JP2005164305A

JP2005164305A - 干渉計装置の被検体マウント

Info

Publication number: JP2005164305A
Application number: JP2003400938A
Authority: JP
Inventors: Ippei Maeda; 一平前田
Original assignee: Fujinon Corp
Current assignee: Fujinon Corp
Priority date: 2003-12-01
Filing date: 2003-12-01
Publication date: 2005-06-23

Abstract

【課題】干渉計装置により測定される被検体の寸法が変っても、この被検体を支持する部材を容易に調整できるようにする。
【解決手段】レンズマウント２０における保持リング部２１ｂの内周部に回動リング２４が装着され、この回動リング２４には枢支ピン２５が３箇所設けられ、各枢支ピン２５にはスイングアーム２６ａと駆動レバー２６ｂとを連設した作動部材２６が固着して設けられ、スイングアーム２６ａの先端部に被検レンズ７が当接する鋼球２７が取り付けられ、駆動レバー２６ｂの端部には保持リング部２１ｂに設けたカム溝２９に嵌合したカムフォロア２８が連結して設けられている。また、作動部材２６を固定するカバー部材３２が設けられ、このカバー部材３２は締め付け部材３３で作動部材２６をカバー部材３２と保持リング部２１ｂとの間に挟持される。
【選択図】図５

Description

本発明は、干渉計を用いて光学部材や工業部材の反射測定あるいは透過測定をするための干渉計装置に関し、特に外径の異なる被検体を安定した状態に保持して、その被検体の測定・検査ができるようにした干渉計装置の被検体マウントに関するものである。

レンズや金型の仕上げ精度の検査等、光学部品や工業部材の表面状態あるいは内部状態を測定するために干渉計装置が用いられる。特に近年においては、光源としてのレーザ、干渉計光学系としてのフィゾー型干渉計の普及に伴い、光学部品の検査では標準検査手段となっている。この干渉計装置について、一番多用されているフィゾー型レーザ干渉計を用いて被検体である球面レンズの表面の反射測定を例に取り説明する。干渉計装置の基本構成としては、可干渉光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源から出射した光を所定の径の平行光束化するためのコリメータレンズと、被検レンズの被検面の基準形状を有する基準体、すなわち基準レンズとを含むものである。基準レンズはコリメータレンズからの平行光束が入射される側とは反対側の面、つまり被検レンズと向き合った面が基準面であり、その表面形状は被検レンズの被検面と同一または相似形状となっている。

被検レンズは被検体マウントに着脱可能に装着されるようになっており、この被検体マウントに被検面を基準レンズと対面する状態にしてセットして、レーザ光源からのレーザ光が照射される。このレーザ光はこの基準レンズの基準面で一部が反射して参照光束となってコリメータレンズに戻ることになる。また、基準面を透過したレーザ光は被検レンズの被検面で一部が反射して被検光束となって基準レンズを透過してコリメータレンズに戻ることから、これら２つの光束を重ね合わせることにより両波面間における干渉情報が得られ、この干渉情報に基づいて被検レンズの仕上げ面精度等が測定・検査される。従って、コリメータレンズを透過した戻り光をビームスプリッタで入射光から分離して、カメラ等を用いた観察手段に取り込まれる構成としている。

ここで、被検レンズが球面レンズである限り、その曲率が基準レンズの曲率と一致することは検査・測定のための必須条件ではない。即ち、基準レンズの曲率中心位置と被検レンズの曲率中心位置とが正確に一致しておれば、被検レンズの曲率半径が基準レンズの曲率半径より大きい場合でも、また小さい場合でも測定を行うことができる。従って、種々の被検レンズを測定するためには、基準レンズ若しくは被検レンズを光軸方向に移動可能な構成として、これらのレンズ間間隔を調整することによって、基準レンズと被検レンズとの曲率中心位置を一致させることができる。

