JP2005173435A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
【課題】画像装置において、装置駆動での流入気流によるほこりやちり等の浮遊物から偏向反射面の汚れを防止する。
【解決手段】反射面を有する可動部を反射面側から覆う光透過部材(表面に反射防止膜や水滴防止膜をコーティングする)を支持基板に固定配置する。光透過部材の配置によるゴースト光の発生を防止するため光入射面を傾斜させることも有効である。
【選択図】図1
【解決手段】反射面を有する可動部を反射面側から覆う光透過部材(表面に反射防止膜や水滴防止膜をコーティングする)を支持基板に固定配置する。光透過部材の配置によるゴースト光の発生を防止するため光入射面を傾斜させることも有効である。
【選択図】図1
Description
本発明は、マイクロメカニクス技術により作製される光偏向器に関するものである。
近年、半導体デバイスの高集積化に代表されるように、マイクロエレクトロニクスの発展に伴い、様々な機器が高機能化と共に小型化されてきている。シリコンプロセスを用いたマイクロメカニクス技術によるマイクロマシンデバイス(例えば、ねじり軸中心にねじり振動する部材をマイクロ光偏向器、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ等)を利用した装置も同様で、例えば、光偏向器を用いて光走査を行うレーザビームプリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の画像表示装置、バーコードリーダ等の入力デバイスの光取り入れ装置等においても高機能化、小型化がなされ、更に、より一層の小型化によって、例えば持ち運びに容易な形態とした製品への応用が望まれている。
ねじり振動する光偏向器の一例として、図5(a)に示すような構成のものが存在している(特許文献1)。図5(b)は、その内部構造を説明するために、上記光偏向器を分解して表示した図である。
上記光偏向器において、絶縁性材料からなる基板1010には、凹み部1011が形成されている。凹み部1011の底部には、一対の駆動電極1012、1013及び可動部1023を支持する支持部1014が配置されている。シリコン基板1020には、弾性支持部1021、1022と可動部1023が一体に形成されている。可動部1023は、表面に光の反射率の高い物質がコーティングされており、弾性支持部1021、1022にねじり振動自在に支持されている。そして、絶縁性基板1010に対向配置されている。
ここで、シリコン基板1020は、電気的に接地されている。従って、駆動電極1012、1013に交互に電圧を印加することで、可動部1023に静電引力を作用させて、可動部1023を弾性支持部1021、1022の長軸の回りにねじり振動させることができる。
米国特許第4317611号
上記のようなマイクロマシンデバイスを用いて光走査を行うレーザビームプリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の画像表示装置、バーコードリーダ等の入力デバイスの光取り入れ装置等の高機能化・小型化のために高速・大偏向角で可動部を駆動する必要がある。しかしながら、高速・大偏向角で可動部を駆動する場合、可動部周辺に気流が生じ、可動部がポンプのような役割を果たすため、ほこりやちり等の浮遊物が多い大気中などでは、流入気流によって大気中の浮遊物を可動部上の反射面に吸い寄せ、付着させてしまう。そのため、反射率の低下を引き起こす。反射率の低下は、光偏向器を用いて光走査を行うレーザビームプリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の画像表示装置、バーコードリーダ等の入力デバイスの光取り入れ装置等において、画像を劣化させ、画質が安定しないという問題を引き起こす。
本発明は上記観点に鑑みなされたものであり、その目的は、ほこりやちりなどの浮遊物が存在する大気中で、可動部を高速・大偏向角で駆動しても、流入気体によって浮遊物が反射面に流入し付着することを防止し、反射率の低下、画質の劣化を防止することにある。
本発明は上記目的を達成するため、以下の(1)〜(8)に記載の光偏向器を提供するものである。
(1)支持基板と
前記支持基板に弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持される可動部と、
前記可動部に形成される反射面とを有し、
前記可動部を駆動することによって、
前記支持基板に対して相対的に駆動させ、
