JP2005222889A - 対物レンズ駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 顕微鏡の対物レンズ102を平行リンク機構134、135、136、137によって、その光軸方向112に移動可能に保持するとともに、アクチュエータ109によって前記光軸方向112と異なる方向113に駆動力を生じさせ、この駆動力を、この駆動方向及び対物レンズの光軸方向112に垂直な方向を回転軸として回転可能なリンク機構131、133によって、平行リンク機構134、135、136、137に伝達する。
【選択図】 図3
Description
図示するように、電子ビーム近接露光装置は、電子光学鏡筒(カラム)10を備えている。カラム10内には、電子ビーム15を発生する電子ビーム源14と整形アパチャ16と電子ビーム15を平行ビームにする照射レンズ18とを有する電子銃12、対となる主偏向器22、24と、対となる副偏向器51、52とを含み、電子ビームを光軸に平行に走査する走査手段21、露光するパターンに対応する開口を有するマスク30、マスク30を保持するマスクステージ31、静電チャック44とXYステージ46とから構成される。試料(半導体ウエハ)40は、表面にレジスト層42が形成され、静電チャック44上に保持されている。
対物レンズ駆動装置は、対物レンズの移動量を測定する変位センサを備えることとが好適であり、この変位センサは、静電容量センサ及び歪みゲージのいずれかとしてよい。
図中の斜線にて示す部分が穿孔によって設けられた開口部である。
また隅部部位148は、この第2のリンク機構と後述の平行リンク機構の可動部位136とを連結する第1の連結機構をなし、連結部位132は、第1のリンク機構と第2のリンク機構を連結する第2の連結機構をなす。
さらに、第3レバー134の他端は、y方向を軸に、部位141にて固定部位137に回転可能に接続されている。また第4レバー135の他端は、y方向を軸に、部位142にて固定部位137に回転可能に接続されている。
第3レバー134、第4レバー135、可動部位136及び固定部位137により、平行リンク機構が構成される。ここに、第3レバー134と第4レバー135とは同じ長さに形成され、また可動部位136の部位143、144間の長さと、固定部位137の部位141、142間の長さとは同じ長さに形成される。
さらに固定部位137は、固定底部部材106及び/又は固定端103に固定されている。
固定部位137に固定された電歪素子109が伸長すると、駆動力伝達部材121を介して第1レバー131が押され、第1レバー131は部位145を支点に回転移動する。その変位は連結部位132を介して第2レバー133の部位149に伝達される。
また、中空部材201の下方にはアクチュエータ109が固定支持されて設けられている。アクチュエータ109は、図示しない信号線からの電気信号によりx方向に伸縮して、リンク部材251、252にx方向の駆動力を与える。
固定端202に固定されたアクチュエータ109が伸長すると、リンク部材251が押されて板バネ233を支点に回転移動する。リンク部材251は板バネ233にて板バネ支持部材216及び固定された中空部材201に回転可能に固定されているテコであるため、アクチュエータ109による駆動力は、その方向が変更されて、変位量が拡大(又は縮小)されて、連結部材226へと伝達される。
101…中空部材
102…対物レンズ
103…固定端
104…弾性ヒンジ機構
105…可動底部部材
106…固定底部部材
107、108…変位センサ
109…アクチュエータ
111…ミラー
Claims (10)
- 電子線露光装置に使用される顕微鏡の対物レンズ駆動装置であって、
一方の端部が固定端と、また他方の端部が対物レンズと接続されて、前記対物レンズを、その光軸に平行移動可能に支持するための平行リンク機構と、
前記対物レンズの光軸と所定の角度をなす第1の方向へ駆動力を生じるアクチュエータと、
前記対物レンズの光軸方向と前記第1の方向とに垂直な第2の方向を回転軸として、前記固定端に回転可能に支持され、前記アクチュエータによって駆動されるリンク機構と、
前記平行リンク機構と前記リンク機構とを連結する連結機構と、
を備えることを特徴とする対物レンズ駆動装置。 - 前記アクチュエータは、前記第1の方向へ伸縮する電歪素子であることを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ駆動装置。
- 前記アクチュエータは、その駆動方向を前記対物レンズの光軸と直角方向に設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の対物レンズ駆動装置。
- 前記対物レンズの移動量を測定する変位センサを備えることを特徴とする、請求項1に記載の対物レンズ駆動装置。
- 前記変位センサは、静電容量センサ及び歪みゲージのいずれかであることを特徴とする請求項4に記載の対物レンズ駆動装置。
- 前記平行リンク機構、前記リンク機構及び前記連結機構は、1つの平板の1つの面を穿孔することにより、該穿孔による開口部以外の前記面の部分に一体成形されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の対物レンズ駆動装置。
- 平板は、前記面が前記第2の方向と垂直に設けられることを特徴とする、請求項6に記載の対物レンズ駆動装置。
- 前記対物レンズからの光を反射し、前記顕微鏡の光学系へと導く反射部を備え、
前記平板は、前記面が、前記反射部によって反射された前記対物レンズからの光に沿って、設けられることを特徴とする、請求項7に記載の対物レンズ駆動装置。 - 前記平板は、非磁性材料であることを特徴とする請求項6に記載の対物レンズ駆動装置。
- 前記平板は、セラミクス、銅、リン青銅、ベリリウム銅、アルミニウム及びチタンのいずれかの材料であることを特徴とする請求項6に記載の対物レンズ駆動装置。
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- 2004-02-09 JP JP2004031933A patent/JP2005222889A/ja active Pending
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