JP2005236004A - Two-stage fly-eye lens device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a two-stage fly-eye lens device that can contribute to the improvement of the quality and yield of products together with the constitution of upper and lower lens units themselves by adjusting the misalignment of the lens units after the interval between the lens units is adjusted. <P>SOLUTION: In the two-stage fly-eye lens device, the upper and lower lens units 2 and 3 having fly-eye lenses 11 are provided in two stages with an appropriate interval in between, and the interval between the upper and lower lens units 2 and 3 can be adjusted. In addition, the fly-eye lenses 11 of at least one of the upper and lower lens units 2 and 3 can be adjusted finely in the horizontal direction. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は二段式フライアイレンズ装置、より詳細には、超ＬＳＩの加工機器であるステッパ（縮小投影機）やプリント配線板用露光装置等に使用される、小さな凸レンズ（レンズ単体）を連結して構成されるフライアイレンズを、間隔を置いて二段に配置した二段式フライアイレンズ装置に関するものである。   The present invention is a two-stage fly-eye lens device. More specifically, a small convex lens (lens unit) used in a stepper (reduction projector), an exposure device for a printed wiring board, or the like, which is a processing device for VLSI, is connected. The present invention relates to a two-stage fly-eye lens device in which fly-eye lenses configured as described above are arranged in two stages at intervals.

フライアイレンズは、多数の同じレンズ単体を縦横に配列した結像素子で、それを構成するレンズ単体の数の多重像を生じ、光源が点の場合には多くの点像が得られるもので、照明系の光学特性の向上、改善等のために、各種露光装置やステッパ等に用いられている。   A fly-eye lens is an imaging element in which a large number of the same lens elements are arranged vertically and horizontally, producing multiple images of the number of lens elements constituting the same, and many point images can be obtained when the light source is a point. In order to improve and improve the optical characteristics of the illumination system, it is used in various exposure apparatuses and steppers.

上記ステッパ等において、超ＬＳＩ等の更なる微小化の要請に伴ない、フライアイレンズを二段に配置する試みがなされている。その場合フライアイレンズは、４×４とか５×５のようにエレメント数が少ないときは、一般に、額縁状のレンズカバーで挟まれる。そして、レンズ外周面は遮光処理されるが、そのために照度低下を招いていた（図５）。   In the above steppers and the like, an attempt has been made to arrange fly-eye lenses in two stages in accordance with the demand for further miniaturization of VLSI and the like. In that case, the fly-eye lens is generally sandwiched between frame-shaped lens covers when the number of elements is small, such as 4 × 4 or 5 × 5. And although the lens outer peripheral surface was light-shielded, the illuminance decline was caused for that (FIG. 5).

また、額縁状のベース上に、フライアイレンズの２辺を受ける直角型の受部を固定すると共に、この受部の２辺に対してフライアイレンズを押圧するプッシャーを設置した保持具を用いることが考えられている。しかるにこの場合は、プッシャーによるフライアイレンズの微動調整が難しいだけでなく、フライアイレンズと受部及びプッシャーとの間から、レンズを通らない生の光が漏れ、照射面に特異な点（高照度の点）を生じせしめて照度分布を悪くするという問題があった（図６）。   In addition, a right-angled receiving portion that receives the two sides of the fly-eye lens is fixed on the frame-shaped base, and a holder in which a pusher that presses the fly-eye lens against the two sides of the receiving portion is installed. It is considered. However, in this case, fine adjustment of the fly-eye lens by the pusher is difficult, and raw light that does not pass through the lens leaks from between the fly-eye lens and the receiving part and the pusher, and a specific point on the irradiated surface (high There is a problem that the illuminance distribution is worsened by generating illuminance points (FIG. 6).

更に、フライアイレンズユニットを二段に配置する場合においては、両ユニットの間隔調整のために一方のユニットをＺ方向に移動させることになるが、その場合、両ユニットの芯を狂わすことなく平行移動させることは至難の業である。従って、一方のレンズユニットをＺ方向に移動させた後、双方のレンズユニットをＸ，Ｙ軸方向に微動させて芯ズレを直す微調整をすることが要望されるところであるが、従来その微調整が可能な二段式フライアイレンズ装置は提供されていない。   Furthermore, when the fly-eye lens units are arranged in two stages, one unit is moved in the Z direction to adjust the distance between the two units. It is a difficult task to move. Accordingly, after moving one lens unit in the Z direction, it is desired to make a fine adjustment to correct the misalignment by finely moving both lens units in the X and Y axis directions. However, no two-stage fly-eye lens device is available.

