JP2005180535A - Valve, valve for vacuum and vacuum vessel - Google Patents

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Koichi Taniguchi
幸一 谷口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To downsize a valve employed when exhausting air in a vacuum vessel by exhaust means, or the like. <P>SOLUTION: A valve is equipped with a valve body 3 having a flow passage 2 through which fluid passes, with a fixed body 5 fixed to the valve body 3 to close the flow passage 2 and provided with a fixed opening part 4, and with a moving body 6 moved in a state of overlapping with the fixed body 5 and provided with a moving opening 7. Movement of the moving body 6 switches between a close state in which the fixed opening part 4 is sealed by the moving body 6 and in which the moving opening 7 is sealed by the fixed body 5 and a open state in which the fixed opening part 4 and the moving opening 7 overlap one another. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、真空容器内を排気手段により排気する際等に用いられるバルブ、真空用バルブ及びそのバルブを備えた真空容器に関し、特に排気コンダクタンスの調節を行えるバルブ、真空用バルブ及び真空容器に関するものである。   The present invention relates to a valve used for exhausting the inside of a vacuum container by an exhaust means, a vacuum valve, and a vacuum container having the valve, and more particularly to a valve capable of adjusting exhaust conductance, a vacuum valve, and a vacuum container. It is.

半導体装置の製造等においては、減圧又は真空下で処理を行う工程が複数あり、これらの複数の工程においては排気コンダクタンス（流力：真空系のある部分に対して流れる排気流の量を圧力差で割ったもの）が異なる工程がある。例えば、ウェハを真空容器内に収納してその真空容器内を排気する場合、真空容器内に残留する塵が舞い上がってウェハに塵が付着しないように排気を徐々に行う初期工程と、半導体基板であるウェハ上に化学気相成長法により窒化膜を形成する薄膜形成工程とで、通常排気コンダクタンスが異なっている。真空容器内は真空ポンプを用いて排気されるが、真空ポンプは通常ほぼ一定の吸引力（すなわち一定の排気能力）で真空容器内を排気するので、排気コンダクタンスの調節は通常真空用バルブを用いて行なわれている。こうした真空用バルブとしては、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。   In the manufacture of semiconductor devices, etc., there are a plurality of processes for processing under reduced pressure or under vacuum. In these processes, the exhaust conductance (flow force: the amount of exhaust flow flowing to a certain part of the vacuum system is determined by the pressure difference). There is a different process. For example, when a wafer is stored in a vacuum vessel and the vacuum vessel is evacuated, an initial step of gradually evacuating the dust so that dust remaining in the vacuum vessel rises and does not adhere to the wafer, and a semiconductor substrate The exhaust conductance is usually different in a thin film forming process in which a nitride film is formed on a wafer by chemical vapor deposition. The inside of the vacuum vessel is evacuated using a vacuum pump, but the vacuum pump usually evacuates the inside of the vacuum vessel with a substantially constant suction force (that is, a constant evacuation capacity), so the exhaust conductance is usually adjusted using a vacuum valve. It is done. As such a vacuum valve, for example, the one described in Patent Document 1 is known.

特許文献１に記載の真空用バルブは、図１２に示すように、真空容器内に通じる（すなわち、連通する）吸引口１０１及び真空ポンプに連通する排気口１０２を有し、Ｌ字状に屈曲した排気流路１０４を有する筒状のバルブ本体１０３と、このバルブ本体１０３の吸引口１０１と排気口１０２との間の排気流路１０４内の角部近傍に設けられ、排気流路１０４の一部である連通孔１０５を有するテーパー状の弁座１０６と、この弁座１０６の形状に対応するテーパー状に形成され、弁座１０６と密着して連通孔１０５を閉塞する弁体１０７と、この弁体１０７にバルブ本体１０３を貫通した弁体軸１０８を介して連結され、弁体１０７を排気流路１０４内で往復移動させる弁体駆動手段１０９と、を備えたものである。弁体駆動手段１０９は、弁体１０７を弁座１０６から離れる方向及び弁座１０６に密着する方向に往復移動させると共に弁体１０７の弁座１０６に対する位置を調節するものである。弁体１０７の位置が調節されることにより弁体１０７と弁座１０６との間隔（開度）が調節されて排気コンダクタンスが調節される。
特開平５−２３７３６１号公報 As shown in FIG. 12, the vacuum valve described in Patent Document 1 has a suction port 101 communicating with (ie, communicating with) a vacuum container and an exhaust port 102 communicating with a vacuum pump, and is bent in an L shape. A cylindrical valve body 103 having an exhaust passage 104, and a corner portion in the exhaust passage 104 between the suction port 101 and the exhaust port 102 of the valve body 103. A tapered valve seat 106 having a communication hole 105 which is a portion, a valve body 107 which is formed in a tapered shape corresponding to the shape of the valve seat 106 and closes the communication hole 105 in close contact with the valve seat 106, The valve body 107 is connected to the valve body 107 through a valve body shaft 108 penetrating the valve body 103, and includes a valve body driving means 109 that reciprocates the valve body 107 in the exhaust passage 104. The valve body driving means 109 reciprocates the valve body 107 in a direction away from the valve seat 106 and a direction in close contact with the valve seat 106 and adjusts the position of the valve body 107 with respect to the valve seat 106. By adjusting the position of the valve body 107, the interval (opening) between the valve body 107 and the valve seat 106 is adjusted, and the exhaust conductance is adjusted.
JP-A-5-237361

ところで、前述のバルブは、弁体をバルブ本体の排気流路内で弁座から離れる方向及び弁座に密着する方向に往復移動させるために、弁体を移動させる移動スペースがバルブ本体の排気流路内に必要になり、バルブが大型になる。また、バルブを全開にする場合、弁体はバルブ本体の排気流路内に位置されているため、例えＬ字状の排気流路の角部近傍に位置されていたとしても、弁体自体が排気を妨げる抵抗となるので、できる限り弁体の移動スペースを大きくして排気コンダクタンスの減少を避ける必要があり、小型化の妨げとなる。   By the way, in the above-described valve, in order to reciprocate the valve body in the exhaust passage of the valve body in the direction away from the valve seat and in the direction in close contact with the valve seat, the movement space for moving the valve body has an exhaust flow of the valve body. It becomes necessary in the road, and the valve becomes large. Further, when the valve is fully opened, the valve body is located in the exhaust passage of the valve body, so that even if it is located near the corner of the L-shaped exhaust passage, the valve body itself is Since this is a resistance that hinders exhaust, it is necessary to increase the moving space of the valve body as much as possible to avoid a decrease in exhaust conductance, which hinders downsizing.

本発明は、前述した問題を解決するためになされたものであって、その目的は、小型化を図れるバルブ、真空用バルブ及びそのバルブを備えた真空容器を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a valve that can be reduced in size, a vacuum valve, and a vacuum container including the valve.

前記の目的を達成する本発明のバルブは、流体が流れる流路を有するバルブ本体と、該バルブ本体に前記流路を閉塞すべく固定され、固定開口部を有する固定体と、該固定体に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部を有する移動体と、を備えたバルブであって、前記固定開口部が前記移動体によって閉塞されると共に前記移動開口部が前記固定体によって閉塞された閉状態と、前記固定開口部と前記移動開口部とが重なり合った開状態と、を前記移動体の移動により行うことを特徴とする。   The valve of the present invention that achieves the above object includes a valve body having a flow path through which a fluid flows, a fixed body that is fixed to the valve body to close the flow path, and has a fixed opening, and the fixed body. And a movable body having a movable opening, the fixed opening being closed by the movable body and the moving opening being closed by the fixed body. The closed state and the open state in which the fixed opening and the moving opening overlap each other are performed by moving the moving body.

この発明によれば、バルブの開閉は移動体の移動により行われ、この移動体は固定体に重なり合わされた状態のまま移動するので、移動体を移動させるための移動スペースが小さくなり、小型化を図ることができる。   According to this invention, the opening and closing of the valve is performed by the movement of the moving body, and the moving body moves while being overlapped with the fixed body, so that the moving space for moving the moving body is reduced and the size is reduced. Can be achieved.

本発明のバルブにおいて、前記移動体を移動させる駆動手段を備え、該駆動手段により前記移動体が移動されて前記流体のコンダクタンスが調節されることが好ましい。この発明によれば、駆動手段により移動体が移動されることで流体のコンダクタンスの調節を行うことができる。   In the valve of the present invention, it is preferable that drive means for moving the movable body is provided, and the movable body is moved by the drive means to adjust the conductance of the fluid. According to this invention, the conductance of the fluid can be adjusted by moving the moving body by the driving means.

本発明のバルブにおいて、前記バルブ本体が円筒状に形成され、前記固定体が円盤状に形成され、前記移動体が前記バルブ本体の内周の径より外径が小さいカップ状に形成され、前記駆動手段が、前記カップ状の移動体の外周に設けられた第１磁力発生要素と、前記バルブ本体の外周に設けられ、前記第１磁力発生要素と共に磁力を発生させて該磁力により前記移動体を回転させる第２磁力発生要素とを有することが好ましい。   In the valve of the present invention, the valve body is formed in a cylindrical shape, the fixed body is formed in a disk shape, the moving body is formed in a cup shape having an outer diameter smaller than an inner diameter of the valve body, A driving means is provided on the outer periphery of the valve body, and a first magnetic force generating element provided on the outer periphery of the cup-shaped moving body, and generates a magnetic force together with the first magnetic force generating element. It is preferable to have a second magnetic force generating element that rotates the magnetic field.

本発明のバルブにおいて、前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔で設けられた複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に回転可能に設けられたリング状の駆動体の内周面であって前記第１磁石にそれぞれ対向する内周面に設けられた第２磁石であることが好ましい。また、前記駆動体には、該駆動体を前記バルブ本体の外周面に沿って案内移動する案内車輪が設けられていることが好ましい。   In the valve of the present invention, the first magnetic force generation element is a plurality of first magnets provided at predetermined intervals on the outer periphery of the cup-shaped moving body, and the second magnetic force generation element is the valve main body. It is preferable that it is a 2nd magnet provided in the internal peripheral surface of the ring-shaped drive body provided in the outer periphery so that rotation was possible, and each opposed to the said 1st magnet. The drive body is preferably provided with guide wheels for guiding and moving the drive body along the outer peripheral surface of the valve body.

本発明のバルブにおいて、前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔でＮ極とＳ極とが交互に配置された複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に設けられた電磁石であることが好ましい。   In the valve of the present invention, the first magnetic force generating element is a plurality of first magnets in which N poles and S poles are alternately arranged at predetermined intervals on the outer periphery of the cup-shaped moving body, and the second The magnetic force generating element is preferably an electromagnet provided on the outer periphery of the valve body.

また、本発明の真空用バルブは、前記の本発明のバルブが真空容器内を排気する排気系路に設けられてなることを特徴とする。この発明の真空用バルブは、前記の本発明のバルブを用いているので、小型化を図ることができる。   The vacuum valve according to the present invention is characterized in that the valve according to the present invention is provided in an exhaust system passage for exhausting the inside of the vacuum vessel. Since the vacuum valve according to the present invention uses the valve according to the present invention, the vacuum valve can be downsized.

また、本発明の真空容器は、前記の本発明のバルブがゲートバルブとして備えられていることを特徴とする。この発明の真空容器バルブは、本発明のバルブをゲートバルブとして備えているため、真空用のバルブを新たに接続する必要がないので、真空容器の小型化を図ることができる。   The vacuum vessel of the present invention is characterized in that the valve of the present invention is provided as a gate valve. Since the vacuum container valve of the present invention includes the valve of the present invention as a gate valve, it is not necessary to newly connect a vacuum valve, so that the vacuum container can be reduced in size.

以上説明したように、本発明のバルブによれば、固定体に気密状態で積層された状態のまま移動体が移動して固定体の固定開口部の開閉が行われるので、移動体を移動させるための移動スペースが小さくなり、小型化を図ることができる。また、駆動手段により移動体の固定体に対する位置が調節されて流体のコンダクタンスの調節を行うことができる。また、本発明の真空用バルブは、前記の本発明のバルブが真空容器内を排気する排気系路に設けられているので、小型化を図ることができる。また、本発明の真空容器は、前記の本発明のバルブがゲートバルブとして備えられているので、真空容器の小型化を図ることができる。   As described above, according to the valve of the present invention, the moving body moves and the fixed opening of the fixed body is opened and closed while being stacked in an airtight state on the fixed body, so the moving body is moved. Therefore, the movement space can be reduced and the size can be reduced. Further, the position of the movable body relative to the fixed body is adjusted by the driving means, and the conductance of the fluid can be adjusted. In addition, the vacuum valve of the present invention can be miniaturized because the valve of the present invention is provided in the exhaust system passage for exhausting the inside of the vacuum vessel. Moreover, since the valve of the present invention is provided as a gate valve, the vacuum container of the present invention can be downsized.

以下、本発明のバルブ、真空バルブ及び真空容器を添付図面に基づいて詳述する。図１乃至図３は本発明のバルブの一例が示されている図である。図４は本発明のバルブ本体の一例を示した図である。図５及び図６は本発明の固定体の一例を示した図である。図７及び図８は本発明の移動体の一例を示した図である。   Hereinafter, a valve, a vacuum valve, and a vacuum container of the present invention are explained in full detail based on an accompanying drawing. 1 to 3 are views showing an example of the valve of the present invention. FIG. 4 is a view showing an example of the valve body of the present invention. 5 and 6 are views showing an example of the fixed body of the present invention. 7 and 8 are views showing an example of the moving body of the present invention.

本発明のバルブは、例えば、真空容器内を排気する排気系路に真空用バルブとして設けられるものである。このバルブは、図１及び図２に示すように、流体が流れる流路２を有するバルブ本体３と、該バルブ本体３に前記流路２を閉塞すべく固定され、固定開口部４を有する固定体５と、固定体５に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部７を有する移動体６と、を備えたバルブであって、固定開口部４が移動体６によって閉塞されると共に移動開口部７が固定体５によって閉塞された閉状態と、固定開口部４と移動開口部７とが重なり合った開状態と、を移動体６の移動により行うことを特徴とする。   The valve of the present invention is provided, for example, as a vacuum valve in an exhaust system path that exhausts the inside of a vacuum vessel. As shown in FIGS. 1 and 2, this valve has a valve body 3 having a flow path 2 through which a fluid flows, and a fixed body having a fixed opening 4 fixed to the valve body 3 to close the flow path 2. A valve having a body 5 and a moving body 6 that is moved in a state of being overlapped with the fixed body 5 and has a moving opening 7, wherein the fixed opening 4 is closed by the moving body 6 and the moving opening The closed state in which the portion 7 is closed by the fixed body 5 and the open state in which the fixed opening 4 and the moving opening 7 overlap each other are performed by moving the movable body 6.

バルブ本体３は、図１及び図４に示すように、例えば円筒状に形成されており、このバルブ本体３の両端部には、径方向外方に延びるフランジ１１、１２がそれぞれ設けられている。バルブ本体３は、非磁性材料で形成されることが好ましく、バルブ本体３の肉厚は、移動体６を磁力により移動させ得る任意の寸法に形成されている。バルブ本体３は、他の部材（例えば真空容器の排気口を形成する壁部の全部又は一部）を兼用して形成するようにしてもよい。   As shown in FIGS. 1 and 4, the valve body 3 is formed in a cylindrical shape, for example, and flanges 11 and 12 extending radially outward are provided at both ends of the valve body 3, respectively. . The valve body 3 is preferably formed of a non-magnetic material, and the thickness of the valve body 3 is formed to have an arbitrary dimension that can move the moving body 6 by magnetic force. The valve body 3 may be formed by using another member (for example, all or a part of the wall portion forming the exhaust port of the vacuum vessel).

バルブ本体３の内周面（流路２を形成する内壁）であって一方の開口部（例えば流体が流入する側の開口部（吸引口））１３の近傍の内周面には、径方向内方に延びるリング状の固定部１４が設けられている。固定部１４の側面（内周面ではない面）には、その軸方向に延びるネジ孔１５が等間隔例えば９０°間隔で４つ設けられている。固定部１４の内周面は、吸引口１３側が径方向内方に突出してほぼＬ字状に形成されている。   The inner peripheral surface of the valve main body 3 (inner wall forming the flow path 2) and in the vicinity of one opening (for example, the opening (suction port) on the side into which the fluid flows) 13 has a radial direction. A ring-shaped fixing portion 14 extending inward is provided. Four screw holes 15 extending in the axial direction are provided on the side surface (the surface that is not the inner peripheral surface) of the fixing portion 14 at equal intervals, for example, 90 ° intervals. The inner peripheral surface of the fixed portion 14 is formed in a substantially L shape with the suction port 13 side protruding radially inward.

固定体５は、図１、図５及び図６に示すように、例えば円盤状に形成されており、一方の周端部にはフランジ部２１が一体的に設けられている。フランジ部２１の径は、バルブ本体３の内径と同じか又は略同じ寸法で形成されている。前記固定部１４のネジ孔１５と対向するフランジ部２１には、ほぼＵ字状の切欠２２が形成されており、切欠２２がネジ孔１５に位置決めされる（対向する）ように固定体５のフランジ部２１を固定部１４に当接させてネジ等の螺合部材によって固定体５を固定部１４に固定することができるようになっている。固定体５は、固定部１４（バルブ本体３）に一体的に設けられていてもよいし、図１に示すように、バルブ本体３と個別に形成されていてもよい。固定体５は例えば金属で形成されている。   As shown in FIGS. 1, 5, and 6, the fixed body 5 is formed in a disk shape, for example, and a flange portion 21 is integrally provided at one peripheral end portion. The diameter of the flange portion 21 is the same as or substantially the same as the inner diameter of the valve body 3. A substantially U-shaped notch 22 is formed in the flange portion 21 facing the screw hole 15 of the fixing portion 14, and the fixing body 5 is positioned so that the notch 22 is positioned (opposed) to the screw hole 15. The fixing member 5 can be fixed to the fixing portion 14 by a threaded member such as a screw by bringing the flange portion 21 into contact with the fixing portion 14. The fixed body 5 may be provided integrally with the fixed portion 14 (valve main body 3), or may be formed separately from the valve main body 3 as shown in FIG. The fixed body 5 is made of metal, for example.

固定体５の本体部径は、前記の固定部１４の突部１６の先端部の径と同じか又は略同じ寸法で形成されている。固定体５の肉厚（軸方向の長さ）は、突部１６の軸方向の長さと同じか又は略同じ長さで形成されている。これにより、固定体５は、図１に示すように、吸引口１３からバルブ本体３内の固定部１４に嵌合されるようになっている。なお、固定体５を固定部１４（バルブ本体３）にネジ等により固定した場合にはフランジ部２１と固定部１４との間にシール部材（図示せず）を設けてシールするようにしてもよい。   The diameter of the main body of the fixed body 5 is the same as or substantially the same as the diameter of the tip of the protrusion 16 of the fixed portion 14. The wall thickness (axial length) of the fixed body 5 is the same as or substantially the same as the axial length of the protrusion 16. Thereby, as shown in FIG. 1, the fixed body 5 is fitted to the fixed portion 14 in the valve body 3 from the suction port 13. When the fixed body 5 is fixed to the fixed portion 14 (valve body 3) with screws or the like, a seal member (not shown) may be provided between the flange portion 21 and the fixed portion 14 for sealing. Good.

固定体５には、流体を通過させる開口部（固定開口部）４が設けられている。固定開口部４の形状は特に限定されないが、例えば、中心部が略半円状に突出し、かつ、固定体５の径より小さな径の略半円状に形成されている。略半円状の固定開口部４は、固定体５と同軸上に形成されている。   The fixed body 5 is provided with an opening (fixed opening) 4 through which fluid passes. The shape of the fixed opening 4 is not particularly limited. For example, the center portion protrudes in a substantially semicircular shape and is formed in a substantially semicircular shape having a diameter smaller than the diameter of the fixed body 5. The substantially semicircular fixed opening 4 is formed coaxially with the fixed body 5.

移動体６は、図１、図２、図３、図７及び図８に示すように、例えば、略カップ状（略有底円筒体状）に、すなわち円盤状の底部３１と円筒部３２とから形成されている。底部３１は、前記の固定部１４の突部１６の先端部の内径より小さな寸法の径で形成されており、固定体５に面接触される（固定体５と重なり合う）ようになっている。   As shown in FIGS. 1, 2, 3, 7, and 8, the moving body 6 has, for example, a substantially cup shape (substantially bottomed cylindrical shape), that is, a disc-shaped bottom portion 31 and a cylindrical portion 32. Formed from. The bottom portion 31 is formed with a diameter smaller than the inner diameter of the tip end portion of the protrusion 16 of the fixed portion 14 and is in surface contact with the fixed body 5 (overlaps with the fixed body 5).

