JP2005216885A - Substrate inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate inspection apparatus capable of easy and efficient operation, whether a lid is closed or opened. <P>SOLUTION: The substrate inspection apparatus comprises: a nearly box-like device body 1 having the opening/closing lid 5a that is opened and closed on the front; an inspection mechanism 30 for inspecting a substrate P carried into the device body 1; an inputting means 15 for inputting external information while being provided outside the device body 1; and a display means 10 that is provided outside the device body 1 and displays the inspection result. In the substrate inspection apparatus, an input display section 3 including the inputting means 15 and the display means 10 is provided at the front outside of the device body 1 so that it can travel in a prescribed range, and the prescribed range includes a proximity position in which at least the input display section 3 approaches the opening/closing lid 5a, and a retraction position separated from the opening/closing lid 5a. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、プリント基板等の検査に適用される基板検査装置に関するものであり、特に装置本体の前面において開閉される開閉蓋を備えたものに関する。   The present invention relates to a board inspection apparatus applied to inspection of a printed circuit board and the like, and more particularly to an apparatus provided with an opening / closing lid that is opened and closed on the front surface of the apparatus main body.

従来より、下記特許文献１に開示されているような基板検査装置（図６参照）が知られている。この基板検査装置９０は、前面において開閉される開閉蓋９２を備えた略箱状の装置本体９５の内部に基板を搬入し、検査するように構成されている。装置本体９５の外側には、キーボード等の入力手段９３と、ディスプレイ装置９１が設けられている。   Conventionally, a substrate inspection apparatus (see FIG. 6) as disclosed in Patent Document 1 below is known. The substrate inspection apparatus 90 is configured to carry a substrate into an inside of a substantially box-shaped apparatus main body 95 having an open / close lid 92 that is opened and closed on the front surface, and inspects the substrate. Outside the apparatus main body 95, an input means 93 such as a keyboard and a display device 91 are provided.

入力手段９３は、開閉蓋９２より手前側に張出した載置台９４に載置されている。またディスプレイ装置９１は、装置本体９５の上部に設けられている。   The input means 93 is mounted on a mounting table 94 that projects to the near side of the opening / closing lid 92. The display device 91 is provided on the upper part of the device main body 95.

通常、作業者がこの基板検査装置９０に対面して行う作業として、開閉蓋９２を閉めて行う作業と開けて行う作業とがある。開閉蓋９２を閉めて行う作業には、例えば入力手段９３によって検査条件や各種パラメータを入力したり、ディスプレイ装置９１に表示された検査結果を確認したり、或いはその両方を同時に行ったりする作業がある。開閉蓋９２を開けて行う作業には、例えばディスプレイ装置９１に表示された検査結果を確認しつつ、実際に内部の基板を目視チェックしたり、それに応じて入力手段９３から対処情報を入力したりする作業がある。また、装置本体９５の内部の検査機構を保守点検するときにも開閉蓋９２を開いて行う。
特開２００１−１５３６４２号公報 Usually, the work performed by the operator facing the substrate inspection apparatus 90 includes a work performed by closing the open / close lid 92 and a work performed by opening the cover 92. The work performed by closing the open / close lid 92 includes, for example, inputting inspection conditions and various parameters by the input means 93, confirming the inspection results displayed on the display device 91, or simultaneously performing both. is there. For the work to be performed by opening the opening / closing lid 92, for example, while checking the inspection result displayed on the display device 91, the internal substrate is actually visually checked, or the countermeasure information is input from the input means 93 accordingly. There is work to do. Further, when the inspection mechanism inside the apparatus main body 95 is subjected to maintenance inspection, the opening / closing lid 92 is opened.
JP 2001-153642 A

しかしながら上記基板検査装置９０は、開閉蓋９２を開けて行う作業において、支障をきたしたり、作業がやり難くなったりするという問題があった。   However, the substrate inspection apparatus 90 has a problem in that the work performed by opening the opening / closing lid 92 is hindered or the work becomes difficult.