特開平６−１４４８４２号JP-A-6-144842 特開平７−１５６２８４号JP-A-7-156284 特開平８−２６７４６号JP-A-8-26746 実開昭６２−１９９７１４号Japanese Utility Model Sho 62-199714

上述したように、従来のフライアレンズの場合は、照度低下とか照度分布が悪いとかいった理由で製品の歩留まりが悪く、また、二段式フライアイレンズ装置においては、上段又は下段のレンズユニットを微動させて上下段のレンズユニットの芯ずれを是正するための手段がなかった。   As described above, in the case of the conventional flyer lens, the yield of the product is poor due to low illuminance or poor illuminance distribution, and in the two-stage fly-eye lens device, the upper or lower lens unit is used. There was no means to correct the misalignment of the upper and lower lens units by fine movement.

そこで本発明は、二段式のフライアイレンズ装置であって、上下段のレンズユニットの間隔調整後に上下段のレンズユニットの芯ずれ調整を行うことができ、以てレンズユニット自体の構成と相俟って、製品の品質向上と歩留まり向上に寄与し得る二段式フライアイレンズ装置を提供することを課題とする。   Therefore, the present invention is a two-stage fly-eye lens device, which can adjust the misalignment of the upper and lower lens units after adjusting the distance between the upper and lower lens units. Therefore, it is an object to provide a two-stage fly-eye lens device that can contribute to improvement of product quality and yield.

本発明は、フライアイレンズを有する上側レンズユニットと下側レンズユニットを適宜間隔を置いて二段に配設し、前記上側レンズユニットと下側レンズユニットの間隔は調整可能であり、また、前記上側レンズユニット及び下側レンズユニットの少なくとも一方のフライアイレンズは水平方向に微動調整可能であることを特徴とする二段式フライアイレンズ装置、を以て上記課題を解決した。   In the present invention, an upper lens unit having a fly-eye lens and a lower lens unit are arranged in two stages at an appropriate interval, and the interval between the upper lens unit and the lower lens unit can be adjusted. The above-described problem has been solved by a two-stage fly-eye lens device characterized in that at least one fly-eye lens of the upper lens unit and the lower lens unit can be finely adjusted in the horizontal direction.

好ましくは、前記上側レンズユニットと下側レンズユニットのフライアイレンズは周囲をレンズフレームによって取り囲まれ、前記レンズフレームを通してネジ込まれた調整ネジの進退によって前記微動調整がなされる。   Preferably, the fly-eye lens of the upper lens unit and the lower lens unit is surrounded by a lens frame, and the fine adjustment is performed by advancing and retreating an adjusting screw screwed through the lens frame.

また、好ましくは、前記フライアインレンズは、周囲に補強枠が固定されたものであり、前記補強枠は前記フライアイレンズと同一資材製であり、前記レンズフレームと前記補強枠との間にステンレス等製のスペーサが挟入される。   Preferably, the fly-in lens has a reinforcing frame fixed around, the reinforcing frame is made of the same material as the fly-eye lens, and stainless steel is interposed between the lens frame and the reinforcing frame. An equivalent spacer is inserted.

また、好ましくは本装置は、ベースと、前記ベースに接して前記ベース上にリニアシャフトを介して固定される下側レンズユニットと、前記下側レンズユニット上に立てられたネジ軸を介し、前記下側レンズユニットの上方に適宜間隙を保持して配置される上側レンズユニットとを有し、前記上側レンズユニットは、前記リニアシャフトによって支持されつつ前記ネジ軸に沿って上下動可能に構成される。   Preferably, the apparatus includes a base, a lower lens unit that is in contact with the base and fixed on the base via a linear shaft, and a screw shaft that is erected on the lower lens unit. An upper lens unit that is disposed with an appropriate gap above the lower lens unit, and the upper lens unit is configured to be vertically movable along the screw shaft while being supported by the linear shaft. .

