JP2005247687A - ガラス基板の化学加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラス基板を化学加工液に浸漬し、反応生成物の増加により品質が劣化する前の化学加工液を新たな化学加工液に交換すると共に、ガラス基板表面の一部または全部を10μm/分以下の研磨加工速度で加工する。化学加工液は、フッ酸、並びに塩酸、硫酸、リン酸および硝酸から選ばれる1種以上の無機酸、及び/又は、ガラス基板表面に反応生成物が再付着することを防止する再付着防止剤を含有する液が使用される。再付着防止剤には、陰イオン系界面活性剤またはアミン系界面活性剤が選択されていると良い。化学加工装置の一例を図1に示す。
【選択図】図1
Description
1)ガラス基板に元々存在する表面キズを無くす。
2)パターニングされた薄膜を剥離した基板に残っているパターン跡を無くす。
3)ガラス基板の外表面の片側の全部を薄くし、その平坦性を高める。
4)ガラス基板の外表面の両側の全部を薄くし、その平坦性を高める。
5)ガラス基板の外表面の片側の一部に凹み部を作製し、各部の寸法と各面の平坦性を高める。
6)ガラス基板の外表面の両側の一部に凹み部を作製し、各部の寸法と各面の平坦性を高める。
7)3)〜6)のガラス基板を2枚の貼り合わせ基板と読み替えて、同じ目的のことを行なう。
[実施例1]上述した化学加工装置1を用いて、素ガラスの化学加工を行なった例を以下に示す。下記の素ガラスを所定の加工速度を有する化学加工液にそれぞれ浸漬し、同一の加工量を研磨した場合における加工速度とガラス基板の表面状態の関係を検討した。結果を表1に示す。
(1)素ガラスのサイズとそれぞれの目標の化学加工量
No.1;縦320mm×横400mm×厚み1.1mm。目標の化学加工量;0.3mm。
No.2;縦400mm×横500mm×厚み0.7mm。目標の化学加工量;0.2mm。
(2)化学加工液の組成
水を溶媒として、フッ酸、塩酸、硝酸を化学加工成分として、各成分の配合割合を適宜変更して加工速度が0.5、1.0、3.0、5.0、10.0、13.0、15.0(単位;μm/分)になる化学加工液を調製した。
(1)素ガラスのサイズとそれぞれの目標の化学加工量
No.1;縦320mm×横400mm×厚み1.1mm。目標の化学加工量;0.3mm。
No.2;縦400mm×横500mm×厚み0.7mm。目標の化学加工量;0.2mm。
(2)化学加工液の組成
水を溶媒として、フッ酸5%、塩酸10%、硝酸5%を含有する化学加工液を使用した。
(3)素ガラスの受入検査と最終検査の方法
<板厚測定>
超音波式板厚計を用いて図8に示した測定位置の板厚を測定した。
<外観検査>
検査機器として蛍光灯(1500Lx以上)、集光灯(1万Lx以上)を使用し、検査機器の光源からガラス基板までの距離とガラス基板から測定者までの距離を共に300mmにして、ガラス基板に対する反射光と透過光を目視で確認した。
(4)実験結果
<加工速度>
素ガラスの片面に対して2.5μm/分であった。
<板厚>
表2に超音波板厚計によって測定した素ガラスの板厚を示した。
図9に化学加工前後における素ガラスのキズの有無を検査した結果を示した。図9の結果より、化学加工前に存在したキズが化学加工により消失したことが判る。
<表面の平坦性>
No.2の素ガラスを化学加工した後の表面状態を測定した結果を図10に示した。表2及び図10より、素ガラスの各位置において、均一に目標量を加工することができ、素ガラスの表面が平坦化されたことが判る。
(1)貼り合わせ液晶ガラス基板のサイズとそれぞれの目標の化学加工量
No.3;400mm×500mm×1.4mm。目標の化学加工量;両面合わせて0.4mm。
(2)化学加工液の組成
実施例2と同じ。
(3)受入検査と最終検査の方法
<板厚測定>
2枚の貼り合わせ液晶ガラス基板の表側の測定位置を図12に、裏側の測定位置を図13に示した。
<外観検査>
実施例2と同様に行なった。
(4)実験結果
<加工速度>
貼り合わせ液晶ガラス基板の片面に対して2.5μm/分であった。
<板厚>
表3に超音波板厚計によって測定した結果を示した。
化学加工前後におけるキズの有無を検査した結果を図11に示した。図11より、化学加工前に存在したキズが化学加工により消失したことが判る。
<表面の平坦性>
表3から、貼り合わせガラス基板の各位置において、均一に目標量を加工することができ、表面が平坦化されていることが判る。
(1)Cr剥離後のガラス基板のサイズとそれぞれの目標の化学加工量
No.4;縦400mm×横500mm×厚み0.7mm。目標の化学加工量;5μm。
(2)化学加工液の組成
実施例2と同様のものを用いた。
(3)受入検査と最終検査の方法
<板厚測定>
超音波式板厚計を用いて図8に示した測定位置の板厚を測定した。
<外観検査>
実施例2と同様に行なった。
(4)実験結果
<加工速度>
ガラス基板の片面に対して2.5μm/分であった。
<板厚>
表4に超音波板厚計によって測定した結果を示した。
パターン跡は化学加工により全て消失していることが確認された。
<表面の平坦性>
表4とパターン跡の消失結果から、液晶ガラス基板を均一に目標量加工することができ、表面が平坦化されたことが判る。
11 化学加工液貯溜槽
12 気泡発生装置
12a 気泡吐出部
13 溢出液受け槽
14 フィルター
15 ポンプ
16 化学加工液吐出装置
17 ガラス基板収納治具用保持具
18 ガラス基板収納治具
Claims (8)
- 化学加工液中にガラス基板を浸漬し、このガラス基板の外表面を構成する片側の一部若しくは全部または両側の一部若しくは全部を研磨して薄くする加工を行う化学加工方法であって、
反応生成物の増加により品質が劣化する前の前記化学加工液を新たな化学加工液に交換すると共に、
10μm/分以下の加工速度で加工する
ことを特徴とする化学加工方法。 - 前記化学加工液が、フッ酸、並びに塩酸、硫酸、リン酸および硝酸から選ばれる1種以上の無機酸を含有する請求項1に記載の化学加工方法。
- 前記化学加工液は、前記ガラス基板表面に前記反応生成物が再付着することを防止する再付着防止剤を含有し、
前記再付着防止剤が陰イオン系界面活性剤またはアミン系界面活性剤である請求項1または2に記載の化学加工方法。 - 超音波振動子または揺動攪拌翼を前記化学加工液に作動させている請求項3に記載の化学加工方法。
- 前記ガラス基板を化学加工液中に略垂直配置し、前記化学加工液中に連続して発生させた気泡により上昇液流を生じさせている請求項1〜4のいずれかに記載の化学加工方法。
- 前記上昇液流により前記反応生成物を含む化学加工液を化学加工液貯留槽から溢出させる請求項5に記載の化学加工方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の方法により加工したガラス基板。
- 請求項7に記載のガラス基板を使用して製造されたフラットパネルディスプレイ。
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JP2005059892A JP2005247687A (ja) | 2001-04-12 | 2005-03-04 | ガラス基板の化学加工方法 |
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JP5423674B2 (ja) * | 2008-06-25 | 2014-02-19 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板のエッチング方法及び表示デバイス |
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2005
- 2005-03-04 JP JP2005059892A patent/JP2005247687A/ja active Pending
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