円筒部３２の内径は、前記の固定開口部４の径と同じか又は略同じ寸法で形成されている。移動体６（円筒部３２）の外形は２段の階段状（底部側から第１面（第１周面）３３、第２面３４、第３面３５の３面からなる階段状）に形成されており、第１面３３の径が一番小さくなるように形成されている。第１面３３の径は、例えば、前記の固定部１４の突部１６の先端部の内径より小さな寸法で形成されている。第１面３３の幅（軸方向の長さ）は、突部１６を除いた固定部１４の軸方向の長さと同じか又は略同じ寸法で形成されている。第２面３４の径は、例えば、第１面３３の径より大きな寸法であって突部１６の先端部の内径より小さな寸法に形成されている。第２面３４の幅（軸方向の長さ）は、第３面３５を形成する壁部３６が固定部１４に接触しない寸法で形成されている。第３面３５の径は、固定部１４以外のバルブ本体３の内周の径より小さな寸法であって突部１６を除いた固定部１４の内径より大きな寸法で形成されている。第３面３５の幅（軸方向の長さ）は、移動体６を回転させ得る寸法で形成されており、この第３面３５が実質的に移動体６を構成する部分である。   The inner diameter of the cylindrical portion 32 is the same as or substantially the same as the diameter of the fixed opening 4. The outer shape of the movable body 6 (cylindrical portion 32) is formed in a two-step staircase shape (a staircase shape consisting of three surfaces: a first surface (first circumferential surface) 33, a second surface 34, and a third surface 35 from the bottom side). The diameter of the first surface 33 is the smallest. The diameter of the first surface 33 is, for example, smaller than the inner diameter of the tip portion of the protrusion 16 of the fixed portion 14. The width (length in the axial direction) of the first surface 33 is the same as or substantially the same as the length in the axial direction of the fixed portion 14 excluding the protrusion 16. The diameter of the second surface 34 is, for example, a dimension larger than the diameter of the first surface 33 and smaller than the inner diameter of the tip portion of the protrusion 16. The width (length in the axial direction) of the second surface 34 is formed such that the wall portion 36 forming the third surface 35 does not contact the fixed portion 14. The diameter of the third surface 35 is smaller than the diameter of the inner periphery of the valve body 3 other than the fixed portion 14 and is larger than the inner diameter of the fixed portion 14 excluding the protrusion 16. The width (length in the axial direction) of the third surface 35 is formed with a dimension that allows the movable body 6 to be rotated, and the third surface 35 is a portion that substantially constitutes the movable body 6.

この移動体６は、図１に示すように、底部３１が固定体５に面接触して（移動体６の底部３１と固定体５とが重なり合って）これらの間が気密状態になるようにバルブ本体３に設けられていることが好ましい。すなわち、移動体６の底部３１の外面及びフランジ部２１とは反対側の固定体５の表面は、これら表面が互いに面接触している状態では移動体６が回転しても気密状態が保持されるように形成されている。なお、固定体５と移動体６との気密状態をさらに確実にするために、例えば、図９に示すように、Ｏリング４５を用いてもよい。すなわち、移動体６の底部３１で閉塞され得る固定体５の箇所には、円形状の固定開口部４６が設けられている。この固定開口部４６の外周の固定体５と移動体６の底部３１との間にＯリングを設けて、それらの間をＯリングによってシールするようにしてもよい。   As shown in FIG. 1, the movable body 6 has a bottom 31 in surface contact with the fixed body 5 (the bottom 31 of the movable body 6 and the fixed body 5 overlap with each other) so that an airtight state therebetween is formed. It is preferable that the valve body 3 is provided. That is, the outer surface of the bottom 31 of the moving body 6 and the surface of the fixed body 5 opposite to the flange portion 21 are kept airtight even when the moving body 6 rotates in a state where these surfaces are in surface contact with each other. It is formed so that. In order to further ensure the airtight state of the fixed body 5 and the movable body 6, for example, an O-ring 45 may be used as shown in FIG. That is, a circular fixed opening 46 is provided at a location of the fixed body 5 that can be closed by the bottom 31 of the moving body 6. An O-ring may be provided between the fixed body 5 on the outer periphery of the fixed opening 46 and the bottom 31 of the movable body 6 and the space between them may be sealed with the O-ring.

移動体６の第１面３３と突部１６を除いた固定部１４の周面とその突部１６を形成する面との間には、軸受部材４０が設けられている。軸受部材４０は、例えば、移動体６を回転可能に支持するボールベアリング等である。これにより、移動体６は、バルブ本体３の内部でほぼ同軸上に回転可能に支持されている。   A bearing member 40 is provided between the peripheral surface of the fixed portion 14 excluding the first surface 33 and the protrusion 16 of the moving body 6 and the surface forming the protrusion 16. The bearing member 40 is, for example, a ball bearing that rotatably supports the moving body 6. Thereby, the moving body 6 is supported so as to be rotatable substantially coaxially within the valve body 3.

底部３１には、移動開口部７が設けれている。移動開口部７は、底部３１（移動体６）が固定体５に面接触した状態で回転した時、固定開口部４と重なり合ってバルブを開状態にする（固定開口部４を開放させる）ためのものである。移動開口部７の形状は、特に限定されず固定開口部４の開口面積より大きくても小さくてもどちらでもよいが、例えば、底部３１の回転により固定開口部４の開放面積が除々に大きくなるように形成することが好ましい。具体的に例えば、移動開口部７の形状は、固定開口部４の径と同じか又は略同じ径の略１５０°の円弧状に形成されている。この円弧状の固定開口部の一方の辺が、その径方向と直交す方向に例えば三角状に突出して形成されており、底部３１が回転することにより図３（ｂ）に示すようにこの突出部７１の先端がまず固定開口部４と重なり合って微小開放が行われるようになっている。   A moving opening 7 is provided in the bottom 31. The moving opening 7 overlaps with the fixed opening 4 to open the valve (opens the fixed opening 4) when the bottom 31 (moving body 6) rotates with the fixed body 5 in surface contact. belongs to. The shape of the moving opening 7 is not particularly limited and may be larger or smaller than the opening area of the fixed opening 4. For example, the opening area of the fixed opening 4 is gradually increased by the rotation of the bottom 31. It is preferable to form as follows. Specifically, for example, the shape of the moving opening 7 is formed in an arc shape of approximately 150 ° having the same diameter or substantially the same diameter as the fixed opening 4. One side of the arc-shaped fixed opening is formed to project, for example, in a triangular shape in a direction perpendicular to the radial direction, and this projecting as shown in FIG. The tip of the portion 71 is first overlapped with the fixed opening 4 so that the minute opening is performed.

本発明のバルブ１は、移動体６を回転させる駆動手段８を備えることが好ましい。駆動手段８は、移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させるように構成することが好ましい。駆動手段８は、例えば、移動体６の外周に設けられた第１磁力発生要素５１と、第１磁力発生要素５１と共に磁力を発生させて該磁力により移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させる第２磁力発生要素５２とから構成されている。   The valve 1 of the present invention preferably includes driving means 8 for rotating the moving body 6. The driving means 8 is preferably configured to control the position of the moving body 6 and rotate the moving body 6. For example, the driving unit 8 generates a magnetic force together with the first magnetic force generating element 51 provided on the outer periphery of the moving body 6 and controls the position of the moving body 6 with the magnetic force and moves the moving body. 6 and a second magnetic force generating element 52 that rotates 6.

