布ローラ2Rの応接の前に終了し、この状態の凸版41に前記塗布ローラ2Rが押圧しながら転動(塗布ローラ連接移動機構部2の移動に同期した回転)し、前記凸版41が塗布ローラ2Rからパターン以外の余剰な塗布液を転写除去し、これによって塗布ロール2Rに赤インキによるパターンPrが形成される。
(凸版残存塗布液除去)
この凸版41の位置合わせと赤インキの転写除去による塗布ローラ2Rへの赤インキでのパターンPrの形成が終了(赤インキの転写除去工程の終了)すると、塗布ローラ連接移動機構部2が移動していることから塗布ローラ2Rの後位に位置している凸版残存塗布液除去装置7が第一塗布液転写除去部4に摺接した状態で移動する。この凸版残存塗布液除去装置7は、上記パターンPrの形成を行なうことで凸版41に転移してこの凸版41上で残存している赤インキを取り除いて第一塗布液転写除去部4を清浄にするものであり、その構成としては例えば溶剤吹き付け及び溶剤吸引による洗浄とその洗浄後の乾燥とを行なうものであり、凸版残存塗布液除去装置7の摺接移動で塗布ローラ連接移動機構部2の移動方向にこの赤インキ除去が行われる。
この塗布ローラ2Gでの転写除去工程が終了すると、上記塗布ローラ2Rの転写除去工程が終了した以降の工程と同じように、塗布ローラ2Gの後位にある凸版残存塗布液除去装置7により凸版41に残存している緑インキが除去されて、清浄な状態に戻される。
以上の工程が上記塗布ローラ2BでのパターンPbの形成に際しても行われる。このようにして、塗布ローラ連接移動機構部2が第一塗布液転写除去部4上を移動することで、塗布ローラ2R、2G、2BでのパターンPr、Pg、Pbの形成が順次行なわれるものである。
上記塗布ローラ2R、2G、2BでのパターンPr、Pg、Pbの形成が進んでいるときに塗布ローラ連接移動機構部2の移動方向先頭に位置する塗布ローラ2BMが上記第二塗布液転写除去部5に差し掛かり、この第二塗布液転写除去部5にて黒用のパターン形成が塗布ローラ2BMに対して行わわれる。
第二塗布液転写除去部5では複合パターンPでの黒用のパターンP2に対応するように、塗布ローラ2BM上でパターンP2が形成されるものであり、上記第一塗布液転写除去部4と同様に、塗布ローラ2BM上で黒インキにより形成すべきパターンP2のネガパターンとした凸部50を備える凸版51を凸版位置調整手段52に取付支持させてなるものである。そして、塗布ローラ連接移動機構部2の移動により塗布ローラ2BMがこの第二塗布液転写除去部5に到達することで、前記凸版51に塗布ローラ2BMが押圧し、この塗布ローラ2BMに塗布供給されている黒インキからネガパターンの位置にある黒インキを、塗布ローラ2BMの転動(塗布ローラ連接移動機構部2の移動に同期した回転)に伴って転写除去し、黒インキによるパターンP2をこの塗布ローラ2BM上に形成する。さらに、塗布ローラ2BMの後位には、上記塗布ローラ2R、2G、2Bに対してと同じように凸版残存塗布液除去装置7が配置されており、この凸版残存塗布液除去装置7が凸版51を摺接移動する過程でこの凸版51に残存している黒インキを除去するように設けられている(図2参照)。
凸版51は塗布ローラ2BMにのみ対応位置すればよいものであることから、第二塗布液転写除去部5での凸版位置調整手段52は、水平方向においては凸版51の微調整を行なって位置決めするものである。
上記基板支持部6はカラーフィルタの基材とするガラス板などの基板60を、XYθ駆動可能定盤61に取り付けて位置決めしてなるものである。そして、上述したように塗布ローラ連接移動機構部2が印刷方向(図面上、左方向)に移動するように設けられていて、パターンP2を周面に形成した塗布ローラ2BMがまず最初に達し、基板60の表面を押圧しながら転動してパターンP2を基板60の表面に転写する。このパターンP2が転写されると続いて塗布ローラ2Rが基板60の表面を押圧し、転動しながらその周面に形成されているパターンPrを基板60の表面に転写する(図3参照)。以降、同じように塗布ローラ連接移動機構部2の印刷方向への移動に伴って塗布ローラ2G、塗布ローラ2Bから順次パターンPg、Pbが基板60の表面に転写され、黒インキによるパターンP2と、赤インキ、緑インキ、青インキによる組み合わせ部分P1でのパターンPr、Pg、Pbとからなる複合パターンPが形成される。
また、塗布ローラ連接移動機構部2が移動して基板支持部6に差し掛かる時点で、上記第二塗布液転写除去部5の上に塗布ローラ連接移動機構部2が位置することになるが、塗布ローラや凸版残存塗布液除去装置との干渉を避けるために、この第二塗布液転写除去部5は降下している。さらに、基板60への転写工程では各凸版残存塗布液除去装置7が基板60の表面と干渉しないように上方移動して待機するように設けられている。
2…塗布ローラ連接移動機構部
2BM、2R、2G、2B…塗布ローラ
3…塗布液供給部
3BM、3R、3G、3B…定厚塗布液供給ユニット
4…第一塗布液転写除去部
40…凸部
41…凸版
42…凸版位置調整手段
5…第二塗布液転写除去部
50…凸部
51…凸版
52…凸版位置調整手段
6…基板支持部
