JP2005147682A - 流量計及び流量計測法 - Google Patents
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Abstract
【課題】形状寸法ばらつきのある安価な抵抗管を使用して精度の高い流量計及び流量計測法を得る。
【解決手段】測定ガスを流す抵抗管11と、この抵抗管11の上流側圧力を検出する圧力センサー12と、校正により差圧・流量換算式のパラメータを決定し、その差圧・流量換算式に基づき流量を算出し、そのデータを出力するためのCPU13及び記憶装置14と、その流量値を表示する出力装置15と、校正時の指令を入力する入力装置16で構成する。校正は、3値以上の校正流量を流し、その時に測定された差圧を2次以上の高次式で表される差圧・流量換算式に代入して得られる流量値との差の2乗和を最小にする最小2乗近似法により前記差圧・流量換算式を決定する。
【選択図】 図1
【解決手段】測定ガスを流す抵抗管11と、この抵抗管11の上流側圧力を検出する圧力センサー12と、校正により差圧・流量換算式のパラメータを決定し、その差圧・流量換算式に基づき流量を算出し、そのデータを出力するためのCPU13及び記憶装置14と、その流量値を表示する出力装置15と、校正時の指令を入力する入力装置16で構成する。校正は、3値以上の校正流量を流し、その時に測定された差圧を2次以上の高次式で表される差圧・流量換算式に代入して得られる流量値との差の2乗和を最小にする最小2乗近似法により前記差圧・流量換算式を決定する。
【選択図】 図1
Description
本発明はガスクロマトグラフ分析装置に使用するガス流体の流量を測定する流量計に関する。
ガスクロマトグラフ分析装置は、一般的に図4に示すようなキャリアガスを供給するガスボンベ1から供給されるキャリアガスの圧力を制御する圧力レギュレータ2と、キャリアガスの流量を検出する抵抗管3及び差圧センサー4と、キャリアガス流量を制御する制御弁5と、この制御弁5を制御するとともに差圧を測定してこれを流量値に変換して、この流量値を表示する制御部9等からなるキャリアガス流量制御系を有して、制御された一定流量のキャリアガスと分析される試料とを試料導入部6に導入して、この混合ガスを分析カラム7中を通過させながら、試料中に含まれている成分を順次検出部8により定量分析を行なっている。
前記抵抗管3には、通常、図5に示すような円筒形の細管が使用されており、この抵抗管3を流れるキャリアガスの流速範囲によって抵抗管3内の流速分布は、図6に示すように臨界流速以下では層流、そして臨界流速以上では乱流状態となっている。流速分布が層流の場合はハーゲン・ポアズイユの式に見られる関係が成立する。すなわち、測定ガス(キャリアガス)の体積流量をQ、抵抗管3の上流側圧力をP1、下流側の圧力をP0、円筒内半径をR、円筒長をl、測定ガスの粘度をμとすると、下記(1)式が成立する。
Q=πR2(P1−P0)/8μl・・・(1)
上記(1)式における粘度μは一定であるので、差圧(P1−P0)の増加に対して流量Qは直線的に増加する。
Q=πR2(P1−P0)/8μl・・・(1)
上記(1)式における粘度μは一定であるので、差圧(P1−P0)の増加に対して流量Qは直線的に増加する。
これに対し乱流の場合は、プラントルの理論により管壁と流体間の摩擦により流体は抗力を受ける。このため、(1)式は抗力係数を考慮して補正する必要があるが、実質的には、粘度μが流量Qの影響を受けることと等価であるので、粘度μを流量Qの関数、すなわち粘度をμ(Q)とすることにより、流量と差圧との間に(2)式の関係が成立する。
Q=πR2(P1−P0)/8μ(Q)l・・・(2)
上記(2)式において、粘度μ(Q)は、流速の増加に伴い増大するので、流量Qは差圧(P1−P0)の増加に対してその増加度が徐々に減少する。
Q=πR2(P1−P0)/8μ(Q)l・・・(2)
上記(2)式において、粘度μ(Q)は、流速の増加に伴い増大するので、流量Qは差圧(P1−P0)の増加に対してその増加度が徐々に減少する。
ガスクロマトグラフ分析装置において一般的に用いられるガス流量範囲は、通常3〜500ml/min程度であるが、この流量範囲は、前記層流と乱流域にまたがっており、ガス流体によって発生する差圧に対する体積流量との実測例を図7に示す。図7の実線及びばらつき範囲を示す点線に示されるように差圧の増加に対して体積流量は、流速が臨界流速を越えると徐々に増加率が減少する非線形特性を持っている。この特性上の任意の差圧からその体積流量を求めるには、この特性を満足する差圧から体積流量への換算式が必要であるが、従来は、数点での差圧における流量を測定して一次式あるいは、図8に示すようにa、b点で交叉する3本の折れ線による近似式を用いて差圧から流量への換算を行なっていた。従来、流量計の差圧・流量特性曲線を折れ線で近似する方法は各種用いられているが、特許文献1はその一例を示すものである。
なお、上記のガス流量を測定する流量計は、ガスクロマトグラフ分析装置でのガス流体の流量設定が同一の場合は、分析前に一度測定すればよいので、必ずしも常時取り付けておく必要はなく、その都度単体の流量計が使用される場合もある。
特開平9−243431号公報
従来の流量計では、図8に示したような折れ線近似方法が用いられているが、a、b点の中間点では最も大きな誤差が生じる上に、抵抗管の寸法や内面荒さ等のばらつきにより、実際には点線で示したような差圧・流量関係となった場合、a、b点においてA、Bなる体積流量のばらつきが生じるという問題点が存在していた。
本発明は、上記の問題点に鑑みて考案されたもので、形状寸法のばらつきのある安価な抵抗管を用いて、精度の高い流量計を提供することを目的とする。
本発明は、上記の問題点に鑑みて考案されたもので、形状寸法のばらつきのある安価な抵抗管を用いて、精度の高い流量計を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために本発明の流量計は、差圧・流量換算式の流量を差圧の2次以上の高次式で近似するとともに、3値の校正流量を流して、計測された差圧値を前記差圧・流量換算式により換算し、得られた流量値と前記校正流量値とを最小2乗近似法を用いて演算処理し、前記差圧・流量換算式のパラメータを算出する差圧・流量換算式近似手段と、この差圧・流量換算式により、計測された差圧値を流量値に換算して出力する出力変換手段とを備えている。
また、本発明の流量計測法は、差圧・流量換算式の流量を差圧の2次以上の高次式で近似するとともに、3値の校正流量を流して、計測された差圧値を前記差圧・流量換算式により換算し、得られた流量値と前記校正流量値とを最小2乗近似法を用いて演算処理し、前記差圧・流量換算式のパラメータを算出する工程と、この差圧・流量換算式により、計測された差圧値を流量値に換算して出力する工程からなる。
本発明の流量計及び流量計測法は上記のように構成されており、形状寸法にばらつきのある抵抗管を用いても、計測精度が高い流量計及び流量計測法を得ることができる。
また、本発明の流量計測法は、差圧・流量換算式の流量を差圧の2次以上の高次式で近似するとともに、3値の校正流量を流して、計測された差圧値を前記差圧・流量換算式により換算し、得られた流量値と前記校正流量値とを最小2乗近似法を用いて演算処理し、前記差圧・流量換算式のパラメータを算出する工程と、この差圧・流量換算式により、計測された差圧値を流量値に換算して出力する工程からなる。
本発明の流量計及び流量計測法は上記のように構成されており、形状寸法にばらつきのある抵抗管を用いても、計測精度が高い流量計及び流量計測法を得ることができる。
本発明の流量計及び流量計測法は、寸法のばらつきのある安価な抵抗管を用いて正確に流量を測定することができるとともに、コストダウンが容易に可能である。
本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。図1は本発明の流量計の基本構成図で、図に示すように本流量計10は、各種のキャリアガスを対象とする測定ガスを流す抵抗管11と、抵抗管11の上流側の圧力を検出する圧力センサー12と、この圧力センサー12の出力信号をAD変換して取り込み、3値の校正流量を流して下記差圧・流量換算式((3)式)のパラメータα、β、γを校正(数値化)するとともに、校正された差圧・流量換算式により任意の差圧Xから流量Yを換算して流量信号を出力するCPU13と、前記校正前後の差圧・流量換算式と校正により差圧・流量換算式の前記パラメータα、β、γを数値化するためのプログラムを記憶させておく記憶装置14と、流量値を表示する液晶表示器などの出力装置15およびテンキーなどの入力装置16等から構成されている。
Y=αX2+βX+γ・・・(3)
Y=αX2+βX+γ・・・(3)
前記差圧・流量換算式の校正方法には、一例として図2に示すような校正流量発生装置20が使用される。この校正流量発生装置20は、対象とする測定ガスが圧縮貯蔵されたガスボンベ21と、小流量(最大500ml/min程度)用の圧力レギュレータ22と、同じく小流量用の流量調節弁23と、校正済みの高精度流量計24とで構成されている。
次に、前記差圧・流量換算式の校正手順について説明する。図3は、差圧・流量換算式の特性曲線を横軸を差圧X、縦軸を体積流量Yとして座標上に示したもので、実線は校正により得られる差圧・流量換算式の特性曲線、C、D、Eは校正ポイントを指すものである。このC、D、Eポイントにおける前記校正流量発生装置20からの流量をQc、Qd、Qe、流量計が測定した差圧をΔPc、ΔPd、ΔPeとする。
校正は次の手順で行なわれる。
(1)校正流量発生装置20からQcなる測定ガスを流す。そして、前記入力装置16よりQcを入力して、CPU13を介して、差圧ΔPcでの流量をQcとして読み込ませ、記憶装置14に記憶させる。
(2)校正流量発生装置20からQdなる測定ガスを流す。(1)項と同様の手順で差圧ΔPdでの流量をQdとして読み込ませ、記憶装置14に記憶させる。
(3)校正流量発生装置20からQeなる測定ガスを流す。(1)項と同様の手順で差圧ΔPeでの流量をQeとして読み込ませ、記憶装置14に記憶させる。
(4)入力装置16より差圧・流量換算式の校正を指令する。
(5)CPU13は記憶装置14から前記差圧・流量値(ΔPc、Qc)、(ΔPd、Qd)、(ΔPe、Qe)と、それぞれのポイントでの流量誤差の2乗値の総和が最小となるようなパラメータα、β、γを有する差圧・流量換算式を導くプログラム、すなわち、最小2乗近似演算プグラムとを読み込んで、下記(4)式が最小となるパラメータα、β、γを決定する。
ΔE=[Y(ΔPc)−Qc]2+[Y(ΔPd)−Qd]2+[Y(ΔPe)−Qe]2・・・(4)
(6)上記の校正によりパラメータが決定された差圧・流量換算式は、通常の演算プログラムに取り入れられて、その後の計測に使用される。
上記の校正において、例えば流量Qc、Qd、Qeをそれぞれフルスケール流量の45%、80%、100%に選んだ場合、最大流量誤差は、下記表1に示すように、従来の流量計が有する最大流量誤差の約1/3に減少する精度結果が得られている。
なお、上記実施例においては、校正流量値を3値、差圧・流量換算式を差圧の2次式としたが、これに固定する必要はなく、流量値数及び式の次数はこれ以上にしてもよい。ポイント数を増やすことにより、より正確な差圧・流量換算式を得ることができる。
また、本流量計の形態としては、ガスクロマトグラフ分析装置内臓形でも携帯型としてもよい。
(1)校正流量発生装置20からQcなる測定ガスを流す。そして、前記入力装置16よりQcを入力して、CPU13を介して、差圧ΔPcでの流量をQcとして読み込ませ、記憶装置14に記憶させる。
(2)校正流量発生装置20からQdなる測定ガスを流す。(1)項と同様の手順で差圧ΔPdでの流量をQdとして読み込ませ、記憶装置14に記憶させる。
(3)校正流量発生装置20からQeなる測定ガスを流す。(1)項と同様の手順で差圧ΔPeでの流量をQeとして読み込ませ、記憶装置14に記憶させる。
(4)入力装置16より差圧・流量換算式の校正を指令する。
(5)CPU13は記憶装置14から前記差圧・流量値(ΔPc、Qc)、(ΔPd、Qd)、(ΔPe、Qe)と、それぞれのポイントでの流量誤差の2乗値の総和が最小となるようなパラメータα、β、γを有する差圧・流量換算式を導くプログラム、すなわち、最小2乗近似演算プグラムとを読み込んで、下記(4)式が最小となるパラメータα、β、γを決定する。
ΔE=[Y(ΔPc)−Qc]2+[Y(ΔPd)−Qd]2+[Y(ΔPe)−Qe]2・・・(4)
(6)上記の校正によりパラメータが決定された差圧・流量換算式は、通常の演算プログラムに取り入れられて、その後の計測に使用される。
上記の校正において、例えば流量Qc、Qd、Qeをそれぞれフルスケール流量の45%、80%、100%に選んだ場合、最大流量誤差は、下記表1に示すように、従来の流量計が有する最大流量誤差の約1/3に減少する精度結果が得られている。
また、本流量計の形態としては、ガスクロマトグラフ分析装置内臓形でも携帯型としてもよい。
1 ガスボンベ
2 圧力レギュレータ
3 抵抗管
4 差圧センサー
5 制御弁
6 試料導入部
7 分析カラム
8 検出部
9 制御部
10 流量計
11 抵抗管
12 圧力センサー
13 CPU
14 記憶装置
15 出力装置
16 入力装置
20 校正流量発生装置
21 ガスボンベ
22 圧力レギュレータ
23 流量調節弁
24 高精度流量計
2 圧力レギュレータ
3 抵抗管
