JP2005172483A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
小型化、且つ低価格化に対応したダイアフラム型圧力センサを提供する。
【解決手段】
絶縁基板、ダイアフラム及びプリント配線基板を順次積層した構造であって、前記ダイアフラムの上面には可動電極とリード電極パターンとを、前記絶縁基板の下面には固定電極と第1及び第2の配線パターンとを有しており、前記可動電極が前記固定電極と所定の間隔を隔てて対向し、且つ前記リード電極パターンと前記第2の配線パターンとが当接するように前記絶縁基板と前記ダイアフラムの厚肉部とを陽極接合したものであり、前記絶縁基板の下面に形成する前記第1及び前記第2の配線パターンを前記プリント配線基板の上面に設けた電極パッドにそれぞれ導電性接着剤にて導通固定したことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
従来の圧力センサ100は、略矩形状のガラス基板の略中央を貫設する圧力排出口を備える上部絶縁基板101と、略矩形状のガラス基板の略中央を貫設する圧力導入口を備える下部絶縁基板102と、導電性を有するシリコン基板の両主面を凹陥することにより形成した薄肉の膜部及び該膜部を囲繞する厚肉の支持部103aを一体的に形成するダイヤフラム103と、上面に電極105を形成した環状の圧電部材104と、を備えており、下から前記下部絶縁基板102、前記ダイヤフラム103、前記圧電部材104及び前記上部絶縁基板101を重層した上で陽極接合する構造となっている。
本発明の圧力センサは、圧力検出素子として(良好な機械的弾性的性質を有する)圧電材料からなるダイヤフラムと該ダイヤフラムの熱膨張率に近似する熱膨張率を有するガラスからなる絶縁基板との間隙の静電容量変化で圧力検知を行う静電容量型圧力センサであって、例えば該圧力センサ、静電容量変化出力を圧力に変換する電子回路部及び該電子回路部の出力を外部に送信する送信部を一体化し、自動車のタイヤ用ディスクホイール内に(タイヤに空気を注入するための)タイヤバルブと共に前記ディスクホイールに固着してなるタイヤ空気圧センサとして用いられる。
本発明実施形態の圧力センサは、図1に示すように、下面の略中央が凹陥した略矩形状のダイアフラム1と、下面の略中央が凹陥すると共に少なくとも前記ダイアフラム1の平面外形より大きい平面外形を有する略矩形状の絶縁基板2と、上面に内部接続端子(電極パッド)3aを備えると共に前記絶縁基板2の平面外形と同一若しくは僅かに大きい平面外形を有する平板状のプリント配線基板3と、を備えている。
前記絶縁基板2は、図1(b)中上側の(展開後の)下面図に示すように、ガラス基板、例えば含アルカリガラス基板の一方主面(下面に相当する。)の略中央を凹設し該凹設部の底部2a及び該底部2aを囲繞する環状支持部2bを一体的に形成する。さらに前記底部2aの略中央に固定電極21と該固定電極21より環状支持部2bの上面(即ち絶縁基板2の最下面)の所定の端辺部まで延出する引き出し電極(第1の配線パターン)22と前記固定電極21を挟んで該引き出し電極22の終端部の配設する位置に対向する環状支持部2bの上面にダミー電極(第2の配線パターン)23を形成したものである。また前記固定電極21の表面にはSiO2等の絶縁膜24(図1(b)では不図示)が被着している。
また、前記プリント配線基板は(前記圧力検出部を)外部装置に接続するためのものであることから、セラミック配線基板のみならずガラスエポキシ、シリコン等の樹脂基板などでも構わない。
1b・・環状囲繞部 2a・・底部 2b・・環状支持部 3a・・内部接続端子
11・・可動電極 12・・リード電極 21・・固定電極
22・・引き出し電極 23・・ダミー電極 24・・絶縁膜
25・・導電性接着剤 41・・絶縁基板 42・・ダイヤフラム
43・・固定電極 44・・可動電極 45・・プリント配線基板
100・・圧力センサ 101・・上部絶縁基板 102・・下部絶縁基板
103・・ダイヤフラム 103a・・支持部 104・・圧電部材
105・・電極 201・・第1のガラス部材 202・・シリコン基材
203・・第2のガラス部材 204・・金属層
Claims (5)
- 絶縁基板と、薄肉部と該薄肉部の周縁の厚肉部とを一体的に形成したダイアフラムと、所定の配線が施されたプリント配線基板とを順次積層した構造を備えた圧力センサであって、
前記ダイアフラムの上面には前記薄肉部に配設した可動電極と該可動電極からダイアフラムの周縁近傍まで延びるリード電極パターンとを有しており、
前記絶縁基板の下面には固定電極と該固定電極から絶縁基板の周縁近傍まで延びる第1の配線パターンと前記リード電極パターンに対応する位置から絶縁基板の周縁近傍まで延びる第2の配線パターンとを有しており、
前記可動電極が前記固定電極と所定の間隔を隔てて対向し、且つ前記リード電極パターンと前記第2の配線パターンとが当接するように前記絶縁基板と前記ダイアフラムの厚肉部とを陽極接合したものであり、
前記絶縁基板の下面に形成する前記第1の配線パターン及び前記第2の配線パターンを前記プリント配線基板の上面に設けた2個の電極パッドにそれぞれ導電性接着剤にて導通固定したことを特徴とする圧力センサ。 - 絶縁基板と、薄肉部と該薄肉部の周縁の厚肉部とを一体的に形成したダイアフラムと、所定の配線が施されたプリント配線基板とを順次積層した構造を備えた圧力センサであって、
前記絶縁基板の上面には固定電極と該固定電極から絶縁基板の周縁近傍まで延びる配線パターンとを有しており、
前記ダイアフラムの下面には前記薄肉部に配設した可動電極と該可動電極からダイアフラムの周縁近傍まで延びる第1のリード電極パターンと前記配線パターンに対応する位置からダイヤフラムの周縁近傍まで延びる第2のリード電極パターンとを有しており、
前記可動電極が前記固定電極と所定の間隔を隔てて対向し、且つ前記配線パターンと前記第2のリード電極パターンとが当接するように前記絶縁基板と前記ダイアフラムの厚肉部とを陽極接合したものであり、
前記ダイヤフラムの下面に形成する前記第1のリード電極パターン及び前記第2のリード電極パターンを前記プリント配線基板の上面に設けた2個の電極パッドにそれぞれ導電性接着剤にて導通固定したことを特徴とする圧力センサ。 - 前記ダイヤフラムが水晶であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力センサ。
- 前記絶縁基板が含アルカリガラスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の圧力センサ。
- 前記導電性接着剤がエポキシ系若しくはポリイミド系導電性接着剤であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の圧力センサ。
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