JP2005127646A - 熱交換装置 - Google Patents

熱交換装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005127646A
JP2005127646A JP2003365256A JP2003365256A JP2005127646A JP 2005127646 A JP2005127646 A JP 2005127646A JP 2003365256 A JP2003365256 A JP 2003365256A JP 2003365256 A JP2003365256 A JP 2003365256A JP 2005127646 A JP2005127646 A JP 2005127646A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat medium
flow path
main body
heat exchange
body member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003365256A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4405782B2 (ja
Inventor
Tetsuo Wakamatsu
哲夫 若松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokuyama Corp
Original Assignee
Tokuyama Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokuyama Corp filed Critical Tokuyama Corp
Priority to JP2003365256A priority Critical patent/JP4405782B2/ja
Publication of JP2005127646A publication Critical patent/JP2005127646A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4405782B2 publication Critical patent/JP4405782B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】窒化アルミニウム焼結体よりなり、その内部に熱媒体流路を精密に形成することが極めて容易にできる構造を有する熱交換装置を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム焼結体よりなり、(a)端面に開口する複数の貫通孔5を内在させた本体部材2と(b)該本体部材2の両端面にそれぞれ接合された端部材3、4とにより構成され、上記接合部6、7において、本体部材2及び/又は端部材3、4に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部8を設けて熱媒体流路が形成され、該熱媒体流路の両端はそれぞれ開口して、熱媒体の供給口9及び熱媒体の排出口10を構成してなる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、窒化アルミニウム焼結体よりなる新規な接合構造の熱交換装置に関する。詳しくは、熱媒体を供給する熱媒体流路を精密に形成することが可能な構造を有する熱交換装置である。
従来、窒化アルミニウム焼結体は、高い熱伝導性及び電気絶縁性を有するため、金属に代わる熱伝導材料として使用されつつある。即ち、導電性等の影響により、金属等の材質が使用できない熱伝導のための用途として、熱交換装置がある。
一般に、熱交換装置は、内部に熱媒体を通過せしめるための熱媒体流路が形成された熱導電性材料である金属よりなり、その表面に熱交換面が存在する。場合によっては、熱媒体流路を避けながら、内部にまで穴が設けられ、これに被熱交換流体を通過せしめて熱交換を行なうように成した構造もある。
ところが、上記熱交換装置の材質として窒化アルミニウム焼結体を使用する場合、内部が中空の構造、特に熱媒体流路のように曲がりくねった空間部を有する構造物を一体成形品として製造することは困難である。仮に、一体成形により製造しようとした場合は、先ず、窒化アルミニウム焼結体よりなる外形が同一形状の塊状物を製造し、その内部を削り出すことによって得る方法が考えられるが、かかる方法は、生産効率が悪い上に歩留まりが低く、製造コストが高くなるという問題を有する。
