JP2005138594A - Plotting head, plotting head driving method and plotting unit - Google Patents
Plotting head, plotting head driving method and plotting unit Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005138594A JP2005138594A JP2004366327A JP2004366327A JP2005138594A JP 2005138594 A JP2005138594 A JP 2005138594A JP 2004366327 A JP2004366327 A JP 2004366327A JP 2004366327 A JP2004366327 A JP 2004366327A JP 2005138594 A JP2005138594 A JP 2005138594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- dmd
- group
- exposure
- scanning direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
Description
本発明は、描画ヘッド、描画ヘッド駆動方法及び描画装置に関し、特に、描画面に対し、この描画面に沿った所定方向へ相対移動される描画ヘッドと、この描画ヘッドを駆動するための描画ヘッド駆動方法及び、及びこの描画ヘッドを備えた描画装置に関する。 The present invention relates to a drawing head, a drawing head driving method, and a drawing apparatus, and in particular, a drawing head that is moved relative to a drawing surface in a predetermined direction along the drawing surface, and a drawing head for driving the drawing head. The present invention relates to a driving method and a drawing apparatus including the drawing head.
従来から、画像記録装置の一例として、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)等の二次元空間光変調素子を利用して、画像データに応じて変調された光ビームで画像露光を行う露光装置が種々提案されている(たとえば、非特許文献1参照)。このDMDは、たとえばSRAMの各メモリセル上に多数の微小なマイクロミラーが設けられて構成されており、各メモリセルに蓄えた電荷による静電気力でマイクロミラーの反射面の角度を変化させるようになっている。実際に描画を行うときには、各SRAMに画像データを書き込んだ状態で各マイクロミラーをリセットして所定角度とし、光の反射方向を所望の方向とする。
Conventionally, as an example of an image recording apparatus, there has been an exposure apparatus that uses a two-dimensional spatial light modulator such as a digital micromirror device (DMD) to perform image exposure with a light beam modulated according to image data. Various proposals have been made (see Non-Patent
このような二次元空間光変調素子を用いて画像を記録する画像記録装置としては、たとえば、非特許文献2に示されたものがある。この画像記録装置では、1つのウインドウ領域が4つに分割されており、それぞれの分割領域へのデータ転送に約24μsec、ミラーリセットに約25μsecを要している。この画像記録装置では、4つの領域毎にデータ転送とミラーリセットとを順次行う構成となっているため、全体として、1つのウインドウ領域を露光するために、約200μsec((24μsec+25μsec)×4)を要している。 An example of an image recording apparatus that records an image using such a two-dimensional spatial light modulator is disclosed in Non-Patent Document 2. In this image recording apparatus, one window area is divided into four, and it takes about 24 μsec for data transfer to each divided area and about 25 μsec for mirror reset. In this image recording apparatus, since data transfer and mirror reset are sequentially performed every four areas, about 200 μsec ((24 μsec + 25 μsec) × 4) is required to expose one window area as a whole. I need it.
これに対し、特許文献1には、感光記録媒体を2次元空間光変調素子の画素列に対して傾いた方向に副走査移動させる画像記録装置が記載されている。このように傾斜させることで、走査方向に垂直な方向(副走査方向)の解像度を向上させることができる。
On the other hand,
ところで、特許文献1の画像記録装置において、走査方向の解像度は走査速度に依存する。したがって、走査方向の解像度を向上させるためには、たとえば、走査速度を低下させればよいが、この場合には、画像記録に多くの時間を要する。
By the way, in the image recording apparatus of
したがって、走査速度を低下させることなく走査方向の解像度を向上させるためには、2次元空間光変調素子の更新周波数(単位時間当たりにリセットできる回数)を上げる必要がある。ところが、上記の非特許文献2にも示されているように、すべてのSRAMの各メモリセルにデータを転送した後、各マイクロミラーのリセットを行う必要があるため、更新周波数には限界がある。結果的に、データ転送時間及びリセット時間が障害となり、走査速度を低下させることなく走査方向の解像度を向上させることには限界が生じている。
本発明は上記事実を考慮し、走査速度を低下させることなく走査方向の解像度を向上させることが可能な描画ヘッド、描画装置及び描画方向を得ることを課題とする。 In view of the above facts, an object of the present invention is to obtain a drawing head, a drawing apparatus, and a drawing direction capable of improving the resolution in the scanning direction without reducing the scanning speed.
請求項1に記載の発明では、描画面に対し、この描画面に沿った所定の走査方向へ相対移動される描画ヘッドであって、描画面と実質的に平行な面内で複数の描画素子を二次元に配列して構成され、少なくとも2つのグループに分けられた描画素子群と、前記描画素子の変調タイミングを前記グループごとにずらして描画素子群を制御可能なコントローラと、を有することを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, there is provided a drawing head that is moved relative to the drawing surface in a predetermined scanning direction along the drawing surface, and a plurality of drawing elements within a surface substantially parallel to the drawing surface. A drawing element group that is arranged two-dimensionally and divided into at least two groups, and a controller that can control the drawing element group by shifting the modulation timing of the drawing element for each group. Features.
この描画ヘッドでは、描画ヘッドの複数の描画素子は描画面と実質的に平行な面内で二次元的に配列されており、描画ヘッドは描画面に沿った所定の走査方向へと相対移動される。これにより、描画素子群を構成している複数の描画素子によって描画面に描画(画像記録)される。 In this drawing head, a plurality of drawing elements of the drawing head are two-dimensionally arranged in a plane substantially parallel to the drawing surface, and the drawing head is relatively moved in a predetermined scanning direction along the drawing surface. The Thereby, drawing is performed (image recording) on the drawing surface by the plurality of drawing elements constituting the drawing element group.
