JP2005208994A - Servo controller device and method for creating signal calibration map thereof - Google Patents

Servo controller device and method for creating signal calibration map thereof Download PDF

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幸弘 横山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a servo controller device having the function of automatically creating a signal calibration map for calibrating errors in the detection of a displacement detector and a method for creating the signal calibration map thereof. <P>SOLUTION: The servo controller device for an exciter includes a displacement detector 3-1 for detecting the amount of displacement of a servo actuator 1 and an output calibrating part 2-4 that calibrates outputs on the basis of the signal calibration map for calibrating errors in the detection of nonlinearity with the outputs of the displacement detector 3-1. The servo controller device constitutes a displacement feedback group that brings the amount of displacement of the servo actuator 1 close to a desired value according to the outputs of the output calibrating part 2-4. The servo controller device has a map creating part 2-5 that, with a standard 6 connected to the servo actuator 1 together with the displacement detector 3-1 during creation of the signal calibration map, drives the servo actuator 1 from a start point to an end point and, at the input of the output of the displacement detector 3-1 and the output of the standard 6, creates the signal calibration map for calibrating errors in the detection of the nonlinearity with the outputs of the displacement detector 3-1. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、変位検出器を用いて変位フィードバックループを構成するサーボコントローラ装置及びその信号校正マップの作成方法の改良に関するものである。   The present invention relates to an improvement in a servo controller device that constitutes a displacement feedback loop using a displacement detector and a method for creating a signal calibration map thereof.

被試験体を任意の加振波形に従って加振し、その性能や耐久性を試験する加振機において、加振波形の歪みを抑え、目標とする加振波形が正しく再現されることが要求される。   In a vibration exciter that vibrates a DUT according to an arbitrary vibration waveform and tests its performance and durability, it is required that distortion of the vibration waveform is suppressed and the target vibration waveform is reproduced correctly. The

従来、この種の加振機のサーボコントローラ装置として、例えば図４に示すものがある（特許文献１参照）。   Conventionally, as a servo controller device of this type of vibrator, for example, there is one shown in FIG. 4 (see Patent Document 1).

このシステムは基本的に、サーボアクチュエータ１、コントローラ２、検出器３、信号観測器４から構成される。   This system basically includes a servo actuator 1, a controller 2, a detector 3, and a signal observer 4.

コントローラ２は加振波形の目標値を出力する信号発生器２−１、加算部２−３、調節部２−２からなる。   The controller 2 includes a signal generator 2-1 that outputs a target value of the excitation waveform, an adder 2-3, and an adjuster 2-2.

検出器３はＬＶＤＴ変位検出器３−１、速度検出器３−２、加速度検出器３−３からなる。   The detector 3 includes an LVDT displacement detector 3-1, a speed detector 3-2, and an acceleration detector 3-3.

コントローラ２は信号発生器２−１から出力される加振波形の目標値と変位検出器３−１の出力（観測変位）が加算部２−３で比較され、その偏差分に調節部２−２でゲインをかけた信号を出力し、サーボアクチュエータ１の動きを目標とする加振波形に従って制御する。   The controller 2 compares the target value of the excitation waveform output from the signal generator 2-1 with the output (observed displacement) of the displacement detector 3-1 by the adder 2-3, and adjusts 2- The signal multiplied by gain 2 is output, and the movement of the servo actuator 1 is controlled according to the target excitation waveform.

ところで、変位検出器３−１は、差動トランスのコイルの中を可動鉄心が移動することによって出力電圧が変化する構造のため、コイルを構成する線材の配列に起因して、変位検出器３−１の出力は微少な非直線性の検出誤差を持つ。   By the way, since the displacement detector 3-1 has a structure in which the output voltage is changed by moving the movable iron core in the coil of the differential transformer, the displacement detector 3 is caused by the arrangement of the wires constituting the coil. The output of −1 has a slight non-linear detection error.