第１磁力発生要素５１は、例えば磁石特に第１永久磁石５３であることが好ましい。第１永久磁石５３は、移動体６の外周面（第３面３５）に設けられるが、図２及び図３に示すように、複数例えば６個の第１永久磁石５３をその周方向に等間隔例えば６０°間隔で配設されている。すなわち、移動体６の外周面（第３面３５）には、径方向外方に突出した磁石取付部３７がその周方向に６０°の等間隔で６個の配設されており、これらの各磁石取付部３７の先端部に第１永久磁石５３がそれぞれ設けられている。これら第１永久磁石５３の表面の極性は、第２磁力発生要素５２に応じて決められるが、例えば、Ｎ極とＳ極とが交互に配置されている。第１永久磁石５３及び磁石取付部３７は、第１永久磁石５３を各磁石取付部３７に設けた場合に各第１永久磁石５３がバルブ本体３の内周面に非接触になる寸法でそれぞれ形成されている。   The first magnetic force generating element 51 is preferably a magnet, particularly the first permanent magnet 53, for example. Although the 1st permanent magnet 53 is provided in the outer peripheral surface (3rd surface 35) of the mobile body 6, as shown in FIG.2 and FIG.3, several 1st permanent magnet 53 is given to the circumferential direction etc., for example. They are arranged at intervals of, for example, 60 °. That is, on the outer peripheral surface (third surface 35) of the movable body 6, six magnet mounting portions 37 protruding outward in the radial direction are arranged at equal intervals of 60 ° in the circumferential direction. A first permanent magnet 53 is provided at the tip of each magnet mounting portion 37. The polarities of the surfaces of the first permanent magnets 53 are determined according to the second magnetic force generating element 52. For example, N poles and S poles are alternately arranged. The first permanent magnet 53 and the magnet mounting portion 37 have dimensions such that each first permanent magnet 53 is not in contact with the inner peripheral surface of the valve body 3 when the first permanent magnet 53 is provided in each magnet mounting portion 37. Is formed.

第２磁力発生要素５２は、バルブ本体３の外側に設けられて第１磁力発生要素５１（第１永久磁石５３）と共に磁力を発生させて該磁力により移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させるものであり、その構成は特に限定されない。第２磁力発生要素５２としては、例えば、図１及び図２に示すように、磁石例えば第２永久磁石５４でもよいし、図１０に示すように、電磁石６０でもよい。   The second magnetic force generating element 52 is provided outside the valve body 3 and generates a magnetic force together with the first magnetic force generating element 51 (first permanent magnet 53), and controls the position of the moving body 6 by the magnetic force and moves the moving body. 6 is rotated, and the configuration is not particularly limited. The second magnetic force generating element 52 may be, for example, a magnet such as the second permanent magnet 54 as shown in FIGS. 1 and 2 or an electromagnet 60 as shown in FIG.

第２磁力発生要素５２として第２永久磁石５４を用いた場合には、図１及び図２に示すように、バルブ本体３の外周にその外周を覆うようにリング状の駆動体５５が設けられ、この駆動体５５の内周面に第２永久磁石５４が配設されている。   When the second permanent magnet 54 is used as the second magnetic force generating element 52, as shown in FIGS. 1 and 2, a ring-shaped driving body 55 is provided on the outer periphery of the valve body 3 so as to cover the outer periphery. The second permanent magnet 54 is disposed on the inner peripheral surface of the drive body 55.

駆動体５５は、バルブ本体３の外径より内周の径が大きい寸法であって内周面に配設された永久磁石５４がバルブ本体３に接触しない寸法で形成されている。駆動体５５は、例えば、半円弧状の第１駆動体５６と半円弧状の第２駆動体５７とを互いの各両端部を結合させてリング状に形成されていることが好ましい。駆動体５５の内周面には、６個の第１永久磁石５３と対向するように６０°の等間隔で６個の第２永久磁石５４が配設されている。これら第２永久磁石５４の内表面の極性は、例えば、Ｎ極とＳ極とが交互に配置されており、各６個の第１永久磁石５３と第２磁石５４とがＮ極及びＳ極が対向するように配置されて各第１永久磁石５３と第２磁石５４との間に磁力が発生し、該磁力により移動体６の位置が制御されると共に移動体６が回転可能になっている。なお、第２磁力発生要素５２が永久磁石５４である場合には、第１永久磁石５３の表面の極性は、全て同じ極性（Ｎ極又はＳ極）にしてもよい。この場合、第２永久磁石５４の表面の極性は、第１永久磁石５３の極性と全て反対の極性にする。このように、駆動体５５の内周面に第２永久磁石５４を配設することによって、第２永久磁石５４と第１永久磁石５３とが吸引しあって移動体６の動きが制御される。すなわち、移動体６は駆動体５５と共に移動するようになっている。   The driving body 55 is formed to have a size such that the inner diameter is larger than the outer diameter of the valve body 3 and the permanent magnet 54 disposed on the inner surface does not contact the valve body 3. The driving body 55 is preferably formed in a ring shape, for example, by joining a semicircular arc-shaped first driving body 56 and a semicircular arc-shaped second driving body 57 to each other at both ends. Six second permanent magnets 54 are arranged on the inner peripheral surface of the driving body 55 at equal intervals of 60 ° so as to face the six first permanent magnets 53. As for the polarities of the inner surfaces of these second permanent magnets 54, for example, N poles and S poles are alternately arranged, and each of the six first permanent magnets 53 and the second magnets 54 has N poles and S poles. Are arranged so as to face each other, and a magnetic force is generated between each first permanent magnet 53 and the second magnet 54, and the position of the moving body 6 is controlled by the magnetic force and the moving body 6 can be rotated. Yes. When the second magnetic force generating element 52 is a permanent magnet 54, the polarity of the surface of the first permanent magnet 53 may be all the same polarity (N pole or S pole). In this case, the polarity of the surface of the second permanent magnet 54 is all opposite to the polarity of the first permanent magnet 53. As described above, by arranging the second permanent magnet 54 on the inner peripheral surface of the driving body 55, the second permanent magnet 54 and the first permanent magnet 53 attract each other and the movement of the moving body 6 is controlled. . That is, the moving body 6 moves together with the driving body 55.

駆動体５５の一側面には、バルブ本体３の外周面に沿って（バルブ本体３の軸を中心として）駆動体５５を回転させる案内車輪５８が設けられていることが好ましい。案内車輪５８は、駆動体５５の周方向に等間隔例えば６０°の間隔で６個設けられている。６個の案内車輪５８は、第２永久磁石５４が配置されている駆動体の６箇所にそれぞれ設けられていることが好ましい。これら案内車輪５８によって、駆動体５５が、バルブ本体３（及び移動体６）の略同軸上に配置されていると共にその軸を中心として回転可能にバルブ本体３の外周面に設けられている。なお、案内車輪５８に限定されず、他の手段によって駆動体５５をバルブ本体３の略同軸上に配置及び回転可能に支持するようにしてもよい。また、第２永久磁石５４が配置されている駆動体５５の６箇所にそれぞれ案内車輪５８が設けられていることにより、第１永久磁石５３と第２永久磁石５４とが吸引しあっている状態でも容易に駆動体５５を回転させることができる。   A guide wheel 58 that rotates the drive body 55 along the outer peripheral surface of the valve body 3 (centering on the axis of the valve body 3) is preferably provided on one side surface of the drive body 55. Six guide wheels 58 are provided in the circumferential direction of the drive body 55 at regular intervals, for example, 60 ° intervals. It is preferable that the six guide wheels 58 are respectively provided at six locations of the driving body where the second permanent magnet 54 is disposed. By these guide wheels 58, the drive body 55 is disposed on the substantially coaxial axis of the valve body 3 (and the moving body 6) and is provided on the outer peripheral surface of the valve body 3 so as to be rotatable about its axis. The driving body 55 is not limited to the guide wheel 58, and may be supported by other means so as to be arranged and rotated on the substantially same axis of the valve body 3. In addition, the guide wheel 58 is provided at each of the six locations of the driving body 55 where the second permanent magnet 54 is disposed, so that the first permanent magnet 53 and the second permanent magnet 54 are attracted to each other. However, the driving body 55 can be easily rotated.

