JP2005175010A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ共振器を有し誘導放出によりレーザ共振の1次および高次モード波長を含むレーザ光を出射するレーザ発光部と、入射するレーザ光の1次モード波長に対応する光を選択して共振光を出射する外部光共振器と、レーザ共振器からのレーザ光を外部光共振器へ入射させ、外部光共振器からの共振光をレーザ共振器へ再入射させる光学系とを備える。
【選択図】図1
Description
この発明の光源装置は、単一波長に光パワーの集中した高出力レーザ光が得られるので、粒子測定装置、とりわけ微小な粒子の測定を目的とする粒子測定装置、ドップラー計、粒度分布計などの光源に好適である。
レーザは、発光のために共振器を用いるので、その波長特性は、共振器の1次モード共振波長を光強度のピークとし、その整数倍であって共振器内に定在波が存在し得る波長をも含んだスペクトル特性を持つ。図10は、レーザ共振器内に存在する定在波のうち、1次および2次定在波を示す説明図である。図10(a)は1次定在波、図10(b)は2次定在波である。また、図11は、半導体レーザのスペクトル特性の一例を示すグラフである。
レーザ光源装置として、その内部に設けられたレーザ共振器によりレーザを共振させてレーザ光を出力するレーザ発振器が開示されている(例えば、特許文献1参照)
レーザ発光部には、外部からの光をレーザ共振器内に入射できるものであれば、半導体レーザ以外の気体レーザ、固体レーザなども適用することができる。適用できる気体レーザの一例は、Ar+、He−Neである。適用できる固体レーザの一例は、YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)レーザ、YAGレーザSHG、YAGレーザ(SHG+SFG)、YLF(イットリウム・リチウム・フッ化物)レーザ、YLFレーザ+SHG、YLFレーザ(SHG+SFG)である。
外部光共振器をこのように構成すれば、外部光共振器を構成する凹面反射鏡間を往復する光路が焦点以外で交差あるいは一致しないように構成されるので、軸方向に対して直角の歪に対して平行四辺形状の光路の平行が保たれて共振波長が安定するとともに、進行型定在波のモード間競合が発生せずに位相ゆらぎを小さくすることができ、振動や歪に対して安定した光源装置を得ることができる。
レーザ駆動部は、波長偏差帰還部からの信号に基づいてレーザ光の1次モード波長と共振光の波長とが一致するようにレーザ発光部を駆動するように構成されていてもよい。
共振光検出器と波長偏差帰還部とレーザ駆動部とをさらに備えることによって、振動や温度変化の外乱に対してより安定化したレーザ光を得ることができ、あるいは防振機構や温度制御を比較的簡易に構成することができて装置を安価に実現することが可能になる。
このようにすることによって、レーザ光の1次モード波長に対して外部共振器の共振波長が長短のどちらにずれているかを検出して補正することが容易にできる。
光路長調節部と共振光検出器と位相偏差帰還部とをさらに備えることによって、振動や温度変化の外乱に対して光強度および発光波長の安定した光源装置を得ることができる。
このようにすることによって、レーザ共振器に入射する共振光の位相がレーザ共振器内の1次定在波の位相に対してどちらにずれているかを検出して補正することが容易にできる。
以下、図面に示す実施形態に基づいてこの発明の実施形態を説明する。
図1は、この発明の光源装置の一実施形態を示すブロック図ある。この実施形態は、外部光共振器3からの共振光を半導体レーザ1へ戻すことにより単一波長の高出力レーザ光を得るように構成した光源装置である。図において、1はレーザ発光部である半導体レーザである。半導体レーザ1から出射された光のうち、大部分はウェッジ板2を透過する。しかし、一部の光はウェッジ板2で反射され外部光共振器3へ導かれる。外部光共振器3は、2枚の凹面鏡3aおよび3bを同軸に対向させてなり、一方の凹面鏡3bは、レーザ光をほぼ完全に反射し、他方の凹面鏡3aは、部分透過性を有する高反射性の凹面鏡からなる。一実施形態では、凹面鏡3aの部分透過率は1/100であり、従って、外部光共振器3に蓄積される光パワーは平衡状態において入射光の約100倍になる。即ち、半導体レーザ1から出射された100mWのレーザ光の1/10がウェッジ板2で反射され、10mWが外部光共振器2へ入射する場合、外部光共振器3内には入射光の100倍である1Wの光パワーが蓄積される。そして、蓄積された光パワーの1/100が外部光共振器3から出射される。ただし、ここで反射および透過時の損失は無視できるものとしている。
外部光共振器3内の光路を前記のように構成することにより、軸方向に対して直角の歪に対して共振波長が安定する。
実施の形態1では、半導体レーザ1のレーザ光を外部共振器2に入射させ、外部共振器2からの共振光を半導体レーザ1に再入射させる光学系(光学部材)としてウェッジ板2を用いたが、別の実施形態としてフレネルロム板を用いてもよい。
図5は、この発明の光源装置の異なる実施形態を示すブロック図ある。この実施形態は、実施の形態1に示す光源装置の外部光共振器3の共振光をさらに検出して帰還することにより半導体レーザ1の発振中心波長を共振波長に追従させるように構成した光源装置である。
図8は、この発明の光源装置のさらに異なる実施形態を示すブロック図ある。この実施形態では、ウェッジ板2の取り付け部分にPZT素子14を配置し、そのピエゾ効果によって半導体レーザ1から外部光共振器3までの光路長を変化させることができるように構成されている。実施の形態3と同様に外部光共振器3の共振光を検出する。そして、検出信号を帰還することにより外部光共振器3から半導体レーザ1へ入射する1次共振光の位相を半導体レーザ1中のレーザ共振器に存在する1次定在波の位相に追従させる。
図8に示すように、PZT素子14を駆動するPZTドライバ13の駆動電圧に発振器9からの微小な高周波AC成分をバイアス−T12を用いて重畳する。