本発明に係る二段式フライアイレンズ装置によれば、上下段のレンズユニットの間隔調整後に上下段のレンズユニットの芯ずれ調整を行うことができ、以てレンズユニット自体の構成と相俟って、製品の品質向上と歩留まり向上に寄与し得る効果がある。   According to the two-stage fly-eye lens device of the present invention, it is possible to adjust the misalignment of the upper and lower lens units after adjusting the distance between the upper and lower lens units, which is combined with the configuration of the lens unit itself. Thus, there is an effect that can contribute to improvement of product quality and yield.

本発明の好ましい実施の形態につき、添付図面に依拠して説明する。図１は本発明に係るフライアイレンズ装置の全体構成を示す斜視図、図２はその分解斜視図である。そこに示された本装置は、ベース１と、ベース１に接してベース１上にリニアシャフト４を介して固定される下側レンズユニット３と、下側レンズユニット３上に立てられたネジ軸５を介し、下側レンズユニット３の上方に適宜間隙を保持して配置される上側レンズユニット２とから成る。   A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of a fly-eye lens device according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view thereof. The apparatus shown therein includes a base 1, a lower lens unit 3 that is in contact with the base 1 and is fixed to the base 1 via a linear shaft 4, and a screw shaft that stands on the lower lens unit 3. The upper lens unit 2 is disposed above the lower lens unit 3 with an appropriate gap therebetween.

ベース１はその中央部に、後述する上下のレンズユニット２、３に組み込まれるフライアイレンズ１１のサイズに対応する大きさの方形開口７を有し、方形開口７の２つの対向する縁辺に、段付き穴８が、例えば、それぞれ２個宛形成される。段付き穴８には、後述するように、リニアシャフト４の一端面にネジ込まれることになるシャフト固定ネジ９の頭を隠すと共に係止するための段部が形成される。また、ベース１の四隅には、本装置をステッパー等の利用機器に固定するためのネジ穴１０が形成される。   The base 1 has a square opening 7 having a size corresponding to the size of a fly-eye lens 11 incorporated in the upper and lower lens units 2 and 3 described later at the center, and two opposing edges of the square opening 7 For example, two stepped holes 8 are formed for each. As will be described later, a stepped portion for concealing and locking the head of the shaft fixing screw 9 to be screwed into one end surface of the linear shaft 4 is formed in the stepped hole 8. In addition, screw holes 10 are formed at the four corners of the base 1 for fixing the apparatus to a utilization device such as a stepper.

図３は上側レンズユニット２の構成を示す分解斜視図で、上側レンズユニット２は、フライアイレンズ１１と、フライアイレンズ１１の四周を取り巻くレンズフレーム１２と、フライアイレンズ１１を挟持する上下面のレンズカバー１３、１４とから成る。   3 is an exploded perspective view showing the configuration of the upper lens unit 2. The upper lens unit 2 includes a fly-eye lens 11, a lens frame 12 surrounding the fly-eye lens 11, and upper and lower surfaces sandwiching the fly-eye lens 11. FIG. Lens covers 13 and 14.

フライアイレンズ１１は、レンズ単体を縦横に接合して構成したレンズ集合体であるが、その周囲に、適宜幅の補強枠１１ａを固定することが好ましい。補強枠１１ａの素材は特に問わず、金属製であってもよいが、好ましくは、レンズ単体と同一素材製（通例石英ガラス）とする。また、補強枠１１ａは、予め四角形に組んだものであって、その中にフライアイレンズ１１を嵌め込むこととしてもよいし、４本の角棒材をフライアイレンズの周囲に接着、溶着等によって固定することとしてもよい。   The fly-eye lens 11 is a lens assembly formed by joining single lenses vertically and horizontally, but it is preferable to fix a reinforcing frame 11a having an appropriate width around the fly-eye lens 11. The material of the reinforcing frame 11a is not particularly limited and may be made of metal, but is preferably made of the same material as that of the lens itself (usually quartz glass). Further, the reinforcing frame 11a is preliminarily assembled into a quadrangle, and the fly-eye lens 11 may be fitted therein, and four square rod members are bonded and welded around the fly-eye lens. It is good also as fixing by.

フライアイレンズ１１は、その構成レンズ数が多い場合最外周は使用しないことが多いので、補強枠１１ａが存在しても、フライアイレンズとしての機能が阻害されることはない。また、補強枠１１ａによって周辺部が保護されるため、周辺部のレンズ単体の端部が欠損することが防止される。   The fly-eye lens 11 often does not use the outermost periphery when the number of constituent lenses is large. Therefore, even if the reinforcing frame 11a is present, the function as the fly-eye lens is not hindered. In addition, since the peripheral portion is protected by the reinforcing frame 11a, it is possible to prevent the end portion of the peripheral lens unit from being lost.

