JP2005236004A - Two-stage fly-eye lens device - Google Patents
Two-stage fly-eye lens device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005236004A JP2005236004A JP2004042854A JP2004042854A JP2005236004A JP 2005236004 A JP2005236004 A JP 2005236004A JP 2004042854 A JP2004042854 A JP 2004042854A JP 2004042854 A JP2004042854 A JP 2004042854A JP 2005236004 A JP2005236004 A JP 2005236004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fly
- lens
- lens unit
- eye lens
- eye
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
本発明は二段式フライアイレンズ装置、より詳細には、超LSIの加工機器であるステッパ(縮小投影機)やプリント配線板用露光装置等に使用される、小さな凸レンズ(レンズ単体)を連結して構成されるフライアイレンズを、間隔を置いて二段に配置した二段式フライアイレンズ装置に関するものである。 The present invention is a two-stage fly-eye lens device. More specifically, a small convex lens (lens unit) used in a stepper (reduction projector), an exposure device for a printed wiring board, or the like, which is a processing device for VLSI, is connected. The present invention relates to a two-stage fly-eye lens device in which fly-eye lenses configured as described above are arranged in two stages at intervals.
フライアイレンズは、多数の同じレンズ単体を縦横に配列した結像素子で、それを構成するレンズ単体の数の多重像を生じ、光源が点の場合には多くの点像が得られるもので、照明系の光学特性の向上、改善等のために、各種露光装置やステッパ等に用いられている。 A fly-eye lens is an imaging element in which a large number of the same lens elements are arranged vertically and horizontally, producing multiple images of the number of lens elements constituting the same, and many point images can be obtained when the light source is a point. In order to improve and improve the optical characteristics of the illumination system, it is used in various exposure apparatuses and steppers.
上記ステッパ等において、超LSI等の更なる微小化の要請に伴ない、フライアイレンズを二段に配置する試みがなされている。その場合フライアイレンズは、4×4とか5×5のようにエレメント数が少ないときは、一般に、額縁状のレンズカバーで挟まれる。そして、レンズ外周面は遮光処理されるが、そのために照度低下を招いていた(図5)。 In the above steppers and the like, an attempt has been made to arrange fly-eye lenses in two stages in accordance with the demand for further miniaturization of VLSI and the like. In that case, the fly-eye lens is generally sandwiched between frame-shaped lens covers when the number of elements is small, such as 4 × 4 or 5 × 5. And although the lens outer peripheral surface was light-shielded, the illuminance decline was caused for that (FIG. 5).
また、額縁状のベース上に、フライアイレンズの2辺を受ける直角型の受部を固定すると共に、この受部の2辺に対してフライアイレンズを押圧するプッシャーを設置した保持具を用いることが考えられている。しかるにこの場合は、プッシャーによるフライアイレンズの微動調整が難しいだけでなく、フライアイレンズと受部及びプッシャーとの間から、レンズを通らない生の光が漏れ、照射面に特異な点(高照度の点)を生じせしめて照度分布を悪くするという問題があった(図6)。 In addition, a right-angled receiving portion that receives the two sides of the fly-eye lens is fixed on the frame-shaped base, and a holder in which a pusher that presses the fly-eye lens against the two sides of the receiving portion is installed. It is considered. However, in this case, fine adjustment of the fly-eye lens by the pusher is difficult, and raw light that does not pass through the lens leaks from between the fly-eye lens and the receiving part and the pusher, and a specific point on the irradiated surface (high There is a problem that the illuminance distribution is worsened by generating illuminance points (FIG. 6).
更に、フライアイレンズユニットを二段に配置する場合においては、両ユニットの間隔調整のために一方のユニットをZ方向に移動させることになるが、その場合、両ユニットの芯を狂わすことなく平行移動させることは至難の業である。従って、一方のレンズユニットをZ方向に移動させた後、双方のレンズユニットをX,Y軸方向に微動させて芯ズレを直す微調整をすることが要望されるところであるが、従来その微調整が可能な二段式フライアイレンズ装置は提供されていない。 Furthermore, when the fly-eye lens units are arranged in two stages, one unit is moved in the Z direction to adjust the distance between the two units. It is a difficult task to move. Accordingly, after moving one lens unit in the Z direction, it is desired to make a fine adjustment to correct the misalignment by finely moving both lens units in the X and Y axis directions. However, no two-stage fly-eye lens device is available.