例えば、載置台９４が開閉蓋９２の手前に張出しているため、保守点検を行う際、作業者が開閉蓋９２の開口部に充分近づくことができず、作業がやり難くなっていた。また、開閉蓋９２は、通常上方へ跳ね上げて開蓋されるが、そうするとディスプレイ装置９１の表示面が開けた開閉蓋９２で隠れてしまう。従って、ディスプレイ装置９１に表示された検査結果を確認しつつ、実際に内部の基板を目視チェックすることが困難であった。これを解決するため、例えばディスプレイ装置９１を手前の載置台９４に載置することも考えられるが、そうすると別の新たな問題が発生する。即ち、作業者はディスプレイ装置９１よりも手前側に位置して作業する必要があるので、必然的に開閉蓋９２の開口部からある程度離れて作業しなければならなくなる。そうすると開口部から内部を覗き込むような動作をすることができず、またディスプレイ装置９１によって開口部の一部が隠れてしまい、目視チェックが困難になる。また入力手段９３だけでなくディスプレイ装置９１も載置台９４に載置すると、上記保守点検作業が一層やり難くなる。   For example, since the mounting table 94 protrudes in front of the opening / closing lid 92, the operator cannot sufficiently approach the opening of the opening / closing lid 92 when performing maintenance and inspection, and the operation is difficult. In addition, the open / close lid 92 is normally flipped upward to be opened, but then the display surface of the display device 91 is hidden by the open open / close lid 92. Therefore, it is difficult to actually visually check the internal substrate while confirming the inspection result displayed on the display device 91. In order to solve this, for example, it is conceivable to place the display device 91 on the placing table 94 in the foreground, but this causes another new problem. That is, since the operator needs to work while being positioned in front of the display device 91, the worker must inevitably work away from the opening of the opening / closing lid 92. If it does so, the operation | movement which looks into the inside from an opening part cannot be performed, and a part of opening part will be hidden by the display apparatus 91, and visual check will become difficult. If not only the input means 93 but also the display device 91 is mounted on the mounting table 94, the maintenance and inspection work becomes more difficult.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、上記開閉蓋を閉めて行う作業も、開けて行う作業も、何れもやり易く、効率的に行うことができる基板検査装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is to easily and efficiently perform both the work performed by opening and closing the opening / closing lid and the work performed by opening the cover. It is to provide a substrate inspection apparatus.

上記の目的を達成するため、本発明は、前面側において開閉される開閉蓋を備えた略箱状の装置本体と、該装置本体内に搬入された基板を検査する検査機構と、上記装置本体の外側に設けられて外部情報を入力する入力手段と、上記装置本体の外側に設けられて検査結果を表示する表示手段とを備えた基板検査装置において、上記入力手段と上記表示手段とを含む入力・表示部が、上記装置本体の前方外側に所定範囲内で移動可能に設けられ、上記所定範囲には、少なくとも上記入力・表示部が上記開閉蓋に近接した近接位置と、上記開閉蓋から離れた退避位置とが含まれていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention provides a substantially box-shaped device main body having an opening / closing lid that is opened and closed on the front side, an inspection mechanism for inspecting a substrate carried into the device main body, and the device main body. A substrate inspection apparatus provided with an input means for inputting external information provided outside and a display means for displaying inspection results provided outside the apparatus main body, including the input means and the display means An input / display unit is provided on the front outer side of the apparatus main body so as to be movable within a predetermined range. In the predetermined range, at least the input / display unit is close to the open / close lid and from the open / close lid And a remote retreat position.