これに対処して、コントローラ２は変位検出器３−１の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する信号校正マップを予め設定し、この信号校正マップに基づき出力を校正する出力校正部２−４を備える。   In response to this, the controller 2 presets a signal calibration map for calibrating the non-linearity detection error of the output of the displacement detector 3-1, and the output calibration unit 2 calibrates the output based on this signal calibration map. -4.

この出力校正部２−４は変位検出器３−１の出力が持つ微少な非直線性の検出誤差をリアルタイムで校正するため、コントローラ２は検出誤差を含まない検出値を基にサーボアクチュエータ１をフィードバック制御する。これにより、サーボアクチュエータ１の制御量と目標とする加振波形の間に出力の誤差に起因した微少なズレが生じることを解消できる。   Since the output calibration unit 2-4 calibrates the minute non-linearity detection error of the output of the displacement detector 3-1, the controller 2 controls the servo actuator 1 based on the detection value not including the detection error. Feedback control. As a result, it is possible to eliminate the slight deviation caused by the output error between the control amount of the servo actuator 1 and the target excitation waveform.

コントローラ２に信号校正マップを設定するのにあたって、サーボアクチュエータ１に対して変位検出器３−１と共に図示しない基準器を接続し、人の操作によって変位検出器３−１の出力とこの基準器の出力とに応じて信号校正マップを設定する。基準器はサーボアクチュエータ１の変位を所定の精度で検出するものである。   In setting the signal calibration map in the controller 2, a reference device (not shown) is connected to the servo actuator 1 together with the displacement detector 3-1, and the output of the displacement detector 3-1 and the reference device are detected by a human operation. The signal calibration map is set according to the output. The reference device detects the displacement of the servo actuator 1 with a predetermined accuracy.

図５のフローチャートはコントローラ２に信号校正マップを設定する操作手順を示している。これについて説明すると、まず、ステップ１にて、人がサーボアクチュエータ１を所定の測定位置に移動して変位検出器３−１から出力される検出値を図示しないモニタを介して測定し、記録する。続くステップ２にて、この基準器から出力される検出値を図示しないモニタを介して測定し、記録する。ステップ４にて、この測定位置における変位検出器３−１の出力を基準器の出力とに応じて信号校正マップのデータを作成する。   The flowchart of FIG. 5 shows an operation procedure for setting a signal calibration map in the controller 2. This will be described. First, in step 1, a person moves the servo actuator 1 to a predetermined measurement position, and the detected value output from the displacement detector 3-1 is measured and recorded through a monitor (not shown). . In the subsequent step 2, the detection value output from the reference device is measured and recorded via a monitor (not shown). In step 4, signal calibration map data is created in accordance with the output of the displacement detector 3-1 at this measurement position and the output of the reference device.

続くステップ５にて、次の測定位置にサーボアクチュエータ１を移動し、再びステップ１〜４の操作にてこの測定位置における変位検出器３−１の出力を基準器の出力と比較して信号校正マップのデータを作成する。   In the next step 5, the servo actuator 1 is moved to the next measurement position, and the signal calibration is performed again by comparing the output of the displacement detector 3-1 at this measurement position with the output of the reference device by the operations of steps 1-4. Create map data.

ステップ３にて全ての測定点にて信号校正マップのデータを作成する作業が終了したことが判定されると、作成されたマップを信号校正マップとしてコントローラ２に登録し、この校正作業を終了する。
特開２００２−１１３４２０号公報 When it is determined in step 3 that the operation of creating signal calibration map data at all measurement points has been completed, the created map is registered in the controller 2 as a signal calibration map, and this calibration operation is terminated. .
JP 2002-113420 A

しかしながら、このような従来のサーボコントローラ装置にあっては、コントローラ２に信号校正マップを設定する操作は人為的に行われる構成となっているため、作業者が測定およびデータの入力操作を測定点毎に繰り返し行う必要があり、多大な手間がかかるとともに、ヒューマンエラーを発生する可能性があった。   However, in such a conventional servo controller device, since the operation for setting the signal calibration map in the controller 2 is performed manually, the operator performs the measurement and data input operation at the measurement point. This has to be repeated every time, which takes a lot of time and may cause human error.