そこで、上記熱媒体流路を構成するために、熱交換装置をその熱媒体流路の中心部を通る平面で分割して、それぞれ一体成形が可能な形状の部材に成形し、これらの部材を上下合わせて接合して熱媒体流路を有する熱交換装置とする方法が提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、熱媒体流路が小径化或いは複雑化するに連れ、分割成形した成形体に相互に形成された流路のパターンについて平面で位置合わせを行なうことが困難となり、流路の形成が不完全となったり、場合によっては切断する等の問題が懸念される。また、熱媒体流路を横方向のみならず、縦方向にも配列して設けようとした場合には、上記分割を複数箇所で行なう必要があり、製造工程が著しく複雑化する。
特開平10−107194号公報
従って、本発明の目的は、窒化アルミニウム焼結体よりなり、その内部に熱媒体流路を精密に形成することが極めて容易にできる構造を有する熱交換装置を提供することにある。
本発明者らは、上記目的を達成するため、鋭意研究を行なった。その結果、熱交換装置を、熱媒体流路の直管部の存在する本体部分とその両端部分とに分割して一体的に成形し、該本体部材には前記直管部となる貫通口を穿設すると共に、接合部分に該貫通孔の端部を結ぶ溝部を形成し、これらを接合するような構造とすることにより、熱媒体流路を極めて正確に形成し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明によれば、窒化アルミニウム焼結体よりなる熱交換装置であって、(a)端面に開口する複数の貫通孔を内在させた本体部材と(b)該本体部材の両端面にそれぞれ接合された端部材とにより構成され、上記接合部において、本体部材及び/又は端部材に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部を設けて熱媒体流路が形成され、該熱媒体流路の両端はそれぞれ開口して、熱媒体の供給口及び熱媒体の排出口を構成したことを特徴とする熱交換装置が提供される。
また、上記熱交換装置は、必要に応じて、本体の熱媒体流路に交差しない位置に被熱交換流体の流路を形成することもできる。
本発明によれば、窒化アルミニウム焼結体によって構成される熱交換装置を、熱交換器の熱媒体流路を貫通口として形成した本体部材と、該貫通口同士を接続する構造を形成する端部材とに分割し、これを接合して構成することによって、該熱媒体流路を水平に切断するように分割したものを接合した構造の従来の熱交換装置に比べて、極めて精密且つ複雑な熱媒体流路をも正確に形成することが可能であり、本体部材が主となる熱交換面における高度な温度制御が可能である。
また、従来の装置では実質的に不可能であった、熱媒体流路が立体的に存在する熱交換装置をも実現することが可能である。
以下、本発明を添付図面に従って、更に具体的に説明するが、本発明は、これらの添付図面に限定されるものではない。
図1は、本発明の熱交換装置の代表的な態様の構造を示す概略図であり、図2は、上記構造の平面透視図である。
本発明の熱交換装置1は、窒化アルミニウム焼結体よりなり、(a)端面に開口する複数の貫通孔5を内在させた本体部材2と(b)該本体部材2の両端面にそれぞれ接合された端部材3、4とにより構成され、上記接合部6、7において、本体部材2及び/又は端部材3、4に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部8を設けて熱媒体流路が形成され、該熱媒体流路の両端はそれぞれ開口して、熱媒体の供給口9及び熱媒体の排出口10を構成してなる。
本発明において、窒化アルミニウム焼結体は、公知の材質が特に制限なく使用されるが、特に、熱伝導率が70W/m・K以上、特に、180〜250W/m・Kであることが、熱交換装置として高い性能を発揮するために好ましい。また、装置の取扱い時、或いは使用時の耐久性を考慮すれば、強度曲げ強度は、200MPa以上、好ましくは、300〜600MPaであることが望ましい。
本発明の熱交換装置において、本体部材2は、端面に開口する複数の貫通孔5を内在させて成る。本体部材の形状は、特に制限されないが、その内部に貫通口5を形成させることのできる程度の厚みを有する形状である。かかる厚みの上限は、特に制限されず、用途に応じて適宜決定すればよい。また、その平面形状は、取り付け箇所の形状に応じて適宜決定すればよいが、図1に示す長方体をはじめ、楕円、円、多角形等が特に制限されず採用される。但し、端部材3との接合面の構造を平面化することが、各部材を成形する上での設計が容易であり、また、接合を確実に行なうために好ましい。平面形状が円の場合、好適な態様を具体的に示せば、本発明の熱交換装置の位置態様を示す平面図(断面)である図6に示す態様が挙げられる。