描画素子は、少なくとも2つのグループに分けられている。ここで、コントローラは、たとえば請求項3に記載の描画ヘッド駆動方法により、描画素子の変調タイミングを前記グループごとにずらして描画素子群を制御できる。換言すれば、異なるグループの描画素子に対応する記憶手段では、記憶された変調状態を異なるタイミングで変化させることができる。これにより、走査方向への描画ヘッドの相対移動速度(走査速度)を低下させることなく、走査方向の解像度を向上させることが可能となる。
The drawing elements are divided into at least two groups. Here, the controller can control the drawing element group by shifting the modulation timing of the drawing element for each of the groups by, for example, the drawing head driving method according to
請求項2に記載の発明では、描画面に対し、この描画面に沿った所定の走査方向へ相対移動される描画ヘッドであって、光源と、複数のメモリセルのそれぞれに支柱により支持され少なくとも2つのグループに分けられた複数のマイクロミラーを備え、光源からの光を変調する空間光変調素子と、前記メモリセルへの画像データの転送タイミングを前記グループごとにずらして空間光変調素子を制御可能なコントローラと、を有することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a drawing head that is moved relative to a drawing surface in a predetermined scanning direction along the drawing surface, and is supported at least by a support column on each of the light source and the plurality of memory cells. A plurality of micromirrors divided into two groups, a spatial light modulation element that modulates the light from the light source, and the spatial light modulation element is controlled by shifting the transfer timing of image data to the memory cell for each group A possible controller.
この描画ヘッドでは、マイクロミラーによる変調状態がメモリセルに記憶されており、メモリセルからの出力に基づいて、マイクロミラーは、1つの変調状態から次の変調状態へと変化される。また、描画ヘッドは描画面に沿った所定の走査方向へと相対移動される。これにより、空間光変調素子を構成している複数のマイクロミラーによって描画面に描画(画像記録)される。 In this drawing head, the modulation state by the micromirror is stored in the memory cell, and the micromirror is changed from one modulation state to the next modulation state based on the output from the memory cell. Further, the drawing head is relatively moved in a predetermined scanning direction along the drawing surface. Thereby, drawing (image recording) is performed on the drawing surface by the plurality of micromirrors constituting the spatial light modulator.
マイクロミラーは、少なくとも2つのグループに分けられている。ここで、コントローラは、たとえば請求項4に記載に描画ヘッド駆動方法により、メモリセルへの画像データの転送タイミングを前記グループごとにずらして空間光変調素子を制御できる。換言すれば、異なるグループのマイクロミラーに対応するメモリセルでは、記憶された変調状態を異なるタイミングで変化させることができる。これにより、走査方向への描画ヘッドの相対移動速度(走査速度)を低下させることなく、走査方向の解像度を向上させることが可能となる。 Micromirrors are divided into at least two groups. Here, the controller can control the spatial light modulator by shifting the transfer timing of the image data to the memory cell for each of the groups by, for example, the drawing head driving method described in claim 4. In other words, in memory cells corresponding to different groups of micromirrors, the stored modulation state can be changed at different timings. This makes it possible to improve the resolution in the scanning direction without reducing the relative movement speed (scanning speed) of the drawing head in the scanning direction.
請求項5に記載の発明では、請求項1又は請求項2に記載の描画ヘッドと、前記描画ヘッドを少なくとも前記走査方向へ相対移動させる移動手段と、を有することを特徴とする。
The invention according to claim 5 is characterized by comprising the drawing head according to
したがって、描画ヘッドによって描画面に対し露光等の処理がなされつつ、描画ヘッドが描画面と相対移動し、描画面上に描画される。この描画装置では、請求項1又は請求項2に記載の描画ヘッドを有しているので、走査速度を低下させることなく、走査方向の解像度を向上させることが可能となる。
Therefore, the drawing head is moved relative to the drawing surface while being drawn on the drawing surface while the drawing head performs processing such as exposure. Since the drawing apparatus has the drawing head according to
本発明は上記構成としたので、走査速度を低下させることなく走査方向の解像度を向上させることが可能となる。 Since the present invention has the above configuration, it is possible to improve the resolution in the scanning direction without reducing the scanning speed.
本発明の実施の形態に係る描画装置は、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置とされており、図1に示すように、シート状の感光材料150を表面に吸着して保持する平板状のステージ152を備えている。4本の脚部154に支持された厚い板状の設置台156の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた2本のガイド158が設置されている。ステージ152は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド158によって往復移動可能に支持されている。なお、この露光装置には、ステージ152をガイド158に沿って駆動するための図示しない駆動装置が設けられている。
The drawing apparatus according to the embodiment of the present invention is a so-called flood bed type exposure apparatus, and as shown in FIG. 1, a
設置台156の中央部には、ステージ152の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート160が設けられている。コ字状のゲート160の端部の各々は、設置台156の両側面に固定されている。このゲート160を挟んで一方の側にはスキャナ162が設けられ、他方の側には感光材料150の先端及び後端を検知する複数(例えば、2個)の検知センサ164が設けられている。スキャナ162及び検知センサ164はゲート160に各々取り付けられて、ステージ152の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ162及び検知センサ164は、これらを制御する図示しないコントローラに接続されており、後述するように、露光ヘッド166によって露光する際に所定のタイミングで露光するように制御される。