上述したように、従来のフライアレンズの場合は、照度低下とか照度分布が悪いとかいった理由で製品の歩留まりが悪く、また、二段式フライアイレンズ装置においては、上段又は下段のレンズユニットを微動させて上下段のレンズユニットの芯ずれを是正するための手段がなかった。 As described above, in the case of the conventional flyer lens, the yield of the product is poor due to low illuminance or poor illuminance distribution, and in the two-stage fly-eye lens device, the upper or lower lens unit is used. There was no means to correct the misalignment of the upper and lower lens units by fine movement.
そこで本発明は、二段式のフライアイレンズ装置であって、上下段のレンズユニットの間隔調整後に上下段のレンズユニットの芯ずれ調整を行うことができ、以てレンズユニット自体の構成と相俟って、製品の品質向上と歩留まり向上に寄与し得る二段式フライアイレンズ装置を提供することを課題とする。 Therefore, the present invention is a two-stage fly-eye lens device, which can adjust the misalignment of the upper and lower lens units after adjusting the distance between the upper and lower lens units. Therefore, it is an object to provide a two-stage fly-eye lens device that can contribute to improvement of product quality and yield.
本発明は、フライアイレンズを有する上側レンズユニットと下側レンズユニットを適宜間隔を置いて二段に配設し、前記上側レンズユニットと下側レンズユニットの間隔は調整可能であり、また、前記上側レンズユニット及び下側レンズユニットの少なくとも一方のフライアイレンズは水平方向に微動調整可能であることを特徴とする二段式フライアイレンズ装置、を以て上記課題を解決した。 In the present invention, an upper lens unit having a fly-eye lens and a lower lens unit are arranged in two stages at an appropriate interval, and the interval between the upper lens unit and the lower lens unit can be adjusted. The above-described problem has been solved by a two-stage fly-eye lens device characterized in that at least one fly-eye lens of the upper lens unit and the lower lens unit can be finely adjusted in the horizontal direction.
好ましくは、前記上側レンズユニットと下側レンズユニットのフライアイレンズは周囲をレンズフレームによって取り囲まれ、前記レンズフレームを通してネジ込まれた調整ネジの進退によって前記微動調整がなされる。 Preferably, the fly-eye lens of the upper lens unit and the lower lens unit is surrounded by a lens frame, and the fine adjustment is performed by advancing and retreating an adjusting screw screwed through the lens frame.
また、好ましくは、前記フライアインレンズは、周囲に補強枠が固定されたものであり、前記補強枠は前記フライアイレンズと同一資材製であり、前記レンズフレームと前記補強枠との間にステンレス等製のスペーサが挟入される。 Preferably, the fly-in lens has a reinforcing frame fixed around, the reinforcing frame is made of the same material as the fly-eye lens, and stainless steel is interposed between the lens frame and the reinforcing frame. An equivalent spacer is inserted.
また、好ましくは本装置は、ベースと、前記ベースに接して前記ベース上にリニアシャフトを介して固定される下側レンズユニットと、前記下側レンズユニット上に立てられたネジ軸を介し、前記下側レンズユニットの上方に適宜間隙を保持して配置される上側レンズユニットとを有し、前記上側レンズユニットは、前記リニアシャフトによって支持されつつ前記ネジ軸に沿って上下動可能に構成される。 Preferably, the apparatus includes a base, a lower lens unit that is in contact with the base and fixed on the base via a linear shaft, and a screw shaft that is erected on the lower lens unit. An upper lens unit that is disposed with an appropriate gap above the lower lens unit, and the upper lens unit is configured to be vertically movable along the screw shaft while being supported by the linear shaft. .
本発明に係る二段式フライアイレンズ装置によれば、上下段のレンズユニットの間隔調整後に上下段のレンズユニットの芯ずれ調整を行うことができ、以てレンズユニット自体の構成と相俟って、製品の品質向上と歩留まり向上に寄与し得る効果がある。 According to the two-stage fly-eye lens device of the present invention, it is possible to adjust the misalignment of the upper and lower lens units after adjusting the distance between the upper and lower lens units, which is combined with the configuration of the lens unit itself. Thus, there is an effect that can contribute to improvement of product quality and yield.
本発明の好ましい実施の形態につき、添付図面に依拠して説明する。図1は本発明に係るフライアイレンズ装置の全体構成を示す斜視図、図2はその分解斜視図である。そこに示された本装置は、ベース1と、ベース1に接してベース1上にリニアシャフト4を介して固定される下側レンズユニット3と、下側レンズユニット3上に立てられたネジ軸5を介し、下側レンズユニット3の上方に適宜間隙を保持して配置される上側レンズユニット2とから成る。
A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of a fly-eye lens device according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view thereof. The apparatus shown therein includes a base 1, a
ベース1はその中央部に、後述する上下のレンズユニット2、3に組み込まれるフライアイレンズ11のサイズに対応する大きさの方形開口7を有し、方形開口7の2つの対向する縁辺に、段付き穴8が、例えば、それぞれ2個宛形成される。段付き穴8には、後述するように、リニアシャフト4の一端面にネジ込まれることになるシャフト固定ネジ9の頭を隠すと共に係止するための段部が形成される。また、ベース1の四隅には、本装置をステッパー等の利用機器に固定するためのネジ穴10が形成される。
The base 1 has a
図3は上側レンズユニット2の構成を示す分解斜視図で、上側レンズユニット2は、フライアイレンズ11と、フライアイレンズ11の四周を取り巻くレンズフレーム12と、フライアイレンズ11を挟持する上下面のレンズカバー13、14とから成る。
3 is an exploded perspective view showing the configuration of the
フライアイレンズ11は、レンズ単体を縦横に接合して構成したレンズ集合体であるが、その周囲に、適宜幅の補強枠11aを固定することが好ましい。補強枠11aの素材は特に問わず、金属製であってもよいが、好ましくは、レンズ単体と同一素材製(通例石英ガラス)とする。また、補強枠11aは、予め四角形に組んだものであって、その中にフライアイレンズ11を嵌め込むこととしてもよいし、4本の角棒材をフライアイレンズの周囲に接着、溶着等によって固定することとしてもよい。
The fly-
フライアイレンズ11は、その構成レンズ数が多い場合最外周は使用しないことが多いので、補強枠11aが存在しても、フライアイレンズとしての機能が阻害されることはない。また、補強枠11aによって周辺部が保護されるため、周辺部のレンズ単体の端部が欠損することが防止される。
The fly-
レンズフレーム12は、通例同一形状の4つのフレーム構成材15a〜15dを井桁状に組むことにより形成される。
The
フレーム構成材15a〜15dは、一角部に四角の切除部16を設けた平板で、その切除部16に、連結ネジを挿通するための挿通孔17が、幅方向に1又は複数貫設され、切除部16と反対側の端面には、挿通孔17と直交する方向に、別のフレーム構成材15a〜15dの挿通孔17に対応するネジ穴18が穿設される。
Each of the frame members 15a to 15d is a flat plate having a
対向する一対のフレーム構成材15a、15bには、リニアシャフト4を縦方向に挿通するためのシャフト挿通孔19が1又は複数透設されると共に、シャフト挿通孔19よりも外側にネジ穴20が形成される。フレーム構成材15a、15bには更に、シャフト挿通孔19とネジ穴20、20の間において、それぞれ幅方向に抜ける調整ネジ25のネジ穴21が貫設される。
One or a plurality of
また、他方の対向する一対のフレーム構成材15c、15dには、ネジ軸5をネジ込むためのネジ軸穴22が1又は2形成されると共に、ネジ軸穴22の両側に、ネジ穴23が形成される。フレーム構成材15c、15dには更に、ネジ軸穴22とネジ穴23との間においてそれぞれ幅方向に抜ける調整ネジ25のネジ穴24が貫設される。
Further, one or two
レンズフレーム12の組み立てに当っては、1つのフレーム構成材15aのネジ穴18形成端面に、他のフレーム構成材15dの挿通孔17形成端部を当てがい、連結ネジ26を切除部16側より挿通孔17に挿入貫通させてネジ穴18にネジ込む。このような操作を各フレーム構成材15a〜15d間において行ない、フレーム構成材15a〜15dを井桁状に組む。