このようにすると、表示部を開閉蓋よりも前方外側（作業者にとって手前側）に配しているので、表示部の表示が開いた開閉蓋に隠れることが確実に防止される。また開閉蓋を開けて行う作業のうち、作業者が入力や表示の確認に関与する作業、例えば表示手段に表示された検査結果を確認しつつ、実際に内部の基板を目視チェックしたり、それに応じて入力手段から対処情報を入力したりする作業を行う場合には、入力・表示部を近接位置に移動させて行うことにより、目視チェックがやり易くなり、効率的に作業を行うことができる。   In this case, since the display unit is arranged on the front outer side (front side for the operator) of the opening / closing lid, it is reliably prevented that the display of the display unit is hidden by the opened opening / closing lid. Also, among the work to be performed by opening the open / close lid, the work involved in the confirmation of input and display, for example, checking the inspection results displayed on the display means while actually checking the internal substrate visually, Accordingly, when performing work such as inputting countermeasure information from the input means, moving the input / display unit to a close position facilitates visual check and enables efficient work. .

また、開閉蓋を開けて行う作業のうち、作業者が入力や表示の確認に関与しない作業、例えば保守点検作業を行う場合には、入力・表示部を退避位置に移動させて行うことにより、作業者が開口部に充分近接して作業が行うことができ、また入力・表示部が作業の妨げになることもないので、効率的に作業を行うことができる。   In addition, among the work performed by opening the open / close lid, when performing work that is not involved in the confirmation of input and display, such as maintenance inspection work, by moving the input / display unit to the retracted position, The operator can perform the work sufficiently close to the opening, and the input / display unit does not hinder the work, so the work can be performed efficiently.

近接位置として、上記近接位置にある上記入力・表示部は、上記開閉蓋が開蓋状態にあるときの開口部に、平面視で接するか又は一部が入り込む位置まで近接するようにすれば好ましい。   As the proximity position, it is preferable that the input / display unit at the proximity position is close to the opening when the opening / closing lid is in the open state or close to a position where a part of the input / display unit enters. .

この程度まで入力・表示部を近接させれば、内部を覗き込むような目視チェックをしながらの作業も容易となる。   If the input / display unit is brought close to this level, the work while performing a visual check to look into the inside becomes easy.

退避位置として、上記退避位置にある上記入力・表示部は、上記開閉蓋が開蓋状態にあるときの開口部に対し、正面視で半分以上乃至は全部が該開口部の外側に存在するようにすれば好ましい。   As the retracted position, the input / display unit at the retracted position is more than half or all of the input / display unit outside the opening in front view with respect to the opening when the opening / closing lid is in the open state. This is preferable.

この程度まで入力・表示部を退避させれば、開口部前の作業スペースが充分確保されるので、保守点検作業を効率的に行うことができる。   If the input / display unit is evacuated to this extent, a sufficient work space in front of the opening is secured, so that maintenance and inspection work can be performed efficiently.

上記のような構成を具体的に実現する構造として、上記入力・表示部は、上記装置本体の前方であって、かつ同装置本体の左右何れかの端部寄りに設けられる回動軸に支持されることにより水平面内で回動可能に設けると好ましい。   As a structure that specifically realizes the above-described configuration, the input / display unit is supported by a rotating shaft that is provided in front of the apparatus main body and near either the left or right end of the apparatus main body. Thus, it is preferable to be provided so as to be rotatable in a horizontal plane.

このようにすると、簡単な構造で近接位置と退避位置との移動が可能となる。また、回動角度を適宜調節することにより、近接位置と退避位置との間の中間位置を自在に設定することができる。   In this way, it is possible to move the proximity position and the retreat position with a simple structure. Further, by appropriately adjusting the rotation angle, an intermediate position between the proximity position and the retracted position can be freely set.

この場合、上記近接位置は、上記表示部の表示面が前面に向く中立位置から上記入力・表示部を装置本体の中央寄りに回動させた位置が好適であり、上記退避位置は、上記表示部の表示面が前面に向く中立位置から上記入力・表示部を装置本体の中央側とは反対側寄りに回動させた位置が好適である。   In this case, the proximity position is preferably a position where the input / display unit is rotated toward the center of the apparatus main body from a neutral position where the display surface of the display unit faces the front, and the retracted position is the display position. A position where the input / display unit is rotated toward a side opposite to the central side of the apparatus main body from a neutral position where the display surface of the unit faces the front is preferable.