A U-shaped gate 160 is provided at the center of the installation table 156 so as to straddle the movement path of the
スキャナ162は、図2及び図3(B)に示すように、m行n列(例えば、3行5列)の略マトリックス状に配列された複数の露光ヘッド166を備えている。この例では、感光材料150の幅との関係で、3行目には4個の露光ヘッド166を配置し、全体で、14個とした。なお、m行目のn列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド166mnと表記する。
As shown in FIGS. 2 and 3B, the
露光ヘッド166による露光エリア168は、図2では、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、走査方向に対し、所定の傾斜角θで傾斜している。そして、ステージ152の移動に伴い、感光材料150には露光ヘッド166毎に帯状の露光済み領域170が形成される。なお、m行目のn列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア168mnと表記する。
In FIG. 2, the
また、図3(A)及び(B)に示すように、帯状の露光済み領域170びそれぞれが、隣接する露光済み領域170と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッドの各々は、配列方向に所定間隔(露光エリアの長辺の自然数倍、本実施の形態では2倍)ずらして配置されている。このため、1行目の露光エリア16811と露光エリア16812との間の露光できない部分は、2行目の露光エリア16821と3行目の露光エリア16831とにより露光することができる。
Further, as shown in FIGS. 3A and 3B, the exposure heads in the respective rows arranged in a line so that each of the strip-shaped exposed
露光ヘッド16611〜166mn各々は、図4、図5(A)及び(B)に示すように、入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)50を備えている。このDMD50は、データ処理部とミラー駆動制御部とを備えた図示しないコントローラに接続されている。このコントローラのデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド166毎にDMD50の制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。
As shown in FIGS. 4, 5A and 5B, each of the exposure heads 16611 to 166mn is a digital light / semiconductor device that modulates an incident light beam for each pixel in accordance with image data. A micromirror device (DMD) 50 is provided. The
また、ミラー駆動制御部では、画像データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド166毎にDMD50の各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。なお、反射面の角度の制御に付いては後述する。
The mirror drive control unit controls the angle of the reflection surface of each micromirror of the
DMD50の光入射側には、光ファイバの出射端部(発光点)が露光エリア168の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたレーザ出射部を備えたファイバアレイ光源66、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光を補正してDMD上に集光させるレンズ系67、レンズ系67を透過したレーザ光をDMD50に向けて反射するミラー69がこの順に配置されている。
On the light incident side of the
レンズ系67は、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光を平行光化する1対の組合せレンズ71、平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正する1対の組合せレンズ73、及び光量分布が補正されたレーザ光をDMD上に集光する集光レンズ75で構成されている。組合せレンズ73は、レーザ出射端の配列方向に対しては、レンズの光軸に近い部分は光束を広げ且つ光軸から離れた部分は光束を縮め、且つこの配列方向と直交する方向に対しては光をそのまま通過させる機能を備えており、光量分布が均一となるようにレーザ光を補正する。
The
また、DMD50の光反射側には、DMD50で反射されたレーザ光を感光材料150の走査面(被露光面)56上に結像するレンズ系54、58が配置されている。レンズ系54及び58は、DMD50と被露光面56とが共役な関係となるように配置されている。
Further, on the light reflection side of the
本実施形態では、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光は、実質的に5倍に拡大された後、各画素がこれらのレンズ系54、58によって約5μmに絞られるように設定されている。
In the present embodiment, the laser light emitted from the fiber
DMD50は、図6に示すように、SRAMセル(メモリセル)60上に、微小ミラー(マイクロミラー)62が支柱により支持されて配置されたものであり、画素(ピクセル)を構成する多数の(例えば、ピッチ13.68μm、1024個×768個)の微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー62が設けられており、マイクロミラー62の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。なお、マイクロミラー62の反射率は90%以上である。また、マイクロミラー62の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのCMOSのSRAMセル60が配置されており、全体はモノリシック(一体型)に構成されている。
As shown in FIG. 6, the
DMD50のSRAMセル60に、マイクロミラー60の傾斜状態(変調状態)を示すデジタル信号が書き込まれ、さらにSRAMセル60からマイクロミラー62にデジタル信号が出力されると、支柱に支えられたマイクロミラー62が、対角線を中心としてDMD50が配置された基板側に対して±α度(例えば±10度)の範囲で傾けられる。図7(A)は、マイクロミラー62がオン状態である+α度に傾いた状態を示し、図7(B)は、マイクロミラー62がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。従って、画像信号に応じて、DMD50の各ピクセルにおけるマイクロミラー62の傾きを、図6に示すように制御することによって、DMD50に入射された光はそれぞれのマイクロミラー62の傾き方向へ反射される。
When a digital signal indicating the tilt state (modulation state) of the
なお、図6には、DMD50の一部を拡大し、マイクロミラー62が+α度又は−α度に制御されている状態の一例を示す。それぞれのマイクロミラー62のオンオフ制御は、DMD50に接続された図示しないコントローラによって行われる。なお、オフ状態のマイクロミラー62により光ビームが反射される方向には、光吸収体(図示せず)が配置されている。
FIG. 6 shows an example of a state in which a part of the
ここで、本実施形態では、DMD50を構成するマイクロミラー62に対し、走査方向の各列ごとに、順に先頭列から最終行まで連続な自然数Sで番号付けを行い、この番号を、2以上の所定の自然数Nで割った余りが等しい行ごとに、マイクロミラー62のグループを構成している。そして、同一グループに対応するSRAMについては、実質的に同時に、次の傾斜状態を示す信号への変化(書き換え)が行われるようにしている。この点につき、図8を参照して説明する。なお、以下において、上記の余りをrとしたときに、このrを使用して各グループを区別することとする。たとえば、r=1のグループを第1グループ、r=2のグループを第2グループ、r=0のグループを第0グループとする。
Here, in the present embodiment, the
図8には、DMD50を構成する複数のマイクロミラー62の一部が、走査方向に4行、走査方向と直交する方向に4列取り出して模式的に示されている。行番号をここでは一例として2で割り、その余りが等しい行ごとにグループ化している。したがって、第1行目と第3行目とが同一グループ(余りr=1なので第1グループ)となり、第2行目と第4行目とが同一グループ(余りr=0なので第0グループ)となる。そして、同一のグループ内では、実質的に同時に、SRAMに記憶された画像情報のデータを、次の画像情報のデータへと書き換えすることが可能となるように、SRAMセル60内が配線されている。これにより、それぞれのグループに対応するSRAMへの、図示しないコントローラからの画像データ(マイクロミラー62の傾斜データ)の転送タイミングを、グループごとにずらすことが可能になる、例えば、図9には、第0のグループへの画像データの転送タイミングが、第1グループよりも遅れるようにずらされた例が示されている。本実施形態では、このようにマイクロミラー62をグループ化し、SRAMへの画像データの転送タイミングをグループごとにすらすことで、後述するように、走査方向での解像度を向上させることができるようになっている。なお、図9では、マイクロミラー62での1回の描画から次の描画までの時間間隔をT0とし、タイミングのずれがT0/N(ここではN=2なので、T0/2)となるように設定されている。
FIG. 8 schematically shows a part of the plurality of
図10(A)には、ファイバアレイ光源66の構成が示されている。ファイバアレイ光源66は、複数(例えば、6個)のレーザモジュール64を備えており、各レーザモジュール64には、マルチモード光ファイバ30の一端が結合されている。マルチモード光ファイバ30の他端には、コア径がマルチモード光ファイバ30と同一で且つクラッド径がマルチモード光ファイバ30より小さい光ファイバ31が結合され、図10(C)に示すように、光ファイバ31の出射端部(発光点)が走査方向と直交する方向に沿って1列に配列されてレーザ出射部68が構成されている。なお、図10(D)に示すように、発光点を走査方向に沿って2列に配列することもできる。
FIG. 10A shows the configuration of the fiber
光ファイバ31の出射端部は、図10(B)に示すように、表面が平坦な2枚の支持板65に挟み込まれて固定されている。また、光ファイバ31の光出射側には、光ファイバ31の端面を保護するために、ガラス等の透明な保護板63が配置されている。保護板63は、光ファイバ31の端面と密着させて配置してもよく、光ファイバ31の端面が密封されるように配置してもよい。光ファイバ31の出射端部は、光密度が高く集塵し易く劣化し易いが、保護板63を配置することにより端面への塵埃の付着を防止することができると共に劣化を遅らせることができる。
As shown in FIG. 10B, the emission end of the
マルチモード光ファイバ30及び光ファイバ31としては、ステップインデックス型光ファイバ、グレーテッドインデックス型光ファイバ、及び複合型光ファイバの何れでもよい。例えば、三菱電線工業株式会社製のステップインデックス型光ファイバを用いることができる。
The multimode
レーザモジュール64は、図11に示す合波レーザ光源(ファイバ光源)によって構成されている。この合波レーザ光源は、ヒートブロック10上に配列固定された複数(例えば、7個)のチップ状の横マルチモード又はシングルモードのGaN系半導体レーザLD1,LD2,LD3,LD4,LD5,LD6,及びLD7と、GaN系半導体レーザLD1〜LD7の各々に対応して設けられたコリメータレンズ11,12,13,14,15,16,及び17と、1つの集光レンズ20と、1本のマルチモード光ファイバ30と、から構成されている。なお、半導体レーザの個数は7個には限定されない。
The
GaN系半導体レーザLD1〜LD7は、発振波長が総て共通(例えば、405nm)であり、最大出力も総て共通(例えば、マルチモードレーザでは100mW、シングルモードレーザでは30mW)である。なお、GaN系半導体レーザLD1〜LD7としては、350nm〜450nmの波長範囲で、上記の405nm以外の発振波長を備えるレーザを用いてもよい。 The GaN-based semiconductor lasers LD1 to LD7 all have the same oscillation wavelength (for example, 405 nm), and the maximum output is also all the same (for example, 100 mW for the multimode laser and 30 mW for the single mode laser). As the GaN-based semiconductor lasers LD1 to LD7, lasers having an oscillation wavelength other than the above 405 nm in a wavelength range of 350 nm to 450 nm may be used.
上記の合波レーザ光源は、図12及び図13に示すように、他の光学要素と共に、上方が開口した箱状のパッケージ40内に収納されている。パッケージ40は、その開口を閉じるように作成されたパッケージ蓋41を備えており、脱気処理後に封止ガスを導入し、パッケージ40の開口をパッケージ蓋41で閉じることにより、パッケージ40とパッケージ蓋41とにより形成される閉空間(封止空間)内に上記合波レーザ光源が気密封止されている。
As shown in FIGS. 12 and 13, the above-described combined laser light source is housed in a box-shaped
パッケージ40の底面にはベース板42が固定されており、このベース板42の上面には、前記ヒートブロック10と、集光レンズ20を保持する集光レンズホルダー45と、マルチモード光ファイバ30の入射端部を保持するファイバホルダー46とが取り付けられている。マルチモード光ファイバ30の出射端部は、パッケージ40の壁面に形成された開口からパッケージ外に引き出されている。
A
また、ヒートブロック10の側面にはコリメータレンズホルダー44が取り付けられており、コリメータレンズ11〜17が保持されている。パッケージ40の横壁面には開口が形成され、この開口を通してGaN系半導体レーザLD1〜LD7に駆動電流を供給する配線47がパッケージ外に引き出されている。
Further, a
なお、図13においては、図の煩雑化を避けるために、複数のGaN系半導体レーザのうちGaN系半導体レーザLD7にのみ番号を付し、複数のコリメータレンズのうちコリメータレンズ17にのみ番号を付している。
In FIG. 13, in order to avoid complication of the drawing, only the GaN semiconductor laser LD7 among the plurality of GaN semiconductor lasers is numbered, and only the
図14には、上記コリメータレンズ11〜17の取り付け部分の正面形状が示されている。コリメータレンズ11〜17の各々は、非球面を備えた円形レンズの光軸を含む領域を平行な平面で細長く切り取った形状に形成されている。この細長形状のコリメータレンズは、例えば、樹脂又は光学ガラスをモールド成形することによって形成することができる。コリメータレンズ11〜17は、長さ方向がGaN系半導体レーザLD1〜LD7の発光点の配列方向(図14の左右方向)と直交するように、上記発光点の配列方向に密接配置されている。 FIG. 14 shows a front shape of a mounting portion of the collimator lenses 11 to 17. Each of the collimator lenses 11 to 17 is formed in a shape obtained by cutting a region including the optical axis of a circular lens having an aspherical surface into a long and narrow plane. This elongated collimator lens can be formed, for example, by molding resin or optical glass. The collimator lenses 11 to 17 are closely arranged in the arrangement direction of the light emitting points so that the length direction is orthogonal to the arrangement direction of the light emitting points of the GaN-based semiconductor lasers LD1 to LD7 (left and right direction in FIG. 14).