レンズフレーム１２は、通例同一形状の４つのフレーム構成材１５ａ〜１５ｄを井桁状に組むことにより形成される。   The lens frame 12 is generally formed by assembling four frame components 15a to 15d having the same shape in a cross-beam shape.

フレーム構成材１５ａ〜１５ｄは、一角部に四角の切除部１６を設けた平板で、その切除部１６に、連結ネジを挿通するための挿通孔１７が、幅方向に１又は複数貫設され、切除部１６と反対側の端面には、挿通孔１７と直交する方向に、別のフレーム構成材１５ａ〜１５ｄの挿通孔１７に対応するネジ穴１８が穿設される。   Each of the frame members 15a to 15d is a flat plate having a square cut portion 16 provided at one corner, and one or a plurality of insertion holes 17 are provided in the cut portion 16 in the width direction to pass through the connection screws. A screw hole 18 corresponding to the insertion hole 17 of another frame constituent material 15a to 15d is formed in the end surface opposite to the cut portion 16 in a direction orthogonal to the insertion hole 17.

対向する一対のフレーム構成材１５ａ、１５ｂには、リニアシャフト４を縦方向に挿通するためのシャフト挿通孔１９が１又は複数透設されると共に、シャフト挿通孔１９よりも外側にネジ穴２０が形成される。フレーム構成材１５ａ、１５ｂには更に、シャフト挿通孔１９とネジ穴２０、２０の間において、それぞれ幅方向に抜ける調整ネジ２５のネジ穴２１が貫設される。   One or a plurality of shaft insertion holes 19 through which the linear shaft 4 is inserted in the vertical direction are formed in a pair of opposing frame constituent members 15 a and 15 b, and screw holes 20 are provided outside the shaft insertion holes 19. It is formed. Further, screw holes 21 of adjusting screws 25 that pass through in the width direction are provided between the shaft insertion holes 19 and the screw holes 20 and 20 in the frame components 15a and 15b.

また、他方の対向する一対のフレーム構成材１５ｃ、１５ｄには、ネジ軸５をネジ込むためのネジ軸穴２２が１又は２形成されると共に、ネジ軸穴２２の両側に、ネジ穴２３が形成される。フレーム構成材１５ｃ、１５ｄには更に、ネジ軸穴２２とネジ穴２３との間においてそれぞれ幅方向に抜ける調整ネジ２５のネジ穴２４が貫設される。   Further, one or two screw shaft holes 22 for screwing the screw shaft 5 are formed in the other pair of frame constituent members 15c and 15d, and screw holes 23 are formed on both sides of the screw shaft hole 22. It is formed. Further, screw holes 24 of adjusting screws 25 that pass through in the width direction between the screw shaft holes 22 and the screw holes 23 are further provided in the frame constituent members 15c and 15d.

レンズフレーム１２の組み立てに当っては、１つのフレーム構成材１５ａのネジ穴１８形成端面に、他のフレーム構成材１５ｄの挿通孔１７形成端部を当てがい、連結ネジ２６を切除部１６側より挿通孔１７に挿入貫通させてネジ穴１８にネジ込む。このような操作を各フレーム構成材１５ａ〜１５ｄ間において行ない、フレーム構成材１５ａ〜１５ｄを井桁状に組む。   In assembling the lens frame 12, the end portion of the other frame constituent member 15 d where the insertion hole 17 is formed is applied to the end surface where the screw hole 18 is formed of one frame constituent member 15 a, and the connecting screw 26 is inserted from the cut portion 16 side. It is inserted through the insertion hole 17 and screwed into the screw hole 18. Such an operation is performed between the frame constituent members 15a to 15d, and the frame constituent members 15a to 15d are assembled in a cross beam shape.

このようにして組み立てられたレンズフレーム１２の開口部のサイズは、補強枠１１ａを含むフライアイレンズ１１のサイズより少し大きくなるように設定される。従って、フライアイレンズ１１は上方からレンズフレーム１２の開口部内に落とし込むことができる。その際開口部２７の内側面とフライアイレンズ１１の外側面との間に隙間ができるが、本発明においては、その隙間に、通例ステンレス製のスペーサ２８が挿入される。   The size of the opening of the lens frame 12 assembled in this way is set to be slightly larger than the size of the fly-eye lens 11 including the reinforcing frame 11a. Therefore, the fly-eye lens 11 can be dropped into the opening of the lens frame 12 from above. At this time, a gap is formed between the inner surface of the opening 27 and the outer surface of the fly-eye lens 11. In the present invention, a stainless steel spacer 28 is usually inserted into the gap.

かくして調整ネジ２５をネジ穴２４にネジ込み、螺進させていくと、やがて調整ネジ２５の先端がネジ孔２４から出てスペーサー２８に当たる。そこで、各フレーム構成材１５ａ〜１５ｄの調整ネジを適宜進退させることにより、レンズフレーム１２内におけるフライアイレンズ１２の微妙な位置調整が可能となる。その際調整ネジ２５の先端はスペーサー２８に当たるので、調整ネジ２５の先端がフライアイレンズ１１又は補強枠１１ａに喰い込んで損傷を与えることはない。   Thus, when the adjustment screw 25 is screwed into the screw hole 24 and is advanced, the tip of the adjustment screw 25 eventually comes out of the screw hole 24 and hits the spacer 28. Accordingly, the position of the fly-eye lens 12 in the lens frame 12 can be finely adjusted by appropriately moving the adjustment screws of the frame constituent members 15a to 15d forward and backward. At this time, since the tip of the adjusting screw 25 hits the spacer 28, the tip of the adjusting screw 25 does not bite into the fly-eye lens 11 or the reinforcing frame 11a and cause damage.

上面レンズカバー１３と下面レンズカバー１４は、レンズフレーム１２の平面形状とほぼ同じ形状の、通例アルミニウム製薄板で、一方の対向する２辺に、シャフト挿通孔１９に対応するシャフト挿通孔２９及びネジ穴２０に対応するネジ穴３０が形成され、また、他方の対向する２辺に、ネジ穴２３に対応するネジ穴３３が形成される（図３では、ネジ穴２０、２３は２個宛設けてあるが、ネジ穴３０、３３は１個のみ設けてある。）。更に、ネジ穴３３を設ける２辺に、ネジ軸穴２２に対応するネジ軸穴３２が形成される。   The upper surface lens cover 13 and the lower surface lens cover 14 are typically aluminum thin plates having substantially the same shape as the planar shape of the lens frame 12. A shaft insertion hole 29 and a screw corresponding to the shaft insertion hole 19 are provided on one opposite two sides. Screw holes 30 corresponding to the holes 20 are formed, and screw holes 33 corresponding to the screw holes 23 are formed on the other two opposite sides (in FIG. 3, two screw holes 20 and 23 are provided for two). However, only one screw hole 30, 33 is provided.) Furthermore, screw shaft holes 32 corresponding to the screw shaft holes 22 are formed on the two sides where the screw holes 33 are provided.

上面レンズカバー１３と下面レンズカバー１４のそれぞれの中央開口部３５、３６の縁は、組立時にフライアイレンズ１１の端部上、より詳細には、補強材１１ａ上にくるように設定される（図４参照）。このような構成のため、フライアイレンズ１１は、照度低下とか照度分布不良とかの問題を起こすことなく、その全てが利用可能となるので、製品の歩留まりが向上する。   The edges of the central openings 35 and 36 of the upper lens cover 13 and the lower lens cover 14 are set so as to be on the end portion of the fly-eye lens 11 at the time of assembly, more specifically on the reinforcing material 11a ( (See FIG. 4). Because of such a configuration, the fly-eye lens 11 can be used without causing problems such as a decrease in illuminance or a poor illuminance distribution, thereby improving the product yield.

下側レンズユニット３の構成は、シャフト挿入孔２９の代わりにシャフト固定ネジ９を通すためのネジ挿通孔３７を設けること以外は、上側レンズユニット２の構成とほぼ同じである。   The configuration of the lower lens unit 3 is substantially the same as the configuration of the upper lens unit 2 except that a screw insertion hole 37 for passing the shaft fixing screw 9 is provided instead of the shaft insertion hole 29.