以上説明したように、本発明に係る基板検査装置によれば、入力・表示部が、装置本体の前方外側に所定範囲内で移動可能に設けられ、上記所定範囲には、少なくとも上記入力・表示部が上記開閉蓋に近接した近接位置と、上記開閉蓋から離れた退避位置とが含まれているように構成しているので、開閉蓋を閉めて行う作業も、開けて行う作業も、何れもやり易く、効率的に行うことができる。   As described above, according to the board inspection apparatus according to the present invention, the input / display unit is provided on the front outer side of the apparatus body so as to be movable within a predetermined range, and at least the input / display is included in the predetermined range. The unit is configured to include a proximity position close to the opening / closing lid and a retracted position away from the opening / closing lid. It is easy to do and can be done efficiently.

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１から図３はそれぞれ本実施形態に係る基板検査装置の外観を示している。図１は同検査装置の正面図であり、図２は同検査装置の側面図であり、図３は同検査装置の平面図である。検査装置の装置本体１は、支持脚７５上の基台の前面、上面、後面及び左右側面にそれぞれカバー５，６，７，８，９が被せられており、全体として略直方体の箱状に構成されるとともに、その上面における前部が傾斜した構成とされている。   1 to 3 show the appearance of the substrate inspection apparatus according to this embodiment. 1 is a front view of the inspection apparatus, FIG. 2 is a side view of the inspection apparatus, and FIG. 3 is a plan view of the inspection apparatus. The apparatus main body 1 of the inspection apparatus has covers 5, 6, 7, 8, and 9 on the front, top, rear, and left and right side surfaces of the base on the support leg 75, respectively, and has a substantially rectangular parallelepiped box shape as a whole. In addition, the front portion of the upper surface is inclined.

上面カバー５の手前側は図２に示すように開閉自在の開閉蓋５ａとなっており、この開閉蓋５ａを開蓋することにより、開口部５ｂがあらわれ、検査対象としての例えばプリント基板Ｐ（以下、基板Ｐという）の検査機構３０（図４参照）が露出するようになっている。左右の側面カバー８，９には、矩形状の搬入口８ａ及び搬出口９ａがそれぞれ対応する位置に形成されている。このうち装置に向かって左側の側面カバー８に設けられた搬入口８ａは、基板Ｐを検査機構３０へ搬入するためのものであり、装置に向かって右側の側面カバー９に設けられた搬出口９ａは、基板Ｐを検査機構３０から外部へ搬出するためのものである。   As shown in FIG. 2, the front side of the top cover 5 is an openable / closable open / close lid 5a. By opening the open / close lid 5a, an opening 5b appears, and for example a printed circuit board P ( Hereinafter, the inspection mechanism 30 (refer to FIG. 4) of the substrate P) is exposed. The left and right side covers 8, 9 are respectively formed with rectangular carry-in ports 8a and carry-out ports 9a at corresponding positions. Among these, the carry-in port 8a provided in the left side cover 8 toward the apparatus is for carrying the substrate P into the inspection mechanism 30, and the carry-out port provided in the right side cover 9 toward the apparatus. 9a is for carrying the board | substrate P out of the test | inspection mechanism 30 outside.

前面カバー６の上端付近には、向かって左寄りに、装置本体１の前方外側（図２における右側）に張出したアーム２１が設けられ、アーム２１の先端に、回動軸２２を介して入力・表示部３が設けられている。入力・表示部３は、回動軸２２に支持された載置台２０と、その上に設けられた入力装置１５（入力手段）及びディスプレイ装置１０（表示手段）からなる。入力装置１５はキーボードやマウス等からなり、外部情報を入力する装置である。ディスプレイ装置１０は、その入力情報や検査結果を表示する装置である。入力・表示部３は、回動軸２２を中心に水平面内で約１６０度の範囲で回動させることができるようになっている。また、図外の回動フリクション機構により、任意の位置で停止させることができる。   In the vicinity of the upper end of the front cover 6, an arm 21 is provided on the left side of the front cover 6 so as to project to the front outer side (right side in FIG. 2) of the apparatus main body 1. A display unit 3 is provided. The input / display unit 3 includes a mounting table 20 supported by a rotating shaft 22, an input device 15 (input means) and a display device 10 (display means) provided thereon. The input device 15 includes a keyboard and a mouse, and is a device for inputting external information. The display device 10 is a device that displays the input information and inspection results. The input / display unit 3 can be rotated within a range of about 160 degrees in the horizontal plane around the rotation shaft 22. Further, it can be stopped at an arbitrary position by a rotation friction mechanism (not shown).

