JP2005156684A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定部6にトーションバー5で揺動可能に軸支した可動部1と、該可動部1を揺動させる駆動手段3とを備えて構成するアクチュエータであって、前記可動部1と前記固定部6とを連結して可動部1の不要振動を抑制する連結部材2をトーションバー5の軸線と略平行方向に延設した。
【選択図】図1
Description
衝撃値=(b×t×σ)/(α×ρ×M2×L) (1)
で表すことができる。
k=2α(G×b×t3)/L (2)
で表されることから、トーションバーの幅bまたは厚さtを大きくし、長さLを短くした場合には、トーションバーのバネ定数kが大きくなり、可動部の変位量(振れ角)が小さくなってしまう問題がある。
図1に、本発明に係るアクチュエータの第1実施形態の平面図を示す。
図1において、本第1実施形態のアクチュエータは、例えば一次元走査型のガルバノミラーであり、可動部1と、連結部材2と、駆動手段3とを備えて構成する。
先ず、電極端子部9を介して外部から所定の周波数の駆動電流が駆動コイル7に供給される。このとき、トーションバー5の軸方向に平行な可動部1の対辺部近傍部の駆動コイル7部分を流れる電流と、静磁界発生手段8の可動部1の主面に平行で且つトーションバー5の軸方向に垂直な静磁界成分との相互作用により上記対辺部には、互いに反対方向の電磁力が発生し、可動部1がトーションバー5を軸として揺動する。そして、この可動部1の揺動に伴って、ミラー部4で光ビームを反射して一次元方向に走査する。
図10の第2実施形態に係るアクチュエータは、二次元走査型のガルバノミラーであり、可動部1が、内側可動部10と枠状の外側可動部11とからなり、内側可動部10を内側トーションバー12で外側可動部11に軸支し、外側可動部11を上記内側トーションバー12の軸線と直交する外側トーションバー13で固定部6に軸支し、外側トーションバー13の軸線に略平行方向に延設した連結部材14で外側可動部11と固定部6とを連結している。さらに、内側トーションバー12の軸線に略平行方向に延設した連結部材15で内側可動部10と外側可動部11とを連結している。そして、内側トーションバー12及び外側トーションバー13の軸線にそれぞれ直交方向で固定部6の外側には静磁界発生手段8,16を各一対配置し、内側可動部10に敷設した駆動コイル7及び外側可動部11に敷設した図示省略の駆動コイルとで駆動手段3を構成している。
2,14,15…連結部材
3…駆動手段
5…トーションバー
6…固定部
10…内側可動部
11…外側可動部
12…内側トーションバー
13…外側トーションバー
Claims (8)
- 固定部にトーションバーで揺動可能に軸支した可動部と、該可動部を揺動させる駆動手段とを備えて構成するアクチュエータであって、
前記可動部と前記固定部とを連結して可動部の不要振動を抑制する連結部材を、トーションバーの軸線と略平行方向に延設したことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記連結部材を少なくとも一つ設けたことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記連結部材を前記可動部の中心に対して点対称に少なくとも一対設けたことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記連結部材が、屈曲した形状を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
- 前記連結部材のバネ定数は、前記トーションバーのバネ定数よりも小さく形成したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
- 前記固定部と、前記トーションバーと、前記可動部と、前記連結部材とを同一部材で一体的に形成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
- 前記可動部が、内側可動部と枠状の外側可動部とからなり、内側可動部を内側トーションバーで外側可動部に軸支し、外側可動部を前記内側トーションバーの軸線と直交する外側トーションバーで固定部に軸支し、少なくとも外側可動部と固定部とを前記連結部材で連結する構成としたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
- 前記内側可動部と前記外側可動部とを前記連結部材で連結したことを特徴とする請求項7に記載のアクチュエータ。
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