JP2005157016A - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005157016A JP2005157016A JP2003396557A JP2003396557A JP2005157016A JP 2005157016 A JP2005157016 A JP 2005157016A JP 2003396557 A JP2003396557 A JP 2003396557A JP 2003396557 A JP2003396557 A JP 2003396557A JP 2005157016 A JP2005157016 A JP 2005157016A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrode
- scanning line
- signal line
- insulating substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 151
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 64
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 129
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 123
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 195
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 131
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 131
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 122
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 122
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 103
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 77
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 77
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 49
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 35
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 21
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 19
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 18
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 claims description 15
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 14
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 593
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 94
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 74
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 52
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 52
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 45
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 24
- 238000007687 exposure technique Methods 0.000 description 21
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 19
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 15
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 14
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 11
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 10
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 10
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 8
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 8
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 8
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 4
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910016048 MoW Inorganic materials 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000010094 polymer processing Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005068 transpiration Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000011165 process development Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】 先ず半導体層の形成を行い、次に走査線の形成工程とコンタクトの形成工程をハーフトーン露光技術の導入により合理化する新規技術と、公知技術であるソース・ドレイン配線の陽極酸化工程にハーフトーン露光技術を導入することで電極端子の保護層形成工程を合理化する新規技術と、公知技術である絵素電極と走査線を同時に形成する合理化技術との技術の組合せによるTN型液晶表示装置とIPS型液晶表示装置の4枚マスク・プロセス及び3枚マスク・プロセスを構築する。
【選択図】 図4
Description
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて開口部内に走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース(信号線)・ドレイン配線と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子が形成され、
前記ドレイン配線の一部上と第1の透明性絶縁基板上に透明導電性の絵素電極と、画像表示部外の領域で信号線上に透明導電性の電極端子が形成され、
前記ドレイン配線の絵素電極と重なった領域と信号線の電極端子領域を除いてソース・ドレイン配線の表面に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする。
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と、透明導電性の絵素電極が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて開口部内に走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の一部上に同じくドレイン配線と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記信号線の電極端子上を除いてソース・ドレイン配線の表面に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする。