また、駆動体５５の配置箇所は、移動体６の底部３１が固定体５と面接触し得るバルブ本体３の外周上であり、その配置箇所から駆動体５５が軸方向に移動しないように駆動体５５又は案内車輪５８あるいはその両方を保持することが好ましい。   The drive body 55 is disposed on the outer periphery of the valve body 3 where the bottom 31 of the movable body 6 can come into surface contact with the fixed body 5, and is driven so that the drive body 55 does not move in the axial direction from the disposed position. It is preferred to hold the body 55 and / or the guide wheels 58.

また、駆動体５５の外周面には、その周方向に延びる略Ｖ字状の溝５９が設けられていることが好ましい。このように溝５９を設けて駆動体５５をプーリとして形成して溝５９に例えばベルト等を掛けることにより、容易に駆動体５５を回転させることができ、また、モータ等を用いれば自動で駆動体５５を回転させることができる。   Further, it is preferable that a substantially V-shaped groove 59 extending in the circumferential direction is provided on the outer peripheral surface of the driving body 55. Thus, by providing the groove 59 and forming the drive body 55 as a pulley and hanging a belt or the like on the groove 59, the drive body 55 can be easily rotated, and if a motor or the like is used, it is automatically driven. The body 55 can be rotated.

第２磁力発生要素５２として電磁石６０を用いた場合には、図１０に示すように、バルブ本体３の外側にリング状の電磁石６０が設けられている。電磁石６０は、第１永久磁石とにより移動体６の位置を制御すると共に移動体６を回転させることができればよい。電磁石６０としては、例えば、内周面に磁極突起６１が等間隔で複数設けられたコア６２と、それら磁極突起６１に巻回された駆動コイル６３とから構成されているもの等が挙げられる。その駆動コイル６３が通電されることにより第１永久磁石５３との間に磁力が発生して移動体６の位置が制御されると共に移動体６が回転されるようになっている。   When the electromagnet 60 is used as the second magnetic force generating element 52, as shown in FIG. 10, the ring-shaped electromagnet 60 is provided outside the valve body 3. The electromagnet 60 only needs to be able to control the position of the moving body 6 and rotate the moving body 6 with the first permanent magnet. Examples of the electromagnet 60 include a core 62 having a plurality of magnetic pole protrusions 61 provided at equal intervals on the inner peripheral surface, and a drive coil 63 wound around the magnetic pole protrusions 61. When the drive coil 63 is energized, a magnetic force is generated between the first permanent magnet 53 and the position of the moving body 6 is controlled, and the moving body 6 is rotated.

次に、前述した構成の本発明のバルブ１の動作を説明する。このバルブ１を、例えば、真空容器内を排気する排気系路に設けた場合について説明する。すなわち、バルブ１の吸引口１３が真空容器に連通されると共に、残りの開口部（排気口）１７が排気手段である例えば真空ポンプに連通される。このバルブ１を閉状態にするには、図１、図２、図３（ａ）、図９及び図１０に示すように、固定開口部４と移動開口部７とが重ならないにようにする。すなわち、固定体５と移動体６の底部３１とが面接触して（移動体６の底部３１と固定体５とが重なり合わされて）これらの間が気密状態になっているために、固定開口部４と移動開口部７とが重ならない状態では固定開口部４が底部３１によって閉塞されていると共に、移動開口部７が固定体５によって閉塞されているので、流体が流れることがない。つまり、排気が行われない。   Next, the operation of the valve 1 of the present invention having the above-described configuration will be described. The case where this valve 1 is provided in, for example, an exhaust system path for exhausting the inside of the vacuum vessel will be described. That is, the suction port 13 of the valve 1 is communicated with the vacuum container, and the remaining opening (exhaust port) 17 is communicated with, for example, a vacuum pump as an exhaust means. In order to close the valve 1, as shown in FIGS. 1, 2, 3A, 9 and 10, the fixed opening 4 and the moving opening 7 do not overlap each other. . That is, the fixed body 5 and the bottom 31 of the moving body 6 are in surface contact (the bottom 31 of the moving body 6 and the fixed body 5 are overlapped), and the space between them is in an airtight state. In a state where the portion 4 and the moving opening 7 do not overlap, the fixed opening 4 is closed by the bottom 31 and the moving opening 7 is closed by the fixed body 5, so that no fluid flows. That is, no exhaust is performed.

次に、真空容器の排気を行う場合であって排気コンダクタンスが小さくなるようにバルブ１を開状態にするには、例えば、駆動体５５を移動開口部７の三角状の突出部７１の先端部が最初に固定開口部４に重なり合う方向に所定の角度回転（回動）させる。このとき、例えば、図１に示すように、移動体６の第１永久磁石５３と駆動体５５の第２永久磁石５４とが互いに極性が異なるように駆動体５５が配置されているので、第１永久磁石５３と第２永久磁石５４との間には磁力が発生して第１永久磁石５３と第２永久磁石５４とが吸引しあっている。このため、駆動体５５が回転（回動）すると、図３（ｂ）に示すように、底部３１が固定体５と面接触した状態のまま磁力により移動体６が回転（回動）して移動開口部７の三角状の突出部７１の先端のみが固定開口部４とかさなりあって微小開放が行われる。これにより、排気コンダクタンスが小さく、真空容器内の気流の乱れもなく真空容器の排気を行える。   Next, in order to open the valve 1 so as to reduce the exhaust conductance when the vacuum vessel is evacuated, for example, the driving body 55 is moved to the tip of the triangular projection 71 of the moving opening 7. Are first rotated (rotated) by a predetermined angle in the direction overlapping the fixed opening 4. At this time, for example, as shown in FIG. 1, the driving body 55 is disposed so that the first permanent magnet 53 of the moving body 6 and the second permanent magnet 54 of the driving body 55 have different polarities. A magnetic force is generated between the first permanent magnet 53 and the second permanent magnet 54, and the first permanent magnet 53 and the second permanent magnet 54 are attracted to each other. For this reason, when the driving body 55 rotates (turns), the moving body 6 rotates (turns) by the magnetic force while the bottom 31 is in surface contact with the fixed body 5 as shown in FIG. Only the tip of the triangular protrusion 71 of the moving opening 7 is in contact with the fixed opening 4 so that minute opening is performed. Thereby, the exhaust conductance is small, and the vacuum vessel can be evacuated without disturbing the airflow in the vacuum vessel.