一方、GaN系半導体レーザLD1〜LD7としては、発光幅が2μmの活性層を備え、活性層と平行な方向、直角な方向の拡がり角が各々例えば10°、30°の状態で各々レーザビームB1〜B7を発するレーザが用いられている。これらGaN系半導体レーザLD1〜LD7は、活性層と平行な方向に発光点が1列に並ぶように配設されている。 On the other hand, each of the GaN-based semiconductor lasers LD1 to LD7 includes an active layer having a light emission width of 2 μm, and each of the laser beams B1 in a state parallel to the active layer and a divergence angle in a direction perpendicular to the active layer, for example, 10 ° and 30 °. A laser emitting ~ B7 is used. These GaN-based semiconductor lasers LD1 to LD7 are arranged so that the light emitting points are arranged in a line in a direction parallel to the active layer.
従って、各発光点から発せられたレーザビームB1〜B7は、上述のように細長形状の各コリメータレンズ11〜17に対して、拡がり角度が大きい方向が長さ方向と一致し、拡がり角度が小さい方向が幅方向(長さ方向と直交する方向)と一致する状態で入射することになる。 Accordingly, in the laser beams B1 to B7 emitted from the respective light emitting points, the direction in which the divergence angle is large coincides with the length direction and the divergence angle is small with respect to the elongated collimator lenses 11 to 17 as described above. Incident light is incident in a state where the direction coincides with the width direction (direction perpendicular to the length direction).
集光レンズ20は、非球面を備えた円形レンズの光軸を含む領域を平行な平面で細長く切り取って、コリメータレンズ11〜17の配列方向、つまり水平方向に長く、それと直角な方向に短い形状に形成されている。この集光レンズ20としては、たとえば、焦点距離f2=23mm、NA=0.2のものを採用することが可能である。この集光レンズ20も、例えば、樹脂又は光学ガラスをモールド成形することにより形成される。
The condensing
次に、上記露光装置の動作について説明する。 Next, the operation of the exposure apparatus will be described.
スキャナ162の各露光ヘッド166において、ファイバアレイ光源66の合波レーザ光源を構成するGaN系半導体レーザLD1〜LD7の各々から発散光状態で出射したレーザビームB1,B2,B3,B4,B5,B6,及びB7の各々は、対応するコリメータレンズ11〜17によって平行光化される。平行光化されたレーザビームB1〜B7は、集光レンズ20によって集光され、マルチモード光ファイバ30のコア30aの入射端面に収束する。
In each
本例では、コリメータレンズ11〜17及び集光レンズ20によって集光光学系が構成され、その集光光学系とマルチモード光ファイバ30とによって合波光学系が構成されている。即ち、集光レンズ20によって上述のように集光されたレーザビームB1〜B7が、このマルチモード光ファイバ30のコア30aに入射して光ファイバ内を伝搬し、1本のレーザビームBに合波されてマルチモード光ファイバ30の出射端部に結合された光ファイバ31から出射する。
In this example, the collimator lenses 11 to 17 and the
ファイバアレイ光源66のレーザ出射部68には、この通り高輝度の発光点が走査方向と直交する方向に沿って一列に配列されている。単一の半導体レーザからのレーザ光を1本の光ファイバに結合させる従来のファイバ光源は低出力であるため、多数列配列しなければ所望の出力を得ることができなかったが、本実施の形態で使用する合波レーザ光源は高出力であるため、少数列、例えば1列でも所望の出力を得ることができる。
In the
露光パターンに応じた画像データが、DMD50に接続された図示しないコントローラに入力され、コントローラ内のフレームメモリに一旦記憶される。この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を2値(ドットの記録の有無)で表したデータである。
Image data corresponding to the exposure pattern is input to a controller (not shown) connected to the
感光材料150を表面に吸着したステージ152は、図示しない駆動装置により、ガイド158に沿ってゲート160の上流側から下流側に一定速度で移動される。ステージ152がゲート160下を通過する際に、ゲート160に取り付けられた検知センサ164により感光材料150の先端が検出されると、フレームメモリに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、データ処理部で読み出された画像データに基づいて各露光ヘッド166毎に制御信号が生成される。そして、ミラー駆動制御部により、生成された制御信号に基づいて各露光ヘッド166毎にDMD50のマイクロミラーの各々がオンオフ制御される。
The
ファイバアレイ光源66からDMD50にレーザ光が照射されると、DMD50のマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光は、レンズ系54、58により感光材料150の被露光面56上に結像される。このようにして、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光が画素毎にオンオフされて、感光材料150がDMD50の使用画素数と略同数の画素単位(露光エリア168)で露光される。
When the
そして、感光材料150がステージ152と共に一定速度で移動されることにより、感光材料150がスキャナ162によりステージ移動方向と反対の方向に走査され、各露光ヘッド166毎に帯状の露光済み領域170が形成される。
Then, the
ここで、本実施形態では、DMD50を構成するマイクロミラー62がグループ化されており、SRAMへの画像データの転送タイミングをグループごとにすらすことで、走査方向での解像度を向上させることができる。以下ではこの点を、図15〜図22も参照して、実際に画像記録を行う場合の動作に基づいて説明する。