次に、図２を参照しつつ、本装置全体の組み立て方法について説明する。組み立てに当っては、先ずベース１上に下側レンズユニット３を定置し、シャフト固定ネジ９を、段付穴８からネジ挿通孔３７へと挿通してその先端部を突出させる。そして、各シャフト固定ネジ９にリニアシャフト４をネジ付けてリニアシャフト４を立てると共に、各ネジ軸穴３２にネジ軸５を、下側ローレット５ｂを中程に位置させた状態にてネジ込んで立てる。   Next, a method for assembling the entire apparatus will be described with reference to FIG. In assembling, first, the lower lens unit 3 is placed on the base 1, and the shaft fixing screw 9 is inserted from the stepped hole 8 into the screw insertion hole 37 to project the tip portion. Then, the linear shaft 4 is screwed to each shaft fixing screw 9 to stand the linear shaft 4, and the screw shaft 5 is screwed into each screw shaft hole 32 with the lower knurl 5b being positioned in the middle. Stand up.

次いで、上側レンズユニット２を、そのシャフト挿入孔２９にリニアシャフト４の上部を挿通させると共に、そのネジ軸穴３２にネジ軸５の上部を挿通させることにより配置し、下側ローレット５ｂ上に支持させる。上側レンズユニット２の位置、換言すれば、上側レンズユニット２と下側レンズユニット３との間隔は、下側ローレット５ｂを進退させることによって調整することができる。かくして上側レンズユニット２の位置決めがなされたところで、上側ローレット５ａをネジ付けて上側レンズユニット２を固定する。   Next, the upper lens unit 2 is disposed by inserting the upper portion of the linear shaft 4 through the shaft insertion hole 29 and by inserting the upper portion of the screw shaft 5 through the screw shaft hole 32, and is supported on the lower knurled 5b. Let The position of the upper lens unit 2, in other words, the distance between the upper lens unit 2 and the lower lens unit 3 can be adjusted by moving the lower knurl 5 b forward and backward. Thus, when the upper lens unit 2 is positioned, the upper lens unit 2 is fixed by screwing the upper knurl 5a.

このようにして組み立てた本装置は、ベース１のネジ穴１０に固定ネジをネジ込むことにより、ステッパその他の利用機器に固定して使用する。その使用に際し、フライアイレンズ１１を微動調整する場合は、上述したように、各部の調整ネジ２５を進退させる。   The apparatus thus assembled is used by being fixed to a stepper or other utilization device by screwing a fixing screw into the screw hole 10 of the base 1. When finely adjusting the fly-eye lens 11 during its use, the adjusting screw 25 of each part is advanced and retracted as described above.

この発明をある程度詳細にその最も好ましい実施態様について説明してきたが、この発明の精神と範囲に反することなしに広範に異なる実施態様を構成することができることは明白なので、この発明は添付請求の範囲において限定した以外はその特定の実施態様に制約されるものではない。   Although the present invention has been described in some detail with respect to its most preferred embodiments, it is clear that the invention can be embodied in a wide variety of embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. It is not restricted to the specific embodiment other than limiting in.

本発明に係る二段式フライアイレンズ装置の外観図である。1 is an external view of a two-stage fly-eye lens device according to the present invention. 本発明に係る二段式フライアイレンズ装置の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of a two-stage fly's eye lens device according to the present invention. 本発明に係る二段式フライアイレンズ装置の上側レンズユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the upper lens unit of the two-stage fly's eye lens device according to the present invention. 本発明に係る二段式フライアイレンズ装置の上側レンズユニットの拡大縦断面図である。It is an enlarged vertical sectional view of the upper lens unit of the two-stage fly's eye lens device according to the present invention. 従来の二段式フライアイレンズの問題点を示す図である。It is a figure which shows the problem of the conventional two-stage fly-eye lens. 従来の二段式フライアイレンズの他の問題点を示す図である。It is a figure which shows the other problem of the conventional two-stage fly-eye lens.