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層との積層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と、透明導電性の絵素電極と信号線の電極端子が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成され、前記開口部内のゲート絶縁層と第1の金属層が除去されて走査線の電極端子となる透明導電層が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記信号線の電極端子の一部上に耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の一部上に同じくドレイン配線が形成され、
前記絵素電極上と、前記走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層が前記第1の透明性絶縁基板上に形成されていることを特徴とする。
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層との積層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と、その周辺に第1の金属層を積層された透明導電性の絵素電極と、同じくその周辺に第1の金属層を積層された透明導電性の信号線の電極端子が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成され、前記開口部内のゲート絶縁層と第1の金属層が除去されて走査線の電極端子となる透明導電層が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記信号線の電極端子の周辺の第1の金属層の一部上に耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の周辺の第1の金属層の一部上に同じくドレイン配線が形成され、
前記透明導電性の絵素電極上と、前記透明導電性の走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層が前記第1の透明性絶縁基板上に形成されていることを特徴とする。
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層との積層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と透明導電性の絵素電極が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成され、前記開口部内のゲート絶縁層と第1の金属層が除去されて走査線の一部である透明導電層が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の一部上に同じくドレイン配線と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記信号線の電極端子上を除いてソース・ドレイン配線の表面に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする。
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と対向電極が形成され、
前記走査線上と対向電極上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層よりなるソース配線(信号線)・ドレイン配線(絵素電極)と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層が前記第1の透明性絶縁基板上に形成されていることを特徴とする。
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と対向電極が形成され、
前記走査線上と対向電極上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース配線(信号線)・ドレイン配線(絵素電極)と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記信号線の電極端子上を除いてソース・ドレイン配線上に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする。
月間「高分子加工」2002年11月号
2:アクティブ基板(ガラス基板)
3:半導体集積回路チップ
4:TCPフィルム
5:走査線の電極端子
6:信号線の電極端子
9:カラーフィルタ(対向するガラス基板)
10:絶縁ゲート型トランジスタ
11:走査線
11A:(ゲート配線、ゲート電極)
12:信号線(ソース配線、ソース電極)
16:蓄積容量線(IPS型においては対向電極)
17:液晶
19:偏光板
20:配向膜
21:ドレイン電極(IPS型液晶表示装置においては絵素電極)
22:(透明導電性の)絵素電極
30,30A,30B,30C:ゲート絶縁層(第1のSiNx層)
31,31A,31B,31C:(不純物を含まない)第1の非晶質シリコン層
32,32A,32B,32C:第2のSiNx層
32D:チャネル保護絶縁層(エッチストップ層)
33,33A,33B,33C:(不純物を含む)第2の非晶質シリコン層
34,34A:(陽極酸化可能な)耐熱金属層
35,35A:(陽極酸化可能な)低抵抗金属層(AL)
36,36A:(陽極酸化可能な)中間導電層
37:パシベーション絶縁層
50,51,52:蓄積容量形成領域
62:(ドレイン電極上の)開口部
63,63A:(走査線上の)開口部
64,64A:(信号線上の)開口部
65,65A:(対向電極上の)開口部
66:不純物を含む酸化シリコン層
68:陽極酸化層(酸化チタン,TiO2)
69:陽極酸化層(アルミナ,Al2O3)
70:陽極酸化層(5酸化タンタル、Ta2O5)
72:蓄積電極
73:走査線の一部
75:蓄積容量線の一部
76:走査線の側面に形成された絶縁層
81A,81B,82A,82B,84A,84B,87A,87B
:(ハーフトーン露光で形成された)感光性樹脂パターン
83A:(絵素電極形成のための通常の)感光性樹脂パターン
91:透明導電層
92:第1の金属層
Claims (16)
- 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて開口部内に走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース(信号線)・ドレイン配線と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子が形成され、
前記ドレイン配線の一部上と第1の透明性絶縁基板上に透明導電性の絵素電極と、画像表示部外の領域で信号線上に透明導電性の電極端子が形成され、
前記ドレイン配線の絵素電極と重なった領域と信号線の電極端子領域を除いてソース・ドレイン配線の表面に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と透明導電性の絵素電極が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて開口部内に走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の一部上に同じくドレイン配線と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記信号線の電極端子上を除いてソース・ドレイン配線の表面に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層との積層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と、透明導電性の絵素電極と信号線の電極端子が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成され、前記開口部内のゲート絶縁層と第1の金属層が除去されて走査線の電極端子となる透明導電層が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記信号線の電極端子の一部上に耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の一部上に同じくドレイン配線が形成され、
前記絵素電極上と、前記走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層が前記第1の透明性絶縁基板上に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層との積層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と、その周辺に第1の金属層を積層された透明導電性の絵素電極と、同じくその周辺に第1の金属層を積層された透明導電性の信号線の電極端子が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成され、前記開口部内のゲート絶縁層と第1の金属層が除去されて走査線の電極端子となる透明導電層が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記信号線の電極端子の周辺の第1の金属層の一部上に耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の周辺の第1の金属層の一部上に同じくドレイン配線が形成され、