Here, in the present embodiment, the
図15には、本実施形態に対する比較対象として、上記したグループ分けを行なってDMD50’が、4行×4列の画素(マイクロミラー62)をとりだして示されている。この例ではグループ分けがなされていないので、図16に示すように、16個すべてのマイクロミラー62に対応するSRAMへの画像データの転送が、同一タイミングで行われる。
FIG. 15 shows the
図17〜図22には、図8に示した構成のDMD50と、図16に示した構成のDMD50’のそれぞれについての描画の様子が、順に経時的に示されている。各図面において、(A)は図8のDMD50に、(B)は図16のDMD50’にそれぞれ対応し、太線で示す正方形の領域が、描画面での実質的な画素による描画領域WEを示している。時間としては、図9及び図17に示した時間T1〜T6を図17〜図22へと順にとっており、DMD50、50’はいずれも、所定の走査速度で描画面に対し走査方向(図面では下方)に相対移動している。
17 to 22 show the drawing states of the
まず、本実施形態のDMD50では、図9から分かるように、第1グループのマイクロミラー62に対応するSRAMに対して画像データの転送を行う。そして、図17(A)に示すように、T=T1では、第1グループのマイクロミラー62においてミラーリセット(図9においてRで示す。以下同様)と、描画面への描画が行われる。
First, as can be seen from FIG. 9, the
これに対し、比較対象のDMD50’では、図16から分かるように、すべての列のマイクロミラーに対応するSRAMに対して画像データの転送を行っている。そして、T=T1では、図17(B)に示すように、すべてのマイクロミラー62においてミラーリセットと、描画面への描画が行われる。
In contrast, as can be seen from FIG. 16, the
ここで、本実施形態では、図9から分かるように、T0/2の時間が経過した時点で、第0グループのマイクロミラー62に対応するSRAMに対して画像データの転送を開始する。したがって、T=T2のタイミングまでに、第0グループのマイクロミラー62に対応するSRAMへの画像データの転送が完了する。T=T2のタイミングでは、これら第0グループのマイクロミラー62をリセットし、描画を行うことができる。このとき、図18(A)から分かるように、T1からT2までの時間ΔTは、この時間ΔTで走査距離ΔLが、1画素の走査方向の長さの半分となるように、走査速度との関係において調整されている。したがって、実質的に走査方向での画素ピッチが1画素の半分の長さになっている。なお、図9に示すように、第1グループのマイクロミラー62による描画が終了した時点から、これらのマイクロミラー62による次の描画に備えて画像データの転送が開始されている。
Here, in this embodiment, as can be seen from FIG. 9, when the time T0 / 2 has elapsed, the transfer of image data to the SRAM corresponding to the 0th group of
これに対し、比較対象のDMD50’では、すべての列に対応するSRAMに対して同時に画像データを転送する構成であるため、上記したT=T2のタイミングでは、次の描画に備えてSRAMへの画像データの転送を行っている途中であり、図18(B)に示すように描画は行われない。
On the other hand, the
そして、図19に示すように、T=T3のタイミングでは、本実施形態のDMD50では、第1グループのマイクロミラー62によって、描画が行なわれる。このときも、直前の描画を行ったタイミング(T=T2)からΔTだけ時間が経過しているので、走査距離ΔLが、1画素の走査方向の長さの半分となっており、走査方向での画素ピッチが1画素の半分になっている。
Then, as shown in FIG. 19, at the timing of T = T3, the
これに対し、比較対象のDMD50’では、T=T3のタイミングで、すべてのマイクロミラー62において描画が行われる。このときには、直線の描画を行ったタイミング(T=T1)から2×ΔTの時間が経過しているので、走査距離も2×ΔLとなる。すなわち、走査方向の画素ピッチが、1画素と同じ長さになっている。
On the other hand, in the
以降、T=T4のタイミングでは、図20に示すように、本実施形態のDMD50では第0グループのマイクロミラー62で描画が行われるが、比較対象のDMD50’では描画は行われない。
Thereafter, at the timing of T = T4, as shown in FIG. 20, in the
T=T5のタイミングでは、図21に示すように、本実施形態のDMD50では第1グループのマイクロミラー62で描画が行われ、比較対象のDMD50’では、すべてのマイクロミラー62で描画が行われる。
At the timing of T = T5, as shown in FIG. 21, in the
T=T6のタイミングでは、図22に示すように、本実施形態のDMD50では第0グループのマイクロミラー62で描画が行われるが、比較対象のDMD50’では描画は行われない。
At the timing of T = T6, as shown in FIG. 22, in the
図23には、上記した動作を行った結果、描画された画像が示されている。本実施形態では、図23(A)から分かるように、走査方向の画素ピッチが1画素の大きさの半分となっている。これに対し、比較対象では、図23(B)から分かるように、走査方向の画素ピッチが1画素の大きさと等しい長さになっている。すなわち、本実施形態では、走査速度を低下させることなく、走査方向に高い解像度を有する画像を得ることが可能になっている。 FIG. 23 shows an image rendered as a result of performing the above-described operation. In this embodiment, as can be seen from FIG. 23A, the pixel pitch in the scanning direction is half the size of one pixel. On the other hand, in the comparison object, as can be seen from FIG. 23B, the pixel pitch in the scanning direction is equal to the size of one pixel. In other words, in the present embodiment, it is possible to obtain an image having a high resolution in the scanning direction without reducing the scanning speed.