In assembling the
このようにして組み立てられたレンズフレーム12の開口部のサイズは、補強枠11aを含むフライアイレンズ11のサイズより少し大きくなるように設定される。従って、フライアイレンズ11は上方からレンズフレーム12の開口部内に落とし込むことができる。その際開口部27の内側面とフライアイレンズ11の外側面との間に隙間ができるが、本発明においては、その隙間に、通例ステンレス製のスペーサ28が挿入される。
The size of the opening of the
かくして調整ネジ25をネジ穴24にネジ込み、螺進させていくと、やがて調整ネジ25の先端がネジ孔24から出てスペーサー28に当たる。そこで、各フレーム構成材15a〜15dの調整ネジを適宜進退させることにより、レンズフレーム12内におけるフライアイレンズ12の微妙な位置調整が可能となる。その際調整ネジ25の先端はスペーサー28に当たるので、調整ネジ25の先端がフライアイレンズ11又は補強枠11aに喰い込んで損傷を与えることはない。
Thus, when the
上面レンズカバー13と下面レンズカバー14は、レンズフレーム12の平面形状とほぼ同じ形状の、通例アルミニウム製薄板で、一方の対向する2辺に、シャフト挿通孔19に対応するシャフト挿通孔29及びネジ穴20に対応するネジ穴30が形成され、また、他方の対向する2辺に、ネジ穴23に対応するネジ穴33が形成される(図3では、ネジ穴20、23は2個宛設けてあるが、ネジ穴30、33は1個のみ設けてある。)。更に、ネジ穴33を設ける2辺に、ネジ軸穴22に対応するネジ軸穴32が形成される。
The upper surface lens cover 13 and the lower surface lens cover 14 are typically aluminum thin plates having substantially the same shape as the planar shape of the
上面レンズカバー13と下面レンズカバー14のそれぞれの中央開口部35、36の縁は、組立時にフライアイレンズ11の端部上、より詳細には、補強材11a上にくるように設定される(図4参照)。このような構成のため、フライアイレンズ11は、照度低下とか照度分布不良とかの問題を起こすことなく、その全てが利用可能となるので、製品の歩留まりが向上する。
The edges of the
下側レンズユニット3の構成は、シャフト挿入孔29の代わりにシャフト固定ネジ9を通すためのネジ挿通孔37を設けること以外は、上側レンズユニット2の構成とほぼ同じである。
The configuration of the
次に、図2を参照しつつ、本装置全体の組み立て方法について説明する。組み立てに当っては、先ずベース1上に下側レンズユニット3を定置し、シャフト固定ネジ9を、段付穴8からネジ挿通孔37へと挿通してその先端部を突出させる。そして、各シャフト固定ネジ9にリニアシャフト4をネジ付けてリニアシャフト4を立てると共に、各ネジ軸穴32にネジ軸5を、下側ローレット5bを中程に位置させた状態にてネジ込んで立てる。
Next, a method for assembling the entire apparatus will be described with reference to FIG. In assembling, first, the
次いで、上側レンズユニット2を、そのシャフト挿入孔29にリニアシャフト4の上部を挿通させると共に、そのネジ軸穴32にネジ軸5の上部を挿通させることにより配置し、下側ローレット5b上に支持させる。上側レンズユニット2の位置、換言すれば、上側レンズユニット2と下側レンズユニット3との間隔は、下側ローレット5bを進退させることによって調整することができる。かくして上側レンズユニット2の位置決めがなされたところで、上側ローレット5aをネジ付けて上側レンズユニット2を固定する。
Next, the
このようにして組み立てた本装置は、ベース1のネジ穴10に固定ネジをネジ込むことにより、ステッパその他の利用機器に固定して使用する。その使用に際し、フライアイレンズ11を微動調整する場合は、上述したように、各部の調整ネジ25を進退させる。
The apparatus thus assembled is used by being fixed to a stepper or other utilization device by screwing a fixing screw into the
この発明をある程度詳細にその最も好ましい実施態様について説明してきたが、この発明の精神と範囲に反することなしに広範に異なる実施態様を構成することができることは明白なので、この発明は添付請求の範囲において限定した以外はその特定の実施態様に制約されるものではない。 Although the present invention has been described in some detail with respect to its most preferred embodiments, it is clear that the invention can be embodied in a wide variety of embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. It is not restricted to the specific embodiment other than limiting in.