前記貫通孔5は、貫通口5は、熱媒体流路を形成するためのものである。該貫通孔5は、形成の容易性から、図1に示すように、直管であることが好ましい。また、貫通孔5の径、本数等は、熱交換装置の大きさ、用途に応じて適宜決定すればよい。
例えば、150mm×50mm×10mmの大きさの熱交換装置の場合、流路となる貫通孔5の直径は1〜8mm、また、該貫通孔5の本数は、2〜25本が一般的である。
また、貫通孔5は、図1に示すように、平面方向に1列設ける態様の他、断面図を示す図4にように、複数列に形成することも可能である。
更に、熱媒体流路の端部となる貫通孔は、図1に示すように接合面に開口して、更に熱媒体の供給口9及び排出口10に連通させるのが一般的であるが、本体部材2の側面に開口せしめて熱媒体の供給口及び排出口を形成してもよい(図示せず)。
尚、本発明の熱交換装置は、熱媒体流路を本体部材2に上記貫通孔を設けて形成するようにしたため、その径が小さく且つ本数が多くても、該熱媒体流路を正確に形成することができる。
本発明において、端部材4は、これを本体部材2に接合することによって、上記貫通孔5の開口部を封止し、且つ必要箇所においてその端部を溝部8により連通せしめて連続した熱媒体流路を形成するためのものである。
かかる連通孔5端部の開口部を連通せしめて熱媒体流路を形成する態様は、図1に示すように、本体部材2に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部8を設ける態様、端部材3、4に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部8を設ける態様、或いは、本体部材、端部材の双方に設ける態様が挙げられる。
しかし、接合において、溝部8と貫通孔5とを合致させる労力を低減させ、簡易に且つ正確に溝部を形成するには、図1に示すように、本体部材2側に各連通孔5の端部の開口部を結ぶ溝部8を設け、端部材3、4の接合面を平面とする態様が最も好ましい。
図1に示す態様は、端部材3、4に、上記熱媒体流路への熱媒体の供給口9と排出口10をそれぞれ開口せしめたものである。
上記熱媒体の供給口9と排出口10には、必要に応じて、接続される配管との接続を行なうための構造、例えば、フランジ、ねじ等を設けることができる。
本発明において、本体部材2と端部材3、4とは接合されて熱交換装置を構成する。かかる接合の仕方は、特に制限されないが、接合部の曲げ強度が未接合部の80%以上となるように接合されることが好ましい。
本発明の熱交換装置における他の態様は特に制限されない。好適な態様を例示すれば、本発明の熱交換装置1は、図5に示すように、貫通孔5と交差しない貫通孔11を設け、被熱交換流体の流路を形成し、該流路内で熱交換を行なわしめることもできる。また、図示しないが、本体部材の表面に凹凸、或いはフィンを設けてその表面積を増大せしめることも可能である。
本発明の熱交換装置の製造方法は、本体部材と端部材とをそれぞれ製造し、両者を接合する態様が特に制限無く採用される。
本体部材、端部材の母体を得る方法としては、窒化アルミニウム粉末を、必要に応じて、公知の焼結助剤や、更に、バインダー、溶媒等と混合した後、プレス成形、鋳込み成形等の公知の方法により成形する方法が挙げられるが、これらの方法に制限されるものではない。
また、該本体部材の母体においては、必要箇所にドリル等により貫通孔を穿設し、また、その開口部の必要箇所に溝部を形成する。また、端部材の母体においては、本体部材において形成される熱媒体流路の端部となる箇所に穿設して熱媒体の供給口、排出口が一般に設けられる。
しかる後、上記加工された母体を、それぞれの接合面で圧接せしめた状態で、必要に応じて、前記成形時に使用されたバインダー等の有機物の脱脂を行ない、次いで、焼結することによって本体部材と端部材とが接合された熱交換装置を得ることができる。
上記脱脂、焼結の条件は、公知の条件が特に制限無く採用される。例えば、脱脂は、還元、中性或いは酸化雰囲気下、400〜650℃で、1〜10時間行なう。また、焼結は、還元或いは中性雰囲気下、1650〜1950℃で、3〜20時間行なう。この場合、熱伝導度をより向上せしめるため、還元雰囲気下での焼結と中性雰囲気下での焼結を多段で行なうことが好ましい。
また、前記接合に際し、接合面に窒化アルミニウム及び/又は焼結助剤のペーストを塗布した後、上記操作を行うことによって、より強固な接合を実現することができ、好ましい。
また、他の接合方法として、上記加工された母体をそれぞれ脱脂、焼結した後、接合面に焼結助剤のペーストを塗布し、圧接した状態で1650〜1950℃の温度で加熱処理する方法も採用することができる。
本発明において、得られる熱交換装置の耐水性を高めるために、その表面に酸化層を形成することが好ましい。かかる酸化層の厚みは、0.2〜1μm程度が好ましく、形成方法は、公知の方法が特に制限無く採用される。
本発明の熱交換装置は、金属を構成材料とする熱交換装置が使用できない分野において、有効に使用することができる。例えば、金属部材が使用できない、マイクロ波、ミリ波等を印加した状態で被熱交換流体の加熱或いは冷却を行なう用途に対して好適である。
以下、本発明を更に具体的に説明するため、実施例を示すが、本発明は、かかる実施例に限定されるものではない。
尚、実施例において、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の測定は一次元のレーザーフラッシュ法を用い、LF/TCM FA8510B(理学電機株式会社)により行った。3点曲げ強度の測定は、JIS R1601に従って行った。また、表面温度の測定は赤外線サーモグラフィ法を用い、ネオサーモTVS−700(日本アビオニクス株式会社)を用いて行った。
実施例1
図1に示す150×50×10mm、流路直径φ3mmの構造の熱交換装置を以下の方法によって製造した。
窒化アルミニウム粉末(株式会社トクヤマ製、Hグレード)100重量部、焼結助剤として酸化イットリウム微粉末5重量部、有機バインダーとしてアクリル酸メチルエステル系4重量部、及びエタノール100重量部をボールミルにて24時間混合することによりスラリーを作成した。このスラリーをスプレードライヤーにて、100℃で造粒し、平均粒径80μmの顆粒を得た。該顆粒を圧力100MPaで油圧プレスすることにより、□200×t12mmの成形体を得た。次いで、この成形体1個を加工することにより、φ3.6mmの流路及びそれぞれの流路を繋ぐ溝部を有する156×60×12mmの本体部材3個、及びφ3.6の開口部を有する12×60×12mmの端部材6個を得た。
一方、接合用ペーストは、窒化アルミニウム粉末100重量部、焼結助剤として酸化イットリウム5重量部、有機バインダーとしてエチルセルロース(グレード4センチポイズ)3重量部、及びビヒクルとしてテルピネオール50重量部を混合して調整した。
上記方法により得られたペーストを、本体部材1個と端部材2個の接合面に塗布し、接合した。
上記の密着せしめた成形体を一昼夜室温で乾燥し、大気中600℃の条件で脱脂し、窒素雰囲気中1830℃の条件で焼成して窒化アルミニウム熱交換装置を得た。
得られた窒化アルミニウムの熱伝導率の測定は一次元法にて行った。測定用のサンプルの大きさはφ10×t4mmであり、このサンプルは、上記方法より得られた窒化アルミニウム熱交換装置から接合部を含み、かつ該接合部がサンプルの厚みの中央となるように切出した。
また、該接合部を含まない母材部分よりなる同サイズのサンプルも作成して、熱伝導率を測定した。また、接合部の曲げ強度測定は、接合部が中央に来るようにサンプルを作成し、3点曲げ法で行った。その結果を表1に示した。
接合部の熱伝導率は母材部分が176W/m・Kであったのに対し、100%の熱伝導率を示し、また、曲げ強度は母材部分が337MPaであったのに対し、99%の強度を示した。
また、熱交換装置の流路に80℃の温水を1cm/secで流した場合の熱交換装置表面の温度分布を赤外線サーモグラフィで測定した。その結果、本体部材表面における温度分布差は、4deg以下であり、熱媒体流路は完璧に連通していたことが確認された。また、熱媒体の漏れも皆無であった。
本発明の熱交換装置の代表的な態様を示す斜視図 図1の熱交換装置の流路の構造を示す平面図 本発明の熱交換装置において、端部材に溝部を設けた一態様を示す平面図 本発明の熱交換装置において、本体部材に連通孔を多段に設けた一態様を示す断面図 本発明の熱交換装置において、本体部材に被熱交換流体の流路を設けた一態様を示す断面図 本発明の熱交換装置において、平面形状が円である場合の一態様を示す平面図
符号の説明
1 熱交換装置
2 本体部材
3、4 端部材
5 貫通孔
6、7 接合部
8 溝部
9 熱媒体供給口
10 熱媒体排出口
11 被熱交換流体の流路

Claims (3)

  1. 窒化アルミニウム焼結体よりなる熱交換装置であって、(a)端面に開口する複数の貫通孔を内在させた本体部材と(b)該本体部材の両端面にそれぞれ接合された端部材とにより構成され、上記接合部において、本体部材及び/又は端部材に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部を設けて熱媒体流路が形成され、該熱媒体流路の両端はそれぞれ開口して、熱媒体の供給口及び熱媒体の排出口を構成したことを特徴とする熱交換装置。
  2. 本体の熱媒体流路に交差しない位置に被熱交換流体の流路を形成した請求項1記載の熱交換装置。
  3. 本体部材に上記貫通孔の開口部を結ぶ溝部を設けて熱媒体流路が形成された請求項1記載の熱交換装置。
JP2003365256A 2003-10-24 2003-10-24 熱交換装置 Expired - Fee Related JP4405782B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003365256A JP4405782B2 (ja) 2003-10-24 2003-10-24 熱交換装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003365256A JP4405782B2 (ja) 2003-10-24 2003-10-24 熱交換装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005127646A true JP2005127646A (ja) 2005-05-19
JP4405782B2 JP4405782B2 (ja) 2010-01-27

Family

ID=34643992

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003365256A Expired - Fee Related JP4405782B2 (ja) 2003-10-24 2003-10-24 熱交換装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4405782B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010043803A (ja) * 2008-08-18 2010-02-25 Orion Mach Co Ltd 薬液用熱交換器
WO2010110238A1 (ja) * 2009-03-23 2010-09-30 株式会社Ihi セラミック熱交換器及びその製造方法
JP2013508669A (ja) * 2009-10-26 2013-03-07 アルストム・テクノロジー・リミテッド 絶縁されたヒートパイプを利用することによって中電圧装置を冷却するための冷却装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010043803A (ja) * 2008-08-18 2010-02-25 Orion Mach Co Ltd 薬液用熱交換器
WO2010110238A1 (ja) * 2009-03-23 2010-09-30 株式会社Ihi セラミック熱交換器及びその製造方法
EP2413079A1 (en) * 2009-03-23 2012-02-01 IHI Corporation Ceramic heat exchanger and method for manufacturing same
CN102439389A (zh) * 2009-03-23 2012-05-02 株式会社Ihi 陶瓷热交换器及其制造方法
JPWO2010110238A1 (ja) * 2009-03-23 2012-09-27 株式会社Ihi セラミック熱交換器及びその製造方法
EP2413079A4 (en) * 2009-03-23 2014-04-09 Ihi Corp CERAMIC HEAT EXCHANGER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
JP5514190B2 (ja) * 2009-03-23 2014-06-04 株式会社Ihi セラミック熱交換器及びその製造方法
US9097473B2 (en) 2009-03-23 2015-08-04 Ihi Corporation Ceramic heat exchanger and method of producing same
JP2013508669A (ja) * 2009-10-26 2013-03-07 アルストム・テクノロジー・リミテッド 絶縁されたヒートパイプを利用することによって中電圧装置を冷却するための冷却装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4405782B2 (ja) 2010-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103477179B (zh) Led阵列的均匀液体冷却
CN102347294B (zh) 半导体装置
US20100044014A1 (en) Flat-plate loop heat conduction device and manufacturing method thereof
WO2005003668A3 (en) Microchannel heat exchangers and methods of manufacturing the same
JP2010147478A (ja) マイクロチャネルヒートシンクの低コスト製造
US8394199B2 (en) Processing device
EP2516924B1 (en) Making method for cooling body, cooling body and lighting device comprising the cooling body
CN101295685B (zh) 一种热导管及其制造方法
CN105280527A (zh) 粘接头和具有该粘结头的裸片粘接设备
EP2879162B1 (en) Flow path member, and heat exchanger and semiconductor manufacturing device using same
JP4405782B2 (ja) 熱交換装置
US7607223B2 (en) Electro-fluidic interconnect attachment
DE102011005206A1 (de) Thermoelektrischer Generator
US20120132410A1 (en) Heat sink fin forming process
WO2015019890A1 (ja) 放熱板、パワーモジュールおよび放熱板の製造方法
JP2002156195A (ja) 冷却板の製造方法
US9829145B2 (en) Manufacturing method of heat insulation wall body and heat insulation wall body
WO2019062311A1 (zh) 用于电路板的散热件以及应用该散热件的显示面板
JP2009521662A (ja) 溝付き多孔質表面を製造する方法および熱伝導への応用
DE19527674A1 (de) Kühleinrichtung
JP2008294128A (ja) 液冷式冷却器とその製造方法
WO2004075261A3 (en) Thermal interconnect systems methods of production and uses thereof
JP6139699B2 (ja) 流路部材
US7900353B2 (en) Method for combining axially heated heat pipes and heat-conducting base
JP2882996B2 (ja) セラミックス接合体製造用の治具及び該治具を用いたセラミックス接合体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20060510

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20090113

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20090119

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20090601

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20090728

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091020

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20091105

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 3

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees