JP2005220790A - Swash plate type fluid machine - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a swash plate type fluid machine for preventing the progress of local wear between a valve plate and a cylinder barrel due to "an end tooth bearing phenomenon of the cylinder barrel on the valve plate" which inevitably occurs in a specific mechanism for the swash plate fluid machine. <P>SOLUTION: After a diamond-like carbon coating is applied to the sliding surface of one of the valve plate or the cylinder barrel, a slide contact supporting member is mounted on part of the inner wall of a casing for suppressing the eccentricity of the cylinder barrel, the other sliding surface opposed to the diamond-like carbon coating is formed of a stress relaxing material, or a slit groove is formed in the outer peripheral face of the valve plate near the cylinder barrel continuously along the peripheral face. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、斜板型アキシャルピストンポンプまたは斜板型アキシャルモータとして使用される斜板型流体機械に関するものである。   The present invention relates to a swash plate type fluid machine used as a swash plate type axial piston pump or a swash plate type axial motor.

従来の斜板型流体機械の構成を、その一例として斜板型アキシャルピストンポンプを挙げて、説明する。図８は、かかる斜板型アキシャルピストンポンプの構成を示す断面図である。図中、１はケーシング、２はエンドプレート、３はグレードル、４は回転軸、５はシリンダバレル、６はピストン、７はピストンシュー、８は斜板、９は弁板である。   The configuration of a conventional swash plate type fluid machine will be described by taking a swash plate type axial piston pump as an example. FIG. 8 is a cross-sectional view showing a configuration of such a swash plate type axial piston pump. In the figure, 1 is a casing, 2 is an end plate, 3 is a grade, 4 is a rotating shaft, 5 is a cylinder barrel, 6 is a piston, 7 is a piston shoe, 8 is a swash plate, and 9 is a valve plate.

前記エンドプレート２はケーシング１の一端部に固定され、ケーシング１の他端部にはグレードル３が固定されている。これらエンドプレート２とクレードル３の各中央部には軸受１１が取り付けられており、これら軸受１１によって回転軸４がケーシング１に回転自在に軸支されている。前記エンドプレート２には作動流体の吸入口１２と吐出口１３とが各々設けられている。これらケーシング１とエンドプレート２とグレードル３とで囲まれる空間は作動流体が満たされた作動流体室１４として利用される。   The end plate 2 is fixed to one end of the casing 1, and the grade 3 is fixed to the other end of the casing 1. Bearings 11 are attached to the center portions of the end plate 2 and the cradle 3, and the rotating shaft 4 is rotatably supported on the casing 1 by the bearings 11. The end plate 2 is provided with a working fluid suction port 12 and a discharge port 13, respectively. A space surrounded by the casing 1, the end plate 2 and the grade 3 is used as a working fluid chamber 14 filled with a working fluid.

前記回転軸４のグレードル３側の端部はグレードル３を貫通しており、外部のモータや原動機などの駆動装置（不図示）に連結され、この駆動装置により回転される。前記シリンダバレル５は、回転バレル型のブロックであり、前記作動流体室１４内において回転軸４にスプライン係合により固定されおり、回転軸４と一体的に回転される。このシリンダバレル５には、回転の周方向に等間隔に配置されるとともに回転軸に平行な複数のシリンダ５ａが穿設されており、それぞれのシリンダ５ａにはピストン６が往復摺動自在に嵌入されている。各ピストン６の開放端は球状に形成されており、その球状部分にはピストンシュー７が回動自在に覆うように嵌合され、自在継ぎ手機構を構成している。   The end of the rotary shaft 4 on the side of the gradle 3 passes through the gradle 3, is connected to a drive device (not shown) such as an external motor or a prime mover, and is rotated by this drive device. The cylinder barrel 5 is a rotary barrel type block, is fixed to the rotary shaft 4 by spline engagement in the working fluid chamber 14, and is rotated integrally with the rotary shaft 4. The cylinder barrel 5 is provided with a plurality of cylinders 5a arranged at equal intervals in the circumferential direction of rotation and parallel to the rotation axis, and pistons 6 are fitted into the respective cylinders 5a so as to be freely slidable. Has been. The open end of each piston 6 is formed in a spherical shape, and a piston shoe 7 is fitted to the spherical portion so as to freely rotate, thereby constituting a universal joint mechanism.

前記斜板８は、全体がほぼ環形板状の部材であり、支持手段１５を介してグレードル３に固定されている。この斜板８の中央には前記回転軸４が非接触状態に貫通されるとともに、前記支持手段１５により回転軸４の軸線に斜めに交差する姿勢に固定されている。なお、この斜板８の傾斜角度は前記支持手段１５により調節可能になっている。また、斜板８のシリンダバレル５に面する円周面には環形板状のスラストプレート１６が取り付けられている。この環形板状のプレート１６には前記各ピストンシュー７がそれぞれ常にプレートの全周面に沿って摺動可能に環状の枠体１７により取り付けられている。換言すれば、各ピストン６の頭部に自在継ぎ手機構を持って取り付けられているピストンシュー７は、スラストプレート１６と環状の枠体１７とによって、スラストプレート１６の傾斜円軌道を描く円周面上に摺動可能な状態で常に位置するように強制されていることになる。   The swash plate 8 is a substantially ring-shaped member as a whole, and is fixed to the grade 3 via the support means 15. In the center of the swash plate 8, the rotating shaft 4 penetrates in a non-contact state and is fixed by the support means 15 in a posture that obliquely intersects the axis of the rotating shaft 4. The inclination angle of the swash plate 8 can be adjusted by the support means 15. An annular plate-like thrust plate 16 is attached to the circumferential surface of the swash plate 8 facing the cylinder barrel 5. Each of the piston shoes 7 is attached to the annular plate-like plate 16 by an annular frame 17 so as to be slidable along the entire circumferential surface of the plate. In other words, the piston shoe 7 attached to the head of each piston 6 with a universal joint mechanism has a circumferential surface that draws an inclined circular orbit of the thrust plate 16 by the thrust plate 16 and the annular frame 17. It is forced to always be in a slidable state.

前記弁板９は、前記シリンダバレル５とほぼ同外径寸法の環形板状部材であり、回転軸４に非接触状態で前記エンドプレート２に固定され、前記シリンダバレル５の端面に摺動自在となっている。この環形板状の弁板９は、ステンレスで形成されており、そのシリンダバレル５側から見た端面を示す図９に見るように、前記エンドプレート１２の吸入口１２と連通する低圧ポート９ａと、同エンドプレート１２の吐出口１３に連通する高圧ポート９ｂが穿設されている。これらポート９ａ、９ｂは、図８および図９に見るように、回転軸４の軸心を中心した円弧状をなす長穴であり、一方の低圧ポート９ａはエンドプレート２の吸入口１２のみに連通し、他方の高圧ポート９ｂはエンドプレート２の吐出口１３のみに連通している。なお、９８において、斜線で示した面は、前記シリンダバレル５に接触する摺接面１８であり、前記長穴状のポート９ａ，９ｂの内側と外側には、回転軸４側に開口するリング状のレリーフ溝１８ａと弁板９の外周縁側に開口するリング状のレリーフ溝１８ｂが刻設されている。これらレリーフ溝１８ａ，１８ｂは、前記摺接面１８の総面積を低減させるとともに、作動流体室１４内の作動流体を潤滑油として摺接面１０に供給する役目を果たすもので、これによりシリンダバレル５と弁板９との摺動を滑らかにしている。   The valve plate 9 is a ring-shaped plate member having substantially the same outer diameter as the cylinder barrel 5, is fixed to the end plate 2 in a non-contact state with the rotary shaft 4, and is slidable on the end surface of the cylinder barrel 5. It has become. The annular plate-shaped valve plate 9 is made of stainless steel, and as shown in FIG. 9 showing an end surface viewed from the cylinder barrel 5 side, a low-pressure port 9a communicating with the inlet 12 of the end plate 12 and A high-pressure port 9b communicating with the discharge port 13 of the end plate 12 is formed. As shown in FIGS. 8 and 9, these ports 9a and 9b are elongated holes having an arc shape centering on the axis of the rotating shaft 4, and one low-pressure port 9a is provided only at the inlet 12 of the end plate 2. The other high-pressure port 9 b communicates only with the discharge port 13 of the end plate 2. In addition, in 98, the hatched surface is a slidable contact surface 18 that contacts the cylinder barrel 5. Rings that open toward the rotary shaft 4 are provided inside and outside the elongated holes 9a and 9b. A ring-shaped relief groove 18a and a ring-shaped relief groove 18b opened on the outer peripheral edge side of the valve plate 9 are engraved. The relief grooves 18a and 18b serve to reduce the total area of the sliding contact surface 18 and to supply the working fluid in the working fluid chamber 14 to the sliding contact surface 10 as lubricating oil. 5 and the valve plate 9 are made to slide smoothly.

前記構成の斜板型アキシャルピストンポンプは、その回転軸４を不図示の駆動装置により駆動することにより、ポンプ動作を実現する。このポンプ動作では、まず、回転軸４が駆動されることにより、この回転軸４と一体になっているシリンダバレル５が回転する。このシリンダバレル５の複数のシリンダ５ａに嵌入されているピストン５の頭部に回動自在に取り付けられてるピストンシュー７も、シリンダバレル５と一体に回転することになり、その回転に伴って、ピストンシュー７は斜板８上のスラストプレート１４と枠体１６とにより設定された傾斜軌道上を摺動する。このようにピストンシュー７は、シリンダ５ａに対して傾斜した軌道上を摺動回転するので、回転に伴って、ピストン６はシリンダ５ａに対して往復動することになる。そして、弁板９はケーシング１に対して固定状態にあるので、回転するシリンダバレル５は弁板９に対して摺動することになる。   The swash plate type axial piston pump having the above-described configuration realizes a pump operation by driving the rotating shaft 4 by a driving device (not shown). In this pump operation, first, when the rotating shaft 4 is driven, the cylinder barrel 5 integrated with the rotating shaft 4 rotates. The piston shoe 7 that is rotatably attached to the heads of the pistons 5 fitted in the plurality of cylinders 5a of the cylinder barrel 5 also rotates integrally with the cylinder barrel 5, and along with the rotation, The piston shoe 7 slides on an inclined track set by the thrust plate 14 and the frame 16 on the swash plate 8. As described above, the piston shoe 7 slides and rotates on a track inclined with respect to the cylinder 5a, so that the piston 6 reciprocates with respect to the cylinder 5a with the rotation. Since the valve plate 9 is fixed to the casing 1, the rotating cylinder barrel 5 slides with respect to the valve plate 9.

このように、斜板８の傾斜角度にしたがってピストン６がその軸方向に往復動されるので、その往復動に伴ってシリンダ５ａとピストン６とがピストン動作を行うことになる。前記ピストン６の往復動により、シリンダ５ａ内が減圧になる回転区間では、シリンダ５ａ底部の開口は、弁板９の円弧状長穴形の低圧ポート９ａに長穴のいずれかの位置で重なっており、シリンダ５ａ内が圧縮により加圧状態となる回転区間では、シリンダ５ａ底部の開口は、弁板９の円弧状長穴形の高圧ポート９ｂに長穴のいずれかの位置で重なっている。したがって、エンドプレート２の吸入口１２から弁板９の低圧ポート９ａを通ってシリンダバレル５内に作動流体が吸い込まれ、こうして吸い込まれた作動流体が圧縮されて弁板９の高圧ポート９ｂを通ってエンドプレート２の吐出口１３から高圧作動流体として吐出される。   Thus, since the piston 6 is reciprocated in the axial direction according to the inclination angle of the swash plate 8, the cylinder 5a and the piston 6 perform the piston operation along with the reciprocation. In the rotation section in which the inside of the cylinder 5a is depressurized by the reciprocating motion of the piston 6, the opening at the bottom of the cylinder 5a overlaps the arcuate elongated hole-shaped low pressure port 9a of the valve plate 9 at any position of the elongated hole. In the rotation section in which the inside of the cylinder 5a is pressurized due to compression, the opening at the bottom of the cylinder 5a overlaps the arc-shaped elongated hole-shaped high-pressure port 9b of the valve plate 9 at any position of the elongated hole. Therefore, the working fluid is sucked into the cylinder barrel 5 from the suction port 12 of the end plate 2 through the low pressure port 9a of the valve plate 9, and the sucked working fluid is compressed and passes through the high pressure port 9b of the valve plate 9. And discharged from the discharge port 13 of the end plate 2 as a high-pressure working fluid.

なお、以上のポンプ構成は、その弁板９の形状変更の上、圧流体を作動流体の出入り口１２，１３に前記と逆に通すようにすれば、圧流体の流動エネルギーによってピストン運動を起こして回転軸４を回転させることができる。すなわち、圧流体の流動エネルギーを回転軸の回転エネルギーに変換する斜板型のアキシャルピストンモータを実現することができる。   In the above pump configuration, when the shape of the valve plate 9 is changed and the pressurized fluid is passed through the working fluid inlets 12 and 13 in the opposite direction, piston movement is caused by the flow energy of the pressurized fluid. The rotating shaft 4 can be rotated. That is, it is possible to realize a swash plate type axial piston motor that converts flow energy of pressurized fluid into rotational energy of a rotating shaft.

前述のように、ピストンシュー７が斜板８上のスラストプレート１６によって設定された傾斜円軌道上を摺動することにより、回転軸４に一体化されたシリンダバレル５のシリンダ５ａとピストン６とがピストン動作を行うことになるわけである。この場合、ピストン６の往復動は、ピストンシュー７が回転軸４に対して傾斜した円軌道上を摺動することによりもたらされており、ピストンシュー７がピストン６に対して自在継ぎ手機構により回動自在となっていても、斜板８からピストン６へ発生する駆動力はピストン６の軸線に平行ではなく、傾斜した方向に働くことは、避けることができない。したがって、ピストン６にはシリンダ５ａの軸心方向の往復駆動力が働くと同時に、シリンダ５ａの側壁に向かう付勢力が分力として常に発生することになる。   As described above, the piston shoe 7 slides on the inclined circular orbit set by the thrust plate 16 on the swash plate 8, so that the cylinder 5 a and the piston 6 of the cylinder barrel 5 integrated with the rotary shaft 4 are provided. Will perform the piston operation. In this case, the reciprocating motion of the piston 6 is caused by the piston shoe 7 sliding on a circular orbit inclined with respect to the rotating shaft 4, and the piston shoe 7 is moved to the piston 6 by a universal joint mechanism. Even if it is rotatable, it is unavoidable that the driving force generated from the swash plate 8 to the piston 6 is not parallel to the axis of the piston 6 and works in an inclined direction. Therefore, a reciprocating driving force in the axial direction of the cylinder 5a acts on the piston 6, and at the same time, an urging force toward the side wall of the cylinder 5a is always generated as a component force.

このような、いわゆる「ピストン６のシリンダ５ａに対する片当たり力」の発生によって、ピストン６はシリンダ５ａの内壁面に局部的に強く当接することになる。それに伴って、ピストン６およびシリンダ５ａに摩耗が発生しやすくなる。   Due to the generation of such a so-called “one-sided force of the piston 6 against the cylinder 5a”, the piston 6 locally abuts against the inner wall surface of the cylinder 5a. As a result, the piston 6 and the cylinder 5a are likely to be worn.

さらに、このような複数のピストン６によるシリンダバレル５のシリンダ５ａに掛かる片当たり力は、シリンダバレル５全体に対して回転軸４の軸心に交差する方向に付勢することになる。その結果、シリンダバレル５は、弁板９に対して、微少量であるが傾斜する傾向を持つことになる。この傾斜傾向は、斜板８の傾斜に沿う方向になるため、図８で見ると、図の上側、すなわち、弁板９の高圧ポート９ａ側に隙間を形成しようとする力が常に働くことになる。この点を多少誇張して示すと、図１０のようになる。もし、微少量であっても隙間Ｇが生じると、この部分は、作動流体が流通している部分であるため、低圧側では、その隙間Ｇから作動流体室１４から容易に作動流体が流路内に流入したり、高圧河では、流路外の作動流体室１４へ漏洩することになる。   Further, the one-piece force applied to the cylinder 5 a of the cylinder barrel 5 by the plurality of pistons 6 is urged in the direction intersecting the axis of the rotary shaft 4 with respect to the entire cylinder barrel 5. As a result, the cylinder barrel 5 tends to be inclined with respect to the valve plate 9 although it is a small amount. Since this inclination tendency is in a direction along the inclination of the swash plate 8, when viewed in FIG. 8, a force for forming a gap on the upper side of the drawing, that is, the high-pressure port 9 a side of the valve plate 9 always works. Become. This point is shown in a slightly exaggerated manner as shown in FIG. If the gap G is generated even if the amount is very small, this portion is a portion through which the working fluid flows. Therefore, on the low pressure side, the working fluid can easily flow from the working fluid chamber 14 through the gap G. It flows into the inside or leaks into the working fluid chamber 14 outside the flow path in the high-pressure river.

前述したピストン６とシリンダ５ａとの片当たりにより両者の摩耗が促進されるという問題に関しては、ピストンの円筒状外周面を含む外面にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）コーティングを施すことにより、解決を図ることが提案されている（特許文献１）。   The problem that the wear of both the piston 6 and the cylinder 5a is accelerated due to the contact between the piston 6 and the cylinder 5a is solved by applying a diamond-like carbon (DLC) coating on the outer surface including the cylindrical outer peripheral surface of the piston. Has been proposed (Patent Document 1).

一方、シリンダバレル５と弁板９と間に局部的に隙間Ｇが形成されやすくなるという問題に関しては、隙間Ｇをなくすべく単にシリンダバレル５を弁板９に強く押さえつけると、弁板９とシリンダバレル５との摩擦力が急激に増大して焼き付けを起こす虞があるため、弁板９の摺接面を金属より柔軟で隙間Ｇをつくりにくい合成樹脂材料で形成することにより、解決を図ることが提案されている（特許文献２）。   On the other hand, regarding the problem that a gap G is likely to be locally formed between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9, if the cylinder barrel 5 is simply pressed firmly against the valve plate 9 to eliminate the gap G, the valve plate 9 and the cylinder Since there is a possibility that the frictional force with the barrel 5 suddenly increases and seizure occurs, the sliding contact surface of the valve plate 9 is made of a synthetic resin material that is more flexible than metal and difficult to form the gap G. Has been proposed (Patent Document 2).

特開２００２−３１０４０号公報JP 2002-31040 A 特開平９−２０９９１８号公報JP-A-9-209918

前述のように、従来の流体機械では、弁板に対してシリンダバレルが微少量であるが傾斜するような付勢力が働くので、弁板とシリンダバレルとの間において作動流体が流路内に流入したり、流路外へ漏洩する問題があり、それを解決するために、弁板の摺接面を合成樹脂材料から形成している。かかる手段で、弁板とシリンダバレルとの間に隙間が発生して作業流体の漏洩が生じる問題は解決可能ではある。しかしながら、弁板に対するシリンダバレルの片当たりによる弁板およびシリンダバレルの局部の摩耗進行も解決すべき問題であるのだが、この問題については、解決することができない。かかる問題は、作動流体が水である場合に顕著となる。というのは、通常の油性流体に比べて、水は潤滑性において劣っているからである。   As described above, in a conventional fluid machine, a biasing force that tilts the cylinder barrel with respect to the valve plate but inclines acts, so that the working fluid flows between the valve plate and the cylinder barrel in the flow path. In order to solve the problem of inflow or leakage to the outside of the flow path, the sliding contact surface of the valve plate is made of a synthetic resin material. By such means, the problem that a gap is generated between the valve plate and the cylinder barrel and the working fluid leaks can be solved. However, the progress of wear of the valve plate and the local part of the cylinder barrel due to the contact of the cylinder barrel with respect to the valve plate is also a problem to be solved, but this problem cannot be solved. Such a problem becomes prominent when the working fluid is water. This is because water is inferior in lubricity compared to ordinary oily fluids.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題は、斜板型流体機械に特有の機構によって避けがたく生じる「弁板に対するシリンダバレルの片当たり現象」によって弁板およびシリンダバレル間で局部の摩耗が進行するのを防止することのできる斜板型流体機械を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and the problem is that the valve plate and the cylinder are caused by the "single contact phenomenon of the cylinder barrel with respect to the valve plate" which is unavoidably caused by a mechanism unique to the swash plate type fluid machine. It is an object of the present invention to provide a swash plate type fluid machine capable of preventing local wear from progressing between barrels.

前記課題を解決するために、本発明は、請求項１の発明として、作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、前記ケーシングの内壁の一部に前記シリンダバレルの偏心を抑制する摺接支持部材が取り付けられていることを特徴とする斜板型流体機械を、提案する。   In order to solve the above-described problems, the present invention provides a valve plate having a working fluid port fixed to one end in a casing and the other end in the casing with respect to the valve plate. A cylinder barrel having a plurality of pistons is integrally attached to a rotating shaft installed so as to pass through the fixed swash plate, and one end surface of the cylinder barrel slides on the valve plate. In the swash plate type fluid machine in which one end of the piston is slidably attached to the inclined circumferential surface of the swash plate on the other end side of the cylinder barrel, the inner wall of the casing A swash plate type fluid machine is proposed in which a sliding contact support member that suppresses eccentricity of the cylinder barrel is attached to a part of the swash plate type fluid machine.

請求項１の流体機械において、好ましくは、請求項１から４のように構成する。
すなわち、請求項２においては、前記斜板が前記シリンダバレルに最も遠ざかっている側の前記ケーシングの内壁の最も前記弁板に近い位置に少なくとも一つの前記摺接支持部材が取り付けられるとともに、前記斜板が前記シリンダバレルに最も近づいて側の前記ケーシングの内壁の最も前記弁板から遠い位置に少なくとも一つの前記摺接支持部材が取り付けられている。
そして、請求項３に記載のように、前記弁板のシリンダバレルとの摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されているか、請求項４に記載のように、前記シリンダバレルの弁板との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることが、好ましい。
前記摺接支持部材を形成するための材料としては、ダイヤモンドライクカーボンコーティングを表面に施工したステンレス鋼、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣなどのＳｉ系セラミックス、ポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂系複合材、ＰＥＥＫ樹脂系複合材、フェノール樹脂系複合材などの水潤滑性に優れた材料を用いることができる。 The fluid machine according to claim 1 is preferably configured as in claims 1 to 4.
That is, according to a second aspect of the present invention, at least one sliding contact support member is attached to a position closest to the valve plate on the inner wall of the casing on the side farthest from the cylinder barrel. At least one of the sliding contact support members is attached to the inner wall of the casing on the side closest to the cylinder barrel and the farthest from the valve plate.
Further, as described in claim 3, a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the valve plate with the cylinder barrel, or as described in claim 4, with the valve plate of the cylinder barrel. It is preferable that a diamond-like carbon coating is applied to the sliding surface.
Examples of the material for forming the sliding contact support member include stainless steel having a diamond-like carbon coating applied on its surface, Si ceramics such as Si 3 N 4 , SiC, polytetrafluoroethylene (PTFE) resin composite, Materials excellent in water lubricity, such as PEEK resin composites and phenol resin composites, can be used.

また、請求項５に記載の発明は、作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、前記弁板のシリンダバレルとの摺接面にはダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, a valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined with respect to the valve plate is fixed to the other end of the casing. A cylinder barrel having a plurality of pistons is integrally attached to a rotary shaft installed so as to pass through these, and one end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and the cylinder In the swash plate type fluid machine in which one end of the piston is slidably attached to the inclined circumferential surface of the swash plate on the other end side of the barrel, on the sliding contact surface of the valve plate with the cylinder barrel Is characterized by a diamond-like carbon coating.

この請求項５において、好ましくは、請求項６〜１２のように構成する。
すなわち、請求項６においては、前記シリンダバレルの弁板との摺接面が応力緩和材料から形成されている。この応力緩和材料は、請求項７に記載のように、ヤング率の低い材料か、請求項１０に記載のように、硬さの低い材料が、好ましい。
前記ヤング率の低い材料のヤング率は、請求項８に記載のように、５０ＧＰａ以下であることが好ましく、そのような材料としては、請求項９に記載のように、合成樹脂材料を用いることができる。
また、前記硬さの低い材料の硬さは、請求項１１に記載のように、ビッカース硬さで１ＧＰａ以下であることが好ましく、そのような材料としては、請求項１２に記載のように、合成樹脂材料、ＭｏＳ2、グラファイトから選ばれた一種、あるいはそれらの複合材料であることが好ましい。 In the fifth aspect of the present invention, preferably, it is configured as in the sixth to twelfth aspects.
That is, in claim 6, the sliding contact surface with the valve plate of the cylinder barrel is formed of a stress relaxation material. The stress relaxation material is preferably a material having a low Young's modulus as described in claim 7 or a material having a low hardness as described in claim 10.
The Young's modulus of the material having a low Young's modulus is preferably 50 GPa or less as described in claim 8, and as such a material, a synthetic resin material is used as described in claim 9. Can do.
Further, the hardness of the low-hardness material is preferably 1 GPa or less in terms of Vickers hardness as described in claim 11, and as such a material, as described in claim 12, A synthetic resin material, one selected from MoS 2 and graphite, or a composite material thereof is preferable.

また、請求項１３に記載の発明は、作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、前記シリンダバレルの弁板との摺接面にはダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする。   According to a thirteenth aspect of the present invention, a valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined with respect to the valve plate is fixed to the other end of the casing. A cylinder barrel having a plurality of pistons is integrally attached to a rotary shaft installed so as to pass through these, and one end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and the cylinder In the swash plate type fluid machine in which one end of the piston is slidably attached to the inclined circumferential surface of the swash plate on the other end side of the barrel, on the sliding contact surface with the valve plate of the cylinder barrel Is characterized by a diamond-like carbon coating.

この請求項１３において、好ましくは請求項１４〜２０のように構成する。
すなわち、請求項１４においては、前記シリンダバレルの弁板との摺接面が応力緩和材料から形成されている。この応力緩和材料は、請求項１５に記載のように、ヤング率の低い材料か、請求項１８に記載のように、硬さの低い材料が、好ましい。
前記ヤング率の低い材料のヤング率は、請求項１６に記載のように、５０ＧＰａ以下であることが好ましく、そのような材料としては、請求項１７に記載のように、合成樹脂材料を用いることができる。
また、前記硬さの低い材料の硬さは、請求項１９に記載のように、ビッカース硬さで１ＧＰａ以下であることが好ましく、そのような材料としては、請求項２０に記載のように、合成樹脂材料、ＭｏＳ2、グラファイトから選ばれた一種、あるいはそれらの複合材料であることが好ましい。 In the thirteenth aspect, it is preferably configured as in the fourteenth to twentieth aspects.
In other words, the sliding contact surface of the cylinder barrel with the valve plate is formed of a stress relaxation material. The stress relaxation material is preferably a material having a low Young's modulus as described in claim 15 or a material having a low hardness as described in claim 18.
The Young's modulus of the material having a low Young's modulus is preferably 50 GPa or less as described in claim 16, and as such a material, a synthetic resin material is used as described in claim 17. Can do.
Further, the hardness of the low hardness material is preferably 1 GPa or less in terms of Vickers hardness as described in claim 19, and as such a material, as described in claim 20, A synthetic resin material, one selected from MoS 2 and graphite, or a composite material thereof is preferable.

さらに、請求項２１に記載の発明は、作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、前記弁板のシリンダバレル寄りの外周面に周面に沿って連続したスリット溝が形成されていることを特徴とする。   Furthermore, in the invention described in claim 21, a valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined to the valve plate is fixed to the other end of the casing. A cylinder barrel having a plurality of pistons is integrally attached to a rotary shaft installed so as to pass through these, and one end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and the cylinder In the swash plate type fluid machine in which one end of the piston is slidably attached to the inclined annular circumferential surface of the swash plate on the other end side of the barrel, A continuous slit groove is formed along the surface.

この請求項２１に記載の発明において、好ましくは請求項２２または２３のように構成する。すなわち、請求項２２に記載のように、前記弁板のシリンダバレルとの摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングを施すか、請求項２３に記載のように、前記シリンダバレルの弁板との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングを施すことが好ましい。   In the invention as set forth in claim 21, it is preferably configured as in claim 22 or 23. That is, a diamond-like carbon coating is applied to the sliding contact surface of the valve plate with the cylinder barrel as described in claim 22, or the sliding contact with the valve plate of the cylinder barrel as described in claim 23. It is preferable to apply a diamond-like carbon coating on the surface.

先に説明したように、斜板型流体機械の構造的特質から、シリンダバレルはケーシングに固定されている弁板に対して偏心して片当たりする。その結果、シリンダバレルと弁板とのそれぞれの片当たりが強い箇所において摩耗が促進される。それを防ぐためには、弁板のシリンダバレルに対する摺接面をダイヤモンドライクカーボンコーティングするか、シリンダバレルの弁板に対する摺接面をダイヤモンドライクカーボンコーティングすることが考えられる。ダイヤモンドライクカーボンコーティングは、蒸着法により容易に形成でき、しかも水潤滑条件下でも優れた耐摩耗性を示す材料であり、シリンダバレルと弁板との摺動を滑らかにすることができ、シリンダバレルと弁板との密着性をより高めて、シリンダバレルの偏心変位による弁板間の隙間発生を防止することが容易にできるものと、期待される。しかしながら、シリンダバレルを傾斜させようとする分力は解消されていないので、シリンダバレルが弁板に片当たりする力は相変わらず存在し続けている。この片当たり力によって、片当たり部において応力集中が生じて、せっかく形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングが部分的に剥離する虞がある。コーティングが剥離すると、その下地を構成しているステンレス鋼などの母材が露出し、優れた耐摩耗性が損なわれ、その箇所に焼き付きが発生することになる。
これに対して、本発明の請求項１のように構成すれば、摺接支持部材によりシリンダバレルの偏心変位が抑制されるので、シリンダバレルと弁板との片当たりは大幅に低減されることになる。すなわち、シリンダバレルと弁板との間に片当たりが生じたとしても、その接触面圧は大きく低減されることになる。その結果、弁板の摺接面、もしくはシリンダバレルの摺接面に形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングは剥離されることなく、全面に亘って、その優れた耐摩擦、耐摩耗特性を最大限に生かせることができることになる。 As described above, due to the structural characteristics of the swash plate type fluid machine, the cylinder barrel is eccentrically displaced with respect to the valve plate fixed to the casing. As a result, wear is promoted at locations where the one-sided contact between the cylinder barrel and the valve plate is strong. In order to prevent this, it is conceivable that the sliding surface of the valve plate with respect to the cylinder barrel is coated with diamond-like carbon, or the sliding surface of the cylinder barrel with respect to the valve plate is coated with diamond-like carbon. Diamond-like carbon coating is a material that can be easily formed by vapor deposition and exhibits excellent wear resistance even under water-lubricated conditions, and can smoothly slide between the cylinder barrel and the valve plate. It is expected that the adhesion between the valve plate and the valve plate can be further improved, and the generation of a gap between the valve plates due to the eccentric displacement of the cylinder barrel can be easily prevented. However, since the component force to incline the cylinder barrel has not been eliminated, the force with which the cylinder barrel hits the valve plate continues to exist as usual. Due to the force per one piece, stress concentration occurs at the one-sided portion, and the diamond-like carbon coating thus formed may be partially peeled off. When the coating is peeled off, the base material such as stainless steel constituting the base is exposed, the excellent wear resistance is impaired, and seizure occurs at that location.
On the other hand, according to the first aspect of the present invention, since the eccentric displacement of the cylinder barrel is suppressed by the sliding contact support member, the contact between the cylinder barrel and the valve plate is greatly reduced. become. That is, even if a single contact occurs between the cylinder barrel and the valve plate, the contact surface pressure is greatly reduced. As a result, the diamond-like carbon coating formed on the sliding contact surface of the valve plate or the sliding contact surface of the cylinder barrel is not peeled off, and the entire friction and wear resistance characteristics can be maximized over the entire surface. Will be able to.

請求項１の発明のように、摺接支持部材によりシリンダバレルの偏心変位を抑制し、それによって、弁板もしくはシリンダバレルのいずれかの摺接面に形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングの剥離を防止し、シリンダバレルと弁板との良好な摺動を確保するのは、本願における一つの発明である。そのような構成のかわりに、ダイヤモンドライクカーボンコーティングを弁板かシリンダバレルのいずれか一方の摺接面に形成するのが、請求項５および請求項１３の発明であり、さらに、ダイヤモンドライクカーボンコーティングを施した面に対向する他方の摺接面を応力緩和材料（ヤング率の低い材料もしくは硬さの低い材料）で形成すれば（請求項６および請求項１４）、かかる材料からなる摺接面の弾性変形により、当接相手のカーボンコーティング面の片当たり部における接触応力を緩和することができ、その結果、カーボンコーティングの部分的な剥離を防止することができる。   As in the first aspect of the invention, the eccentric displacement of the cylinder barrel is suppressed by the sliding contact supporting member, thereby preventing the diamond-like carbon coating formed on the sliding contact surface of either the valve plate or the cylinder barrel from being peeled off. It is one invention in the present application to ensure good sliding between the cylinder barrel and the valve plate. Instead of such a configuration, the diamond-like carbon coating is formed on the sliding contact surface of either the valve plate or the cylinder barrel according to the inventions of claims 5 and 13, and the diamond-like carbon coating is further provided. If the other slidable contact surface facing the surface subjected to the above is formed of a stress relaxation material (a material having a low Young's modulus or a material having a low hardness) (Claim 6 and Claim 14), the slidable contact surface made of such a material Due to this elastic deformation, it is possible to relieve the contact stress at the one-side contact portion of the carbon coating surface of the contact partner, and as a result, it is possible to prevent partial peeling of the carbon coating.

また、弁板のシリンダバレル寄りの外周面に周面に沿って連続したスリット溝を形成すれば、弁板のシリンダバレルに対する摺接面の外周縁部分のたわみ特性が高められることになる。偏心変位したシリンダバレルが弁板に対して片当たりする部分は、弁板摺接面の外周縁部分に集中する。したがって、この部分のたわみ特性が高まれば、片当たりによる応力が緩和されることになり、弁板の摺接面またはシリンダバレルの摺接面のいずれかに形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングが部分的に剥離されることを防止することができる。これが請求項２１に記載の発明の特徴的効果である。   Further, if a slit groove continuous along the peripheral surface is formed on the outer peripheral surface of the valve plate near the cylinder barrel, the deflection characteristic of the outer peripheral edge portion of the sliding contact surface with respect to the cylinder barrel of the valve plate is enhanced. The portion where the eccentrically displaced cylinder barrel comes into contact with the valve plate concentrates on the outer peripheral edge portion of the valve plate sliding contact surface. Therefore, if the deflection characteristics of this part increase, the stress due to the one-sided contact will be relieved, and the diamond-like carbon coating formed on either the sliding surface of the valve plate or the sliding surface of the cylinder barrel will be partially It can prevent peeling. This is the characteristic effect of the invention as set forth in claim 21.

以下に、本発明の実施例を説明するが、以下の実施例は、本発明を好適に説明するための例示に過ぎず、なんら本発明を限定するものではない。   Examples of the present invention will be described below. However, the following examples are merely examples for suitably explaining the present invention, and do not limit the present invention.

本実施例の特徴構成を図１に示す。なお、図１において、前述の図７〜図９に表示の装置構造における構成要素と同一構成要素には同一符号を付して説明を簡略化する。   A characteristic configuration of the present embodiment is shown in FIG. In FIG. 1, the same components as those in the device structure shown in FIGS.

この実施例１の特徴は、ケーシング１の内壁の一部にシリンダバレル５の偏心を抑制する摺接支持部材１０１，１０２を取り付けたことにある。前記一方の摺接支持部材１０１は、回転軸４に対して傾斜した姿勢にある斜板８（図７）が前記シリンダバレル５に最も遠ざかっている側の前記ケーシング１の内壁において、最も前記弁板に近い位置に、固定されている。他方の摺接支持部材１０２は、前記斜板８が前記シリンダバレル５に最も近づいている側のケーシング１の内壁において、最も前記弁板８から遠い位置に、固定されている。これら摺接支持部材１０１，１０２は、回転するシリンダバレル５を摺接状態で支持するので、摺接面積を少なくして、摩擦抵抗を少なくする必要があるが、あまり摺接面積を小さくすると、シリンダバレル５の偏心抑制効果が不十分となるので、回転の周方向に幾分延長した円弧形状を持つ程度に、周方向の寸法を設定することが、好ましい。   The feature of the first embodiment resides in that sliding contact support members 101 and 102 for suppressing the eccentricity of the cylinder barrel 5 are attached to a part of the inner wall of the casing 1. The one slidable contact support member 101 has the valve on the inner wall of the casing 1 on the side where the swash plate 8 (FIG. 7) that is inclined with respect to the rotation shaft 4 is farthest from the cylinder barrel 5. It is fixed at a position close to the plate. The other sliding contact support member 102 is fixed at a position farthest from the valve plate 8 on the inner wall of the casing 1 on the side where the swash plate 8 is closest to the cylinder barrel 5. Since these sliding contact support members 101 and 102 support the rotating cylinder barrel 5 in a sliding contact state, it is necessary to reduce the sliding contact area and reduce the frictional resistance, but if the sliding contact area is too small, Since the effect of suppressing the eccentricity of the cylinder barrel 5 becomes insufficient, it is preferable to set the dimensions in the circumferential direction so as to have an arc shape that is somewhat extended in the circumferential direction of rotation.

これら摺接支持部材１０１，１０２を形成するための材料としては、先に述べたように、ダイヤモンドライクカーボンコーティングを表面に施工したステンレス鋼、Ｓｉ3Ｎ4，ＳｉＣなどのＳｉ系セラミックス、ポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂系複合材、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂系複合材、フェノール樹脂系複合材などの水潤滑性に優れた材料を用いることができるが、本実施例では、フェノール樹脂系複合材を用いた。 As described above, the materials for forming these sliding contact support members 101 and 102 include stainless steel with a diamond-like carbon coating applied to the surface, Si-based ceramics such as Si 3 N 4 and SiC, and polytetra Although materials having excellent water lubricity such as fluoroethylene (PTFE) resin-based composite material, polyether ether ketone (PEEK) resin-based composite material, and phenol resin-based composite material can be used, in this embodiment, phenol resin is used. A system composite material was used.

本実施例では、前述のように摺接支持部材１０１，１０２を設置した上で、さらに、前記弁板９のシリンダバレル５との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングを施すか、シリンダバレル５の弁板９との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングを施す。   In this embodiment, after the sliding contact support members 101 and 102 are installed as described above, a diamond-like carbon coating is applied to the sliding contact surface of the valve plate 9 with the cylinder barrel 5 or the cylinder barrel 5 A diamond-like carbon coating is applied to the sliding contact surface with the valve plate 9.

先に説明したように、斜板型流体機械の構造的特質から、シリンダバレルはケーシングに固定されている弁板に対して偏心して片当たりする。その結果、シリンダバレルと弁板とのそれぞれの片当たりが強い箇所において摩耗が促進される。
これに対して、本実施例のように、摺接支持部材１０１，１０２を設置すれば、これら摺接支持部材１０１，１０２によりシリンダバレル５の偏心変位が抑制することができる。その結果、シリンダバレル５と弁板９との片当たりは大幅に低減されることになる。少なくとも、シリンダバレル５と弁板９との間に片当たりが生じたとしても、その接触面圧は大きく低減されることになる。したがって、弁板９の摺接面、もしくはシリンダバレル５の摺接面に形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングは剥離されることなく、全面に亘って、その優れた耐摩擦、耐摩耗特性を最大限に生かせることができることになる。ダイヤモンドライクカーボンコーティングは、蒸着法により容易に形成でき、しかも水潤滑条件下でも優れた耐摩耗性を示す材料であり、前記摺接支持部材１０１，１０２を設置することにより、かかるダイヤモンドライクカーボンコーティングが部分的に剥離されることがなくなる。その結果、ダイヤモンドライクカーボンコーティングの永続的存在が可能になる。このダイヤモンドライクカーボンコーティングの永続的存在により、シリンダバレル５と弁板９との摺動を常に滑らかにすることができ、そのため、シリンダバレル５と弁板９との密着性をより一層高めることができ、それによって、シリンダバレル５の偏心変位が幾分か残存していても、シリンダバレル５と弁板９間の隙間発生を容易に防止することができる。 As described above, due to the structural characteristics of the swash plate type fluid machine, the cylinder barrel is eccentrically displaced with respect to the valve plate fixed to the casing. As a result, wear is promoted at locations where the one-sided contact between the cylinder barrel and the valve plate is strong.
On the other hand, if the sliding contact support members 101 and 102 are installed as in this embodiment, the eccentric displacement of the cylinder barrel 5 can be suppressed by the sliding contact support members 101 and 102. As a result, the contact between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 is greatly reduced. Even if at least one contact occurs between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9, the contact surface pressure is greatly reduced. Therefore, the diamond-like carbon coating formed on the sliding contact surface of the valve plate 9 or the sliding contact surface of the cylinder barrel 5 does not peel off, and maximizes its excellent friction and wear resistance characteristics over the entire surface. You will be able to make use of it. The diamond-like carbon coating is a material that can be easily formed by a vapor deposition method and exhibits excellent wear resistance even under water-lubricated conditions. By installing the sliding contact support members 101 and 102, the diamond-like carbon coating is provided. Will not be partially peeled off. As a result, a permanent presence of the diamond-like carbon coating is possible. Due to the permanent presence of the diamond-like carbon coating, sliding between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can always be made smooth, and therefore the adhesion between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can be further enhanced. Thus, even if some eccentric displacement of the cylinder barrel 5 remains, the generation of a gap between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can be easily prevented.

本実施例の特徴構成を図２に示した。なお、図２において、前述の図７〜図９に表示の装置構造における構成要素と同一構成要素には同一符号を付して説明を簡略化する。   The characteristic configuration of this embodiment is shown in FIG. In FIG. 2, the same components as those in the device structure shown in FIGS.

この実施例２にかかる斜板型流体機械の特徴は、弁板９のシリンダバレル５との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３を施し、さらに、シリンダバレル５の弁板９との摺接面に応力緩和材料層１０４を形成している構成にある。この応力緩和材料としては、ヤング率の低い材料か、硬さの低い材料が好ましい。ヤング率の低い材料とは、弾性変形に富む材料であり、硬さの低い材料とは、塑性変形に富む材料である。   The swash plate type fluid machine according to the second embodiment is characterized in that a diamond-like carbon coating 103 is applied to the sliding contact surface of the valve plate 9 with the cylinder barrel 5, and the sliding contact surface with the valve plate 9 of the cylinder barrel 5. In other words, the stress relaxation material layer 104 is formed. As the stress relaxation material, a material having a low Young's modulus or a material having a low hardness is preferable. A material having a low Young's modulus is a material rich in elastic deformation, and a material having a low hardness is a material rich in plastic deformation.

このように弁板９のシリンダバレル５との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３を形成した上で、他方のシリンダバレル５の摺接面をヤング率の低い材料もしくは硬さの低い材料で形成すれば、これら材料からなる摺接面（応力緩和材料層１０４）の弾性変形もしくは塑性変形により、ダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３の摺接面に片当たりするシリンダバレル摺接面の片当たり部における接触応力を緩和することができる。その結果、ダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３の部分的な剥離を防止することができる。   Thus, after the diamond-like carbon coating 103 is formed on the sliding contact surface of the valve plate 9 with the cylinder barrel 5, the sliding contact surface of the other cylinder barrel 5 is formed of a material having a low Young's modulus or a low hardness. Then, the contact stress at the one-side contact portion of the cylinder barrel contact surface that contacts the slide contact surface of the diamond-like carbon coating 103 due to elastic deformation or plastic deformation of the slide contact surface (stress relaxation material layer 104) made of these materials. Can be relaxed. As a result, partial peeling of the diamond-like carbon coating 103 can be prevented.

前記ヤング率の低い材料とは、５０ＧＰａ以下である材料であり、具体的にはＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの樹脂材料が好適である。また、前記硬さの低い材料とは、ビッカース硬さが１ＧＰａ以下の材料であり、具体的にはＰＥＥＫなどの樹脂材料、ＭｏＳ2やグラファイトなどが好適である。前記ＭｏＳ2やグラファイトは潤滑性も高いので、さらに好ましい。 The material having a low Young's modulus is a material that is 50 GPa or less, and specifically, a resin material such as PEEK (polyether ether ketone) is suitable. The low-hardness material is a material having a Vickers hardness of 1 GPa or less, and specifically, a resin material such as PEEK, MoS 2 or graphite is preferable. MoS 2 and graphite are more preferable because they have high lubricity.

ヤング率が１０ＧＰａ未満であるＰＥＥＫを用いて応力緩和材料層１０４を形成し、シリンダバレル５を回転させるとともに、応力緩和材料層１０４とダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３との密着度を高めていき、焼き付き限界ＰＶ値（ＭＰａ・ｍ／ｓ）を計測した。また、比較のために、応力緩和材料層１０４の代わりにヤング率が１２０ＧＰａ程度の銅層を形成した場合と、ヤング率が２００ＧＰａを超えているステンレス層を形成した場合を、比較例として、同様の焼き付き限界ＰＶ値を計測した。その結果を図３に示す。図３から明らかなように、ステンレスに比べて変形特性に優れる銅を摺接面に形成した場合の方が幾分焼き付き限界ＰＶ値が高くなっている。一方、ＰＥＥＫをダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３との摺接面に用いた場合では、その焼き付き限界ＰＶ値は銅の場合のほぼ６倍にも向上している。   The stress relaxation material layer 104 is formed using PEEK having a Young's modulus of less than 10 GPa, the cylinder barrel 5 is rotated, and the adhesion between the stress relaxation material layer 104 and the diamond-like carbon coating 103 is increased, and the seizure limit is increased. The PV value (MPa · m / s) was measured. For comparison, the case where a copper layer having a Young's modulus of about 120 GPa is formed instead of the stress relaxation material layer 104 and the case where a stainless steel layer having a Young's modulus exceeding 200 GPa are formed as a comparative example. The burn-in limit PV value was measured. The result is shown in FIG. As is apparent from FIG. 3, the seizure limit PV value is somewhat higher when copper having superior deformation characteristics compared to stainless steel is formed on the sliding contact surface. On the other hand, when PEEK is used for the sliding contact surface with the diamond-like carbon coating 103, the seizure limit PV value is improved by about 6 times that of copper.

斜板型流体機械における弁板とシリンダバレルとの摺接面の焼き付き限界ＰＶ値は、実用上、少なくとも２０ＭＰａ・ｍ／ｓは必要であると考えられるので、図３の結果からは、ヤング率が５０ＧＰａ以下である材料を応力緩和材料層１０４に用いることが重要となる。   Since it is considered that the seizure limit PV value of the sliding contact surface between the valve plate and the cylinder barrel in the swash plate type fluid machine is practically required to be at least 20 MPa · m / s, the Young's modulus is shown from the result of FIG. It is important to use a material having a stress of 50 GPa or less for the stress relaxation material layer 104.

応力緩和材料層１０４を構成する材料として、硬さの低い材料も好適に用いることができる。前記ヤング率に基づく計測に用いた組み合わせ構成と同様の材料を用いて、ダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３に対する摺接面を構成し、それらのビッカース硬度と焼き付き限界ＰＶ値との関係を求めた。その結果を、図４に示す。ＰＥＥＫのビッカース硬度は０．３ＭＰａ・ｍ／ｓ弱であり、銅のビッカース硬度は２．７ＭＰａ・ｍ／ｓ程度であり、ステンレスのビッカース硬度は４ＭＰａ・ｍ／ｓ強である。したがって、図４の結果から、ビッカース硬度が１ＧＰａ以下である材料を応力緩和材料層１０４に用いることが重要となる。   As a material constituting the stress relaxation material layer 104, a material having low hardness can also be suitably used. Using the same material as the combination structure used for the measurement based on the Young's modulus, a sliding contact surface with respect to the diamond-like carbon coating 103 was formed, and the relationship between the Vickers hardness and the seizure limit PV value was obtained. The result is shown in FIG. PEEK has a Vickers hardness of a little less than 0.3 MPa · m / s, copper has a Vickers hardness of about 2.7 MPa · m / s, and stainless steel has a Vickers hardness of just over 4 MPa · m / s. Therefore, from the result of FIG. 4, it is important to use a material having a Vickers hardness of 1 GPa or less for the stress relaxation material layer 104.

前記実施例１では、摺接支持部材１０１，１０２によりシリンダバレル５の偏心変位を抑制し、それによって、弁板９もしくはシリンダバレル５のいずれかの摺接面に形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングの剥離を防止し、シリンダバレル５と弁板９との良好な摺動を確保した。これに対し、本実施例２では、ダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３を弁板９のシリンダバレル５との摺接面に形成した上で、他方のシリンダバレル５の摺接面をヤング率の低い材料もしくは硬さの低い材料で形成し、これら材料からなる摺接面の弾性変形もしくは塑性変形により、当接相手のダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３面の片当たり部における接触応力を緩和している。   In the first embodiment, the eccentric displacement of the cylinder barrel 5 is suppressed by the sliding contact support members 101 and 102, whereby the diamond-like carbon coating formed on the sliding contact surface of either the valve plate 9 or the cylinder barrel 5 is peeled off. This prevents the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 from sliding well. On the other hand, in the second embodiment, the diamond-like carbon coating 103 is formed on the sliding contact surface of the valve plate 9 with the cylinder barrel 5 and the sliding contact surface of the other cylinder barrel 5 is made of a material having a low Young's modulus or It is made of a material having low hardness, and the contact stress at the one-side contact portion of the surface of the diamond-like carbon coating 103 to be abutted against is reduced by elastic deformation or plastic deformation of the sliding contact surface made of these materials.

したがって、本実施例２においても、ダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３の部分的な剥離を防止することができ、ダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３を永続させることができる。このダイヤモンドライクカーボンコーティング１０３の永続的存在により、シリンダバレル５と弁板９との摺動を常に滑らかにすることができ、しかも、応力緩和材料層１０４の変形特性の寄与もあり、シリンダバレル５と弁板９との密着性をより一層高めることができる。その結果、シリンダバレル５の偏心付勢力が残存していても、シリンダバレル５と弁板９との摺接面を劣化させることなく、シリンダバレル５と弁板９間の隙間発生を容易に防止することができる。   Therefore, also in the present Example 2, partial peeling of the diamond-like carbon coating 103 can be prevented, and the diamond-like carbon coating 103 can be made permanent. Due to the permanent presence of the diamond-like carbon coating 103, sliding between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can always be smooth, and there is also a contribution of deformation characteristics of the stress relaxation material layer 104. And the valve plate 9 can be further enhanced. As a result, even if the eccentric urging force of the cylinder barrel 5 remains, the generation of a gap between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can be easily prevented without deteriorating the sliding contact surface between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9. can do.

図５に本発明の第３の実施例を示す。本実施例３の特徴は、シリンダバレル５の弁板９との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティング１０５を形成し、他方の弁板９の摺接面に応力緩和材料層１０６を形成したことにある。
かかる本実施例３における特徴構成は、前記実施例２において、ダイヤモンドライクカーボンコーティングと応力緩和材料層との形成位置を相互に交換した構成に相当するものである。したがって、その構成に基づく、作用および効果は、前記実施例２と全く同様であるので、それらの説明は省略する。 FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention. A feature of the third embodiment is that a diamond-like carbon coating 105 is formed on the sliding contact surface of the cylinder barrel 5 with the valve plate 9 and a stress relaxation material layer 106 is formed on the sliding contact surface of the other valve plate 9. is there.
The characteristic configuration in the third embodiment corresponds to a configuration in which the formation positions of the diamond-like carbon coating and the stress relaxation material layer are exchanged in the second embodiment. Therefore, since the operation and effect based on the configuration are the same as those in the second embodiment, description thereof will be omitted.

図６および図７に本発明の第４の実施例を示す。本実施例の特徴は、弁板９のシリンダバレル５寄りの外周面に周面に沿って連続したスリット溝１０７を形成し、弁板９のシリンダバレル５との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティング（不図示）を施すか、逆にシリンダバレル５の弁板９との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティング（不図示）を施す。   6 and 7 show a fourth embodiment of the present invention. A feature of the present embodiment is that a slit groove 107 continuous along the peripheral surface is formed on the outer peripheral surface of the valve plate 9 near the cylinder barrel 5, and a diamond-like carbon coating is formed on the sliding surface of the valve plate 9 with the cylinder barrel 5. (Not shown) or conversely, a diamond-like carbon coating (not shown) is applied to the sliding contact surface of the cylinder barrel 5 with the valve plate 9.

このように、弁板９のシリンダバレル５寄りの外周面に周面に沿って連続したスリット溝１０７を形成すれば、弁板９のシリンダバレル５に対する摺接面の外周縁部分のたわみ特性が高められることになる。偏心変位したシリンダバレル５が弁板９に対して片当たりする部分は、弁板９の摺接面の外周縁部分に集中する。したがって、この部分のたわみ特性が高まれば、片当たりによる応力が緩和されることになり、弁板９の摺接面またはシリンダバレル５の摺接面のいずれかに形成したダイヤモンドライクカーボンコーティングが部分的に剥離されることを防止することができる。その結果、前記各実施例と同様の効果を得ることができる。すなわち、本実施例４においても、ダイヤモンドライクカーボンコーティングの部分的な剥離を防止することができ、ダイヤモンドライクカーボンコーティングを永続させることができる。このダイヤモンドライクカーボンコーティングの永続的存在により、シリンダバレル５と弁板９との摺動を常に滑らかにすることができ、シリンダバレル５と弁板９との密着性をより一層高めることができる。その結果、シリンダバレル５の偏心付勢力が残存していても、シリンダバレル５と弁板９との摺接面を劣化させることなく、シリンダバレル５と弁板９間の隙間発生を容易に防止することができる。   In this way, if the slit groove 107 continuous along the peripheral surface is formed on the outer peripheral surface of the valve plate 9 near the cylinder barrel 5, the deflection characteristic of the outer peripheral edge portion of the sliding contact surface with respect to the cylinder barrel 5 of the valve plate 9 can be obtained. Will be enhanced. The part where the eccentrically displaced cylinder barrel 5 comes into contact with the valve plate 9 concentrates on the outer peripheral edge portion of the sliding contact surface of the valve plate 9. Therefore, if the deflection characteristic of this portion is enhanced, the stress due to the one-sided contact is relieved, and the diamond-like carbon coating formed on either the sliding contact surface of the valve plate 9 or the sliding contact surface of the cylinder barrel 5 is partially Can be prevented. As a result, it is possible to obtain the same effects as in the above embodiments. That is, also in Example 4, partial peeling of the diamond-like carbon coating can be prevented, and the diamond-like carbon coating can be made permanent. Due to the permanent presence of the diamond-like carbon coating, the sliding between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can always be smooth, and the adhesion between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can be further enhanced. As a result, even if the eccentric urging force of the cylinder barrel 5 remains, the generation of a gap between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9 can be easily prevented without deteriorating the sliding contact surface between the cylinder barrel 5 and the valve plate 9. can do.

以上のように、本発明にかかる斜板型流体機械は、斜板型流体機械に特有の機構によって避けがたく生じる「弁板に対するシリンダバレルの片当たり現象」によって弁板およびシリンダバレル間で局部の摩耗が進行するのを防止することのでき、シリンダバレルの回転に伴う弁板との摩耗を大幅に低減し、かつ作動流体の漏洩を防止することができ、特に作動流体が潤滑性に乏しい水である場合にも好適に使用することができる。   As described above, the swash plate type fluid machine according to the present invention has a local portion between the valve plate and the cylinder barrel due to the “single-contact phenomenon of the cylinder barrel with respect to the valve plate” that is unavoidably caused by a mechanism unique to the swash plate type fluid machine. It is possible to prevent the wear of the cylinder from progressing, significantly reduce the wear with the valve plate accompanying the rotation of the cylinder barrel, and prevent the working fluid from leaking, especially the working fluid has poor lubricity Even when it is water, it can be suitably used.

本発明の第１の実施例にかかる斜板型流体機械の要部を示す断面構成図である。It is a section lineblock diagram showing the important section of the swash plate type fluid machine concerning the 1st example of the present invention. 本発明の第２の実施例にかかる斜板型流体機械の要部を示す断面構成図である。It is a section lineblock diagram showing the important section of the swash plate type fluid machine concerning the 2nd example of the present invention. 本発明の第２の実施例を説明するための図であり、本実施例を構成する応力緩和材料層を好適に構成することのできる樹脂材料とその比較材料である銅およびステンレスをダイヤモンドライクカーボンコーティングとの摺接面に使用した場合の各材料のヤング率と摺接面の焼き付き限界ＰＶ値との関係をグラフ表示した図である。It is a figure for demonstrating the 2nd Example of this invention, and the resin material which can comprise suitably the stress relaxation material layer which comprises this Example, and copper and stainless steel which are the comparison materials are diamond-like carbon. It is the figure which displayed the relationship between the Young's modulus of each material at the time of using for a sliding contact surface with a coating, and the sticking limit PV value of a sliding contact surface. 本発明の第２の実施例を説明するための図であり、本実施例を構成する応力緩和材料層を好適に構成することのできる樹脂材料とその比較材料である銅およびステンレスをダイヤモンドライクカーボンコーティングとの摺接面に使用した場合の各材料のビッカース硬度と摺接面の焼き付き限界ＰＶ値との関係をグラフ表示した図である。It is a figure for demonstrating the 2nd Example of this invention, and the resin material which can comprise suitably the stress relaxation material layer which comprises this Example, and copper and stainless steel which are the comparison materials are diamond-like carbon. It is the figure which displayed the relationship between the Vickers hardness of each material at the time of using for a sliding contact surface with a coating, and the sticking limit PV value of a sliding contact surface. 本発明の第３の実施例にかかる斜板型流体機械の要部を示す断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram which shows the principal part of the swash plate type fluid machine concerning the 3rd Example of this invention. 本発明の第４の実施例にかかる斜板型流体機械の要部を示す断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram which shows the principal part of the swash plate type fluid machine concerning the 4th Example of this invention. 図６に示した第４の実施例にかかる斜板型流体機械の要部拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of a main part of a swash plate type fluid machine according to a fourth embodiment shown in FIG. 6. 従来の斜板型流体機械の一例を示す断面構成図である。It is a section lineblock diagram showing an example of the conventional swash plate type fluid machine. 斜板型流体機械の構成要素である弁板のシリンダバレル側から見た端面図である。It is the end view seen from the cylinder barrel side of the valve plate which is a component of a swash plate type fluid machine. 従来の斜板型流体機械の問題点を説明するための同機械の要部断面構成図である。It is a principal part section lineblock diagram of the machine for explaining the problem of the conventional swash plate type fluid machine.

符号の説明Explanation of symbols

１ ケーシング
４ 回転軸
５ シリンダバレル
８ 斜板
９ 弁板
１０１，１０２ 摺接支持部材
１０３，１９５ ダイヤモンドライクカーボンコーティング
１０４，１０６ 応力緩和材料層
１０７ スリット溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 4 Rotating shaft 5 Cylinder barrel 8 Swash plate 9 Valve plate 101,102 Sliding contact support member 103,195 Diamond-like carbon coating 104,106 Stress relaxation material layer 107 Slit groove

Claims (23)

作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、
前記ケーシングの内壁の一部に前記シリンダバレルの偏心を抑制する摺接支持部材が取り付けられていることを特徴とする斜板型流体機械。 A valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined with respect to the valve plate is fixed to the other end of the casing, and the rotation is installed so as to penetrate the valve plate. A cylinder barrel having a plurality of pistons on a shaft is integrally attached. One end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and one end of the piston is connected to the other end side of the cylinder barrel. In the swash plate type fluid machine slidably attached to the inclined annular circumferential surface of the swash plate,
A swash plate type fluid machine, wherein a sliding contact support member for suppressing eccentricity of the cylinder barrel is attached to a part of an inner wall of the casing. 前記斜板が前記シリンダバレルに最も遠ざかっている側の前記ケーシングの内壁の最も前記弁板に近い位置に少なくとも一つの前記摺接支持部材が取り付けられるとともに、前記斜板が前記シリンダバレルに最も近づいて側の前記ケーシングの内壁の最も前記弁板から遠い位置に少なくとも一つの前記摺接支持部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の斜板型流体機械。   At least one sliding contact support member is attached to a position closest to the valve plate on the inner wall of the casing on the side where the swash plate is furthest away from the cylinder barrel, and the swash plate is closest to the cylinder barrel. 2. The swash plate type fluid machine according to claim 1, wherein at least one sliding contact support member is attached to a position farthest from the valve plate on the inner wall of the casing on the front side. 前記弁板のシリンダバレルとの摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする請求項１または２に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 1 or 2, wherein a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the valve plate with a cylinder barrel. 前記シリンダバレルの弁板との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする請求項１または２に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 1 or 2, wherein a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the cylinder barrel with the valve plate. 作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、
前記弁板のシリンダバレルとの摺接面にはダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする斜板型流体機械。 A valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined with respect to the valve plate is fixed to the other end of the casing, and the rotation is installed so as to penetrate the valve plate. A cylinder barrel having a plurality of pistons on a shaft is integrally attached. One end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and one end of the piston is connected to the other end side of the cylinder barrel. In the swash plate type fluid machine slidably attached to the inclined annular circumferential surface of the swash plate,
A swash plate type fluid machine characterized in that a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the valve plate with a cylinder barrel. 前記シリンダバレルの弁板との摺接面が応力緩和材料から形成されていることを特徴とする請求項５に記載の斜板型流体機械。   6. The swash plate type fluid machine according to claim 5, wherein a sliding contact surface with the valve plate of the cylinder barrel is made of a stress relaxation material. 前記応力緩和材料がヤング率の低い材料であることを特徴とする請求項６に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 6, wherein the stress relaxation material is a material having a low Young's modulus. 前記ヤング率が５０ＧＰａ以下であることを特徴とする請求項７に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 7, wherein the Young's modulus is 50 GPa or less. 前記ヤング率の５０ＧＰａ以下の材料が合成樹脂材料であることを特徴とする請求項８に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 8, wherein the material having a Young's modulus of 50 GPa or less is a synthetic resin material. 前記応力緩和材料が硬さの低い材料であることを特徴とする請求項６に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 6, wherein the stress relaxation material is a material having low hardness. 前記硬さがビッカース硬さで１ＧＰａ以下であることを特徴とする請求項１０に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 10, wherein the hardness is 1 GPa or less in terms of Vickers hardness. 前記ビッカース硬さが１ＧＰａ以下の材料が合成樹脂材料、ＭｏＳ2、グラファイトから選ばれた一種、あるいはそれらの複合材料であることを特徴とする請求項１１に記載の斜板型流体機械。 The swash plate type fluid machine according to claim 11, wherein the material having a Vickers hardness of 1 GPa or less is a synthetic resin material, MoS 2 , graphite, or a composite material thereof. 作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、
前記シリンダバレルの弁板との摺接面にはダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする斜板型流体機械。 A valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined with respect to the valve plate is fixed to the other end of the casing, and the rotation is installed so as to penetrate the valve plate. A cylinder barrel having a plurality of pistons on a shaft is integrally attached. One end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and one end of the piston is connected to the other end side of the cylinder barrel. In the swash plate type fluid machine slidably attached to the inclined annular circumferential surface of the swash plate,
A swash plate type fluid machine characterized in that a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the cylinder barrel with a valve plate. 前記弁板のシリンダバレルとの摺接面が応力緩和材料から形成されていることを特徴とする請求項５に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 5, wherein a sliding contact surface of the valve plate with a cylinder barrel is formed of a stress relaxation material. 前記応力緩和材料がヤング率の低い材料であることを特徴とする請求項１４に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 14, wherein the stress relaxation material is a material having a low Young's modulus. 前記ヤング率が５０ＧＰａ以下であることを特徴とする請求項１５に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 15, wherein the Young's modulus is 50 GPa or less. 前記ヤング率の５０ＧＰａ以下の材料が合成樹脂材料であることを特徴とする請求項１６に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 16, wherein the material having a Young's modulus of 50 GPa or less is a synthetic resin material. 前記応力緩和材料が硬さの低い材料であることを特徴とする請求項１４に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 14, wherein the stress relaxation material is a material having low hardness. 前記硬さがビッカース硬さで１ＧＰａ以下であることを特徴とする請求項１８に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 18, wherein the hardness is 1 GPa or less in terms of Vickers hardness. 前記ビッカース硬さが１ＧＰａ以下の材料が合成樹脂材料、ＭｏＳ2、グラファイトから選ばれた一種、あるいはそれらの複合材料であることを特徴とする請求項１９に記載の斜板型流体機械。 The Vickers hardness synthetic resin material The following materials 1 GPa, MoS 2, one selected from graphite or swash plate type fluid machine according to claim 19 which is a composite material thereof. 作動流体のポートを有する弁板がケーシング内の一端に固定されるとともに、該ケーシング内の他端に前記弁板に対して傾斜した斜板が固定され、これらを貫通するように設置された回転軸に複数本のピストンを備えたシリンダバレルが一体的に取り付けられ、該シリンダバレルの一端面は前記弁板に摺動自在とされるとともに、該シリンダバレルの他端側において前記ピストンの一端が前記斜板の傾斜した環状の円周面に摺動自在に取り付けられている斜板型流体機械において、
前記弁板のシリンダバレル寄りの外周面に周面に沿って連続したスリット溝が形成されていることを特徴とする斜板型流体機械。 A valve plate having a working fluid port is fixed to one end of the casing, and a swash plate inclined with respect to the valve plate is fixed to the other end of the casing, and the rotation is installed so as to penetrate the valve plate. A cylinder barrel having a plurality of pistons on a shaft is integrally attached. One end surface of the cylinder barrel is slidable on the valve plate, and one end of the piston is connected to the other end side of the cylinder barrel. In the swash plate type fluid machine slidably attached to the inclined annular circumferential surface of the swash plate,
A swash plate type fluid machine characterized in that a slit groove continuous along the peripheral surface is formed on the outer peripheral surface of the valve plate near the cylinder barrel. 前記弁板のシリンダバレルとの摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする請求項２１に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 21, wherein a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the valve plate with a cylinder barrel. 前記シリンダバレルの弁板との摺接面にダイヤモンドライクカーボンコーティングが施されていることを特徴とする請求項２１に記載の斜板型流体機械。   The swash plate type fluid machine according to claim 21, wherein a diamond-like carbon coating is applied to a sliding contact surface of the cylinder barrel with the valve plate.
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