ところで、被検体マウントは、レンズ等の被検体を安定的に保持するために、クランプ力等といった外力が作用すると、測定時に被検体に歪み等が発生して正確な測定が行えなくなる。そこで、通常、被検体の測定光束入射面（またはその反対側の面）に３点乃至それ以上の点で当接させるようにして支持する被検体支持部を設ける構成としている。そして、この被検体支持部は被検体が載置されたときに繰り返し測定の再現性を向上させ、しかもその着脱時に表面に傷が付かないようにするために、鋼球で形成されるのが好ましい。被検体マウントに設けた少なくとも３点の鋼球からなる被検体支持部を結ぶ円の直径は、被検体の外径より小さく、かつその有効径より大きいものとする。これによって、干渉計装置によって被検体の有効径全体の反射測定あるいは透過測定を正確に行えることになる。

以上のように、各被検体支持部を結ぶ円は被検体の外径とその有効径との間の直径を有するものでなければならないので、これら各被検体支持部が固定されていると、測定可能な被検体の外径及び有効径は限られたものとなり、それより大きい被検体や小さい被検体は測定できないという不都合が生じる。そこで、特許文献１には被検体支持部を設けた被検体マウントを本体部にねじ込み式のものとする構成が開示されており、従ってこの被検体マウントを交換すれば、異なる寸法の被検体を測定できるようになる。
特開平４−２０７０６２号公報。

前述した従来技術において、異なる寸法の被検体を測定するためには、複数種類の被検体マウントを備えなければならず、従って予定されている被検体の寸法毎の被検体マウントを準備するという点で極めて煩わしいものとなる。しかも、被検体マウントを交換する毎に、その水平度を調整し、かつ基準体に対する光軸合わせを行わなければならない。従って、被検体の寸法が異なる毎に行われる被検体マウントの段取り換えが面倒であり、かつ被検体マウントを精度良く装着するのが困難であり、かつ長時間を必要とする等といった問題点がある。

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、被検体の寸法が変っても、この被検体を支持する部材を容易に調整できるようにすることにある。

そこで、本発明は、光源から出射される光束を基準体と被検体マウントに着脱可能に装着した外周円形の被検体に照射して基準体の情報を担持した参照光束と被検体の情報を担持した被検光束となし、これら参照光束と被検光束間に生じる干渉縞を観察手段により観察する干渉計装置であって、前記被検体マウントは、前記被検体の光軸中心線位置に所定の口径を有する開口部が形成されており、前記被検体の光源から入射する光束の入射面またはその反対面を少なくとも３点で支持させる被検体支持部を設けたスイングアームと、前記各被検体支持部が前記光軸中心線を中心とした同心円を形成し、かつ前記同心円の半径が任意の位置に変位するように前記各スイングアームを水平方向に回動させるアーム駆動手段と、このスイングアームを任意の角度状態で固定するアーム係止手段とを備える構成としたことをその特徴とするものである。

ここで、干渉計装置により測定される被検体としては、例えば球面レンズまたは非球面レンズがあるが、このようなレンズだけでなく、エタロンやフィルタ等の平面部材であっても良く、また光を透過させる部材だけでなく、ミラー等のような反射部材であっても良い。さらに、光学部品以外にもベアリング球や金型のような工業部材をも測定できる。また、測定は前述した被検体の表面形状だけでなく、密度変化や厚さ変化等の透過測定も可能となる。一方、干渉計において用いられる光源については、レーザ、半導体レーザ、発光ダイオード、白色光等様々な光源を用いることができる。さらに、干渉計としては、フィゾー型、マイケルソン型、マッハツェンダ型その他の型式のものを用いることができる。

被検体マウントに設けられる少なくとも３点の被検体支持部はそれぞれスイングアームに装着して、このスイングアームを光軸中心線に対して直交する面内に回動させることによって、各被検体支持部を結ぶ円がこの光軸中心線を中心とした同心円を構成し、かつその円の半径を変化させる。このために、各スイングアームを回動させるアーム駆動手段と、各スイングアームを所定の角度状態に固定するアーム係止手段とを備えている。スイングアームは少なくとも３箇所設けられるが、これら各スイングアームは同時に同じ方向に同じ角度分回動させるようにするのが望ましい。このための機構としては、例えば各スイングアームを駆動レバーと一体に設け、これらスイングアームと駆動レバーとの連設部を回動支点とする。そして、この回動支点は保持リングの内周面に回動可能に装着した回動操作リングに枢支させて設け、また保持リングにはカム溝を形成して、駆動レバーの端部をこのカム溝に係合するカムフォロアを装着することにより構成することができる。また、各スイングアームの被検体支持部の装着部とは反対側の端部をピニオンに相対回動不能に連結し、また保持リングの内周面に内面にピニオンと噛合するギアを形成したリングギアを回動可能に装着し、各ピニオンの回転軸を保持リングに回動自在に支持する構成とすることによってもアーム駆動手段を構成できる。

一方、アーム係止手段は、スイングアームが任意の角度位置で動かないように固定するものであり、かつ被検体支持部の位置調整を行う際には、この固定を解除できるようになっていなければならない。従って、このアーム係止手段は摩擦係合させるようにするのが望ましい。スイングアームに対して直接摩擦係合させる構成とするか、またはアーム駆動手段を構成する可動部分の一部を摩擦係合により固定するように構成すれば良い。即ち、スイングアームに連設した駆動レバー、回動操作リングまたはリングギア等を摩擦係合する手段を用いることができる。

以上のように構成した本発明によれば、寸法の異なる被検体を測定するに当って、単一の被検体マウントを用いて、被検体の寸法に合わせて、被検体支持部が最も適切な位置となるように容易に調整することができる等といった効果を奏する。

以下、本発明の実施の形態として、干渉計としてフィゾー型の干渉計を用い、被検体として球面レンズの表面形状を測定するようにしたものについて、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明はこの実施の形態に限定されるものではないことはいうまでもない。而して、図１に干渉計装置の全体構成を示す。同図において、１はレーザ光源を示し、このレーザ光源１から出射されるレーザ光はそのビーム径を拡大させるためのビーム整形レンズ２に入射されて、このビーム整形レンズ２により一度集光させた後に所定のビーム径となるまで発散させるようにしている。そして、このビーム整形レンズ２の集光位置には絞り３が配設されており、この絞り３を通過した光は発散しながらビームスプリッタ４に入射されて、このビームスプリッタ４で反射することによって光路が９０°曲げられる。そして、ビームスプリッタ４での反射光はコリメータレンズ５によって平行光束化される。

６は基準体としての基準レンズ、７は被検体としての被検レンズであり、基準レンズ６はその入射面６ａ側は反射防止コーティングが施されており、その反対面は基準面６ｂとなっている。被検レンズ７は、その被検面７ａの表面状態が測定されるものであって、基準レンズ６の基準面６ｂと被検レンズ７の被検面７ａとは対向配設される。そして、コリメータレンズ５により平行光束化されたレーザ光は基準レンズ６の基準面６ｂで一部が反射し、この基準レンズ６を透過した光は被検レンズ７の被検面７ａでも一部反射することになる。その結果、基準面６ｂでの反射光と被検面７ａでの反射光との間で干渉作用が生じる。このように干渉情報を有する反射光はコリメータレンズ５を再度透過し、ビームスプリッタ４では透過することによって、入射光から分離される。そして、干渉縞画像結像用レンズ８を介して撮像手段９に取り込まれるようになる。従って、撮像手段９からの干渉縞情報をモニタに映し出すことにより、例えば干渉縞の本数等に基づいて被検レンズ７の被検面７ａの表面状態が測定される。

干渉計装置は概略以上のように構成されるものであり、本実施の形態においては、レーザ光源１，ビーム整形レンズ２，絞り３，ビームスプリッタ４，コリメータレンズ５，干渉縞画像結像用レンズ８及び撮像手段９は、干渉計本体ユニット１０として、本体ケーシング１１の内部に設けられている。この本体ケーシング１１の天板部１１ａには基準レンズ６が装着されている基準レンズユニット１２と、被検レンズ７が着脱可能にセットされる被検体載置ユニット１３とが設置されている。そして、天板部１１ａには導光用の開口１４が形成されている。なお、基準レンズユニット１２は干渉計本体ユニット１０と一体に形成することもできる。