ディスプレイ装置１０は、その表示面を回動円弧ｃ（図３）の外側に向けて載置されており、更にその外側に入力装置１５が載置されている。従ってディスプレイ装置１０の表示面に正対した作業者ｍは、その表示内容を確認しつつ入力作業を行うことができるようになっている。   The display device 10 is placed with its display surface facing the outer side of the rotating arc c (FIG. 3), and the input device 15 is placed further outside. Therefore, the worker m facing the display surface of the display device 10 can perform the input work while confirming the display content.

装置本体１の内部に設けられた検査機構３０は公知の機構なので詳細な説明は省略するが、基板Ｐを搬入出させるコンベアと、前後方向（図４に示す上下方向）に移動可能なテーブル上に支持されたコンベアと、モータによりボールねじ等を介して上記テーブルを移動させる機構と、基板の上方で左右方向に移動可能な基板検査ヘッドと、モータによりボールねじ等を介して上記基板検査ヘッドを移動させる機構とを備えている。基板検査ヘッドには基板Ｐの所定の検査位置で撮像する撮像手段（ＣＣＤカメラ等）が備えられ、例えば基板Ｐに実装された電子部品等を撮像し、その状態（位置ズレ等）を検査する。また特に図示しないが、検査機構３０の各作動を制御するとともに、撮像された画像を処理し、検査を実行する制御装置も基板検査装置に内蔵されている。   Since the inspection mechanism 30 provided inside the apparatus main body 1 is a known mechanism, a detailed description thereof will be omitted, but a conveyor for carrying the substrate P in and out, and a table movable in the front-rear direction (vertical direction shown in FIG. 4). A conveyor that is supported by the motor, a mechanism that moves the table via a ball screw or the like by a motor, a substrate inspection head that is movable in the left-right direction above the substrate, and the substrate inspection head that is moved by a motor via the ball screw or the like And a mechanism for moving the. The substrate inspection head is provided with an imaging means (CCD camera or the like) for imaging at a predetermined inspection position of the substrate P. For example, the electronic component mounted on the substrate P is imaged and its state (positional deviation or the like) is inspected. . Although not particularly illustrated, a control device that controls each operation of the inspection mechanism 30, processes a captured image, and executes an inspection is also incorporated in the substrate inspection device.

次に、入力・表示部３の回動位置について詳細に説明する。上述のように入力・表示部３は、その可動範囲内で任意の位置に移動させ、停止させることができるが、代表的な位置として、中立位置、近接位置及び退避位置をとることができる。   Next, the rotation position of the input / display unit 3 will be described in detail. As described above, the input / display unit 3 can be moved to an arbitrary position within the movable range and stopped, but a neutral position, a proximity position, and a retracted position can be taken as representative positions.

図３に示す平面図は、入力・表示部３が中立位置にある状態を示している。中立位置では、ディスプレイ装置１０の表示面が前面を向いている。つまり装置本体１に正対した作業者ｍが、ディスプレイ装置１０の表示面にも正対する位置関係となる。   The plan view shown in FIG. 3 shows a state where the input / display unit 3 is in the neutral position. In the neutral position, the display surface of the display device 10 faces the front. That is, the worker m facing the apparatus main body 1 has a positional relationship facing the display surface of the display device 10.