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、変位検出器の検出誤差を校正する信号校正マップを自動的に作成する機能を有するサーボコントローラ装置及びその信号校正マップの作成方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a servo controller device having a function of automatically creating a signal calibration map for calibrating a detection error of a displacement detector, and a method for creating the signal calibration map. The purpose is to do.

本発明は、サーボアクチュエータの変位量を検出する変位検出器と、この変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する信号校正マップに基づき出力を校正する出力校正部とを備え、この出力校正部の出力に応じてサーボアクチュエータの変位量を目標値に近づける変位フィードバックループを構成するサーボコントローラ装置に適用する。   The present invention includes a displacement detector that detects the displacement amount of the servo actuator, and an output calibration unit that calibrates the output based on a signal calibration map that calibrates the non-linearity detection error of the output of the displacement detector, The present invention is applied to a servo controller device that constitutes a displacement feedback loop that brings the displacement amount of a servo actuator close to a target value in accordance with the output of the output calibration unit.

そして、信号校正マップの作成時にサーボアクチュエータに対して変位検出器と共に基準器を接続した状態でサーボアクチュエータを駆動し、変位検出器の出力とこの基準器の出力をそれぞれ入力して変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する信号校正マップを作成するマップ作成部を備えたことを特徴とするものとした。   Then, when creating the signal calibration map, the servo actuator is driven in a state in which the reference device is connected to the servo actuator together with the displacement detector, and the output of the displacement detector and the output of this reference device are input respectively. A map creation unit for creating a signal calibration map for calibrating the non-linearity detection error of the output is provided.

本発明によると、信号校正マップの作成時に基準器をサーボアクチュエータに接続してサーボアクチュエータを駆動することで、マップ作成部が変位検出器の出力とこの基準器の出力をそれぞれ入力して信号校正マップを自動的に作成することにより、人が測定およびデータの入力操作を行う必要がなく、手間がかからないで済むとともに、ヒューマンエラーの発生を回避することができる。   According to the present invention, when a signal calibration map is created, a reference unit is connected to the servo actuator and the servo actuator is driven, so that the map creation unit inputs the output of the displacement detector and the output of this reference unit, respectively, and performs signal calibration. By automatically creating a map, it is not necessary for a person to perform measurement and data input operations, and it is possible to avoid labor and to avoid the occurrence of a human error.

こうして出力校正部に高精度の信号校正マップが設定されることにより、変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を的確に校正することが可能となり、システムの目標応答性を高められる。   Thus, by setting a high-accuracy signal calibration map in the output calibration section, it is possible to accurately calibrate the non-linearity detection error of the output of the displacement detector, and the target responsiveness of the system can be improved.

以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１は加振機に備えられるサーボアクチュエータのサーボコントローラ装置の基本構成を示すシステムブロック図である。このシステムは、電気油圧式のサーボアクチュエータ１、コントローラ２、変位検出器３−１、検出器アンプ５から構成される。   FIG. 1 is a system block diagram showing a basic configuration of a servo controller device of a servo actuator provided in a vibration exciter. This system includes an electrohydraulic servo actuator 1, a controller 2, a displacement detector 3-1, and a detector amplifier 5.

変位検出器３−１はサーボアクチュエータ１のストロークに応じた出力を出力し、この出力が検出器アンプ５を介してコントローラ２に出力される。   The displacement detector 3-1 outputs an output corresponding to the stroke of the servo actuator 1, and this output is output to the controller 2 via the detector amplifier 5.

変位検出器３−１は差動トランスのコイルの中を可動鉄心が移動することによって出力電圧が変化するＬＶＤＴ変位検出器が用いられる。なお、変位検出器３−１はこれに限らず、例えば磁気スケール等を用いた構造としてもよい。また、変位検出器３−１は非直線性の出力特性を持つものを用いてもよい。   As the displacement detector 3-1, an LVDT displacement detector is used in which the output voltage changes as the movable iron core moves in the coils of the differential transformer. The displacement detector 3-1 is not limited to this, and may be a structure using a magnetic scale, for example. Further, the displacement detector 3-1 may have a non-linear output characteristic.

コントローラ２は予め設定された加振波形の目標値を出力する信号発生器２−１、加算部２−３、調節部２−２、出力校正部２−４を備え、サーボアクチュエータ１の動きを目標とする加振波形に従って制御する変位フィードバックループを構成する。信号発生器２−１から出力される加振波形の目標値と、変位検出器３−１から検出器アンプ５を経て出力される出力（観測変位）は加算部２−３で比較され、その偏差分に調節部２−２でゲインをかけた信号がサーボアクチュエータ１に出力される。   The controller 2 includes a signal generator 2-1, an adding unit 2-3, an adjusting unit 2-2, and an output calibrating unit 2-4 that output a preset target value of an excitation waveform, and controls the movement of the servo actuator 1. A displacement feedback loop is configured to be controlled according to the target excitation waveform. The target value of the excitation waveform output from the signal generator 2-1 and the output (observation displacement) output from the displacement detector 3-1 via the detector amplifier 5 are compared by the adder 2-3. A signal obtained by multiplying the deviation by the adjusting unit 2-2 is output to the servo actuator 1.

出力校正部２−４は変位検出器３−１の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する信号校正マップを予め設定し、この信号校正マップに基づき出力を校正する。   The output calibration unit 2-4 presets a signal calibration map for calibrating the non-linearity detection error of the output of the displacement detector 3-1, and calibrates the output based on this signal calibration map.

出力校正部２−４で用いられる信号校正マップは、図２に示すように、変位検出器３−１の出力に対する補正値（実際の変位）が設定されている。この信号校正マップは後述するように予め変位検出器３−１の静特性を計測したデータを基に設定される。   In the signal calibration map used in the output calibration unit 2-4, as shown in FIG. 2, a correction value (actual displacement) for the output of the displacement detector 3-1 is set. As will be described later, this signal calibration map is set based on data obtained by measuring the static characteristics of the displacement detector 3-1.

この出力校正部２−４は変位検出器３−１の出力が持つ微少な非直線性の検出誤差をリアルタイムで校正し、加算部２−３、調節部２−２は、検出誤差を含まない検出値を基にサーボアクチュエータ１の変位量を目標値に近づけるフィードバック制御を行う。これにより、サーボアクチュエータ１の制御量と目標とする加振波形の間に出力の誤差に起因した微少なズレが生じることを解消できる。   The output calibration unit 2-4 calibrates a minute non-linearity detection error of the output of the displacement detector 3-1, and the addition unit 2-3 and the adjustment unit 2-2 do not include a detection error. Based on the detected value, feedback control is performed to bring the displacement amount of the servo actuator 1 close to the target value. As a result, it is possible to eliminate the slight deviation caused by the output error between the control amount of the servo actuator 1 and the target excitation waveform.

そして本発明の要旨とするところであるが、コントローラ２は信号校正マップを自動的に作成するマップ作成部２−５を備える。コントローラ２は信号校正マップを設定する信号校正マップの作成方法として、サーボアクチュエータ１に対して変位検出器３−１と共に基準器６を接続した状態でサーボアクチュエータ１を始点から終点に向けて駆動し、マップ作成部２−５が予め設定されたプログラムに基づき変位検出器３−１の出力とこの基準器６の出力をそれぞれ入力して信号校正マップを自動的に作成する構成とする。   The controller 2 includes a map creating unit 2-5 that automatically creates a signal calibration map. As a method for creating a signal calibration map for setting a signal calibration map, the controller 2 drives the servo actuator 1 from the start point to the end point in a state where the reference device 6 is connected to the servo actuator 1 together with the displacement detector 3-1. The map creation unit 2-5 is configured to automatically create a signal calibration map by inputting the output of the displacement detector 3-1 and the output of the reference unit 6 based on a preset program.

基準器６は信号校正マップの作成時のみにサーボアクチュエータ１及びコントローラ２に接続され、出力校正後に基準器６はサーボアクチュエータ１から取り外される。出力校正作業は基本的に製品の出荷前に行われ、製品の出荷時はサーボアクチュエータ１及びコントローラ２から基準器６は取り外されている。   The reference unit 6 is connected to the servo actuator 1 and the controller 2 only when the signal calibration map is created, and the reference unit 6 is removed from the servo actuator 1 after the output calibration. The output calibration work is basically performed before the shipment of the product, and the reference device 6 is removed from the servo actuator 1 and the controller 2 when the product is shipped.

基準器６はサーボアクチュエータ１の変位を所定の精度で検出する直線性特性を持つものであり、例えば磁気スケール等を用いた変位検出器が用いられる。   The reference device 6 has a linearity characteristic for detecting the displacement of the servo actuator 1 with a predetermined accuracy, and for example, a displacement detector using a magnetic scale or the like is used.

図３のフローチャートは信号校正マップを設定するプログラムを示している。以下、コントローラ２で実行されるこの制御動作をこのフローチャートにしたがって説明する。   The flowchart of FIG. 3 shows a program for setting a signal calibration map. Hereinafter, this control operation executed by the controller 2 will be described according to this flowchart.

人の操作によってコントローラ２に信号校正マップを設定するように指令すると、まずステップ１にて信号校正マップの初期化を行う。この初期化は、出力に対する補正値の関係を図２に示す信号校正マップに破線で示す理想値にする。これにより、変位検出器３−１から検出器アンプ５と出力校正部２−４を経てマップ作成部２−５に入力される出力は、変位検出器３−１の検出誤差を含んでいる。   When the controller 2 is instructed to set the signal calibration map by human operation, first, at step 1, the signal calibration map is initialized. In this initialization, the relationship between the correction value and the output is set to an ideal value indicated by a broken line in the signal calibration map shown in FIG. As a result, the output input from the displacement detector 3-1 to the map creation unit 2-5 via the detector amplifier 5 and the output calibration unit 2-4 includes the detection error of the displacement detector 3-1.

続くステップ２にてサーボアクチュエータ１の動作を開始させる。これは、信号発生器２−１から出力される信号によってサーボアクチュエータ１を変位検出器３−１の校正範囲の始点に移動し、この始点から一定速度で校正範囲の終点に向かうように動作させる。   In the subsequent step 2, the operation of the servo actuator 1 is started. This is because the servo actuator 1 is moved to the start point of the calibration range of the displacement detector 3-1 by the signal output from the signal generator 2-1 and is operated from this start point toward the end point of the calibration range at a constant speed. .

続くステップ３にて基準器６に検出値を要求し、ステップ４にて変位検出器３−１から出力される検出値を読み取り、ステップ５にて基準器６から出力される検出値を図示しないモニタを介して読み取る。   In step 3, the detection value is requested from the reference device 6, the detection value output from the displacement detector 3-1 is read in step 4, and the detection value output from the reference device 6 is not shown in step 5. Read through the monitor.

続くステップ６にてマップ作成部２−５にて変位検出器３−１の検出値と基準器６の検出値とに基づいて信号校正マップを作成する。ここでマップ作成部２−５は変位検出器３−１の出力と基準器６の検出値を対のマップデータとして保存する。   In subsequent step 6, a map calibration unit 2-5 creates a signal calibration map based on the detection value of the displacement detector 3-1 and the detection value of the reference device 6. Here, the map creation unit 2-5 stores the output of the displacement detector 3-1 and the detection value of the reference device 6 as a pair of map data.

続くステップ７にて上記データの測定および入力操作が所定の校正範囲に渡って行われたかどうかを判定する。ここで、所定の校正範囲を終了しない間は上記した一連の動作を測定点毎に繰り返し行う。一方、所定の校正範囲を終了したことが判定されると、ステップ８に進んでマップ作成部２−５にて作成されたマップを信号校正マップとして出力校正部２−４に登録し、この校正作業を終了する。   In the next step 7, it is determined whether the measurement and input operation of the data has been performed over a predetermined calibration range. Here, as long as the predetermined calibration range is not ended, the above-described series of operations is repeated for each measurement point. On the other hand, if it is determined that the predetermined calibration range has been completed, the process proceeds to step 8 where the map created by the map creation unit 2-5 is registered in the output calibration unit 2-4 as a signal calibration map. Finish the work.

このように人の操作によってコントローラ２に信号校正マップを設定するように指令すると、マップ作成部２−５が信号校正マップを自動的に作成するため、人が測定およびデータの入力操作を行う必要がなく、手間がかからないで済むとともに、ヒューマンエラーの発生を回避することができる。   When the controller 2 is instructed to set the signal calibration map by the human operation in this way, the map creation unit 2-5 automatically creates the signal calibration map, and thus it is necessary for the person to perform measurement and data input operations. This eliminates the need for time and effort, and avoids human error.

こうして出力校正部２−４に高精度の信号校正マップが設定されることにより、変位検出器３−１の出力が持つ非直線性の検出誤差を的確に校正することが可能となり、システムの目標応答性を高められる。   By setting a high-accuracy signal calibration map in the output calibration section 2-4 in this way, it becomes possible to accurately calibrate the non-linearity detection error of the output of the displacement detector 3-1, and the target of the system Responsiveness can be improved.

信号校正マップを設定する前に、信号校正マップの初期化を行うことにより、出力校正部２−４からマップ作成部２−５に入力される出力が変位検出器３−１の検出誤差を含むため、マップ作成部２−５がこの出力と基準器６の検出値に応じて信号校正マップを作成することができる。   By initializing the signal calibration map before setting the signal calibration map, the output input from the output calibration unit 2-4 to the map creation unit 2-5 includes the detection error of the displacement detector 3-1. Therefore, the map creation unit 2-5 can create a signal calibration map according to this output and the detected value of the reference device 6.

加振波形の目標値を出力する信号発生器２−１を備え、サーボアクチュエータが被試験体を任意の加振波形に従って加振する構成としたことにより、加振波形の歪みを抑え、目標とする加振波形が正しく再現することができる。   The signal generator 2-1 for outputting the target value of the vibration waveform is provided, and the servo actuator is configured to vibrate the DUT according to an arbitrary vibration waveform, thereby suppressing distortion of the vibration waveform, The excitation waveform to be reproduced can be correctly reproduced.

本発明は上記の実施の形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is obvious that various modifications can be made within the scope of the technical idea.

本発明のサーボコントローラ装置及びその信号校正マップの作成方法は、加振機を駆動する装置に限らず、変位検出器の検出誤差を校正する必要がある他の駆動装置にも利用できる。   The servo controller device and the signal calibration map creation method of the present invention can be used not only for a device that drives a vibration exciter but also for other drive devices that need to calibrate a detection error of a displacement detector.

本発明の実施の形態を示すサーボコントローラ装置のシステムブロック図。The system block diagram of the servo controller apparatus which shows embodiment of this invention. 同じく変位信号校正マップ図。Similarly, a displacement signal calibration map. 同じく信号校正マップを設定する制御内容を示すフローチャート。The flowchart which shows the control content which similarly sets a signal calibration map. 従来例を示すサーボコントローラ装置のシステムブロック図。The system block diagram of the servo controller apparatus which shows a prior art example. 同じく信号校正マップを設定する操作手順を示すフローチャート。The flowchart which similarly shows the operation procedure which sets a signal calibration map.

符号の説明Explanation of symbols

１ サーボアクチュエータ
２ コントローラ
２−１ 信号発生器
２−２ 調節部
２−３ 加算部
２−４ 出力校正部
２−５ マップ作成部
３−１ 変位検出器
５ 検出器アンプ
６ 基準器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Servo actuator 2 Controller 2-1 Signal generator 2-2 Adjustment part 2-3 Addition part 2-4 Output calibration part 2-5 Map creation part 3-1 Displacement detector 5 Detector amplifier 6 Reference device

Claims (3)

サーボアクチュエータの変位量を検出する変位検出器と、
この変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する信号校正マップに基づき出力を校正する出力校正部とを備え、
この出力校正部の出力に応じて前記サーボアクチュエータの変位量を目標値に近づける変位フィードバックループを構成するサーボコントローラ装置において、
前記信号校正マップの作成時に前記サーボアクチュエータを前記変位検出器と共に基準器を接続した状態で駆動し、
前記変位検出器の出力とこの基準器の出力をそれぞれ入力して前記変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する前記信号校正マップを作成するマップ作成部を備えたことを特徴とするサーボコントローラ装置。 A displacement detector for detecting the displacement amount of the servo actuator;
An output calibration unit that calibrates the output based on a signal calibration map that calibrates the nonlinearity detection error of the displacement detector output;
In the servo controller device constituting the displacement feedback loop that brings the displacement amount of the servo actuator close to the target value according to the output of the output calibration unit,
When the signal calibration map is created, the servo actuator is driven with a reference device connected with the displacement detector,
A map creation unit is provided for creating the signal calibration map for calibrating the non-linearity detection error of the displacement detector by inputting the output of the displacement detector and the output of the reference device, respectively. Servo controller device. 前記マップ作成部が前記信号校正マップを作成する前に前記信号校正マップの初期化を行い、前記変位検出器の検出誤差を含む出力が前記出力校正部を経て前記マップ作成部に入力される構成としたことを特徴とする請求項１に記載のサーボコントローラ装置。   A configuration in which the map creation unit initializes the signal calibration map before creating the signal calibration map, and an output including a detection error of the displacement detector is input to the map creation unit via the output calibration unit The servo controller device according to claim 1, wherein: サーボアクチュエータの変位量を検出する変位検出器と、
この変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する信号校正マップに基づき出力を校正する出力校正部とを備え、
この出力校正部の出力に応じて前記サーボアクチュエータの変位量を目標値に近づける変位フィードバックループを構成するサーボコントローラ装置の信号校正マップの作成方法において、
前記信号校正マップの作成時に前記サーボアクチュエータを前記変位検出器と共に基準器を接続した状態で駆動し、
前記サーボコントローラ装置が前記変位検出器の出力とこの基準器の出力をそれぞれ入力して前記変位検出器の出力が持つ非直線性の検出誤差を校正する前記信号校正マップを自動的に作成することを特徴とするサーボコントローラ装置の信号校正マップの作成方法。 A displacement detector for detecting the displacement amount of the servo actuator;
An output calibration unit that calibrates the output based on a signal calibration map that calibrates the nonlinearity detection error of the displacement detector output;
In a method for creating a signal calibration map of a servo controller device that constitutes a displacement feedback loop that brings the displacement amount of the servo actuator close to a target value according to the output of the output calibration unit,
When the signal calibration map is created, the servo actuator is driven with a reference device connected with the displacement detector,
The servo controller device inputs the output of the displacement detector and the output of the reference device, and automatically creates the signal calibration map for calibrating the non-linearity detection error of the output of the displacement detector. A method for creating a signal calibration map of a servo controller device characterized by the above.
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