前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器において、流入気流を遮断する光透過部材が支持基板に固定されており、
前記可動部を前記反射面側から覆っていることを特徴とする光偏向器。
(2)前記光透過部材がスペーサを介して、
前記支持基板に固定されていることを特徴とする上記記載の光偏向器。
(3)前記光透過部材に反射防止コーティングを施したことを特徴とする上記記載の光偏向器。
(4)前記光透過部材に水滴防止コーティングを施したことを特徴とする上記記載の光偏向器。
(5)前記駆動手段が
前記可動部を駆動するための磁場発生部と
前記可動部に接合された可動コアからなる電磁アクチュエータであることを特徴とする
上記記載の光偏向器。
(6)前記スペーサが軟磁性体であることを特徴とする上記記載の光偏向器。
(7)前記光透過部材の光透過面が前記反射面に対して平行に設置されていないことを特徴とする上記記載の光偏向器。
(8)上記記載の光偏向器を用いることを特徴とする画像形成装置。
(1)支持基板と
前記支持基板に弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持される可動部と、
前記可動部に形成される反射面とを有し、
前記可動部を駆動することによって、
前記支持基板に対して相対的に駆動させ、
前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器において、流入気流を遮断する光透過部材が支持基板に固定されており、
前記可動部を前記反射面側から覆っていることを特徴とする光偏向器。
(2)前記光透過部材がスペーサを介して、
前記支持基板に固定されていることを特徴とする上記記載の光偏向器。
(3)前記光透過部材に反射防止コーティングを施したことを特徴とする上記記載の光偏向器。
(4)前記光透過部材に水滴防止コーティングを施したことを特徴とする上記記載の光偏向器。
(5)前記駆動手段が
前記可動部を駆動するための磁場発生部と
前記可動部に接合された可動コアからなる電磁アクチュエータであることを特徴とする
上記記載の光偏向器。
(6)前記スペーサが軟磁性体であることを特徴とする上記記載の光偏向器。
(7)前記光透過部材の光透過面が前記反射面に対して平行に設置されていないことを特徴とする上記記載の光偏向器。
(8)上記記載の光偏向器を用いることを特徴とする画像形成装置。
以上が本発明の構成要素であり、その詳細及び作用については以下に説明する。
本発明の光偏向器により、浮遊物を含む大気中などで可動部を高速・大偏向角で駆動しても、流入気流が遮断されており、反射面にほこりやちりなどの浮遊物が流れ込むことができなくなるため、ごみ等の反射面への付着を防ぐことができ、反射率の低下、画質の劣化を防止することができた。
さらに、支持基板に光透過部材を固定したことにより、小型化が可能となった。
また、軟磁性体のスペーサを介して光透過部材を支持基板に固定することにより、低消費電力で高速・大偏向角で駆動することができ、かつ、光透過部材があるため、大気中の浮遊物などが反射面に付着することを防止することができた。
また、本発明の光偏向器を垂直・平行方向のスキャニングに用いた画像形成装置は、反射面へのごみ等の付着を防止することができるので、画像の劣化を防ぎ、画質を安定させることができた。
本発明の実施の形態について説明する。
上記(1)の構成の光偏向器は、支持基板に可動部が弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持されており、可動部の一方面側にアルミニウム、誘電体多層膜など反射率の高い膜を成膜して反射面を形成する。そして、可動部を外部から加振することによって支持基板に対して可動部を相対的に駆動させて、反射面に入射する入射光を偏向することができる。この可動部を高速・大偏向角で駆動すると、可動部周辺に気流が生じるため、ほこりやちりなどの浮遊物が存在する大気中などでは、流入気流によって反射面にほこりやちりなどの浮遊物が進入し、付着する。そこで、本発明の特徴である光透過部材を支持基板に固定し、可動部を反射面側から覆うことによって、ほこりやちりなどの浮遊物が存在する大気中などで可動部を高速・大偏向角で駆動しても、流入気流を遮断するため、反射面への浮遊物の進入を防ぐことができる。さらに、光透過部材を支持基板に固定することによって、反射面と光透過部材の光透過面との距離を浮遊物が付着しない最適な距離にでき、かつ小型化することが可能となる。このように、光透過部材により反射面への流入気流を遮断することによって、ほこりやちり等の反射面への進入を防ぎ、反射面に浮遊物が付着せず、反射面の反射率の低下を防止することができる。
また、上記(2)の構成のように、スペーサを介して光透過部材を支持基板に固定する。光透過部材の形状が単純で、構成が容易であるため実装コストを低減することができる。
また、上記(3)の構成のように、光透過部材に光の反射を抑え、透過率を向上するために反射防止膜をコーティングする。光が光透過部材の表(裏)面に入射した際の反射光の一部が再度光透過部材の裏(表)面で反射してゴーストが生じる。光透過部材に反射防止膜、例えば誘電体膜などを単層あるいは多層にコーティングすることによって、ゴーストを防止することができる。
また、上記(4)の構成のように、水滴防止膜をコーティングする。水滴が光透過部材に付着して乾燥した後は、水あかなどにより光透過部材の透過率が低下する。そこで、光透過部材に水滴防止膜例えばフッ素コートなどを施すことによって、水滴が付着した際の水あかを防止することができる。
また、上記(5)の構成のように、可動部を駆動する手段として、コイル等の磁場発生部を形成し、可動部に磁気モーメントの大きなバルク状の永久磁石を可動コアとして使用する電磁アクチュエータとする。以上のように構成された光偏向器では、磁場発生部から発生する磁場により永久磁石にかかるトルクTは数式(1)で与えられる。
T=H×M (1)
ただし、Tは発生トルク、Hはコイルが発生する磁場、Mは永久磁石の磁気モーメントである。磁気モーメントの大きなバルク状の永久磁石を可動コアとすることによって、数式(1)のMを大きくすることができる。磁気モーメントMが大きいため、コイルが発生する磁場が小さくても発生トルクTは大きい。つまり、コイルに通電する電流をすくなくして発生トルクを大きくすることができる。そのため、低消費電力で高速・大偏向角で駆動することが可能となる。
T=H×M (1)
ただし、Tは発生トルク、Hはコイルが発生する磁場、Mは永久磁石の磁気モーメントである。磁気モーメントの大きなバルク状の永久磁石を可動コアとすることによって、数式(1)のMを大きくすることができる。磁気モーメントMが大きいため、コイルが発生する磁場が小さくても発生トルクTは大きい。つまり、コイルに通電する電流をすくなくして発生トルクを大きくすることができる。そのため、低消費電力で高速・大偏向角で駆動することが可能となる。
例えば持ち運びに容易な形態とした製品へマイクロマシンデバイスを応用する場合、低消費電力で高速・大偏向角で駆動させ、反射率の低下、画質の劣化を防ぐ必要がある。上記(5)の電磁アクチュエータを用いた構成の光偏向器では、低消費電力で高速・大偏向角駆動が可能で、流入気流を遮断し大気中の浮遊物が可動部の反射面に進入することを防止することができるので、画質の劣化を防ぐことができる。
また、上記(6)の構成のように、電磁アクチュエータで可動部を駆動させ、軟磁性体のスペーサで光透過部材を支持基板に固定する。以上のように構成された光偏向器では、コイルの発生する磁場を外部に漏洩することなく、可動コアに作用させることができる。
また、上記(7)の構成のように、光透過部材を反射面に対して平行に設置しないことによって、光透過部材で反射された光が、投影面においてゴーストを形成することを防ぐことができる。
また、画像形成装置に用いる光偏向器では、反射面にごみなどが付着して反射率が低下すると、画質の劣化を起こす。上記(8)の構成のように、上記(1)〜(7)の光偏向器を用いることによって、反射面の汚染を防ぐことができるので、反射率を低下させることなく安定した画像を形成することができる。
以下実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
図1は、本発明の実施例1の光偏向器を説明する図である。図1(a)は、実施例1の斜視図であり、図1(b)はその内部構造を説明するために、実施例1の光偏向器を分解して表示した図であり、図1(c)はその断面図である。実施例1の光偏向器において、ガラス基板110には、凹み部111が形成されている。凹み部111の底部には、一対の駆動電極112、113が配置されている。シリコン単結晶の支持基板120には、バルクマイクロマシニング技術により、弾性支持部121、122と可動部130が、一体に形成されている。可動部130の一方面側には、表面に光の反射率の高いアルミニウムや誘電体多層膜などの物質がコーティングされて反射面131を形成している。
可動部130は、弾性支持部121、122によりねじり軸150の回りにねじり振動自在に支持されている。そして、シリコン単結晶の支持基板120は、可動部130が駆動電極112、113と所定の間隔を保つようにガラス基板110上に対向配置されている。