60…基板
7…凸版残存塗布液除去装置
P…複合パターン
Pr…赤のパターン
Pg…緑のパターン
Pb…青のパターン
P1…組み合わせ部分
P2…黒のパターン
Claims (11)
- 基板に、パターン構成色が異なる塗布液からなる複数のパターンを塗布ローラを介して転写して、パターン形状が同一のパターンの組み合わせ部分を有する複合パターンを前記基板に形成するに際し、塗布液供給手段からパターン構成色の塗布液が供給される塗布ローラを前記パターン構成色ごとに有し、パターン形状が同一であるパターンのパターン構成色の塗布液が塗布された塗布ローラを、形状同一の前記パターンのネガパターンとした凸部を有する凸版に押圧して、塗布ローラから前記ネガパターンにして塗布液を転写除去する転写除去工程と、前記転写除去工程を経た塗布ローラの塗布液によるパターンを前記基板に転写する転写工程とを備えるパターン形成方法において、
前記凸版が一つであり、パターン形状を同一にするパターン構成色の塗布液が塗布された複数の塗布ローラを前記一つの凸版に順次押圧し、該一つの凸版により前記複数の塗布ローラそれぞれからネガパターンの塗布液を転写除去し、かつ、前記一つの凸版、前記複数の塗布ローラ、前記基板の何れかを位置合わせして前記複合パターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。 - 上記組み合わせ部分以外のパターンのパターン構成色の塗布液が塗布された塗布ローラを、前記組み合わせ部分以外のパターンのネガパターンとした凸部を有する凸版に押圧して、この凸版により前記塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去し、このネガパターンの塗布液が転写除去された塗布ローラのパターンを、基板に転写する請求項1に記載のパターン形成方法。
- 上記凸版の凸部を、塗布ローラの塗布液を転写除去する部分に対応させる凸版の位置合せと、前記凸版の凸部に転移した塗布液の除去とを、塗布ローラの上記転写除去工程ごとに行なうものである請求項1または2に記載のパターン形成方法。
- 上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給する請求項1から3の何れか一項に記載のパターン形成方法。
- 上記凸版の塗布液の除去は、凸版の洗浄と洗浄された凸版の乾燥とを行なうものである請求項3または4の何れか一項に記載のパターン形成方法。
- 基板に、パターン構成色が異なる塗布液からなる複数のパターンを塗布ローラを介して転写して、パターン形状が同一のパターンの組み合わせ部分を有する複合パターンを前記基板に形成するパターン形成装置であって、
パターン形状を同一にするパターン構成色ごとに対応する複数の塗布ローラと、
前記塗布ローラに、該塗布ローラが対応するパターン構成色の塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記パターンのネガパターンとした凸部を有し、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を有する塗布ローラそれぞれと前記凸部との接触によりネガパターンの塗布液を転写除去して、組み合わせ部分の前記パターンの位置に対応するように塗布ローラそれぞれに塗布液を残存させてなるパターンを形成する一つの凸版と
前記複合パターンを形成できるように、前記一つの凸版、前記複数の塗布ローラ、前記基板の何れかの位置を調整する位置調整手段と
を備えることを特徴とするパターン形成装置。 - 上記組み合わせ部分以外のパターンのパターン構成色に対応する塗布ローラと、
前記塗布ローラに、該塗布ローラが対応する組み合わせ部分以外のパターンのパターン構成色の塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記パターンのネガパターンとした凸部を有し、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を有する塗布ローラと前記凸部との接触によりネガパターンの塗布液を転写除去して、組み合わせ部分以外の前記パターンの位置に対応するように塗布ローラに塗布液を残存させてなるパターンを形成する一つの凸版と
を有する請求項6に記載のパターン形成装置。 - 上記凸版の凸部を、塗布ローラの塗布液を転写除去する部分に対応させるように上記凸版を位置させる凸版位置調整手段を備える請求項6または7に記載のパターン形成装置。
- 上記塗布液供給手段として、定厚塗布液供給ユニットを有する請求項6から8の何れか一項に記載のパターン形成装置。
- 上記塗布ローラそれぞれに対応配置され、上記凸版の転写除去ごとに、該凸版から塗布液を除去する凸版残存塗布液除去装置を有する請求項6から9の何れか一項に記載のパターン形成装置。
- 上記凸版残存塗布液除去装置は、洗浄手段と乾燥手段とを備える請求項10に記載のパターン形成装置。
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