前記透明導電性の絵素電極上と、前記透明導電性の走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層が前記第1の透明性絶縁基板上に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層との積層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と透明導電性の絵素電極が形成され、
前記走査線上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成され、前記開口部内のゲート絶縁層と第1の金属層が除去されて走査線の一部である透明導電層が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース配線(信号線)と、前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上と前記絵素電極の一部上に同じくドレイン配線と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記信号線の電極端子上を除いてソース・ドレイン配線の表面に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、前記絶縁ゲート型トランジスタのドレインに接続された絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対向電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と対向電極が形成され、
前記走査線上と対向電極上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層よりなるソース配線(信号線)・ドレイン配線(絵素電極)と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層が前記第1の透明性絶縁基板上に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、前記絶縁ゲート型トランジスタのドレインに接続された絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対向電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層よりなりその側面に絶縁層を有する走査線と対向電極が形成され、
前記走査線上と対向電極上に1層以上のゲート絶縁層が形成され、
ゲート電極上のゲート絶縁層上に前記ゲート絶縁層よりもわずかに小さい不純物を含まない第1の半導体層が島状に形成され、
前記第1の半導体層上に一対の不純物を含む第2の半導体層が形成され、
画像表示部外の領域で走査線上のゲート絶縁層に開口部が形成されて走査線の一部が露出し、
前記第2の半導体層上と第1の透明性絶縁基板上に耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層よりなるソース配線(信号線)・ドレイン配線(絵素電極)と、前記開口部を含んで同じく走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子が形成され、
前記信号線の電極端子上を除いてソース・ドレイン配線上に陽極酸化層が形成され、
前記ソース・ドレイン配線間の第1の半導体層上に酸化シリコン層が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 走査線の側面に形成された絶縁層が有機絶縁層であることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6及び請求項7に記載の液晶表示装置。
- 第1の金属層が陽極酸化可能な金属層よりなり走査線の側面に形成された絶縁層が陽極酸化層であることを特徴とする請求請1、請求請2、請求項6及び請求項7に記載の液晶表示装置。
- 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線に対応し、画像表示部外の領域で走査線のコンタクト形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少してコンタクト形成領域のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして前記コンタクト領域のゲート絶縁層を食刻して走査線の一部を露出する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層を被着後、微細加工技術により陽極酸化可能な金属層を選択的に除去してゲート電極と一部重なるようにソース(信号線)・ドレイン配線と、前記走査線の一部を含んで走査線の電極端子を形成する工程と、
前記第1の透明性絶縁基板上とドレイン配線の一部上に透明導電性の絵素電極と、画像表示部外の領域で信号線上に透明導電性の電極端子と、前記走査線の電極端子上に透明導電性の電極端子を形成する工程と、
前記絵素電極と電極端子の選択的パターン形成に用いられた感光性樹脂パターンをマスクとして透明導電性の絵素電極と透明導電性の電極端子を保護しながらソース・ドレイン配線とソース・ドレイン配線間の非晶質シリコン層を陽極酸化する工程を有する液晶表示装置の製造方法。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線に対応し、画像表示部外の領域で走査線のコンタクト形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少してコンタクト形成領域のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして前記コンタクト領域のゲート絶縁層を食刻して走査線の一部を露出する工程と、
前記第1の透明性絶縁基板上に少なくとも透明導電性の絵素電極を形成する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層を被着後、ゲート電極と一部重なるようにソース配線(信号線)と、同じく絵素電極の一部を含んでドレイン配線と、同じく前記走査線の一部を含んで走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子に対応し、走査線と信号線の電極端子上の膜厚が他の領域よりも厚い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして陽極酸化可能な金属層を選択的に除去してソース・ドレイン配線と、走査線と信号線の電極端子を形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して前記ソース・ドレイン配線を露出する工程と、
前記電極端子上を保護しながらソース・ドレイン配線とソース・ドレイン配線間の非晶質シリコン層を陽極酸化する工程を有する液晶表示装置の製造方法。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と絵素電極及び走査線と信号線の電極端子に対応し、絵素電極上と画像表示部外の領域で走査線と信号線の電極端子形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層と透明導電層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して絵素電極上と走査線と信号線の電極端子形成領域上のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして絵素電極上と走査線と信号線の電極端子上のゲート絶縁層と第1の金属層を食刻して透明導電性の絵素電極と透明導電性の走査線の電極端子と信号線の電極端子を露出する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層を被着後、微細加工技術により第2の金属層と第2の非晶質シリコン層を選択的に除去してゲート電極と一部重なるように信号線の電極端子の一部を含んでソース配線(信号線)と、同じく絵素電極の一部を含んでドレイン配線を形成する工程と、
前記透明導電性の絵素電極上及び透明導電性の走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層を前記第1の透明性絶縁基板上に形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と絵素電極及び走査線と信号線の電極端子に対応し、絵素電極上と画像表示部外の領域で走査線と信号線の電極端子形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層と透明導電層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して絵素電極上と走査線と信号線の電極端子形成領域上のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして絵素電極上と走査線と信号線の電極端子上のゲート絶縁層を食刻して透明導電層と第1の金属層との積層よりなる擬似絵素電極と走査線と信号線の擬似電極端子を露出する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層を被着後、微細加工技術により第2の金属層と第2の非晶質シリコン層を選択的に除去してゲート電極と一部重なるように信号線の擬似電極端子の一部を含んでソース配線(信号線)と、同じく擬似絵素電極の一部を含んでドレイン配線を形成する工程と、