スキャナ162による感光材料150の走査が終了し、検知センサ164で感光材料150の後端が検出されると、ステージ152は、図示しない駆動装置により、ガイド158に沿ってゲート160の最上流側にある原点に復帰し、再度、ガイド158に沿ってゲート160の上流側から下流側に一定速度で移動される。
When the scanning of the
なお、本実施形態のように多重露光する構成では、多重露光しない構成と比較して、DMD50のより広いエリアを照射することになる。これにより、露光ビーム53の焦点深度を長くすることが可能になる。たとえば、15μmピッチのDMD50を使用し、L=20とすると、1つの分割領域178Dに対応するDMD50の長さ(行方向の長さ)は、15μm×20=0.3mmとなる。このような狭いエリアに光を照射するためには、たとえば図5に示すレンズ系67によって、DMD50に照射されるレーザ光の光束の広がり角を大きくする必要があるので、露光ビーム53の焦点深度は短くなる。これに対し、DMD50のより広い領域を照射する場合には、DMD50に照射されるレーザ光の光束の広がり角度が小さいので、露光ビーム53の焦点深度は長くなる。
In the configuration where multiple exposure is performed as in the present embodiment, a wider area of the
上記では、空間光変調素子としてDMDを備えた露光ヘッドについて説明したがこのような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子(LCD)を使用することもできる。例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間光変調素子(SLM;Spacial Light Modulator)や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子(PLZT素子)や液晶光シャッタ(FLC)等の液晶シャッターアレイなど、MEMSタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、MEMSとは、IC製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、MEMSタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Grating Light Valve(GLV)を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子(GLV)や透過型空間光変調素子(LCD)を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。 In the above description, the exposure head including the DMD as the spatial light modulation element has been described. However, in addition to such a reflective spatial light modulation element, a transmissive spatial light modulation element (LCD) can also be used. For example, a liquid crystal shutter such as a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) type spatial light modulator (SLM), an optical element (PLZT element) that modulates transmitted light by an electro-optic effect, or a liquid crystal light shutter (FLC). It is also possible to use a spatial light modulation element other than the MEMS type, such as an array. Note that MEMS is a general term for a micro system that integrates micro-sized sensors, actuators, and control circuits based on a micro-machining technology based on an IC manufacturing process. A MEMS-type spatial light modulator is an electrostatic force. It means a spatial light modulation element driven by an electromechanical operation using Further, a plurality of Grafting Light Valves (GLVs) arranged in a two-dimensional shape can be used. In the configuration using these reflective spatial light modulator (GLV) and transmissive spatial light modulator (LCD), a lamp or the like can be used as a light source in addition to the laser described above.
また、上記の実施の形態では、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源を用いる例について説明したが、レーザ装置は、合波レーザ光源をアレイ化したファイバアレイ光源には限定されない。例えば、1個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する1本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源を用いることができる。 In the above embodiment, an example using a fiber array light source including a plurality of combined laser light sources has been described. However, the laser device is not limited to a fiber array light source in which combined laser light sources are arrayed. For example, a fiber array light source obtained by arraying fiber light sources including one optical fiber that emits laser light incident from a single semiconductor laser having one light emitting point can be used.
さらに、複数の発光点が二次元状に配列された光源(たとえば、LDアレイ、有機ELアレイ等)を使用することもできる。これらの光源を使用する構成では、発光点のそれぞれが画素に対応するようにすることで、上記した空間変調措置を省略することも可能となる。 Furthermore, a light source (for example, an LD array, an organic EL array, etc.) in which a plurality of light emitting points are arranged two-dimensionally can also be used. In the configuration using these light sources, the spatial modulation measures described above can be omitted by making each of the light emitting points correspond to a pixel.
上記の実施形態では、図24に示すように、スキャナ162によるX方向への1回の走査で感光材料150の全面を露光する例について説明したが、図25(A)及び(B)に示すように、スキャナ162により感光材料150をX方向へ走査した後、スキャナ162をY方向に1ステップ移動し、X方向へ走査を行うというように、走査と移動を繰り返して、複数回の走査で感光材料150の全面を露光するようにしてもよい。
In the above embodiment, as shown in FIG. 24, the example in which the entire surface of the
また、上記の実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、本発明の露光装置としては、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置であってもよい。 Further, in the above embodiment, a so-called flood bed type exposure apparatus has been described as an example, but the exposure apparatus of the present invention is a so-called outer drum type exposure apparatus having a drum around which a photosensitive material is wound. Also good.
描画素子(マイクロミラー62)の各行番号を割る自然数Nも、2以上で行番号の最大値を超えない範囲であれば特に限定されないが、あまりに大きくするとグループの数も多くなり、SRAMへの画像データの転送をより多段階にずらす必要が生じてしまうので、Nとしては2〜4程度とすることが好ましい。また、Nの値に関わらず、描画の時間間隔T0に対し、変調状態の変化のタイミングのずれがT0/Nとなるように制御すれば、走査方向での画素間隔も均等になるので好ましい。 The natural number N that divides each row number of the drawing element (micromirror 62) is not particularly limited as long as it is 2 or more and does not exceed the maximum value of the row number, but if it is too large, the number of groups increases, and the image to the SRAM increases. Since it becomes necessary to shift data transfer in more stages, N is preferably set to about 2 to 4. Regardless of the value of N, it is preferable to control the shift of the change timing of the modulation state to T0 / N with respect to the drawing time interval T0, because the pixel intervals in the scanning direction become uniform.
上記の露光装置は、例えば、プリント配線基板(PWB;Printed Wiring Board)の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト(DFR;Dry Film Resist)の露光、液晶表示装置(LCD)の製造工程におけるカラーフィルタの形成、TFTの製造工程におけるDFRの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)の製造工程におけるDFRの露光等の用途に好適に用いることができる。 The exposure apparatus described above is, for example, exposure of a dry film resist (DFR) in a manufacturing process of a printed wiring board (PWB) and a color filter in a manufacturing process of a liquid crystal display (LCD). It can be suitably used for applications such as formation, DFR exposure in a TFT manufacturing process, and DFR exposure in a plasma display panel (PDP) manufacturing process.
また、上記の露光装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはGaN系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはAlGaAs系半導体レーザ(赤外レーザ)、固体レーザが使用される。 In the exposure apparatus, either a photon mode photosensitive material in which information is directly recorded by exposure or a heat mode photosensitive material in which information is recorded by heat generated by exposure can be used. When using a photon mode photosensitive material, a GaN-based semiconductor laser, a wavelength conversion solid-state laser, or the like is used for the laser device. When using a heat mode photosensitive material, an AlGaAs-based semiconductor laser (infrared laser), A solid state laser is used.
また、本発明では、露光装置に限らず、たとえばインクジェット記録ヘッドに同様の構成を採用することが可能である。すなわち、一般にインクジェット記録ヘッドでは、記録媒体(たとえば記録用紙やOHPシートなど)に対向するノズル面に、インク滴を吐出するノズルが形成されているが、インクジェット記録ヘッドのなかには、このノズルを格子状に複数配置し、ヘッド自体を走査方向に対して傾斜させて、高解像度で画像を記録可能なものがある。このような二次元配列が採用されたインクジェット記録ヘッドにおいて、ヘッド自体の実際の傾斜角が理想の傾斜角からずれていても、本発明を採用することで、記録画像に生じるピッチのずれを一定範囲に抑制することができる。 Further, in the present invention, not only the exposure apparatus but also a similar configuration can be adopted for an ink jet recording head, for example. That is, in general, an ink jet recording head has nozzles for ejecting ink droplets formed on a nozzle surface facing a recording medium (for example, recording paper, OHP sheet, etc.). There are some which can be arranged at a high resolution and can record an image with high resolution by tilting the head itself with respect to the scanning direction. In an ink jet recording head employing such a two-dimensional arrangement, even if the actual tilt angle of the head itself deviates from the ideal tilt angle, the present invention can be used to maintain a constant pitch shift in the recorded image. The range can be suppressed.
LD1〜LD7 GaN系半導体レーザ
10 ヒートブロック
11〜17 コリメータレンズ
20 集光レンズ
30 マルチモード光ファイバ
50 DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス、空間光変調素子)
53 反射光像(露光ビーム)
54、58 レンズ系
56 走査面(被露光面)
64 レーザモジュール
66 ファイバアレイ光源
68 レーザ出射部
73 組合せレンズ
150 感光材料
152 ステージ(移動手段)
162 スキャナ
166 露光ヘッド
168 露光エリア(二次元像)
168D 分割領域
170 露光済み領域
178 露光エリア(二次元像)
178D 分割領域
θ 理想の傾斜角
θ’ 実際の傾斜角
LD1 to LD7 GaN-based
53 Reflected light image (exposure beam)
54, 58
64
162
168D divided
178D Divided area θ Ideal tilt angle θ 'Actual tilt angle
Claims (5)
描画面と実質的に平行な面内で複数の描画素子を二次元に配列して構成され、少なくとも2つのグループに分けられた描画素子群と、
前記描画素子の変調タイミングを前記グループごとにずらして描画素子群を制御可能なコントローラと、
を有することを特徴とする描画ヘッド。 A drawing head that is moved relative to a drawing surface in a predetermined scanning direction along the drawing surface;
A drawing element group configured by two-dimensionally arranging a plurality of drawing elements in a plane substantially parallel to the drawing surface, and divided into at least two groups;
A controller capable of controlling the drawing element group by shifting the modulation timing of the drawing element for each group;
A drawing head characterized by comprising:
光源と、
複数のメモリセルのそれぞれに支柱により支持され少なくとも2つのグループに分けられた複数のマイクロミラーを備え、光源からの光を変調する空間光変調素子と、
前記メモリセルへの画像データの転送タイミングを前記グループごとにずらして空間光変調素子を制御可能なコントローラと、
を有することを特徴とする描画ヘッド。 A drawing head that is moved relative to a drawing surface in a predetermined scanning direction along the drawing surface;
A light source;
A plurality of micromirrors supported by columns in each of a plurality of memory cells and divided into at least two groups, and a spatial light modulation element that modulates light from a light source;
A controller capable of controlling the spatial light modulator by shifting the transfer timing of the image data to the memory cell for each group;
A drawing head characterized by comprising:
前記コントローラにより前記描画素子の変調タイミングを前記グループごとにずらして描画素子群を制御することを特徴とする描画ヘッド駆動方法。 A drawing head driving method for driving the drawing head according to claim 1,
A drawing head driving method, wherein the controller controls the drawing element group by shifting the modulation timing of the drawing element for each group by the controller.
前記コントローラにより前記メモリセルへの画像データの転送タイミングを前記グループごとにずらして空間光変調素子を制御することを特徴とする描画ヘッド駆動方法。 A drawing head driving method for driving the drawing head according to claim 2,
A drawing head driving method, wherein the controller controls the spatial light modulator by shifting the transfer timing of image data to the memory cell for each group by the controller.
前記描画ヘッドを少なくとも前記所定方向へ相対移動させる移動手段と、
を有することを特徴とする描画装置。 The drawing head according to any one of claims 1 and 2,
Moving means for relatively moving the drawing head at least in the predetermined direction;
A drawing apparatus comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004366327A JP2005138594A (en) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | Plotting head, plotting head driving method and plotting unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004366327A JP2005138594A (en) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | Plotting head, plotting head driving method and plotting unit |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002379493A Division JP2004212471A (en) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | Plotting head, plotting system, and plotting method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005138594A true JP2005138594A (en) | 2005-06-02 |
Family
ID=34698114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004366327A Pending JP2005138594A (en) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | Plotting head, plotting head driving method and plotting unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005138594A (en) |
-
2004
- 2004-12-17 JP JP2004366327A patent/JP2005138594A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4150250B2 (en) | Drawing head, drawing apparatus and drawing method | |
KR100752588B1 (en) | Lithography method and lithography device | |
JP4315694B2 (en) | Drawing head unit, drawing apparatus and drawing method | |
JP2004009595A (en) | Exposure head and exposure device | |
JP4373731B2 (en) | Drawing apparatus and drawing method | |
JP2004212471A (en) | Plotting head, plotting system, and plotting method | |
JP4588428B2 (en) | Image exposure method and apparatus | |
JP2004284236A (en) | Image recording apparatus | |
JP4323335B2 (en) | Image exposure method and apparatus | |
JP2004126034A (en) | Image forming apparatus | |
JP2005138594A (en) | Plotting head, plotting head driving method and plotting unit | |
JP2007004075A (en) | Image exposure apparatus | |
JP4104949B2 (en) | Image forming apparatus | |
JP2005234265A (en) | Exposure head, apparatus and method for exposing image | |
JP2004012900A (en) | Aligner | |
JP2005217338A (en) | Image exposure method and apparatus | |
JP2006267239A (en) | Mounting structure of digital micro-mirror device, and image exposure device | |
JP2006301062A (en) | Mounting structure of digital micromirror device and image exposure apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070116 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071009 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080311 |