JP2005180233A - Molecular pump - Google Patents

Molecular pump Download PDF

Info

Publication number
JP2005180233A
JP2005180233A JP2003419221A JP2003419221A JP2005180233A JP 2005180233 A JP2005180233 A JP 2005180233A JP 2003419221 A JP2003419221 A JP 2003419221A JP 2003419221 A JP2003419221 A JP 2003419221A JP 2005180233 A JP2005180233 A JP 2005180233A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bolt
molecular pump
casing
flange
inlet flange
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003419221A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4329526B2 (en
Inventor
Masahide Kubo
雅英 久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2003419221A priority Critical patent/JP4329526B2/en
Publication of JP2005180233A publication Critical patent/JP2005180233A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4329526B2 publication Critical patent/JP4329526B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a molecular pump which solves such a problem that it is adversely affected when a rotary member 4 is fractured by corrosion and there occurs a torque in a casing 5 or a lower casing 9. <P>SOLUTION: Notch portions 5K are provided near opposite sides of a through hole 5H for a bolt 11 bored in an inlet flange 5F, ideally near opposite sides in the circumferential direction of a pitch circle concentric with the through hole 5H. With such structure, thin portions T are formed near the through hole 5H, the thin portions T constituting deformable portions. Since the molecular pump has the above construction, when the torque which has occurred acts on the thin portions T through the bolt 11, the inlet flange 5F having the thin portions T at its central portion distorts, and the energy acting on the bolt 11 is absorbed by the deformation of the notch portions K. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は半導体製造装置や分析装置等の被排気部に接合されて中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用される分子ポンプ、具体的にはたとえばターボ分子ポンプ、あるいはねじ溝ポンプに代表されるモレキュラードラッグポンプなどに関する。   The present invention relates to a molecular pump that is joined to an exhausted part of a semiconductor manufacturing apparatus, an analysis apparatus or the like and is used for vacuum exhaust in a pressure range from a medium vacuum to an ultra-high vacuum, specifically, for example, a turbo molecular pump or a thread groove pump. It relates to a molecular drag pump represented by

このような分子ポンプにおいて、その代表的なターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシング内に回転自在に保持され、ケーシングの一方側における吸気口からの分子、ガス等を吸気し、他方側の排気口に排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置された回転体がケーシングに架設された上下の軸受にて回転自在に保持されるとともに、この回転体は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。そして、このターボ機構は回転体の外周部に複数段固定された回転翼とケーシング側に固定された複数段の固定翼との組み合わせであって、この中で回転翼がモータにて高速回転、具体的には１分間に数万回転という回転速度で駆動され、ガス、分子を圧縮して排気する。   In such a molecular pump, a typical turbo molecular pump is configured such that a turbo mechanism that is a main part of the molecular pump is rotatably held in a cylindrical casing, and sucks molecules, gas, and the like from an intake port on one side of the casing. And it has the structure which exhausts to the exhaust port of the other side. That is, in the turbo mechanism, a rotating body arranged at the central axis of the casing is rotatably held by upper and lower bearings installed on the casing, and this rotating body is also provided by a motor installed on the casing. It is connected to rotate at high speed. And this turbo mechanism is a combination of a rotor blade fixed in a plurality of stages on the outer periphery of the rotating body and a stator blade of a plurality of stages fixed on the casing side, in which the rotor blades are rotated at high speed by a motor. Specifically, it is driven at a rotational speed of tens of thousands of revolutions per minute, and compresses and exhausts gas and molecules.

従来におけるターボ分子ポンプの一般的な例を示すと図１４に示すとおりである。なお、この図１４は被排気部ＨＶに接合された状態を示している。以下、このターボ分子ポンプＴＰの主体であるターボ機構ＴＫについて説明すると、回転軸３の上方部には一体的に円筒部４Ｎが形成されていて、この円筒部４Ｎには外周に複数段（具体的には８段）の回転翼Ｂ１〜Ｂ８（図面には最上段の回転翼Ｂ１と最下段の回転翼Ｂ８のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している）が延設されている。この回転翼Ｂ１〜Ｂ８は軸芯方向に一定の間隔を有して配置されている。この回転軸３と回転翼Ｂ１〜Ｂ８などは一体的であり、回転体４を構成している。他方、上方に吸気口６が形成されたケーシング５の内周側からは、固定翼Ｔ１〜Ｔ７（図面には最上段の固定翼Ｔ１と最下段の固定翼Ｔ７のみ符号を付してその他の付記は省略している）が各回転翼Ｂ１〜Ｂ８と交互に設けられターボ機構ＴＫが構成されている。なお、図１４においてＳは各固定翼Ｔ１〜Ｔ７を一定の間隔で保持するためのスペーサである。７は排気口である。   FIG. 14 shows a general example of a conventional turbo molecular pump. In addition, this FIG. 14 has shown the state joined to the to-be-exhausted part HV. Hereinafter, the turbo mechanism TK which is the main body of the turbo molecular pump TP will be described. A cylindrical portion 4N is integrally formed on the upper portion of the rotating shaft 3, and the cylindrical portion 4N has a plurality of stages (specifically, on the outer periphery). 8 stages) of rotor blades B1 to B8 (in the drawing, only the uppermost rotor blade B1 and the lowermost rotor blade B8 are provided with reference numerals, and the other reference numerals are omitted). Yes. The rotor blades B1 to B8 are arranged with a constant interval in the axial direction. The rotating shaft 3 and the rotating blades B <b> 1 to B <b> 8 are integrated, and constitute a rotating body 4. On the other hand, from the inner peripheral side of the casing 5 in which the intake port 6 is formed on the upper side, fixed blades T1 to T7 (in the drawing, only the uppermost fixed blade T1 and the lowermost fixed blade T7 are denoted by the reference numerals and other However, the turbo mechanism TK is configured by alternately providing the rotor blades B1 to B8. In FIG. 14, S is a spacer for holding the fixed blades T1 to T7 at a constant interval. 7 is an exhaust port.