そして、駆動体５５をさらに所定の角度同じ方向に回転（回動）させると、図３（ｃ）に示すように、移動体６がさらに回転（回動）して移動開口部７の全域が固定開口部４と重なりあってバルブ１が全開となり、真空容器内の真空度を上げることができる。このようにバルブ１の全開は、移動開口部７の開口面積によって決められている（移動体６がバルブ１の開度に寄与している）ので、移動体６が排気を妨げる原因となることがない。   When the drive body 55 is further rotated (rotated) in the same direction by a predetermined angle, the movable body 6 is further rotated (rotated) as shown in FIG. Overlapping with the fixed opening 4, the valve 1 is fully opened, and the degree of vacuum in the vacuum vessel can be increased. As described above, the full opening of the valve 1 is determined by the opening area of the moving opening 7 (the moving body 6 contributes to the opening degree of the valve 1), which causes the moving body 6 to hinder the exhaust. There is no.

バルブ１を開状態から閉状態にするには、固定開口部４と移動開口部７とが重ならないように駆動体５５を所定の角度回転（回動）させる。このときの回転方向はどちらでもよい。   In order to change the valve 1 from the open state to the closed state, the driving body 55 is rotated (rotated) by a predetermined angle so that the fixed opening 4 and the moving opening 7 do not overlap. The rotation direction at this time may be either.

したがって、本発明のバルブ１は、移動体６を回転させて開閉を行うので、小型化を図ることができる。すなわち、移動体６の底部３１が固定体５に面接触した状態（気密状態）のまま移動体６が回転するので、移動体６を移動させるための移動スペースが小さくなる。特に流体の流れる方向、例えばバルブ本体３の軸方向の長さが移動体６を収容する寸法に形成することができるので、小型化を図ることができる。また、移動体６をカップ状（有底円筒状）に形成してその軸を中心として移動体６を回転させることにより、移動体６を移動させるための移動スペースが不要となり、一層の小型化を図れる。   Therefore, the valve 1 of the present invention opens and closes by rotating the movable body 6, so that the size can be reduced. That is, since the moving body 6 rotates while the bottom 31 of the moving body 6 is in surface contact with the fixed body 5 (airtight state), a moving space for moving the moving body 6 is reduced. In particular, the direction in which the fluid flows, for example, the length of the valve body 3 in the axial direction can be formed so as to accommodate the moving body 6, so that the size can be reduced. Further, by forming the moving body 6 in a cup shape (bottomed cylindrical shape) and rotating the moving body 6 around its axis, a moving space for moving the moving body 6 becomes unnecessary, and further miniaturization is achieved. Can be planned.

また、バルブ本体３の外部に設けた駆動体５５や電磁石６０によって任意の角度だけ移動体６を回転（回動）させて例えば微小開放と全開との２つの開状態を行えるので、流体のコンダクタンス（排気コンダクタンス）を調節することができる。   Further, since the moving body 6 is rotated (rotated) by an arbitrary angle by the driving body 55 and the electromagnet 60 provided outside the valve body 3, for example, two open states of minute opening and full opening can be performed. (Exhaust conductance) can be adjusted.

また、本発明のバルブ１は、バルブ本体３の外側に設けた駆動体５５又は電磁石６０を用いて移動体６の回転（移動）を非接触で行うので、バルブ本体３を貫通させる必要がない。このため、ベローズ機構や磁気シール等のシール手段を設ける必要がないので、低コスト化も図ることができる。   Further, in the valve 1 of the present invention, since the moving body 6 is rotated (moved) in a non-contact manner using the driving body 55 or the electromagnet 60 provided outside the valve body 3, there is no need to penetrate the valve body 3. . For this reason, since it is not necessary to provide sealing means such as a bellows mechanism or a magnetic seal, the cost can be reduced.

また、本発明のバルブ１を真空容器のゲートバルブとして例えば排気口に設けることにより、配管による排気コンダクタンスの減少を少なくすることができる。すなわち、従来は、真空容器と真空バルブとの間を配管を用いて接続していたので、配管による排気コンダクタンスが減少していた。この配管による排気コンダクタンスの減少を少なくするには、配管をできるかぎり径が大きくて長さが短いものを用いればよいが、真空容器及び真空バルブは大型であり、設置スペースを考慮すると短い配管で接続することができず、配管が長くなってしまう。   Further, by providing the valve 1 of the present invention as a gate valve of a vacuum vessel, for example, at the exhaust port, it is possible to reduce the decrease in exhaust conductance due to the piping. That is, conventionally, since the vacuum vessel and the vacuum valve are connected using a pipe, the exhaust conductance due to the pipe has been reduced. In order to reduce the decrease in exhaust conductance due to this pipe, it is sufficient to use a pipe with the largest possible diameter and the shortest length. However, the vacuum vessel and the vacuum valve are large, and considering the installation space, the pipe should be short. It cannot be connected and the piping becomes long.

これに対して、本発明のバルブ１は、小型であるので真空容器のゲートバルブとして例えば排気口に設けることができるので、配管による排気コンダクタンスの減少を少なくすることができる。例えば、図１１を用いて、本発明のバルブ１をゲートバルブとして排気口に設けた場合を説明する。   On the other hand, since the valve 1 of the present invention is small, it can be provided, for example, at the exhaust port as a gate valve of a vacuum vessel, so that the decrease in exhaust conductance due to piping can be reduced. For example, the case where the valve 1 of the present invention is provided as a gate valve at the exhaust port will be described with reference to FIG.

真空容器は、図１１に示すように、有底円筒状の容器本体８１と、その容器本体８１の開口部を開閉する蓋８２とから構成されている。容器本体８１の底部には、排気口８３が設けられており、この排気口８３に本発明のバルブ９０がゲートバルブとして設けられている。バルブ本体９１は、真空容器８０の排気口８３を形成する壁部８４の一部と、この壁部８４に気密に固定された円筒状の第２バルブ本体９２とから構成されている。その他の構成は、前述と略同じであるので同一符号を用いると共に、その説明を省略する。なお、図１１に示す例では、駆動体５５を用いて移動体６を回転させるようにしているが、電磁石６０を用いて移動体６を回転させるようにしてもよい。また、駆動体５５をバルブ本体９１の外周面に沿って案内する案内車輪９３の位置が前述と異なるが、案内車輪９３の位置は用途や周辺機器等の配置状態に応じて駆動体５５の側面のどちら側に配置してもよい。   As shown in FIG. 11, the vacuum container includes a bottomed cylindrical container body 81 and a lid 82 that opens and closes the opening of the container body 81. An exhaust port 83 is provided at the bottom of the container body 81, and the valve 90 of the present invention is provided as a gate valve in the exhaust port 83. The valve main body 91 includes a part of a wall portion 84 that forms the exhaust port 83 of the vacuum vessel 80 and a cylindrical second valve main body 92 that is airtightly fixed to the wall portion 84. Since other configurations are substantially the same as those described above, the same reference numerals are used, and descriptions thereof are omitted. In the example shown in FIG. 11, the moving body 6 is rotated using the driving body 55, but the moving body 6 may be rotated using the electromagnet 60. Further, the position of the guide wheel 93 that guides the drive body 55 along the outer peripheral surface of the valve body 91 is different from that described above, but the position of the guide wheel 93 depends on the application and the arrangement state of peripheral devices, etc. It may be arranged on either side.

このように、本発明のバルブ９０をゲートバルブとして真空容器８０の排気口８３に設けることにより、真空用のバルブを新たに接続する必要がないので、真空容器８０の小型化を図ることができる。また、バルブを接続する配管が不要であるので、配管による排気コンダクタンスの減少を少なくすることができ、かつ、排気経路が短くなるので排気時間の短縮等を図ることができる。   As described above, by providing the valve 90 of the present invention as the gate valve at the exhaust port 83 of the vacuum vessel 80, it is not necessary to newly connect a vacuum valve, so that the vacuum vessel 80 can be reduced in size. . In addition, since piping for connecting the valves is not necessary, the decrease in exhaust conductance due to the piping can be reduced, and the exhaust path can be shortened, so that the exhaust time can be shortened.

本発明のバルブの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the valve | bulb of this invention. 図１中のＡ−Ａ線矢視断面図である。It is an AA arrow directional cross-sectional view in FIG. 本発明のバルブの開閉状態を示す図であり、（ａ）は全閉状態を示す図、（ｂ）は微小開放状態を示す図、（ｃ）は全開状態を示す図である。It is a figure which shows the opening-and-closing state of the valve | bulb of this invention, (a) is a figure which shows a fully closed state, (b) is a figure which shows a minute open state, (c) is a figure which shows a fully open state. 本発明のバルブ本体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the valve body of this invention. 本発明の固定体の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of the fixing body of this invention. 図５中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. 5. 本発明の移動体の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of the mobile body of this invention. 図７中のＣ−Ｃ線矢視断面図である。It is CC sectional view taken on the line in FIG. 本発明のバルブの他の例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）はその（ａ）図中Ｄ−Ｄ線矢視断面図である。It is a figure which shows the other example of the valve | bulb of this invention, (a) is sectional drawing, (b) is the DD A sectional view taken on the line in the (a) figure. 本発明のバルブの他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the valve | bulb of this invention. 本発明の真空容器の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the vacuum container of this invention. 従来のバルブを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the conventional valve | bulb.

符号の説明Explanation of symbols

１ バルブ
２ 流路
３ バルブ本体
４ 固定開口部
５ 固定体
６ 移動体
７ 移動開口部
８ 駆動手段
５１ 第１磁力発生要素
５２ 第２磁力発生要素
５３ 第１永久磁石
５４ 第２永久磁石
５５ 駆動体
５８ 案内車輪
６０ 電磁石
８０ 真空容器
９０ バルブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Valve 2 Flow path 3 Valve body 4 Fixed opening part 5 Fixed body 6 Moving body 7 Moving opening part 8 Drive means 51 1st magnetic force generation element 52 2nd magnetic force generation element 53 1st permanent magnet 54 2nd permanent magnet 55 Driving body 58 Guide wheel 60 Electromagnet 80 Vacuum vessel 90 Valve

Claims (8)

流体が流れる流路を有するバルブ本体と、該バルブ本体に前記流路を閉塞すべく固定され、固定開口部を有する固定体と、該固定体に重なり合わされた状態で移動され、移動開口部を有する移動体と、を備えたバルブであって、
前記固定開口部が前記移動体によって閉塞されると共に前記移動開口部が前記固定体によって閉塞された閉状態と、
前記固定開口部と前記移動開口部とが重なり合った開状態と、を前記移動体の移動により行うことを特徴とするバルブ。 A valve body having a flow path through which a fluid flows, a fixed body fixed to the valve body to close the flow path, having a fixed opening, and being moved while being overlapped with the fixed body; A moving body having a valve,
A closed state in which the fixed opening is closed by the moving body and the moving opening is closed by the fixed body;
The valve characterized by performing the open state in which the fixed opening and the moving opening overlap each other by moving the moving body. 前記移動体を移動させる駆動手段を備え、該駆動手段により前記移動体が移動されて前記流体のコンダクタンスが調節されることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。   The valve according to claim 1, further comprising a driving unit that moves the moving body, wherein the moving body is moved by the driving unit to adjust conductance of the fluid. 前記バルブ本体が円筒状に形成され、前記固定体が円盤状に形成され、前記移動体が前記バルブ本体の内周の径より外径が小さいカップ状に形成され、前記駆動手段が、前記カップ状の移動体の外周に設けられた第１磁力発生要素と、前記バルブ本体の外周に設けられ、前記第１磁力発生要素と共に磁力を発生させて該磁力により前記移動体を回転させる第２磁力発生要素とを有することを特徴とする請求項２に記載のバルブ。   The valve body is formed in a cylindrical shape, the fixed body is formed in a disk shape, the moving body is formed in a cup shape having an outer diameter smaller than the inner peripheral diameter of the valve body, and the driving means includes the cup A first magnetic force generating element provided on the outer periphery of the movable body, and a second magnetic force provided on the outer periphery of the valve main body for generating a magnetic force together with the first magnetic force generating element and rotating the moving body by the magnetic force. The valve according to claim 2, further comprising a generating element. 前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔で設けられた複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に回転可能に設けられたリング状の駆動体の内周面であって前記第１磁石にそれぞれ対向する内周面に設けられた第２磁石であることを特徴とする請求項３に記載のバルブ。   The first magnetic force generation element is a plurality of first magnets provided at predetermined intervals on the outer periphery of the cup-shaped moving body, and the second magnetic force generation element is rotatably provided on the outer periphery of the valve body. 4. The valve according to claim 3, wherein the valve is a second magnet provided on an inner peripheral surface of the ring-shaped drive body, which is opposed to the first magnet. 5. 前記駆動体には、該駆動体を前記バルブ本体の外周面に沿って案内移動する案内車輪が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のバルブ。   The valve according to claim 4, wherein the driving body is provided with guide wheels that guide and move the driving body along an outer peripheral surface of the valve body. 前記第１磁力発生要素が、前記カップ状の移動体の外周に所定の間隔でＮ極とＳ極とが交互に配置された複数の第１磁石であり、前記第２磁力発生要素が、前記バルブ本体の外周に設けられた電磁石であることを特徴とする請求項３に記載のバルブ。   The first magnetic force generating element is a plurality of first magnets in which N poles and S poles are alternately arranged at predetermined intervals on the outer periphery of the cup-shaped moving body, and the second magnetic force generating element is The valve according to claim 3, wherein the valve is an electromagnet provided on an outer periphery of the valve body. 前記請求項１乃至６のいずれか１項に記載のバルブが、真空容器内を排気する排気系路に設けられていることを特徴とする真空用バルブ。   A valve for vacuum, wherein the valve according to any one of claims 1 to 6 is provided in an exhaust system path for exhausting the inside of a vacuum vessel. 前記請求項１乃至６のいずれか１項に記載のバルブが、ゲートバルブとして備えられていることを特徴とする真空容器。   A vacuum container, wherein the valve according to any one of claims 1 to 6 is provided as a gate valve.
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