前記擬似絵素電極上及び擬似電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層を前記第1の透明性絶縁基板上に形成する工程と、
前記開口部内の第1の金属層を除去する工程を有する液晶表示装置の製造方法。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、ドレイン配線に接続された絵素電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に透明導電層と第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と絵素電極及び走査線の電極端子に対応し、絵素電極上と画像表示部外の領域で走査線のコンタクト形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層と透明導電層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して絵素電極上と走査線のコンタクト形成領域のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして絵素電極上と走査線のコンタクト領域のゲート絶縁層と第1の金属層を食刻して透明導電性の絵素電極と走査線の一部を露出する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層を被着後、ゲート電極と一部重なるようにソース配線(信号線)と、同じく絵素電極の一部を含んでドレイン配線と、同じく前記走査線の一部を含んで走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子に対応し、走査線と信号線の電極端子上の膜厚が他の領域よりも厚い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして陽極酸化可能な金属層を選択的に除去してソース・ドレイン配線と、走査線と信号線の電極端子を形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して前記ソース・ドレイン配線を露出する工程と、
前記電極端子上を保護しながらソース・ドレイン配線とソース・ドレイン配線間の非晶質シリコン層を陽極酸化する工程を有する液晶表示装置の製造方法。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、前記絶縁ゲート型トランジスタのドレインに接続された絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対向電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と対向電極に対応し、画像表示部外の領域で走査線のコンタクト形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して前記コンタクト形成領域のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と対向電極の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして前記コンタクト領域のゲート絶縁層を食刻して走査線の一部を露出する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の第2の金属層を被着後、微細加工技術により第2の金属層と第2の非晶質シリコン層を選択的に除去してゲート電極と一部重なるようにソース配線(信号線)・ドレイン配線(絵素電極)と、前記走査線の一部を含んで走査線の電極端子と、画像表示部外の領域で信号線の一部よりなる信号線の電極端子を形成する工程と、
走査線と信号線の電極端子上に開口部を有するパシベーション絶縁層を前記第1の透明性絶縁基板上に形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法。 - 一主面上に少なくとも絶縁ゲート型トランジスタと、前記絶縁ゲート型トランジスタのゲート電極も兼ねる走査線とソース配線も兼ねる信号線と、前記絶縁ゲート型トランジスタのドレインに接続された絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対向電極とを有する単位絵素が二次元のマトリクスに配列された第1の透明性絶縁基板と、前記第1の透明性絶縁基板と対向する第2の透明性絶縁基板またはカラーフィルタとの間に液晶を充填してなる液晶表示装置において、
少なくとも第1の透明性絶縁基板の一主面上に1層以上の第1の金属層と1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の非晶質シリコン層と不純物を含む第2の非晶質シリコン層を順次被着する工程と、
半導体層形成領域に第2の非晶質シリコン層と第1の非晶質シリコン層を島状に形成してゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と対向電極に対応し、画像表示部外の領域で走査線のコンタクト形成領域上の膜厚が他の領域よりも薄い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして少なくとも前記ゲート絶縁層と第1の金属層を順次食刻する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少してコンタクト形成領域のゲート絶縁層を露出する工程と、
走査線と対向電極の側面に絶縁層を形成する工程と、
前記膜厚を減ぜられた感光性樹脂パターンをマスクとして前記コンタクト領域のゲート絶縁層を食刻して走査線の一部を露出する工程と、
耐熱金属層を含んで1層以上の陽極酸化可能な金属層を被着後、ゲート電極と一部重なるようにソース配線(信号線)・ドレイン配線(絵素電極)と、前記走査線の一部を含んで走査線の電極端子と、信号線の一部よりなる信号線の電極端子に対応し、前記電極端子上の膜厚が他の領域よりも厚い感光性樹脂パターンを形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンをマスクとして陽極酸化可能な金属層を選択的に除去してソース・ドレイン配線と、走査線と信号線の電極端子を形成する工程と、
前記感光性樹脂パターンの膜厚を減少して前記ソース・ドレイン配線を露出する工程と、
前記電極端子上を保護しながらソース・ドレイン配線とソース・ドレイン配線間の非晶質シリコン層を陽極酸化する工程を有する液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003396557A JP4538218B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 液晶表示装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003396557A JP4538218B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 液晶表示装置とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005157016A true JP2005157016A (ja) | 2005-06-16 |
JP4538218B2 JP4538218B2 (ja) | 2010-09-08 |
Family
ID=34721966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003396557A Expired - Fee Related JP4538218B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 液晶表示装置とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4538218B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007179050A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Lg Philips Lcd Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 |