シリコン単結晶の支持基板120は、電気的に接地されている。従って、駆動電極112、113に交互に電圧を印加することで、可動部130に静電引力を作用させてねじり軸150の回りに可動部130をねじり振動させることができる。可動部のねじり振動の固有モードと同じ周波数で共振駆動させることによって、大きな偏向角を得ることができる。駆動力は静電引力に限らず、電磁力などを使うこともできる。この場合は、駆動電極の代わりに電磁石を設置して可動部130の下面に硬磁性材料の永久磁石などを固定する構成をとることになる。
可動部130を高速・大偏向角で駆動すると、可動部130周辺に気流が生じるため、ほこりやちりなどの浮遊物が存在する大気中などでは、流入気流によって反射面131に浮遊物が進入し、付着する。そこで、本発明の特徴である光透過部材140を支持基板120に固定する。光透過部材140の光透過面と反射面131との距離は1mmとした。ほこりやちりなどの浮遊物が存在する大気中などで可動部130を高速・大偏向角で駆動しても、可動部130を反射面131側から覆うことによって流入気流を遮断し、反射面131への浮遊物の進入を防ぐことができる。
光透過部材140には光の反射を防止して透過率を向上するために、反射防止コーティングを施してある。反射防止コーティングの一例としては、誘電体膜を単層あるいは多層に成膜してある。
以上のように構成された本実施例の光偏向器により、駆動周波数20kHz、光偏向角±10°以上の高速・大偏向角で可動部130を駆動しても、流入気流が遮断されており浮遊物を含む空気が反射面131に流れ込むことができなくなるため、ごみ等の反射面131への付着を防ぐことができ、反射率の低下、画質の劣化を防ぐことができた。
図2は、本発明の実施例2の光偏向器を説明する概略図である。図2(a)は実施例2の光偏向器の内部構造を説明するために、光偏向器を分解して表示した図であり、図2(b)はその断面図である。実施例2の光偏向器において、コイル基板210には、マイクロマシニング技術により、平面コイル240が形成されている。平面コイルは単層または多層である。一方、シリコン単結晶の支持基板220には、弾性支持部221、222と可動部230が、一体に形成されている。可動部230の寸法は1500μm×1300μm、厚さ200μmである。可動部230の一方面側には、アルミニウムや誘電体多層膜など光の反射率の高い物質がコーティングされて反射面231を形成し、反対面側に可動コア232として硬磁性体を配置する。可動コア232はねじり軸260に対して垂直方向に着磁されている。そして、可動部230は弾性支持部221、222によりねじり軸260の回りにねじり振動自在に支持されている。支持基板220は、可動部230がコイル240と所定の間隔を保つようにコイル基板210上に対向配置されている。
本実施例の特徴は、光透過部材250を支持基板220に固定し、反射面231側から可動部230を覆う構成をとることである。光透過部材250は光の反射を防止して透過率を向上するために、反射防止コーティングを施してある。反射防止コーティングの一例としては、誘電体膜を単層あるいは多層に成膜してある。さらに、光透過部材240は、光透過部材240の反射によるゴーストを避けるために、可動部230の反射面231に対して平行でないように固定している。
コイル240(磁場発生部)から発生する磁場により永久磁石にかかるトルクTは数式(1)で与えられる。
T=H×M (1)
ただし、Tは発生トルク、Hはコイルが発生する磁場、Mは永久磁石の磁気モーメントである。Fe、Cr、Co、を含有する合金磁石は加工が容易、かつ磁気モーメントの大きなバルク状の永久磁石であり、この永久磁石を可動コア232とすることによって、数式(1)のMを大きくすることができた。磁気モーメントMが大きいため、コイル240が発生する磁場が小さくても発生トルクTは大きい。つまり、コイル240に通電する電流を小さくして発生トルクを大きくすることができる。
T=H×M (1)
ただし、Tは発生トルク、Hはコイルが発生する磁場、Mは永久磁石の磁気モーメントである。Fe、Cr、Co、を含有する合金磁石は加工が容易、かつ磁気モーメントの大きなバルク状の永久磁石であり、この永久磁石を可動コア232とすることによって、数式(1)のMを大きくすることができた。磁気モーメントMが大きいため、コイル240が発生する磁場が小さくても発生トルクTは大きい。つまり、コイル240に通電する電流を小さくして発生トルクを大きくすることができる。
本実施例の構成により、低消費電力で駆動周波数20kHzかつ光偏向角±20°以上の高速・大偏向角で駆動することができ、大気中で駆動しても、流入気流が遮断されているため、反射面231に大気中の浮遊物が付着することなく、反射率の低下を防ぐことができた。