符号の説明Explanation of symbols

１ ベース
２ 下側レンズユニット
３ 上側レンズユニット
４ リニアシャフト
５ ネジ軸
７ 開口
８ 段付き穴
９ ネジ
１０ ネジ穴
１１ フライアイレンズ
１１ａ 補強材
１２ レンズフレーム
１３ 上面レンズカバー
１４ 下面レンズカバー
１５ａ フレーム構成材
１５ｂ フレーム構成材
１５ｃ フレーム構成材
１５ｄ フレーム構成材
１６ 切除部
１７ 挿通孔
１８ ネジ穴
１９ シャフト挿通孔
２０ ネジ穴
２１ ネジ穴
２２ ネジ軸穴
２３ ネジ穴
２４ ネジ穴
２５ 調整ネジ
２６ 連結ネジ
２８ スペーサ
２９ シャフト挿通孔
３０ ネジ穴
３２ ネジ軸穴
３３ ネジ穴
３５ 中央開口部
３６ 中央開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Lower lens unit 3 Upper lens unit 4 Linear shaft 5 Screw shaft 7 Opening 8 Stepped hole 9 Screw 10 Screw hole 11 Fly eye lens 11a Reinforcement material 12 Lens frame 13 Upper surface lens cover 14 Lower surface lens cover 15a Frame constituent material 15b Frame component 15c Frame component 15d Frame component 16 Cutout portion 17 Insertion hole 18 Screw hole 19 Shaft insertion hole 20 Screw hole 21 Screw hole 22 Screw shaft hole 23 Screw hole 24 Screw hole 25 Adjustment screw 26 Connection screw 28 Spacer 29 Shaft insertion hole 30 Screw hole 32 Screw shaft hole 33 Screw hole 35 Center opening 36 Center opening

Claims (7)

フライアイレンズを有する上側レンズユニットと下側レンズユニットを適宜間隔を置いて二段に配設し、前記上側レンズユニットと下側レンズユニットの間隔は調整可能であり、また、前記上側レンズユニット及び下側レンズユニットの少なくとも一方のフライアイレンズは水平方向に微動調整可能であることを特徴とする二段式フライアイレンズ装置。   An upper lens unit having a fly-eye lens and a lower lens unit are arranged in two stages with an appropriate interval, and an interval between the upper lens unit and the lower lens unit is adjustable, and the upper lens unit and A two-stage fly-eye lens device characterized in that at least one fly-eye lens of the lower lens unit can be finely adjusted in the horizontal direction. 前記上側レンズユニットと下側レンズユニットのフライアイレンズは周囲をレンズフレームによって取り囲まれ、前記レンズフレームを通してネジ込まれる調整ネジの進退によって前記微動調整がなされる請求項１に記載の二段式フライアイレンズ装置。   2. The two-stage fly according to claim 1, wherein the fly-eye lens of the upper lens unit and the lower lens unit is surrounded by a lens frame, and the fine adjustment is performed by advancing and retracting an adjustment screw screwed through the lens frame. Eye lens device. 前記レンズフレームと前記フライアイレンズとの間にステンレス等製のスペーサが挟入される請求項２に記載の二段式フライアイレンズ装置。   The two-stage fly-eye lens device according to claim 2, wherein a spacer made of stainless steel or the like is interposed between the lens frame and the fly-eye lens. 前記フライアインレンズは、周囲に補強枠が固定されたものである請求項２に記載の二段式フライアイレンズ装置。   The two-stage fly-eye lens device according to claim 2, wherein the fly-in lens has a reinforcing frame fixed around it. 前記補強枠は前記フライアイレンズと同一資材製である請求項４に記載の二段式フライアイレンズ装置。   The two-stage fly-eye lens device according to claim 4, wherein the reinforcing frame is made of the same material as the fly-eye lens. 前記レンズフレームと前記補強枠との間にステンレス等製のスペーサが挟入される請求項４又は５に記載の二段式フライアイレンズ装置。   The two-stage fly-eye lens device according to claim 4 or 5, wherein a spacer made of stainless steel or the like is interposed between the lens frame and the reinforcing frame. ベースと、前記ベースに接して前記ベース上にリニアシャフトを介して固定される下側レンズユニットと、前記下側レンズユニット上に立てられたネジ軸を介し、前記下側レンズユニットの上方に適宜間隙を保持して配置される上側レンズユニットとを有し、前記上側レンズユニットは、前記リニアシャフトによって支持されつつ前記ネジ軸に沿って上下動可能である請求項１乃至６のいずれかに記載の二段式フライアイレンズ装置。   A base, a lower lens unit fixed to the base via a linear shaft in contact with the base, and a screw shaft standing on the lower lens unit, and appropriately above the lower lens unit An upper lens unit disposed with a gap therebetween, wherein the upper lens unit is supported by the linear shaft and is movable up and down along the screw shaft. Two-stage fly-eye lens device.

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