ここで、基準レンズ６と被検レンズ７との間で光軸調整を行う必要がある。つまり、図１に光軸中心線Ｃで示したように、基準レンズ６の光軸中心線と被検レンズ７の光軸中心線とが完全に一致し、光軸中心線と直交する方向にずれが生じず、また相互の光軸中心線間に傾きが生じないように、調整されなければならない。このために、基準レンズユニット１２と被検体載置ユニット１３との少なくとも一方には光軸調整機構を備えていなければならないが、例えば基準レンズユニット１２にこの光軸調整機構を持たせることができる。また、基準レンズ６及び被検レンズ７はいずれも所定の曲率を有する球面形状となったものであり、従って基準レンズ６の曲率中心位置と被検レンズ７の曲率中心位置とが、光軸調整機構により一致するように調整された光軸中心線Ｃ上で同じ位置Ｏに配置されていなければならず、従って基準レンズユニット１２と被検体載置ユニット１３との間の間隔を調整する必要がある。また、曲率半径が異なる被検レンズ７を測定する場合には、改めて基準レンズ６と被検レンズ７との間の間隔調整を行う必要がある。この間隔調整機構は、図１に符号１５で示したように、例えば被検体載置ユニット１３側に設けることができる。

なお、本実施の形態では、基準レンズ６を干渉計本体ユニット１０に対して独立の構成としたが、干渉計本体ユニット側にレンズホルダを装着して、このレンズホルダに基準レンズを装着する構成としても良い。また、基準レンズ６の光軸をＸＹ軸方向及び傾き方向に調整可能としたが、例えば被検体載置ユニット１３を構成する固定フレーム側、例えば固定フレームと間隔調整手段との間にいずれかの調整機構或いは全ての光軸調整機構を設けるように構成することもできる。

次に、図２乃至図５に被検体載置ユニット１３において、被検体である被検レンズ７が着脱可能にセットされる被検体マウントとしてのレンズマウント２０の構成を示す。ここで、被検体載置ユニット１３は、前述したように、間隔調整機構１５を含むものであるから、このレンズマウント２０は、間隔調整機構１５の上部に螺合する等により固定されるようになっている。

レンズマウント２０は、図３から明らかなように、間隔調整機構１５の上部に設けられた台座部２２に螺挿される連結部２１ａと保持リング部２１ｂとから構成され、連結部２１ａの中央部には導光用の透孔２３が形成されている。そして、図２に示したように、保持リング部２１ｂの内周部には、その内面に摺接するようにして回動リング２４が装着されており、この回動リング２４は保持リング部２１ｂ内で回動可能となっている。回動リング２４には、円周方向に１２０°の間隔をもって３箇所に枢支ピン２５が設けられており、これら各枢支ピン２５には作動部材２６が固着して設けられている。この作動部材２６は、スイングアーム２６ａと駆動レバー２６ｂとを連設したものからなり、枢支ピン２５はこのスイングアーム２６ａと駆動レバー２６ｂとの間の移行部に取り付けられている。従って、回動リング２４と作動部材２６の駆動レバー２６ｂとによりスイングアーム２６ａを水平方向に回動させるアーム駆動手段が構成される。

スイングアーム２６ａの先端部には被検体支持部としての鋼球２７が取り付けられている。一方、駆動レバー２６ｂの端部にはカムフォロア２８が連結して設けられ、このカムフォロア２８はレンズマウント２０の保持リング部２１ｂに設けたカム溝２９に嵌合しており、このカム溝２９に沿って転動可能となっている。

従って、回動リング２４を図５の矢印Ａ方向またはＢ方向に回動させることによって、３箇所設けた作動部材２６の駆動レバー２６ｂに設けたカムフォロア２８がカム溝２９に沿って転動すると共に、スイングアーム２６ａが矢印ａ方向またはｂ方向に回動することになり、これら各スイングアーム２６ａに装着した鋼球２７がレンズマウント２０の中心である光軸中心線Ｃに近接または離間する方向に変位するようになっている。

レンズマウント２０における保持リング部２１ｂの内側に位置する回動部材２４は手動操作により回動させることができるようになっており、このために図４及び図５に示したように、保持リング部２１ｂの周胴部には所定幅にわたって貫通長孔３０が形成されており、この貫通長孔３０には操作用ねじ３１が貫通するように設けられており、この操作用ねじ３１の先端は回動リング２４に連結されている。従って、操作用ねじ３１を貫通長孔３０に沿って移動させることによって、回動リング２４が回動操作されることになる。

また、作動部材２６を任意の回動位置に固定するアーム係止手段として、レンズマウント２０の保持リング部２１ｂ上にはカバー部材３２が装着されており、このカバー部材３２はリング状の部材であり、その内径は少なくとも保持リング部２１ｂにおける透孔２３より大きくなっている。また、カバー部材３２の外周端部は曲成されて、保持リング部２１ｂの外周を囲繞する囲壁部３２ａとなっている。これによって、カバー部材３２は保持リング部２１ｂに対してほぼ密嵌状態となるように装着され、またこのカバー部材３２の内面は作動部材２６に当接可能となっている。そして、カバー部材３２には締め付け部材３３が複数箇所（図面においては３箇所）装着されており、この締め付け部材３３によって作動部材２６をカバー部材３２の下面と保持リング部２１ｂの上面との間に挟持するようにしてその間の摩擦力で固定的に保持されるようになっている。このために、図４から明らかなように、締め付け部材３３は、保持リング部２１ｂに設けたねじ孔３４に螺挿されるねじ部３３ａに、カバー部材３２に穿設したねじ挿通孔３５より大径の押さえ部３２ｂを連設し、さらに最上部には最も大径となった操作リング部３２ｃを連設したものから構成されている。

本実施の形態は以上のように構成されるものであって、被検レンズ７の被検面７ａの表面状態を測定するに当っては、レンズマウント２０における３箇所設けた作動部材２６のスイングアーム２６ａに取り付けた鋼球２７上に被検レンズ７をセットして、レーザ光源１からのレーザ光は基準レンズ６を介して被検レンズ７に照射される。レーザ光は一部が基準レンズ６の基準面６ｂで反射すると共に、被検レンズ７の被検面７ａでも反射して、これら２つの反射波面が干渉することになり、この干渉情報は撮像手段９により撮像される。この干渉縞情報に基づいて被検レンズ７の加工精度等を測定・検査することができる。

ここで、干渉計装置により被検レンズ７の被検面７ａに対する測定範囲は、その有効径全体である。ただし、被検レンズ７において、外周側には所定の幅にわたって有効領域外となる領域が円環状に形成される。従って、鋼球２７は被検レンズ７における有効領域外の円環状の領域に当接させるようにしなければならない。測定される被検レンズのサイズが同じであれば、その曲率半径の如何に拘らず３箇所設けられている鋼球２７の位置を変位させる必要はない。しかしながら、異なるサイズの被検レンズを測定する場合には、鋼球２７の位置を変える必要がある。ただし、３箇所設けた鋼球２７を結ぶ円は光軸中心線Ｃに対して同心円を保持され、かつ相互に１２０°の間隔となっていなければならない。

