JP2005235973A - 吸着固定用シート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る吸着固定用シートは、被吸着部材の吸引固定に用い、かつ少なくとも多孔質シート1を含み構成される吸着固定用シートであって、前記多孔質シート1の被吸着部材に対する吸着面の非開孔部3に、平均間隔が0.1μm〜20μmの凹凸2が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
以上のようにして作製した各吸着固定用シートについて、凹凸の平均間隔及び表面粗さを測定した。また、各吸着固定用シートの表面に粘着テープを貼り付け、このときの粘着テープとの接着力を測定した。それらの結果を下記表1に示す。尚、測定方法及び測定条件は以下の通りである。
吸着固定用シートの吸着面に於ける凹凸の平均間隔は、SEM(走査型電子顕微鏡)で観察して行った。観察は、吸着面に平行な方向に於いて、非開孔部についてある基準長さだけ抜き取り、その抜き取り部分の中にある凹部から隣の凹部までの距離を各々全て測定して行った。更に、測定値を平均化して凹凸の平均間隔を算出した。尚、観察倍率は500倍とした。
吸着固定用シートの表面粗さは、触針式表面粗さ計((株)東京精密、サーフコム550A)を用いて測定した。測定条件は、先端径R250μm、速度0.3mm/sec、測定長4mmとした。尚、表面粗さ(Ra)は、凹凸が設けられた部分のみの値ではなく、吸着面の孔も含めて測定した。
粘着テープとの接着力は、各吸着固定用シートの表面(吸着面)に粘着テープを貼り、一定時間室温で放置した後、引っ張り試験機でその接着力を測定して行った。尚、測定時の環境も室温とした。
又、測定条件は、張り付け2Nローラ1往復、貼り付け後放置時間5分、試料幅19mm、引張速度300mm/min、ピール角度180度とした。
各吸着固定用シートを用いた誘電シートの吸引固定及び剥離に関しては、以下のようにして行った。
2 凹凸
3 非開孔部
Claims (7)
- 被吸着部材の吸引固定に用い、かつ少なくとも多孔質シートを含み構成される吸着固定用シートであって、
前記多孔質シートの被吸着部材に対する吸着面の非開孔部に、平均間隔が0.1μm〜20μmの凹凸が設けられていることを特徴とする吸着固定用シート。 - 前記多孔質シートが、超高分子量ポリエチレンを含む焼結体から構成されることを特徴とする請求項1に記載の吸着固定用シート。
- 前記吸着面の表面粗さ(Ra)が1.2μm以下であり、かつ、粘着テープとの接着力が1.0N/19mm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の吸着固定用シート。
- 前記多孔質シートの吸着面とは反対側の面に、1層又は複数層の他の多孔質シートが積層されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の吸着固定用シート。
- 被吸着部材の吸引固定に用い、かつ少なくとも多孔質シートを含み構成される吸着固定用シートの製造方法であって、
前記多孔質シートを作製する工程と、
前記多孔質シートの表面に平均間隔が0.1μm〜20μmの凹凸を形成する工程とを含むことを特徴とする吸着固定用シートの製造方法。 - 前記多孔質シートを作製する工程は、
超高分子量ポリエチレン粉末を金型に充填し、所定条件で焼結してブロック状多孔質体を作製する工程と、
前記ブロック状多孔質体を所定厚さのシート状に切削して、多孔質シートを作製する工程とを含むことを特徴とする請求項5に記載の吸着固定用シートの製造方法。 - 前記凹凸の形成は、表面粗さ(Ra)が0.01〜5μmの型部材に於ける表面形状を、前記多孔質シートの吸着面側に形状転写して行うことを特徴とする請求項5又は6に記載の吸着固定用シートの製造方法。
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