本実施例の電磁アクチュエータを用いた構成の光偏向器では、持ち運びに容易な形態とした製品へ応用する場合、低消費電力で高速・大偏向角駆動が可能で、大気中の浮遊物が可動部230の反射面231に進入することを防止することができるので、画質の劣化を防ぐことができた。
図3は、本発明の実施例3の光偏向器を説明するための断面図である。実施例3の光偏向器の構成は、実施例1あるいは2と略同様である。
本実施例3が実施例1あるいは実施例2と異なる点は、光透過部材340がスペーサ341を介して支持基板310に固定されていることである。スペーサ341を介して光透過部材340を固定することによって、光透過部材340の加工が容易になり、コストを低減することができる。
光透過部材340は光の反射を防止して透過率を向上するために、反射防止コーティングを施してある。反射防止コーティングの一例としては、誘電体膜を単層あるいは多層に成膜してある。
また、実施例2のように電磁アクチュエータで駆動する場合、スペーサ341をFe、Niを主成分とする軟磁性体とすることによって、コイル350の発生する磁場の外部への漏れを少なくすることができ、効率よく可動コア332に作用させることができる。スペーサ341の軟磁性体の厚みを0.8mmとし、駆動周波数20kHz、偏向角±20°の高速・大偏向角で駆動した場合、0.3W以下の非常に低消費電力で可動部を駆動することができ、反射面331への大気中の浮遊物の付着を防止することができた。
以上のように構成された本実施例の光偏向器は、光透過部材340があるため流入気流を遮断し、大気中の浮遊物などが反射面に付着することを防止することができる。さらに、光透過部材340を固定するスペーサ341を軟磁性体としたことにより、低消費電力で高速・大変位角で駆動することができた。
本実施例は本発明による光偏向器を用いた画像形成装置の例である。図4は、本実施例の画像形成装置を説明するための概略図である。本実施例1〜3の光偏向器401と402を偏向方向が互いに直交するように配置することにより、入射光を垂直・水平方向にスキャンすることができる。レーザ光源411から入射したレーザ光441は光強度変調器421により強度変調を受けて、光偏向器401,402により2次元的に走査される。レーザ光源411は赤色、青色、緑色の光源を用い、これらを混色光源系にて混色して用いてもよい。この走査されたレーザ光441はレンズ431により投影面451上に画像を形成することができる。
このような画像形成装置の場合、反射面の反射率が低下することにより投影面の光強度が低下する。本実施例のように、反射面へのごみ等の付着を防止することができるので本発明の光偏向器を画像形成装置に用いることにより、画像の劣化を防ぐことができる。
110 ガラス基板
111 凹み部
112、113 駆動電極
120 支持基板
121、122 弾性支持部
130 可動部
131 反射面
140 光透過部材
150 ねじり軸
210 コイル基板
220 支持基板
221、222 弾性支持部
230 可動部
231 反射面
232 固定コア
240 コイル
250 光透過部材
260 ねじり軸
310 コイル基板
320 支持基板
330 可動部
331 反射面
332 可動コア
340 光透過部材
341 スペーサ
350 コイル
360 ねじり軸
401、402 光偏向器
411 レーザ光源
421 光強度変調器
431 レンズ
441 レーザ光
451 投影面
1010 絶縁性基板
1011 凹み部
1012、1013 駆動電極
1014 支持部
1020 シリコン基板
1021、1022 弾性支持部
1023 可動部
111 凹み部
112、113 駆動電極
120 支持基板
121、122 弾性支持部
130 可動部
131 反射面
140 光透過部材
150 ねじり軸
210 コイル基板
220 支持基板
221、222 弾性支持部
230 可動部
231 反射面
232 固定コア
240 コイル
250 光透過部材
260 ねじり軸
310 コイル基板
320 支持基板
330 可動部
331 反射面
332 可動コア
340 光透過部材
341 スペーサ
350 コイル
360 ねじり軸
401、402 光偏向器
411 レーザ光源
421 光強度変調器
431 レンズ
441 レーザ光
451 投影面
1010 絶縁性基板
1011 凹み部
1012、1013 駆動電極
1014 支持部
1020 シリコン基板
1021、1022 弾性支持部
1023 可動部
Claims (8)
- 支持基板と
前記支持基板に弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持される可動部と、
前記可動部に形成される反射面とを有し、
前記可動部を駆動することによって、
前記支持基板に対して相対的に駆動させ、
前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器において、流入気流を遮断する光透過部材が支持基板に固定されており、
前記可動部を前記反射面側から覆っていることを特徴とする光偏向器。 - 前記光透過部材がスペーサを介して、
前記支持基板に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。 - 前記光透過部材に反射防止コーティングを施したことを特徴とする請求項1〜2に記載の光偏向器。
- 前記光透過部材に水滴防止コーティングを施したことを特徴とする請求項1〜3に記載の光偏向器。
- 前記駆動手段が
前記可動部を駆動するための磁場発生部と
前記可動部に接合された可動コアからなる電磁アクチュエータであることを特徴とする請求項1〜4に記載の光偏向器。 - 前記スペーサが軟磁性体であることを特徴とする請求項2〜5に記載の光偏向器。
- 前記光透過部材の光透過面が前記反射面に対して平行に設置されていないことを特徴とする請求項1〜6に記載の光偏向器。
- 請求項1〜7に記載の光偏向器を用いることを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003416173A JP2005173435A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | 光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003416173A JP2005173435A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | 光偏向器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005173435A true JP2005173435A (ja) | 2005-06-30 |
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JP2003416173A Withdrawn JP2005173435A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | 光偏向器 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005173435A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7760414B2 (en) | 2007-04-02 | 2010-07-20 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical device comprising a structure for avoiding reflections |
JP2010533883A (ja) * | 2007-07-16 | 2010-10-28 | フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァー フェーデルング デア アンゲバンテン フォルシュング エー ファー | マイクロシステム及びマイクロシステムの製造方法 |
JP2015148654A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 株式会社リコー | 光走査装置、画像表示装置及び移動体 |
US9207451B2 (en) | 2012-06-15 | 2015-12-08 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Actuator, optical reflecting element, and image forming device using optical reflecting element |
-
2003
- 2003-12-15 JP JP2003416173A patent/JP2005173435A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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