図9は、この発明の光源装置の異なる実施形態を示すブロック図ある。この実施形態は、実施の形態1に示す光源装置に光アイソレータ25を付加した光源装置である。光アイソレータ25は、ウェッジ板2の側から入射する光を透過し、ウェッジ板2と反対の方向から入射する光については伝達させない。
2 ウェッジ板
3 外部光共振器
3a、3b 凹面鏡
4 ペルチェ素子
5 温度制御回路
6 恒温槽
7 半導体レーザ駆動回路
8 共振光検出器
9 発振器
10 ロックインアンプ
11 PID制御増幅器
12 バイアス−T
13 PZTドライバ
14 PZT素子
15 レーザ共振器
22 レーザ素子
23 透過膜
24 反射膜
25 光アイソレータ
Claims (7)
- レーザ共振器を有し誘導放出によりレーザ共振の1次および高次モード波長を含むレーザ光を出射するレーザ発光部と、
入射するレーザ光の1次モード波長に対応する光を選択して共振光を出射する外部光共振器と、
レーザ共振器からのレーザ光を外部光共振器へ入射させ、外部光共振器からの共振光をレーザ共振器へ再入射させる光学系とを備える光源装置。 - 外部光共振器が、焦点距離の等しい2つの凹面反射鏡からなり、前記凹面反射鏡は、互いの焦点が一致するよう同軸上に配置され、焦点を通り軸と平行でない角度で一方の凹面反射鏡の背面からレーザ光を入射して透過させることにより凹面反射鏡間を往復する光路が焦点以外で交差あるいは一致しないように構成される請求項1記載の光源装置。
- 外部光共振器からの共振光の強度を検出して出力する共振光検出器と、
共振光検出器からの出力に基づいて共振光の波長とレーザ光の1次モード波長との偏差に関する信号を帰還する波長偏差帰還部と、
所望の波長が得られるようにレーザ発光部を駆動するレーザ駆動部とをさらに備え、
レーザ駆動部は、波長偏差帰還部からの信号に基づいてレーザ光の1次モード波長と共振光の波長とが一致するようにレーザ発光部を駆動する請求項1または2記載の光源装置。 - レーザ発光部の波長を所定周波数で微小変動させる波長変動信号を重畳する波長変動重畳部をさらに備え、
共振光検出器は、波長変動に応答する共振光の強度を検出して出力し、
波長偏差帰還部は、波長変動信号と共振光検出器の出力とに基づく処理によって共振光の波長とレーザ光の1次モード波長との偏差に関する信号を生成して帰還し、
レーザ駆動部は、波長偏差帰還部からの信号に基づいてレーザ光の1次モード波長と共振光の波長とが一致するようにレーザ発光部を駆動する請求項3記載の光源装置。 - 前記光学系のレーザ共振器と外部光共振器との間の光路長を変えて外部光共振器からレーザ共振器へ入射する共振光の位相を変える光路長調節部と、
外部光共振器からの共振光の強度を検出して出力する共振光検出器と、
共振光検出器の出力に基づいてレーザ共振器へ入射する位相とレーザ共振器内の1次定在波の位相との偏差に関する信号を帰還する位相偏差帰還部とをさらに備え、
光路調節部は、位相偏差帰還部からの信号に基づいてレーザ共振器に入射する共振光の位相とレーザ共振器内の1次定在波の位相とが一致するように光学系の光路長を調節する請求項1〜4いずれかに記載の光源装置。 - 前記光学系の光路長を所定周波数で微小変動させる光路長変動信号を重畳する位相変動重畳部をさらに備え、
共振光検出器は、光路長変動に応答する共振光の強度を検出して出力し、
位相偏差帰還部は、光路長変動信号と共振光検出器の出力とに基づく処理によってレーザ共振器に入射する共振光の位相とレーザ共振器内の1次定在波の位相との偏差に関する信号を生成して帰還し、
光路長調整部は、位相偏差帰還部からの信号に基づいてレーザ共振器に入射する共振光の位相とレーザ共振器内の1次定在波の位相とを一致させるように光路長を調節する請求項5記載の光源装置。 - 前記光学系から出射した光を透過し、その逆方向の光を阻止する光アイソレータを備える請求項1〜6いずれかに記載の光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003409206A JP2005175010A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 光源装置 |
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JP2005175010A true JP2005175010A (ja) | 2005-06-30 |
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ID=34730654
Family Applications (1)
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02106083A (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-18 | Tokyo Koku Keiki Kk | 半導体レーザのスペクトル線幅狭窄化装置 |
JPH04151625A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-25 | Asahi Glass Co Ltd | 第2高調波発生装置 |
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2003
- 2003-12-08 JP JP2003409206A patent/JP2005175010A/ja active Pending
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JPH04151625A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-25 | Asahi Glass Co Ltd | 第2高調波発生装置 |
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