以上の条件に応じて鋼球２７の位置を調整する際には、まず締め付け部材３３を操作して、カバー部材３２による作動部材２６への圧接による摩擦力を解除する。この状態で、操作用ねじ３１を操作して、回動リング２４を図５の矢印Ａ方向または矢印Ｂ方向に回動させる。この回動リング２４の回動によって、作動部材２６に連結した枢支ピン２５が円周方向に移動する。これにより、作動部材２６の駆動レバー２６ｂのカムフォロア２８がカム溝２９に沿って転動し、スイングアーム２６ａが矢印ａ方向または矢印ｂ方向に回動することになる。その結果、光軸中心線Ｃと直交する平面上において、鋼球２７がこの光軸中心線Ｃに近接若しくは離間する方向に移動することになり、被検レンズ７の寸法に応じて、その被検面７ａにおける有効領域外に当接可能な位置が調整されることになる。この状態で、締め付け部材３３により作動部材２６を固定するように操作することによって、各作動部材２６に設けた鋼球２７が固定的に保持される。

各作動部材２６は、回動リング２４に装着されているので、光軸中心線Ｃを中心とした同心円が確保され、かつ各鋼球２７の間隔は１２０°の状態が維持される。従って、被検レンズ７のサイズに応じて、レンズ支持部である鋼球２７を最適な位置に調整する作業は極めて容易であり、かつ正確な位置調整が可能になる。そして、図５において、実線で示した位置から仮想線で示した位置までの範囲において、無段階的に鋼球２７の位置を調整することができる。即ち、図５に仮想線で示したように、有効径がＬ１からＬ２までの被検レンズを測定することができる。

次に、図６及び図７に本発明における第２の実施の形態を示す。本実施の形態におけるレンズマウント５０は、図示しない台座部に螺挿される連結部５１ａと、円環板部５１ｂとを有するものであり、円環板部５１ｂの外周部にはねじ部が形成されている。そして、このねじ部には規制筒５２が螺合されるようになっている。さらに、規制筒５２の内側には、内面側にギア部５３ａを形成したリングギア５３が設けられている。また、円環板部５１ｂには、その円周方向に１２０°の位置関係となるようにピニオン５４が装着されて、これら各ピニオン５４はリングギア５３のギア部５３ａと噛合している。これら各ピニオン５４には回転軸５５が螺挿されており、回転軸５５は円環板部５１ｂに設けた軸受５６内に挿通され、また回転軸５５の下端部にはフランジ部５５ａが設けられている。これによって、ピニオン５４はレンズマウント５０における円環板部５１ｂに回転自在で固定的に保持されるようになっている。

各ピニオン５４の上面部には支軸５７が設けられており、この支軸５７の上端部にはスイングアーム５８が連設されている。そして、このスイングアーム５８の先端部上面には被検体支持部としての鋼球５９が取り付けられて、被検レンズ７がこれら３箇所の鋼球５９と当接するようにセットされるようになっている。従って、前述したリングギア５３及びピニオン５４によって、スイングアーム５８を回動させるためのアーム駆動手段が構成される。

３箇所設けた鋼球５９を結ぶ円は光軸中心線Ｃを中心としたものであり、かつ相互に１２０°の角度を有している。そして、これら鋼球５９は同心円を保ち、かつ１２０°の位置関係を保った状態で、光軸中心線Ｃに対して近接・離間する方向に変位できるようになっている。この動作は規制筒５２内でリングギア５３を回動させることにより行われるものであり、リングギア５３を回動させると、各ピニオン５４は同じ方向に向けて同じ角度だけ自転することになる。その結果、各ピニオン５４に連結したスイングアーム５８が支軸５７を中心として図６に矢印で示した方向にスイングする。その結果、各スイングアーム５８の先端に取り付けた鋼球５９の光軸中心線Ｃからの距離が変化して、被検レンズ７を当接させる位置が変化する。

リングギア５３が規制筒５２から離脱しないように保持すると共に、各ピニオン５４に設けたスイングアーム５８を所望の角度位置に調整した状態で固定的に保持するために、つまりアーム係止手段を構成するように、規制筒５２のレンズマウント５０における円環板部５１ｂの外周面への螺合部の上部位置に円環溝５２ａが形成されており、またリングギア５３の外周面にはこの円環溝５２ａに挿嵌される円環状突条５３ｂが形成されている。従って、規制筒５２を円環板部５１ｂに対して螺合状態を保ったままで、螺合部を緩めると、リングギア５３が回動可能となり、また規制筒５２を締め付けると、リングギア５３における円環状突条５３ｂが規制筒５２の円環溝５２ａと円環板部５１ｂとの間に挟持されて、その間の摩擦力によってリングギア５３が回動不能となり、スイングアーム５８は調整された位置に保持されることになる。

以上のように構成することによっても、異なるサイズの被検レンズを測定する際に、規制筒５２及びリングギア５３を回動操作するだけで、被検体支持部を構成する鋼球５９の位置を調整することができるようになる。

本発明の実施の一形態を示すものであって、干渉計装置の光学構成の全体構成を示す説明図である。本発明における第１の実施の形態を示すものであって、一部を破断して示したレンズマウントの平面図である。図２のＡ−Ａ断面図である。図２のＢ−Ｂ断面図である。スイングアームの作動範囲を示す説明図である。本発明における第２の実施の形態を示すレンズマウントの平面図である。図６のＣ−Ｃ断面図である。

符号の説明

１レーザ光源６基準レンズ
６ｂ基準面７被検レンズ
７ａ被検面１０干渉計本体ユニット
１１本体ケーシング１１ａ天板部
１２基準レンズユニット１３被検体載置ユニット
１４開口２０，５０レンズマウント
２１ａ，５１ａ連結部２１ｂ保持リング部２２台座部
２３透孔２４回動リング
２５枢支ピン２６作動部材
２６ａ，５８スイングアーム２６ｂ駆動レバー
２７，５９鋼球２８カムフォロア
２９カム溝３１操作用ねじ
３２カバー部材３３締め付け部材５１ｂ円環板部
５２規制筒５３リングギア
５４ピニオン５５回転軸
５７支軸

Claims

光源から出射される光束を基準体と被検体マウントに着脱可能に装着した外周円形の被検体に照射して基準体の情報を担持した参照光束と被検体の情報を担持した被検光束となし、これら参照光束と被検光束間に生じる干渉縞を観察手段により観察する干渉計装置において、
前記被検体マウントは、
前記被検体の光軸中心線位置に所定の口径を有する開口部が形成されており、
前記被検体の光源から入射する光束の入射面またはその反対面を少なくとも３点で支持させる被検体支持部を設けたスイングアームと、
前記各被検体支持部が前記光軸中心線を中心とした同心円を形成し、かつ前記同心円の半径が任意の位置に変位するように前記各スイングアームを水平方向に回動させるアーム駆動手段と、
このスイングアームを任意の角度状態で固定するアーム係止手段とを備える
構成としたことを特徴とする干渉計装置の被検体マウント。
前記各スイングアームを駆動レバーと一体に設け、これらスイングアームと駆動レバーとの連設部を回動支点として、この回動支点は保持リングの内周面に回動可能に装着した回動操作リングに枢支させて設け、また前記保持リングにはカム溝を形成して、前記駆動レバーの端部は、このカム溝に係合するカムフォロアを装着することによって前記アーム駆動手段を構成したことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の被検体マウント。
前記係止手段は、前記駆動レバーを前記保持リングとの間に挟持可能な摩擦リングと、この摩擦リングを前記駆動レバーに圧接・離間させるためのねじ部材で構成したことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の被検体マウント。
前記アーム駆動手段は、前記各スイングアームの前記被検体支持部の装着部とは反対側の端部をピニオンに相対回動不能に連結し、また前記保持リングの内周面に内面に前記ピニオンと噛合するギアを形成したリングギアを回動可能に装着し、前記各ピニオンの回転軸を前記保持リングに回動自在に支持する構成となし、また前記係止手段は、前記リングギアを回動しないように固定する摩擦部材で構成したことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の被検体マウント。
前記保持リングは、前記被検体支持部のある側の反対側に、保持リングに装着した前記被検体を前記基準体に対してその相対姿勢を調整する調整手段に着脱可能に装着するための係止手段を備えてなることを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の被検体マウント。