1 ベース
2 下側レンズユニット
3 上側レンズユニット
4 リニアシャフト
5 ネジ軸
7 開口
8 段付き穴
9 ネジ
10 ネジ穴
11 フライアイレンズ
11a 補強材
12 レンズフレーム
13 上面レンズカバー
14 下面レンズカバー
15a フレーム構成材
15b フレーム構成材
15c フレーム構成材
15d フレーム構成材
16 切除部
17 挿通孔
18 ネジ穴
19 シャフト挿通孔
20 ネジ穴
21 ネジ穴
22 ネジ軸穴
23 ネジ穴
24 ネジ穴
25 調整ネジ
26 連結ネジ
28 スペーサ
29 シャフト挿通孔
30 ネジ穴
32 ネジ軸穴
33 ネジ穴
35 中央開口部
36 中央開口部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004042854A JP2005236004A (en) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | Two-stage fly-eye lens device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004042854A JP2005236004A (en) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | Two-stage fly-eye lens device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005236004A true JP2005236004A (en) | 2005-09-02 |
Family
ID=35018643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004042854A Pending JP2005236004A (en) | 2004-02-19 | 2004-02-19 | Two-stage fly-eye lens device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005236004A (en) |
-
2004
- 2004-02-19 JP JP2004042854A patent/JP2005236004A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE60317142T2 (en) | Optical device, optical unit and projector | |
US11448951B2 (en) | Projection lens and projector | |
DE19959257A1 (en) | Image projection display device has several cooling fans for light valves and heat sources within housing of display device and extraction fan for cooling air | |
KR100621184B1 (en) | Optical engine and image projecting apparatus having the same | |
JP2010113114A (en) | Rear projection image display | |
US20130335714A1 (en) | Optical apparatus and support stand thereof | |
US8979283B2 (en) | Optical apparatus | |
JP2005236004A (en) | Two-stage fly-eye lens device | |
JP2000089684A (en) | Projection type picture display device | |
JP2003241308A (en) | Rear projector | |
JP3937349B2 (en) | Optical unit, method for manufacturing the same, and projection display device | |
JP3457876B2 (en) | Multi-vision screen mounting structure and display core unit | |
JP2000314919A (en) | Position adjusting mechanism for integrator lens and projector using the mechanism | |
CN101004547A (en) | Rear projection display apparatus | |
JP2004309529A (en) | Video distortion correction mechanism for back projection type video display device and back projection type video display device | |
JP2005128370A (en) | Projection optical unit | |
JP2004272258A (en) | Liquid crystal cell, projection lens structure, and video projection device using the same | |
US7651226B2 (en) | Light masking for a segmented display system | |
JP2003302703A (en) | Projection display | |
JP2006133656A (en) | Projection type display device | |
JP3090282B2 (en) | Projector optical system adjustment mechanism | |
JP2008225028A (en) | Mirror support mechanism | |
JP2006154424A (en) | Mirror support mechanism | |
JPH06110032A (en) | Liquid crystal module position adjusting mechanism of liquid crystal projector | |
JP2000250223A (en) | Exposure device |