4 差圧センサー
5 制御弁
6 試料導入部
7 分析カラム
8 検出部
9 制御部
10 流量計
11 抵抗管
12 圧力センサー
13 CPU
14 記憶装置
15 出力装置
16 入力装置
20 校正流量発生装置
21 ガスボンベ
22 圧力レギュレータ
23 流量調節弁
24 高精度流量計
Claims (2)
- 流路の上流側と下流側の2点間に発生する差圧を計測するとともに、計測された差圧値を差圧・流量換算式を用いて流量値に換算して、この流量値を出力する流量計において、差圧・流量換算式の流量を差圧の2次以上の高次式で近似するとともに、3値の校正流量を流して、計測された差圧値を前記差圧・流量換算式により換算し、得られた流量値と前記校正流量値とを最小2乗近似法を用いて演算処理し、前記差圧・流量換算式のパラメータを算出する差圧・流量換算式近似手段と、この差圧・流量換算式により、計測された差圧値を流量値に換算して出力する出力変換手段とを備えたことを特徴とする流量計。
- 流路の上流側と下流側の2点間に発生する差圧を計測するとともに、計測された差圧値を差圧・流量換算式により流量値に換算して、この流量値を出力する流量計測法において、差圧・流量換算式の流量を差圧の2次以上の高次式で近似するとともに、3値の校正流量を流して、計測された差圧値を前記差圧・流量換算式により換算し、得られた流量値と前記校正流量値とを最小2乗近似法で演算処理し、前記差圧・流量換算式のパラメータを算出する工程と、この差圧・流量換算式により、計測された差圧値を流量値に換算して出力する工程からなることを特徴とする流量計測法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003380802A JP2005147682A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 流量計及び流量計測法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003380802A JP2005147682A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 流量計及び流量計測法 |
Publications (1)
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JP2003380802A Pending JP2005147682A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 流量計及び流量計測法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2005147682A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008185515A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | E's Inc | 流量計測方法 |
WO2019186783A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | 株式会社木幡計器製作所 | 流量計測装置及び流量計測方法 |
CN112326369A (zh) * | 2020-09-22 | 2021-02-05 | 杭州职业技术学院 | 一种用于流量控制的大气检测***和方法 |
CN113958991A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-21 | 西安沣东华能热力有限公司 | 一种分布式变频水泵控制方法 |
-
2003
- 2003-11-11 JP JP2003380802A patent/JP2005147682A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019186783A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | 株式会社木幡計器製作所 | 流量計測装置及び流量計測方法 |
CN112326369A (zh) * | 2020-09-22 | 2021-02-05 | 杭州职业技术学院 | 一种用于流量控制的大气检测***和方法 |
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