JP2007318144A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Beijing Boe Optoelectronics Technology Co Ltd | Tft−lcdアレイ基板構造及びその製造方法 |
EP2455804A1 (en) | 2010-11-18 | 2012-05-23 | Hitachi Displays, Ltd. | Liquid crystal display device having pixel electrodes and common electrode on the same substrate and manufacturing method therof |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215530A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2001217426A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2002185003A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2002229481A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2002270847A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
-
2003
- 2003-11-27 JP JP2003396557A patent/JP4538218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215530A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2001217426A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2002185003A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2002229481A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
JP2002270847A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007179050A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Lg Philips Lcd Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 |
US7763481B2 (en) | 2005-12-27 | 2010-07-27 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display and fabrication method thereof |
US8482710B2 (en) | 2005-12-27 | 2013-07-09 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display and fabrication method thereof |
JP2007318144A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Beijing Boe Optoelectronics Technology Co Ltd | Tft−lcdアレイ基板構造及びその製造方法 |
US8269232B2 (en) | 2006-05-23 | 2012-09-18 | Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | TFT LCD array substrate and manufacturing method thereof |
EP2455804A1 (en) | 2010-11-18 | 2012-05-23 | Hitachi Displays, Ltd. | Liquid crystal display device having pixel electrodes and common electrode on the same substrate and manufacturing method therof |
US8547514B2 (en) | 2010-11-18 | 2013-10-01 | Hitachi Displays, Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
US8941792B2 (en) | 2010-11-18 | 2015-01-27 | Japan Display Inc. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4538218B2 (ja) | 2010-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100632097B1 (ko) | 액정표시장치와 그 제조방법 | |
KR100710532B1 (ko) | 액정표시장치와 그 제조방법 | |
TWI287161B (en) | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof | |
US7417693B2 (en) | Liquid crystal display device and its manufacturing method | |
JP2004317685A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
TWI281999B (en) | LCD device and manufacturing method thereof | |
US20080297711A1 (en) | Liquid crystal display device and its manufacturing method | |
JP2005049667A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP5342731B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP2005017669A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP2005019664A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP2005106881A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP4538218B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP4538219B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP2005215276A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP4846227B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP2002076363A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2006267877A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP4863667B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
KR100692717B1 (ko) | 액정표시장치와 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061127 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20061127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061212 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090723 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100608 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100621 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4538218 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |