JP2005199427A - ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法 - Google Patents
ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 ハードディスク用アルミニウム基板またはハードディスク用ガラス基板のポリッシング用研磨パッドのドレッシングに用いる研磨パッド用ドレッサ100であって、平均粒径が5μm以上20μm以下の超砥粒が結合材によって台金101の表面に一層の砥粒層102として固着されている。
【選択図】 図1
Description
外径100mm、厚み3.0mmのステンレス鋼製の円盤状台金を準備した。台金の表面に平均粒径20μmのダイヤモンド砥粒をニッケルめっきにより片面に固着した。図1に示すように、ダイヤモンド砥粒を固着した台金101の領域は直径95mmから直径75mmの範囲であり、台金101の表面には8個の砥粒層102の間で放射線方向に延びる領域にダイヤモンド砥粒を固着しない部分を設けた。このようにして研磨パッド用ドレッサを作製した。
ドレッシング圧力:12KPa
上定盤の回転数:20r.p.m
下定盤の回転数:24r.p.m
サンギアの回転数:4r.p.m
なお、研磨パッドは、円環状の形状を有し、外径寸法が1300mm、内径寸法が700mmのものを用いた。
平均粒径が15μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
平均粒径が10μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
平均粒径が25μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
平均粒径が76μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
Claims (1)
- ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法であって、仕上げ研磨工程であるポリッシング工程において平均粒径が5μm以上20μm以下の超砥粒が結合材によって台金の表面に一層固着されている研磨パッド用ドレッサを用いてポリッシング用研磨パッドをドレッシングすることを特徴とする、ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法。
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