この回転軸３はポンプ機台部１に架設された上下の磁気軸受８Ａ、８Ｒにて回転自在に保持されるとともに、モータ２と結合されている。すなわち、８Ａはアキシャル用の磁気軸受であり、また８Ｒはラジアル用の磁気軸受で、これらにより回転軸３を確実に軸受している。他方、モータ２の一方を構成する回転子（図示せず）がこの回転軸３に内設され一体的に取付られている。この回転子はポンプ機台部１に架設された電極コイル１Ｋと協働しモータ２を構成する。このモータ２にはインバータ（図示せず）から電気エネルギーが供給され、回転軸３を高速で回転駆動する。   The rotary shaft 3 is rotatably held by upper and lower magnetic bearings 8A and 8R installed on the pump base 1 and is coupled to the motor 2. That is, 8A is an axial magnetic bearing, and 8R is a radial magnetic bearing, which reliably supports the rotating shaft 3. On the other hand, a rotor (not shown) that constitutes one of the motors 2 is provided inside the rotary shaft 3 and is integrally attached thereto. This rotor forms a motor 2 in cooperation with an electrode coil 1K installed on the pump base 1. Electric energy is supplied to the motor 2 from an inverter (not shown), and the rotary shaft 3 is rotated at high speed.

そして、さらに回転体４の一部すなわち具体的には下方には円筒部４Ｎが一体的に形成され、しかもその外周にはねじ溝（この溝は図面では明確には開示されていない）が形成されている。なお、このねじ溝はステータリング１０の側に形成される場合もある。このねじ溝は下方になるにつれて溝の深さが浅い円錐状をなしている。しかもこの円筒部４Ｎの外周はベースを兼ねた下部ケーシング９の内周に接合されたステータリング１０の内周面に近接している。このステータリング１０の内周面と前記円筒部４Ｎとの組合わせによってねじ溝ポンプＮＰが構成されている。このねじ溝ポンプＮＰはドラッグポンプとして機能し、粘性流領域における分子を引き込んで排気する。   Further, a cylindrical portion 4N is integrally formed at a part of the rotating body 4, that is, specifically below, and a screw groove (this groove is not clearly disclosed in the drawing) is formed on the outer periphery thereof. Has been. In addition, this thread groove may be formed in the stator ring 10 side. The thread groove has a conical shape with a shallow groove as it goes downward. Moreover, the outer periphery of the cylindrical portion 4N is close to the inner peripheral surface of the stator ring 10 joined to the inner periphery of the lower casing 9 that also serves as a base. A thread groove pump NP is configured by a combination of the inner peripheral surface of the stator ring 10 and the cylindrical portion 4N. This thread groove pump NP functions as a drag pump and draws and exhausts molecules in the viscous flow region.

このようなターボ分子ポンプＴＰは、ターボ機構ＴＫによるターボポンプ機構とねじ溝ポンプＮＰによるねじ溝ポンプ機能を有機的に結合したものであり、通常ハイブリッド形ターボ分子ポンプと称されている。ターボ分子ポンプＴＰとしては、このようなハイブリッド形のものが排気特性が良く、よく利用されている。なお、分子ポンプとしてはターボ機構ＴＫのみを採用するものと、上記ステータリング１０と外周にねじ溝が形成された回転体（円筒体）との組合わせのみからなるねじ溝ポンプＮＰなどがある。
このターボ分子ポンプＴＰは、ケーシング５の吸気口６側に一体的に形成された吸気口フランジ５Ｆを介して吸気口６側が半導体製造装置などの被排気部ＨＶに接合される。接合には通常ボルト１１を利用したボルト結合方式が採用される。図１５はこのボルト結合部を拡大して示す断面図である。 Such a turbo molecular pump TP is an organic combination of a turbo pump mechanism by the turbo mechanism TK and a thread groove pump function by the thread groove pump NP, and is usually called a hybrid turbo molecular pump. As the turbo molecular pump TP, such a hybrid type has good exhaust characteristics and is often used. The molecular pump includes a turbo pump NP that uses only the turbo mechanism TK, and a thread groove pump NP that includes only a combination of the stator ring 10 and a rotating body (cylindrical body) having a thread groove formed on the outer periphery.
The turbo molecular pump TP is joined to the exhausted part HV of a semiconductor manufacturing apparatus or the like through an intake port flange 5F integrally formed on the intake port 6 side of the casing 5. For the joining, a bolt coupling method using a bolt 11 is usually employed. FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view of the bolt coupling portion.

このようなターボ分子ポンプＴＰにおいては、回転翼Ｂ１〜Ｂ８が万が一応力腐蝕割れなどにより破壊したときは***して半径方向に飛散し、ケーシング５の内周に配置されているスペーサＳや固定翼Ｔ１〜Ｔ７に衝突する。この衝突によって、回転翼Ｂ１〜Ｂ８の破片がスペーサＳおよび固定翼Ｔ１〜Ｔ７と一体となり、この衝撃エネルギーにて半径方向に膨張しケーシング５に衝突する。この衝突によりケーシング５にはトルクが発生する。このトルクはケーシング５そして吸気口フランジ５Ｆを介して被排気部ＨＶに伝達され、すなわちターボ分子ポンプＴＰの外方機器にも衝撃を与えるとともに図１６に示すようにターボ分子ポンプＴＰのケーシング５を変形させてポンプ機能を破壊することになる。このようなことは好ましくないことから、この衝撃を緩和させるためにケーシング５と一体の吸気口フランジ５Ｆを被排気部ＨＶに結合するボルト結合の方法について工夫が提案されている（例えば特許文献１参照）。
特許３４２６７３４号公報 In such a turbo molecular pump TP, when the rotor blades B1 to B8 are broken by stress corrosion cracking or the like, the rotor blades B1 to B8 are split and scattered in the radial direction, and the spacers S and fixed blades arranged on the inner periphery of the casing 5 Collide with T1-T7. Due to this collision, the fragments of the rotary blades B1 to B8 are integrated with the spacer S and the fixed blades T1 to T7, expand in the radial direction by this impact energy, and collide with the casing 5. Torque is generated in the casing 5 by this collision. This torque is transmitted to the exhausted part HV through the casing 5 and the intake flange 5F, that is, impacts the external device of the turbo molecular pump TP, and as shown in FIG. It will be deformed and the pump function will be destroyed. Since this is not preferable, in order to mitigate this impact, a contrivance has been proposed for a bolt coupling method for coupling the inlet flange 5F integral with the casing 5 to the exhausted portion HV (for example, Patent Document 1). reference).
Japanese Patent No. 3426734

このようなターボ分子ポンプＴＰにおいて、回転体４が遠心破壊した場合は高速回転状態で破裂するため、ケーシング５ならびに下部ケーシング９に大きなトルクを与える。ケーシング５ならびに下部ケーシング９に与えられた衝撃によるトルクは、ターボ分子ポンプＴＰがボルト結合で取付けられた被排気部ＨＶに伝達されることになるので、このトルクの伝達を少なくすることが望まれる。そこで、このトルクの伝達を軽減するためボルト結合部である吸気口フランジ５Ｆにおけるボルト用の貫通孔５Ｈをボルト１１の径より大きく形成し、トルクが作用したときボルト１１が曲折できるようにする工夫が提案されている。具体的には、このボルト１１の曲折で被排気部ＨＶへの伝達を軽減化させる方法である。しかしながら、この方法では吸気口フランジ５Ｆにトルクを緩和させる工夫は施されておらず、伝達トルクの軽減には有効でない。
本発明はこのような問題を解消できる分子ポンプを提供しようとするものである。 In such a turbo molecular pump TP, when the rotating body 4 is centrifugally broken, it bursts in a high-speed rotation state, so that a large torque is applied to the casing 5 and the lower casing 9. Since the torque due to the impact applied to the casing 5 and the lower casing 9 is transmitted to the exhausted part HV to which the turbo molecular pump TP is attached by bolt connection, it is desired to reduce the transmission of this torque. . Therefore, in order to reduce the transmission of this torque, the bolt through hole 5H in the inlet flange 5F, which is a bolt coupling portion, is formed larger than the diameter of the bolt 11 so that the bolt 11 can be bent when the torque acts. Has been proposed. Specifically, this is a method of reducing the transmission to the exhausted part HV by bending the bolt 11. However, in this method, the intake flange 5F is not devised to reduce the torque, and is not effective in reducing the transmission torque.
The present invention seeks to provide a molecular pump capable of solving such problems.

本発明が提供する分子ポンプは、上記課題を解決するために、被排気部に対してボルトにて吸気口フランジを接合させて結合させるポンプにおいて、この吸気口フランジにケーシングがトルクを受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってトルクによる衝撃が被排気部に伝達するのを緩和させるようにしたものである。この変形部については具体的にはつぎの３つの構成からなる分子ポンプを提供する。すなわち、第１に提供する分子ポンプは、変形部をボルト用の貫通孔の近傍に切り込みを形成することによって構成するものである。この切り込みは貫通孔が穿設されるピッチ円の円周方向両側に形成される。この切込部を貫通形にすることもできる。   In order to solve the above problems, the molecular pump provided by the present invention is a pump in which an inlet flange is joined to a portion to be exhausted with a bolt, and when the casing receives torque on the inlet flange. A deforming portion that deforms is provided, and the deformation of the deforming portion reduces the transmission of an impact due to torque to the exhausted portion. Specifically, a molecular pump having the following three configurations is provided for the deformed portion. That is, the first provided molecular pump is configured by forming a notch in the vicinity of a through hole for a bolt. This notch is formed on both sides in the circumferential direction of the pitch circle in which the through holes are formed. This notch part can also be made into a penetration type.

本発明が第２に提供する分子ポンプは、変形部をボルト用の貫通孔の位置より内方であって吸気口フランジにおける円周上に連続的または連続的に形成された切込部によって構成される。この場合も切込部は吸気口フランジに対して貫通形とすることもできる。
さらに、本発明が第３に提供する分子ポンプは、吸気口フランジを半径方向に分割するよう構成し、この分割形の吸気口フランジをねじ部材等にて半径方向に接合することとし、この接合のためのねじ部材を結合のためのボルトより機械的に弱い材料で構成する。この分割方式とし接合部材を弱い材料にて形成することで変形部を構成する。
本発明が提供する分子ポンプはこのような構成により衝撃によるトルクをケーシングが受けたとき変形部が変形して吸気口フランジに作用したトルクの被排気部への伝達が軽減される。 In the molecular pump provided by the present invention secondly, the deforming portion is formed by a notch portion formed inward or continuously from the position of the through hole for the bolt and continuously or continuously on the circumference of the inlet flange. Is done. In this case as well, the cut portion may be a through-type with respect to the inlet flange.
Furthermore, the molecular pump provided by the third aspect of the present invention is configured such that the inlet flange is divided in the radial direction, and the divided inlet flange is joined in the radial direction by a screw member or the like. The screw member for the material is made of a material that is mechanically weaker than the bolt for the connection. By using this division method, the deformable portion is formed by forming the joining member with a weak material.
With this configuration, the molecular pump provided by the present invention reduces the transmission of the torque acting on the intake flange to the exhausted portion by deforming the deformed portion when the casing receives torque due to impact.

回転体が回転中に破壊し、ケーシングがトルクを受けた際、ボルト用の貫通孔の近傍に形成された切り込みにボルトを介して負荷が作用し切込部と貫通孔との間に吸気口フランジに変形が生じる。この変形でトルク（エネルギー）が消耗され、吸気口フランジから被排気部への伝達は緩和され軽減される。したがって安価なボルトを使用しても安全余裕を確保でき、ボルト破断の危険を回避できる。被排気部も衝撃が大きく緩和され装置の構成を簡略にできる。   When the rotating body breaks during rotation and the casing receives torque, a load is applied to the notch formed in the vicinity of the through hole for the bolt via the bolt, and the intake port is formed between the notch and the through hole. The flange is deformed. Torque (energy) is consumed by this deformation, and transmission from the intake flange to the exhausted portion is relaxed and reduced. Therefore, even if an inexpensive bolt is used, a safety margin can be secured and the risk of bolt breakage can be avoided. The impact of the exhausted part is greatly reduced, and the configuration of the apparatus can be simplified.

本発明が適用される分子ポンプはターボ機構のみからなるターボ分子ポンプあるいは回転体とステータリング間に形成されるねじ溝ポンプ、さらにはターボ機構とねじ溝ポンプの組合わせを基本とする構成のハイブリッド形の分子ポンプが挙げられる。最良である分子ポンプはハイブリッド形である。これは排気特性が良好であるためである。すなわち、円筒状のケーシングの内部には回転体が軸受により支持され、この回転体の上方部にターボ機構が配置され、下方部にはドラックポンプとしてのねじ溝ポンプが配置される。   The molecular pump to which the present invention is applied is a turbo molecular pump consisting only of a turbo mechanism, a thread groove pump formed between a rotating body and a stator ring, or a hybrid based on a combination of a turbo mechanism and a thread groove pump. A molecular pump of the form. The best molecular pump is the hybrid type. This is because the exhaust characteristics are good. That is, a rotating body is supported by a bearing inside a cylindrical casing, a turbo mechanism is disposed above the rotating body, and a thread groove pump as a drag pump is disposed below the rotating body.

このようなハイブリッド形の分子ポンプにおいて、ケーシングと一体の吸気口フランジ自体にトルクの衝撃を受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってその衝撃が被排気部に伝達されるのを緩和するものである。吸気口フランジは被排気部にボルトにて結合されるが、このボルトを貫通するための貫通孔近傍における吸気口フランジに切込部を形成する。この切込部の介在によって機械的強度の弱い部所すなわちこの部所が変形部であり、この部分の変形でトルクを緩和させようとするものである。あるいは吸気口フランジを分割体で構成しその接合部材を変形部として構成しトルクを吸収させるようにしたものである。
以下、図面に示す実施例にしたがって本発明を説明する。 In such a hybrid type molecular pump, the intake flange integrated with the casing is provided with a deformed portion that deforms when subjected to a torque shock, and the shock is transmitted to the exhausted portion by the deformation of the deformed portion. Is to ease. The intake flange is coupled to the exhausted portion with a bolt, and a notch is formed in the intake flange in the vicinity of the through hole for penetrating the bolt. The portion having a low mechanical strength, that is, this portion is a deformed portion by the interposition of the cut portion, and the torque is relieved by the deformation of this portion. Alternatively, the intake flange is configured as a divided body, and the joining member is configured as a deformed portion so as to absorb torque.
Hereinafter, the present invention will be described according to embodiments shown in the drawings.

図１は本発明をターボ分子ポンプＴＰに適用した実施例１の構成の断面図を示している。この図１は図１４に示す構成とほぼ同様で円筒状のケーシング５および下部ケーシング９の内部には高速回転する回転体４が２個の磁気軸受８Ａ、８Ｒにより支持されている。回転体４の上部は回転翼Ｂ１〜Ｂ８を有しており、この回転翼Ｂ１〜Ｂ８と交互に配置される形で固定翼Ｔ１〜Ｔ７が設けられ、固定翼Ｔ１〜Ｔ７はスペーサＳによって位置決めされている。５Ｆはケーシング５と一体に形成された吸気口フランジで、ボルト１１にて被排気部ＨＶに接合され結合される。ところで、分子ポンプの回転体４は数万ｒｐｍの高速で回転しており、回転体４が腐食性ガスにより材料が腐食を受けるなどして万一破損するような場合には、回転体４の破片は回転体４の周囲にあるスペーサＳに衝突したのち、ケーシング５および下部ケーシング９へ半径方向外側に向かって力が加わる。また、回転体４は高速回転状態しているため、ケーシング５および下部ケーシング９に回転力（トルク）が加わり、したがってこの回転力はボルト１１に伝達されることになる。   FIG. 1 shows a cross-sectional view of a configuration of Example 1 in which the present invention is applied to a turbo molecular pump TP. FIG. 1 is substantially the same as the configuration shown in FIG. 14, and a rotating body 4 that rotates at high speed is supported by two magnetic bearings 8A and 8R in a cylindrical casing 5 and a lower casing 9. The upper part of the rotating body 4 has rotating blades B1 to B8, and fixed blades T1 to T7 are provided so as to be arranged alternately with the rotating blades B1 to B8, and the fixed blades T1 to T7 are positioned by spacers S. Has been. Reference numeral 5F denotes an intake flange formed integrally with the casing 5, and is joined and coupled to the exhausted part HV by a bolt 11. By the way, the rotating body 4 of the molecular pump rotates at a high speed of several tens of thousands rpm. If the rotating body 4 is damaged due to corrosion of the material by corrosive gas or the like, After the debris collides with the spacer S around the rotating body 4, a force is applied to the casing 5 and the lower casing 9 outward in the radial direction. Further, since the rotating body 4 is rotating at a high speed, a rotational force (torque) is applied to the casing 5 and the lower casing 9, and thus this rotational force is transmitted to the bolt 11.

本発明はこの点の改善を鑑みて発明されたものであり、以上の構成において吸気口フランジ５Ｆ側に変形部を設け、この変形によってケーシング５や下部ケーシング９が受けたトルクを被排気部ＨＶに伝達されるのを緩和させるものである。
具体的には、図１〜図３に示すように、吸気口フランジ５Ｆに穿設されたボルト１１用の貫通孔５Ｈの近傍両側、理想的には貫通孔５Ｈの中心を通るピッチ円の円周方向における両側の近傍に切込部５Ｋが設けられている。この構成は図２の断面図に詳しく示されている。すなわち図２は、ボルト１１が吸気口フランジ５Ｆの貫通孔５Ｈを貫通して被排気部ＨＶにねじ込まれた部位を拡大して示す図である。このような構成により貫通孔５Ｈの近傍に肉薄部Ｔが形成されている。この肉薄部Ｔが変形部である。図３はこの吸気口フランジ５Ｆを上方から見た図である。このような構成であるから、発生したトルクがボルト１１を介してこの肉薄部Ｔに作用すると、この肉薄部Ｔを中心とする吸気口フランジ５Ｆは図４に示すように歪み、ボルト１１に作用したエネルギーがこの切込部５Ｋの変形で吸収されることになる。このように本発明実施例１の構成はこのボルト用の貫通孔５Ｈの両側に切込部５Ｋを設けた点に特徴がある。 The present invention was invented in view of the improvement of this point. In the above configuration, a deformed portion is provided on the inlet flange 5F side, and the torque received by the casing 5 and the lower casing 9 due to this deformation is received by the exhausted portion HV. Is alleviated from being transmitted to
Specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, a circle of a pitch circle passing through both sides in the vicinity of the through hole 5H for the bolt 11 drilled in the inlet flange 5F, ideally through the center of the through hole 5H. Incisions 5K are provided in the vicinity of both sides in the circumferential direction. This configuration is shown in detail in the cross-sectional view of FIG. That is, FIG. 2 is an enlarged view showing a portion where the bolt 11 passes through the through hole 5H of the intake port flange 5F and is screwed into the exhausted portion HV. With such a configuration, a thin portion T is formed in the vicinity of the through hole 5H. This thin portion T is a deformed portion. FIG. 3 is a view of the intake flange 5F as viewed from above. With this configuration, when the generated torque acts on the thin portion T via the bolt 11, the inlet flange 5 </ b> F centering on the thin portion T is distorted as shown in FIG. 4 and acts on the bolt 11. The absorbed energy is absorbed by the deformation of the cut portion 5K. As described above, the configuration of the first embodiment of the present invention is characterized in that the cut portions 5K are provided on both sides of the through hole 5H for the bolt.

トルク発生時における状態を図１〜図４にしたがって詳細に説明すると、吸気口フランジ５Ｆが図４に示す矢印Ｙ方向に動きはじめると、ボルト１１は最初に肉薄部Ｔの上方点Ａに当接する。このボルト１１は被排気部ＨＶにねじ込まれており、その部分は位置が固定されているので、ボルト１１は曲折せざるを得ず曲折する。そして、ボルト１１が曲折されると切込部５Ｋが歪み肉薄部Ｔの下方点Ｂがふくらんだ形となってボルト１１に当接する。同時にその反対側にある肉薄部Ｔが歪むことになり肉薄部Ｔの下方点Ｃが当接して押すことになる。この動作で歪みの変形が生起しトルクのエネルギーが吸収されることになる。肉薄部Ｔの歪みの変形部がなければ、エネルギーの吸収はなくボルト１１に局部的な力がかかることになる。なお、この切込部５Ｋの形状は吸気口フランジ５Ｆの厚さを貫通する形にしても良いが、貫通形状よりさらに格段の効果を得るために、図２に示すように切込部５Ｋの形状をＶ字形でかつ平面的には円弧状とすることが望ましい。それは上述したとおり、図４に示すように肉薄部Ｔの上方点Ａが押されて下方点Ｂが盛上がって膨らみ、下方点Ｂの部位がボルト１１を押すことでボルト１１の変形と下方点Ｃの変形の両方で効率良く力を吸収することができるからである。   The state at the time of torque generation will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4. When the inlet flange 5F starts to move in the arrow Y direction shown in FIG. 4, the bolt 11 first contacts the upper point A of the thin portion T. . Since the bolt 11 is screwed into the exhausted part HV and the position of the bolt 11 is fixed, the bolt 11 must be bent. And if the volt | bolt 11 is bent, the notch part 5K will contact the volt | bolt 11 in the shape where the lower point B of the distortion thin part T swelled. At the same time, the thin portion T on the opposite side is distorted, and the lower point C of the thin portion T comes into contact with and is pushed. By this operation, distortion deformation occurs, and torque energy is absorbed. If there is no deformed portion of the thin portion T, energy is not absorbed and a local force is applied to the bolt 11. The shape of the cut portion 5K may be a shape that penetrates the thickness of the intake port flange 5F. However, in order to obtain a more remarkable effect than the through shape, the shape of the cut portion 5K is as shown in FIG. It is desirable that the shape is V-shaped and circular in plan view. As described above, as shown in FIG. 4, the upper point A of the thin portion T is pushed and the lower point B rises and swells, and the portion of the lower point B pushes the bolt 11 to deform the bolt 11 and lower point. This is because the force can be efficiently absorbed by both deformations of C.

したがって、切込部５Ｋは片側だけに設けた場合は効果は小さく、図２に示したように貫通孔５Ｈに対し、そのピッチ円周方向の両側に形成することによって格段の効果を有する。しかしながら本発明はこの図１〜図４に示すように、切込部５ＫをＶ字形のみに限定するものではなく、吸気口フランジ５Ｆの厚さを貫通する形状にしても本発明の効果は発揮できる。図６はこの貫通形の例を示す図で、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は平面図である。５Ｔは貫通形の切込部である。さらに図５（Ａ）、（Ｂ）とともに説明すると、回転体４の回転方向に対して貫通孔５Ｈの進行側は下部に、そしてその反対側には上部に形成することで効率的に変形を吸収することができるが、切込部５Ｓの場所は貫通孔５Ｈの中心を通るピッチ円の円周方向に隣接して両側に設けられていることが望ましい。この場合切込部５Ｓは矩形状でＶ溝形ではない。これら変形例に示すように切込部の形状および大きさについては問わない。なお、図１〜図４において、図１４と同一の符号で示される部品は図１４と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。   Therefore, when the cut portion 5K is provided only on one side, the effect is small, and as shown in FIG. 2, the notch portion 5K has a remarkable effect by being formed on both sides in the pitch circumferential direction with respect to the through hole 5H. However, in the present invention, as shown in FIGS. 1 to 4, the notch 5K is not limited to the V shape only, and the effect of the present invention can be obtained even if the shape penetrates the thickness of the inlet flange 5F. it can. FIGS. 6A and 6B are diagrams showing an example of this penetration type, in which FIG. 6A is a cross-sectional view and FIG. 5T is a through-type notch. Further, referring to FIGS. 5A and 5B, the through hole 5H is formed on the lower side and the upper side on the opposite side with respect to the rotation direction of the rotating body 4, so that the deformation can be efficiently performed. Although it can absorb, it is desirable that the location of the cut portion 5S is provided on both sides adjacent to the circumferential direction of the pitch circle passing through the center of the through hole 5H. In this case, the cut portion 5S is rectangular and not V-groove shaped. As shown in these modified examples, the shape and size of the cut portion are not questioned. 1 to 4, parts denoted by the same reference numerals as those in FIG. 14 perform the same functions and operations as those in FIG. 14, and detailed description thereof will be omitted.

図７は本発明が提供する実施例２の構成を平面的に示している。そして図８は図７の構成のＡ−Ａ縦断面を示している。この本発明が第２に提供する実施例２は、図７に示すように、吸気口フランジ５Ｆにおけるボルト１１用の貫通孔５Ｈの中心を通るピッチ円より内方側で円周状に切込部５Ｄを設けたものである。この切込部５Ｄは円周状に断続した形で穿設されている。この断続的な切込部５Ｄのピッチは自在に設定できるが、各切込部５Ｄ間の肉薄部Ｑが変形部を構成する。すなわち、この第２の実施例は吸気口フランジ５Ｆにおける半径方向（外側）に向かって作用するトルクを受けたとき、その力をこの各切込部５Ｄ間の肉薄部Ｑが受け、歪みを生じトルクのエネルギーを吸収する。その結果、ボルト１１に伝わる力が緩和される。図８に示すようにこの切込部５Ｄは吸気口フランジ５Ｆを貫通している。なお、この切込部５Ｄの形状については、図示例のような楕円形に限定されず、台形、三角形、真円形など種々の形とすることができる。５Ｍは円周状溝である。   FIG. 7 is a plan view showing the configuration of the second embodiment provided by the present invention. FIG. 8 shows an AA longitudinal section of the configuration of FIG. As shown in FIG. 7, the second embodiment provided by the present invention has a circumferential cut inwardly from a pitch circle passing through the center of the through hole 5H for the bolt 11 in the inlet flange 5F. A portion 5D is provided. This cut portion 5D is drilled in an intermittent manner in a circumferential shape. Although the pitch of the intermittent cut portions 5D can be freely set, the thin portion Q between the cut portions 5D constitutes a deformed portion. That is, in the second embodiment, when the torque acting in the radial direction (outside) in the inlet flange 5F is received, the thin portion Q between the cut portions 5D receives the force, thereby causing distortion. Absorbs torque energy. As a result, the force transmitted to the bolt 11 is relaxed. As shown in FIG. 8, the notch 5D passes through the intake flange 5F. In addition, about the shape of this notch part 5D, it is not limited to an ellipse like the example of illustration, It can be set as various shapes, such as a trapezoid, a triangle, and a perfect circle. 5M is a circumferential groove.

この第２の実施例については、さらに具体的な変形の実施例を挙げることができる。この変形実施例としては図９、図１０に示されている。この変形例は図９の断面図に示すように、吸気口フランジ５Ｆの上面と下面の両面に円周状の切込部５Ｇが形成されている。すなわち、上面には垂直状溝の切込部５Ｇが形成され下面には傾斜溝状の切込部５Ｇが形成されている。したがって両切込部５Ｇ間に肉薄部Ｚが形成され、この肉薄部Ｚが変形部を構成している。   As for the second embodiment, a more specific modified embodiment can be given. This modified embodiment is shown in FIGS. In this modified example, as shown in the cross-sectional view of FIG. 9, circumferential notches 5G are formed on both the upper surface and the lower surface of the intake port flange 5F. That is, a vertical groove cut portion 5G is formed on the upper surface, and an inclined groove-shaped cut portion 5G is formed on the lower surface. Therefore, the thin part Z is formed between both the notch parts 5G, and this thin part Z comprises the deformation | transformation part.

トルクの発生により、この肉薄部Ｚが変形ないし破断しトルクエネルギーの吸収が行われる。図１０はこの肉薄部Ｚが破断状態を示している。もちろんこの円周状の切込部を有する実施例２の実施例はこれらの変形例に限定されるものではない。これらの例では吸気口フランジ５Ｆの切込部５Ｇが変形の結果として、吸気口フランジ５Ｆの破断を生じたとしても回転フランジのように機能するものである。したがって、ボルト１１の破断によってターボ分子ポンプＴＰが被排気部ＨＶから結合が解かれ、離脱、落下に至ることはない。なお、図７〜図１０において、図１〜図６と同一の符号で示される部品は図１〜図６と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。   Due to the generation of torque, the thin portion Z is deformed or broken, and torque energy is absorbed. FIG. 10 shows the thinned portion Z in a broken state. Of course, the embodiment of the embodiment 2 having the circumferential cut portion is not limited to these modified examples. In these examples, the notch 5G of the inlet flange 5F functions as a rotating flange even if the inlet flange 5F breaks as a result of deformation. Accordingly, the turbo molecular pump TP is not disconnected from the exhausted part HV due to the breakage of the bolt 11, and does not come off or fall. 7 to 10, parts denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 6 perform the same functions and operations as those in FIGS. 1 to 6, and detailed description thereof will be omitted.

図１１、図１２は本発明が提供する実施例３の構成を示す図である。図１１は吸気口フランジ５Ｆを上面より示す図であり、図１２は図１１のＢ−Ｂ面を示す縦断面である。本発明が第３に提供する分子ポンプの実施例３は、これらの図面から明らかなとおり、吸気口フランジ５Ｆを半径方向に分割するとともに、この分割形の吸気口フランジ５Ｆをボルト１１よりも機械的強度の小さい材料からなる結合具で結合させたものであり、この結合具が変形部を構成させるようにしたことを特徴とする。分割の仕方はＬ字形の分割断面Ｌで行っている。   11 and 12 are diagrams showing the configuration of the third embodiment provided by the present invention. FIG. 11 is a view showing the intake flange 5F from above, and FIG. 12 is a longitudinal section showing the BB plane of FIG. As is apparent from these drawings, the third embodiment of the molecular pump according to the third embodiment of the present invention divides the inlet flange 5F in the radial direction, and the divided inlet flange 5F is more mechanical than the bolt 11. It is characterized in that it is joined by a coupler made of a material having a low mechanical strength, and this coupler constitutes a deformed portion. The method of division is performed by an L-shaped divided section L.

具体的には、分子ポンプを結合する際使用するボルト１１より小さなサイズの結合ねじ１２を前記結合具として使用し、分割フランジ５ＳＦを吸気口フランジ５Ｆと結合するものである。図１１は２個に分割した内方分割フランジ５ＳＦを結合ねじ１２で結合させた状態を示し、図１２はこの結合部を縦断面して示している。以上のような構成であるから、したがってトルクが発生して吸気口フランジ締結用のボルト１１が破断するより先にこの分割フランジ５ＳＦと吸気口フランジ５Ｆの結合ねじ１２が破断し、その後は回転フランジのように機能することになる。この場合も分子ポンプが被排気部ＨＶ（図１）から離脱、落下してしまうようなことはない。図１３は吸気口フランジ５Ｆの分割の仕方を傾斜面Ｋで行った変形例を示す図である。
もちろんこれら各実施例以外の変形例も挙げられ、図示例に限定されない。なお、図１１〜図１３において、図１〜図１０と同一の符号で示される部品は図１〜図１０と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。 Specifically, a coupling screw 12 having a size smaller than that of the bolt 11 used when coupling the molecular pump is used as the coupling tool, and the divided flange 5SF is coupled to the inlet flange 5F. FIG. 11 shows a state in which the inner divided flange 5SF divided into two parts is connected by the connecting screw 12, and FIG. 12 shows the connecting part in a longitudinal section. Therefore, the connecting screw 12 of the split flange 5SF and the inlet flange 5F is broken before the torque is generated and the bolt 11 for fastening the inlet flange is broken. Will function like. Also in this case, the molecular pump is not detached from the exhausted part HV (FIG. 1) and dropped. FIG. 13 is a view showing a modification in which the way of dividing the inlet flange 5F is performed on the inclined surface K. FIG.
Of course, modifications other than these examples are also included, and are not limited to the illustrated examples. 11 to 13, components denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 10 perform the same functions and operations as those in FIGS. 1 to 10, and detailed descriptions thereof are omitted.

本発明が第１に提供する分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。It is a figure which shows the structure of the molecular pump which this invention provides 1st longitudinally. 本発明の要部の構成を縦断面して示す図である。It is a figure which shows the structure of the principal part of this invention in the longitudinal cross-section. 本発明の要部の構成の平面を示す図である。It is a figure which shows the plane of a structure of the principal part of this invention. 本発明による機能の特徴を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the characteristic of the function by this invention. 本発明が第１に提供する分子ポンプの構成の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the structure of the molecular pump which this invention provides 1st. 本発明が第１に提供する分子ポンプの構成の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the structure of the molecular pump which this invention provides 1st. 本発明が第２に提供する分子ポンプの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the molecular pump which this invention provides 2ndly. 本発明が第２に提供する分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。It is a figure which shows the structure of the molecular pump which this invention provides 2ndly, in a longitudinal cross-section. 本発明が第２に提供する分子ポンプの構成の変形例を縦断面して示す図である。It is a figure which shows the modification of the structure of the molecular pump which this invention provides 2ndly, longitudinally. 本発明が第３に提供する分子ポンプの機能の特徴を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the characteristic of the function of the molecular pump which this invention provides 3rd. 本発明が第３に提供する分子ポンプの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the molecular pump which this invention provides 3rd. 本発明が第３に提供する分子ポンプの要部を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the principal part of the molecular pump which this invention provides 3rd. 本発明が第３に提供する分子ポンプの要部の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the principal part of the molecular pump which 3rd this invention provides. 従来における分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional molecular pump longitudinally. 従来における分子ポンプの構成を一部を断面して示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional molecular pump partly. 従来の分子ポンプにおける欠点を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the fault in the conventional molecular pump.

符号の説明Explanation of symbols

１ ポンプ機台部
１Ｋ 電極コイル
２ モータ
３ 回転軸
４ 回転体
４Ｎ 円筒部
５ ケーシング
５Ｆ 吸気口フランジ
５Ｄ、５Ｇ、５Ｋ、５Ｓ、５Ｔ 切込部
５Ｈ 貫通孔
５Ｍ 円周状溝
５ＳＦ 分割フランジ
６ 吸気口
７ 排気口
８Ａ、８Ｒ 磁気軸受
９ 下部ケーシング
１０ ステータリング
１１ ボルト
１２ 結合ねじ
Ｂ１〜Ｂ８ 回転翼
ＨＶ 被排気部
Ｋ 傾斜面
Ｌ 分割断面
Ｓ スペーサ
Ｔ１〜Ｔ７ 固定翼
ＴＫ ターボ機構
ＴＰ ターボ分子ポンプ
ＮＰ ねじ溝ポンプ
Ｔ、Ｑ、Ｚ 肉薄部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump machine base part 1K Electrode coil 2 Motor 3 Rotating shaft 4 Rotating body 4N Cylindrical part 5 Casing 5F Inlet flange 5D, 5G, 5K, 5S, 5T Cut-in part 5H Through-hole 5M Circumferential groove 5SF Split flange 6 Intake Port 7 Exhaust port 8A, 8R Magnetic bearing 9 Lower casing 10 Stator ring 11 Bolt 12 Coupling screw B1-B8 Rotating blade HV Exhausted portion K Inclined surface L Divided section S Spacer T1-T7 Fixed blade TK Turbo mechanism TP Turbo molecular pump NP Thread groove pump T, Q, Z Thin part

Claims (8)

円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転枠に複数段固定された回転翼と、前記ケーシング内周側に固定された複数段の固定翼と、前記回転枠を高速回転させるモータを備えて回転翼と固定翼からなるターボ機構を構成し、前記ケーシングの一端側の吸気口からの分子を吸気して他端側の排気口に排気するポンプであり、吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、この吸気口フランジには、前記ケーシングが一定以上のトルク作用を受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってトルクが被排気部側に伝達するのを緩和させることを特徴とする分子ポンプ。   A rotating blade fixed in a plurality of stages to a rotating frame rotatably held in a cylindrical casing via a bearing, a plurality of fixed blades fixed on the inner peripheral side of the casing, and the rotating frame rotating at high speed A turbo mechanism comprising a rotating blade and a fixed blade with a motor to be sucked, sucks molecules from an intake port on one end side of the casing, and exhausts the molecules to an exhaust port on the other end side. In the molecular pump in which an inlet flange that is coupled to the exhausted portion with a bolt is provided, the inlet flange is provided with a deformable portion that deforms when the casing receives a torque action above a certain level. A molecular pump characterized by relieving torque transmitted to the exhausted part side by deformation of 緩和手段が吸気口フランジに穿設され、ボルト用の貫通孔の近傍に形成された切込部で構成されていることを特徴とする請求項１記載の分子ポンプ。   2. The molecular pump according to claim 1, wherein the relaxation means is formed by a notch formed in the vicinity of the bolt through-hole formed in the inlet flange. 緩和手段が吸気口フランジに穿設され、ボルト用の貫通孔の位置より内方において円周上に連続的または断続的に形成された切込部で構成されていることを特徴とする請求項１記載の分子ポンプ。   The relief means is formed by a notch formed in the inlet flange and continuously or intermittently formed on the circumference inward from the position of the through hole for the bolt. 1. The molecular pump according to 1. 円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転枠に複数段固定された回転翼と、前記ケーシング内周側に固定された複数段の固定翼と、前記回転枠を高速回転させるモータを備えて回転翼と固定翼からなるターボ機構を構成し、前記ケーシングの一端側の吸気口からの分子を吸気して他端側の排気口に排気するポンプであり、吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、吸気口フランジをこの吸気口フランジに穿設されたボルト用の貫通孔より内方の位置で半径方向に分割させて構成されるとともに、この分割された両方の吸気口フランジを前記ボルトより強度的に弱い材料からなる連結具で一体的に構成されていることを特徴とする分子ポンプ。   A rotating blade fixed in a plurality of stages to a rotating frame rotatably held in a cylindrical casing via a bearing, a plurality of fixed blades fixed on the inner peripheral side of the casing, and the rotating frame rotating at high speed A turbo mechanism comprising a rotating blade and a fixed blade with a motor to be sucked, sucks molecules from an intake port on one end side of the casing, and exhausts the molecules to an exhaust port on the other end side. In a molecular pump that has an inlet flange that is connected to the exhausted part with bolts, the inlet flange is radially divided at a position inward of the bolt through-hole formed in the inlet flange. A molecular pump characterized in that both of the divided inlet flanges are integrally formed of a connector made of a material weaker in strength than the bolt. 円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に接合されたステータリングと、回転体を高速回転させるモータを備え、回転体の外周面とステータリングの内周面を近接設置させてねじポンプ機構を構成し分子の排気を行うポンプであり、吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、この吸気口フランジには前記ケーシングが一定以上のトルク作用を受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってトルクが被排気部側に伝達するのを緩和させることを特徴とする分子ポンプ。   A rotating body that is rotatably held in a cylindrical casing via a bearing, a stator ring that is joined to the inner peripheral side of the casing, and a motor that rotates the rotating body at a high speed, and the outer peripheral surface of the rotating body and the stator In the molecular pump in which the inner peripheral surface of the ring is installed close to constitute a screw pump mechanism to exhaust molecules, and the intake port is provided with an intake flange that is connected to the exhausted portion with a bolt. The intake port flange is provided with a deforming portion that deforms when the casing receives a torque action of a certain level or more, and the deformation of the deforming portion alleviates transmission of torque to the exhausted portion side. pump. 緩和手段が吸気口フランジに穿設され、ボルト用の貫通孔の近傍に形成された切込部で構成されていることを特徴とする請求項５記載の分子ポンプ。   6. The molecular pump according to claim 5, wherein the relaxation means is formed by a notch formed in the vicinity of the through hole for the bolt, which is formed in the inlet flange. 緩和手段が吸気口フランジに穿設され、ボルト用の貫通孔の位置より内方において円周上に連続的または断続的に形成された切込部で構成されていることを特徴とする請求項５記載の分子ポンプ。   The relief means is formed by a notch formed in the inlet flange and continuously or intermittently formed on the circumference inward from the position of the through hole for the bolt. 5. The molecular pump according to 5. 円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に接合されたステータリングと、回転体を高速回転させるモータを備え、回転体の外周面とステータリングの内周面を近接設置させてねじポンプ機構を構成し分子の排気を行うポンプであり、吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、吸気口フランジをこの吸気口フランジに穿設されたボルト用の貫通孔より内方の位置で半径方向に分割させて構成されるとともに、この分割された両方の吸気口フランジを前記ボルトより強度的に弱い材料からなる連結具で一体的に構成されていることを特徴とする分子ポンプ。   A rotating body that is rotatably held in a cylindrical casing via a bearing, a stator ring that is joined to the inner peripheral side of the casing, and a motor that rotates the rotating body at a high speed, and the outer peripheral surface of the rotating body and the stator In the molecular pump in which the inner peripheral surface of the ring is installed close to constitute a screw pump mechanism to exhaust molecules, and the intake port is provided with an intake flange that is connected to the exhausted portion with a bolt. The intake flange is configured to be radially divided at a position inward of the bolt through-hole formed in the intake flange, and both of the divided intake flanges are stronger than the bolt. A molecular pump characterized in that it is integrally composed of a connector made of a material that is weak to the surface.
JP2003419221A 2003-12-17 2003-12-17 Molecular pump Expired - Lifetime JP4329526B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003419221A JP4329526B2 (en) 2003-12-17 2003-12-17 Molecular pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003419221A JP4329526B2 (en) 2003-12-17 2003-12-17 Molecular pump

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005180233A true JP2005180233A (en) 2005-07-07
JP4329526B2 JP4329526B2 (en) 2009-09-09

Family

ID=34781176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003419221A Expired - Lifetime JP4329526B2 (en) 2003-12-17 2003-12-17 Molecular pump

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4329526B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007105785A1 (en) * 2006-03-15 2007-09-20 Edwards Japan Limited Molecular pump and flange
WO2008035497A1 (en) * 2006-09-20 2008-03-27 Edwards Japan Limited Vacuum pump and flange
US9127682B2 (en) 2005-10-12 2015-09-08 Edwards Limited Vacuum pumping arrangement

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9127682B2 (en) 2005-10-12 2015-09-08 Edwards Limited Vacuum pumping arrangement
WO2007105785A1 (en) * 2006-03-15 2007-09-20 Edwards Japan Limited Molecular pump and flange
US8403652B2 (en) 2006-03-15 2013-03-26 Edwards Japan Limited Molecular pump and flange having shock absorbing member
KR101268797B1 (en) 2006-03-15 2013-05-28 에드워즈 가부시키가이샤 Molecular pump and flange
WO2008035497A1 (en) * 2006-09-20 2008-03-27 Edwards Japan Limited Vacuum pump and flange
JP2008075489A (en) * 2006-09-20 2008-04-03 Edwards Kk Vacuum pump and flange

Also Published As

Publication number Publication date
JP4329526B2 (en) 2009-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002327698A (en) Vacuum pump
JP4004779B2 (en) Vacuum pump
EP1998048B1 (en) Molecular pump and flange
JP2006063969A (en) Rotary vacuum pump, vacuum device, and pump connection structure
JP5137365B2 (en) Vacuum pump and flange
JP4329526B2 (en) Molecular pump
JP4609082B2 (en) Flange and turbomolecular pump with this flange
JP4461944B2 (en) Turbo molecular pump
JP4147042B2 (en) Vacuum pump
JP4978489B2 (en) Casing flange structure, turbo molecular pump and vacuum pump
JP4895178B2 (en) Turbo molecular pump
JP5692994B2 (en) Rotor blade fixing structure, rotating machine having the same, and rotor blade attaching / detaching method
JP5211408B2 (en) Molecular pump rotor
JP5552127B2 (en) Turbo molecular pump
JP4133233B2 (en) Turbo molecular pump and its rotor
JP2011027049A (en) Turbo-molecular pump
JP2010031678A (en) Rotary vacuum pump
US20120219400A1 (en) Vacuum pump
JP3122025U (en) High speed rotary molecular pump
CN216464380U (en) Preassembling tool
JP2002285989A (en) Vacuum pump
JP5246288B2 (en) Rotary vacuum pump, vacuum device and pump connection structure
JP2003148377A (en) Vacuum pump
JP4660967B2 (en) Turbo molecular pump
JP4560933B2 (en) Turbo molecular pump

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060324

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080902

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081104

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090526

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090608

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4329526

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130626

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130626

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140626

Year of fee payment: 5

EXPY Cancellation because of completion of term