図４は、開閉蓋５ａを開蓋し、入力・表示部３を近接位置とした状態を示す平面図である。近接位置は、入力・表示部３を中立位置から内側（中立位置から平面視で左回り）に角度θ１だけ回動させた位置である。当実施形態ではθ１＝９０度である。図４に示すように、近接位置において、入力・表示部３はその一部が平面視で開口部５ｂに入り込む位置まで近接している。また、ディスプレイ装置１０に正対した作業者ｍが、そのすぐ体側に開口部５ｂから検査機構３０を目視することができる位置関係になっている。   FIG. 4 is a plan view showing a state in which the opening / closing lid 5a is opened and the input / display unit 3 is in the close position. The proximity position is a position where the input / display unit 3 is rotated by an angle θ1 inward from the neutral position (counterclockwise from the neutral position in plan view). In this embodiment, θ1 = 90 degrees. As shown in FIG. 4, at the close position, the input / display unit 3 is close to a position where a part thereof enters the opening 5b in plan view. In addition, the worker m facing the display device 10 is in a positional relationship such that the inspection mechanism 30 can be viewed from the opening 5b immediately on the body side.

図５は、開閉蓋５ａを開蓋し、入力・表示部３を退避位置とした状態を示す平面図である。退避位置は、入力・表示部３を中立位置から外側（中立位置から平面視で右回り）に角度θ２だけ回動させた位置である。当実施形態ではθ２＝４５度以上であり、最大でθ２＝７０度（二点鎖線で示す）まで退避させることができる。図５に示すように、退避位置において、入力・表示部３は、正面視で殆ど全部が開口部５ｂの外側に存在するような位置関係になっている。   FIG. 5 is a plan view showing a state in which the opening / closing lid 5a is opened and the input / display unit 3 is in the retracted position. The retracted position is a position where the input / display unit 3 is rotated by an angle θ2 outward from the neutral position (clockwise in plan view from the neutral position). In this embodiment, θ2 = 45 degrees or more, and it is possible to retreat up to θ2 = 70 degrees (indicated by a two-dot chain line). As shown in FIG. 5, in the retracted position, the input / display unit 3 is in a positional relationship such that almost all of the input / display unit 3 exists outside the opening 5b in front view.

次に、基板検査装置の作動について、主に作業者ｍが入力・表示部３と関与する作業を中心に説明する。まず検査に先立ち、作業者ｍが検査条件や各種パラメータ等を入力装置１５から入力する。この作業は、特に必要のない限り、開閉蓋５ａを閉じて行う。このときの入力・表示部３の位置は、作業者ｍが最もその作業を効率的に行うことができると判断する位置を選択（例えば中立位置）して行えば良い。   Next, the operation of the substrate inspection apparatus will be described mainly focusing on the work in which the worker m is involved with the input / display unit 3. First, prior to the inspection, the operator m inputs inspection conditions, various parameters, and the like from the input device 15. This operation is performed with the open / close lid 5a closed unless particularly required. The position of the input / display unit 3 at this time may be selected by selecting a position at which the worker m determines that the work can be most efficiently performed (for example, a neutral position).

続いて検査機構３０による検査を実行する。具体的には、搬入口８ａから検査機構３０へ、検査対象の基板Ｐが搬入される。そして検査機構３０の撮像手段によって各検査位置での撮像がなされる。その画像は制御手段によって画像処理がなされ、実装された電子部品の位置ズレ等の検査が実行される。検査結果はディスプレイ装置１０に出力され、検査完了後、基板Ｐが搬出口９ａから搬出される。   Subsequently, an inspection by the inspection mechanism 30 is executed. Specifically, the substrate P to be inspected is carried into the inspection mechanism 30 from the carry-in port 8a. Then, imaging at each inspection position is performed by the imaging means of the inspection mechanism 30. The image is subjected to image processing by the control means, and inspection such as positional deviation of the mounted electronic component is executed. The inspection result is output to the display device 10, and after the inspection is completed, the substrate P is unloaded from the carry-out port 9a.

検査中に異常が発見される等して、作業者による目視チェックが必要なときは、開閉蓋５ａを開蓋して行う。その際、図４に示すように入力・表示部３を近接位置に移動させ、作業者ｍが開口部５ｂに充分接近することにより、効率的に行うことができる。即ち、図４に示す近接位置では、作業者ｍはディスプレイ装置１０に表示された検査結果を確認しつつ、実際の基板Ｐを目視チェックすることが容易にできる。そして、その目視チェックに基づく対処情報を即座に入力装置１５から入力することができる。なお、図４に示す近接位置で開閉蓋５ａを開閉すると、開閉蓋５ａと入力・表示部３とが接触するので、開閉蓋５ａを開閉させるときにはその接触が起こらない位置に入力・表示部３を移動させて行う。   When a visual check by the operator is necessary due to an abnormality found during the inspection, the opening / closing lid 5a is opened. At that time, as shown in FIG. 4, the input / display unit 3 is moved to the close position, and the worker m can approach the opening 5b sufficiently, so that the operation can be performed efficiently. That is, at the proximity position shown in FIG. 4, the operator m can easily visually check the actual substrate P while confirming the inspection result displayed on the display device 10. Then, handling information based on the visual check can be immediately input from the input device 15. When the opening / closing lid 5a is opened and closed at the close position shown in FIG. 4, the opening / closing lid 5a and the input / display unit 3 come into contact with each other. To move.

検査機構３０を保守点検する場合も、開閉蓋５ａを開蓋して行う。その際、図５に示すように入力・表示部３を退避位置に移動させて行うと好適である。即ち、作業者ｍは開口部５ｂに充分接近することができ、また作業者ｍの作業スペースも広く確保できるので作業がやり易く、効率的に保守点検作業を行うことができる。   The maintenance of the inspection mechanism 30 is also performed by opening the opening / closing lid 5a. At this time, it is preferable to move the input / display unit 3 to the retracted position as shown in FIG. That is, the worker m can sufficiently approach the opening 5b and can secure a wide working space for the worker m. Therefore, the worker m can be easily performed and the maintenance inspection work can be efficiently performed.

なお、上述のような入力・表示部３の位置と各種作業との関係は、最も推奨する使用形態を述べたものであり、必ずしも限定するものではない。例えば、状況に応じて基板Ｐの目視チェックを中立位置で行ったり、保守点検作業を近接位置で行ったりしても良い。   The relationship between the position of the input / display unit 3 and various operations as described above describes the most recommended usage and is not necessarily limited. For example, the visual check of the substrate P may be performed at the neutral position or the maintenance / inspection work may be performed at the close position depending on the situation.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定するものではなく、特許請求の範囲内で適宜変形して良い。例えば、適宜モータ等を設けて入力・表示部３が自動的に回動するようにしても良い。   Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and may be appropriately modified within the scope of the claims. For example, an appropriate motor or the like may be provided so that the input / display unit 3 automatically rotates.

また入力・表示部３の移動は必ずしも回転移動に限定しない。適宜直線上又は曲線上を平行移動させたり、回転運動と平行移動とを組み合わせたり、或いは高さ方向も加えた三次元的移動をさせたりしても良い。   Further, the movement of the input / display unit 3 is not necessarily limited to rotational movement. It may be appropriately translated on a straight line or a curved line, a combination of rotational movement and parallel movement, or a three-dimensional movement including the height direction.

本発明の実施形態に係る基板検査装置の正面図である。It is a front view of the board | substrate inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 上記基板検査装置の側面図である。It is a side view of the said board | substrate inspection apparatus. 上記基板検査装置の平面図であり、入力・表示部が中立位置にある状態を示す。It is a top view of the said board | substrate inspection apparatus, and shows the state which has an input and a display part in a neutral position. 上記基板検査装置の開蓋時の平面図であり、入力・表示部が近接位置にある状態を示す。It is a top view at the time of the lid | cover opening of the said board | substrate inspection apparatus, and shows the state which has an input and a display part in a proximity position. 上記基板検査装置の開蓋時の平面図であり、入力・表示部が退避位置にある状態を示す。It is a top view at the time of lid opening of the said board | substrate inspection apparatus, and shows the state which has an input and a display part in a retracted position. 従来の基板検査装置を示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows the conventional board | substrate inspection apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ 装置本体
３ 入力・表示部
５ａ 開閉蓋
５ｂ 開口部
１０ ディスプレイ装置（表示手段）
１５ 入力装置（入力手段）
３０ 検査機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Apparatus main body 3 Input / display part 5a Opening / closing lid 5b Opening part 10 Display apparatus (display means)
15 Input device (input means)
30 Inspection mechanism

Claims (6)

前面側において開閉される開閉蓋を備えた略箱状の装置本体と、該装置本体内に搬入された基板を検査する検査機構と、上記装置本体の外側に設けられて外部情報を入力する入力手段と、上記装置本体の外側に設けられて検査結果を表示する表示手段とを備えた基板検査装置において、
上記入力手段と上記表示手段とを含む入力・表示部が、上記装置本体の前方外側に所定範囲内で移動可能に設けられ、
上記所定範囲には、少なくとも上記入力・表示部が上記開閉蓋に近接した近接位置と、上記開閉蓋から離れた退避位置とが含まれていることを特徴とする基板検査装置。 A substantially box-shaped device main body having an opening / closing lid that is opened and closed on the front side, an inspection mechanism for inspecting a substrate carried into the device main body, and an input provided on the outside of the device main body for inputting external information In a substrate inspection apparatus provided with means and a display means provided on the outside of the apparatus main body for displaying an inspection result,
An input / display unit including the input unit and the display unit is provided on the front outer side of the apparatus main body so as to be movable within a predetermined range.
The substrate inspection apparatus, wherein the predetermined range includes at least a proximity position where the input / display unit is close to the open / close lid and a retracted position apart from the open / close lid. 上記近接位置にある上記入力・表示部は、上記開閉蓋が開蓋状態にあるときの開口部に、平面視で接するか又は一部が入り込む位置まで近接するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。   The input / display unit in the proximity position is configured to be in contact with the opening when the opening / closing lid is in the open state or close to a position where a part of the input / display unit enters. The substrate inspection apparatus according to claim 1. 上記退避位置にある上記入力・表示部は、上記開閉蓋が開蓋状態にあるときの開口部に対し、正面視で半分以上乃至は全部が該開口部の外側に存在するように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の基板検査装置。   The input / display unit in the retracted position is configured so that more than half or all of the input / display unit is outside the opening in front view with respect to the opening when the opening / closing lid is in the open state. The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein 上記入力・表示部は、上記装置本体の前方であって、かつ同装置本体の左右何れかの端部寄りに設けられる回動軸に支持されることにより水平面内で回動可能に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の基板検査装置。   The input / display unit is rotatably provided in a horizontal plane by being supported by a rotation shaft provided in front of the apparatus main body and near either one of the left and right ends of the apparatus main body. The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the substrate inspection apparatus is a substrate inspection apparatus. 上記近接位置は、上記表示部の表示面が前面に向く中立位置から上記入力・表示部を装置本体の中央寄りに回動させた位置であることを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。   5. The substrate inspection apparatus according to claim 4, wherein the proximity position is a position obtained by rotating the input / display unit toward the center of the apparatus main body from a neutral position where the display surface of the display unit faces the front surface. . 上記退避位置は、上記表示部の表示面が前面に向く中立位置から上記入力・表示部を装置本体の中央側とは反対側寄りに回動させた位置であることを特徴とする請求項４または５記載の基板検査装置。   5. The retracted position is a position obtained by rotating the input / display unit toward a side opposite to the center side of the apparatus main body from a neutral position in which the display surface of the display unit faces the front surface. Or the board | substrate inspection apparatus of 5.
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