JP2005118897A - 研磨工具及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワーク表面の凹凸に倣うことなく、凸部だけを優先的に研磨してワーク表面のウネリを低減させることができる研磨工具と研磨方法を提供する。
【解決手段】ワークW表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された研磨工具を、ワークW表面に押圧しながら、研磨工具とワークWとを相対的に移動させることによりワークWを研磨する。
【選択図】図3
【解決手段】ワークW表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された研磨工具を、ワークW表面に押圧しながら、研磨工具とワークWとを相対的に移動させることによりワークWを研磨する。
【選択図】図3
Description
本発明は、光学素子の表面またはその成形を行う成形用金型の表面を高精度に研磨加工する研磨工具及び研磨方法に関する。
特開平5−138519号公報には、球面または非球面形状の研磨加工を行う従来装置が開示されている。この研磨方法は、研磨工具をワーク表面の球面形状または非球面形状に倣わせながら研磨するものであり、先端に研磨工具を取り付けた研磨工具スピンドルと、ワークを載せたワークスピンドルの双方を回転させ、加圧しながら研磨加工を行なう。研磨加工時の加圧は、研磨工具スピンドルを揺動自在に支持するアームと、このアームの揺動支点に対して移動可能に取り付けられた重錘とを備えた機構により行なわれるものであり、ワークの表面に一定荷重を作用させながら研磨するようになっている。
このような研磨に用いる研磨工具として、多くは不織布が使用されると共に、研磨剤としてはダイヤモンド砥粒が用いられている。
この装置によって研磨加工を行う場合、まず、先端に不織布を巻きつけた研磨工具を研磨工具スピンドルの先端に取り付ける。そして、スライド板を上昇させてワークを取り付け、ワーク表面にダイヤモンド砥粒の研磨剤を塗布する。続いて、スライド板を下降させて研磨工具をワーク表面に当接させ、ワークスピンドル及び研磨工具スピンドルの双方を回転させながら、常に研磨工具の作用部がワーク表面の加工部に垂直に加圧されるようにX軸、B軸、Z軸を移動制御しながら研磨を行なう。
特開平5−138519号公報
上述した従来の研磨では、研磨工具として先端に不織布を巻いたものを用い、これに遊離砥粒を保持させて加工を行なっている。しかしながら、不織布はそれ自体が弾性体であるため、加工時の加圧により弾性変形を起こし、ウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)の山谷に関係なく表面になじんで研磨される。また、遊離砥粒による加工は、ワークの表面の凹凸の凸部だけでなく凹部にも砥粒が潜って研磨されるため、ウネリが低減することがなく、高精度な形状精度の研磨面を得られない問題を有している。
図4及び図5は、この従来の研磨を説明するものであり、図4は研磨工具101とワークWの研磨加工部位を示している。研磨工具101は曲面Rに加工した金属製の軸先端に不織布105を巻き付けている。加工前においては、遊離砥粒の研磨剤102をワークWの表面に塗布し、研磨剤102の塗布状態で研磨を行う。
図5は、図4に示した研磨工具101とワークWの研磨加工部位を拡大して示している。不織布を巻いた研磨工具101を一定荷重で加圧して研磨加工したとき、ウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)の凹凸に、不織布105が倣うように研磨される。また、遊離砥粒の研磨剤102がワークWと研磨工具101の間に潜り込み、凸部W1だけでなく凹部W2にも作用して研磨が行われる。
そのため、研磨が進行した場合、粗さ(周期が0.2mm以下の形状成分)は除去されて表面粗さが小さくなるが、ウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)はほとんど変化しないため形状精度が向上しない原因となる。
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、ワーク表面のウネリ成分を除去して形状精度を向上させると共に、表面粗さの小さい表面に研磨することが可能な研磨装置及び研磨方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1の発明の研磨工具は、ワーク表面を研磨する研磨工具であって、前記ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材と、ボンド材の中に分散配置した砥粒と、を具備することを特徴とする。
請求項1の発明では、砥粒を内部に分散させたゴムからなるボンド材として、ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムを用いるため、ワーク表面のウネリの凹凸に倣うことなく研磨することができる。このため、ウネリの少ない高精度な面形状に研磨することができる。
請求項2の発明の研磨方法は、ワーク表面を研磨する研磨方法であって、前記ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された研磨工具を、前記ワーク表面に押圧しながら、研磨工具とワークとを相対的に移動させることによりワークを研磨することを特徴とする。
請求項2の発明では、ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置した研磨工具を用いてワーク表面を研磨するため、ワーク表面のウネリの凹凸に倣うことなく研磨することができ、ワーク表面の凸部だけを優先的に除去することができる。従って、ワーク表面のウネリを低減することができ、これにより、ウネリの少ない高精度な面形状に研磨することができる。
請求項3の発明の研磨方法は、ワーク表面を研磨する研磨方法であって、前記ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された第1研磨工具を、前記ワーク表面に押圧しながら、第1研磨工具とワークとを相対的に移動させることによりワークを研磨する第1の工程と、前記周期とは異なる形状成分に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された第2研磨工具を、前記ワーク表面に押圧しながら、第2研磨工具とワークとを相対的に移動させることによりワークを研磨する第2の工程と、を有することを特徴とする。
請求項3の発明では、研磨工程を第1工程及び第2工程に分けると共に、各工程では、ワーク表面の除去する形状成分の周期に応じて硬度の異なるゴムをボンド材を用いるため、ウネリが小さく、且つ表面粗さが良好な研磨を行うことができる。
請求項1の発明によれば、砥粒を内部に分散させたゴムからなるボンド材として、ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムを用いるため、ワーク表面のウネリの凹凸に倣うことなく研磨することができる。
請求項2の発明によれば、ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置した研磨工具を用いてワーク表面を研磨するため、ワーク表面のウネリの凹凸に倣うことなく研磨することができ、ワーク表面の凸部だけを優先的に除去することができ、ワーク表面のウネリを低減することができる。
請求項3の発明によれば、研磨の第1工程及び第2工程の各工程において、ワーク表面の除去する形状成分の周期に応じて硬度の異なるゴムをボンド材を用いるため、ウネリが小さく、且つ表面粗さが良好な研磨を行うことができる。
(実施の形態1)
図1〜図3は、本発明の実施の形態1であり、図1は研磨装置を、図2は研磨加工部位及び研磨工具を、図3は拡大した研磨加工部位を示す。
図1〜図3は、本発明の実施の形態1であり、図1は研磨装置を、図2は研磨加工部位及び研磨工具を、図3は拡大した研磨加工部位を示す。
研磨装置は、図1に示すように、X軸機構部2、B軸機構部5及びZ軸機構部11を備えている。
X軸機構部2は、共に基台1上に配置された移動テーブル3と、移動テーブル3を駆動するX軸モータ4とを備えている。X軸モータ4の出力軸は、移動テーブル3に螺合しており、同モータ4が駆動することにより、移動テーブル3がX軸方向に移動可能となっている。
B軸機構部5は、移動テーブル3上に配置されている。このB軸機構部5は、移動テーブル3に支持された台座6と、台座6の側面に取り付けられたワークスピンドル固定板7と、図示を省略したB軸モータとを備えている。B軸モータは、台座6の裏面に取り付けられており、その出力軸がワークスピンドル固定板7と螺合しており、その駆動によってワークスピンドル固定板7を揺動させるようになっている。
ワークスピンドル固定板7には、ワークスピンドル8と、ワークスピンドル8を回転させるワーク軸モータ9とが取り付けられている。また、ワークスピンドル8の先端には、ワーク保持具10が取り付けられており、ワーク保持具10にワークWが着脱自在に取り付けられる。このようなB軸機構部5では、ワーク軸モータ9が駆動することにより、ワークWがB方向に回転する。
Z軸機構部11は、X軸機構部2の移動テーブル3に支持されたスタンド12と、スタンド12前面に形成された一対のガイド13に沿って上下方向(Z軸方向)に移動するようにスタンド12に設けられたスライド板14とを有している。
スライド板14は、スタンド12の上端に取り付けられたZ軸モータ15の出力軸と螺合しており、同モータ15が駆動することにより上下動する。また、スライド板14には支柱16が取り付けられており、この支柱16には、支柱16を中心に揺動するアーム17が取り付けられている。
アーム17の下部には、スピンドル18が固定されており、スピンドル18の先端には、研磨工具19が取り付けられている。また、スピンドル18には、図示を省略したモータが設けられており、このモータが駆動することにより、スピンドル18先端の研磨工具19が回転するようになっている。さらに、アーム17上部には、ねじロッド20が水平方向に沿って取り付けられ、ねじロッド20の一端に重錘21が取り付けられている。一方、ねじロッド20の他端には、ハンドル22が取り付けられており、ハンドル22の回転により重錘21がアーム17に対して左右方向に移動するようになっている。
この実施の形態において、研磨工具19は図2に示すように、ステンレスからなる軸体19aと、軸体19aの先端に取り付けられたゴム砥石19bとによって形成されている。ゴム砥石19bは、硬度が80Hs以上のショア硬さを有したクロロプレン系のゴムからなるボンド材を用い、このボンド材の中に砥粒としての#3000番の多結晶ダイヤモンドを集中度100で分散配置した構造となっている。
この実施の形態によるワークWの研磨においては、まず、上述したゴム砥石19bを有した研磨工具19をスピンドル18の先端に取り付ける。次に、スライド板14を上昇させ、ワークWをワーク保持具10に取り付ける。その後、スライド板14を下降させて研磨工具19をワークWの表面に当接させる(図2参照)。この状態で、ワークスピンドル8を100rpm、研磨工具のスピンドル18を120rpmで回転させ、これらが回転した状態で、研磨工具19におけるゴム砥石19bの加工部30(図2参照)が常に垂直方向に120gの力で加圧されるようにX軸、B軸、Z軸を移動制御しながら研磨する。
図3は、この研磨状態を示しており、ゴム砥石19bとして、硬度が高く、弾性の低いゴム材料を使用しているため、ゴム砥石19bがワークWのウネリの凹凸に倣うことなく、ワークWの表面の凸部W1だけを研磨することができる。また、砥粒がボンド材の中に分散しているため、凹部W2には砥粒が作用することがない。このため、凸部W1だけを優先的に除去することができる。
このような実施の形態によれば、研磨工具19に硬度の高いゴム砥石19bを取り付け、このゴム砥石19bによってワークWを研磨するため、ワーク表面に存在するウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)の凹凸に倣うことなく研磨することができる。従って、凸部W1を優先的に研磨することができ、研磨が進行することにより、ウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)が低減する。これにより、ウネリの少ない高精度な形状精度の研磨面とすることが可能となる。
(実施の形態2)
この実施の形態の研磨装置は、図1と同様な構造となっているため、説明を省略する。実施の形態2の研磨においては、第1工程と、第2工程とによってワークWを研磨するものである。
この実施の形態の研磨装置は、図1と同様な構造となっているため、説明を省略する。実施の形態2の研磨においては、第1工程と、第2工程とによってワークWを研磨するものである。
第1工程では、まず、ゴム砥石19bを有した研磨工具19をスピンドル18の先端に取り付ける。次に、スライド板14を上昇させ、ワークWをワーク保持具10に取り付ける。そして、スライド板14を下降させて研磨工具19をワークWの表面に当接させ、ワークスピンドルを100rpm、研磨工具スピンドルを120rpmで回転させ、これらが回転した状態で、研磨工具19におけるゴム砥石19bの加工部30が常に垂直方向に120gの力で加圧されるようにX軸、B軸、Z軸を移動制御しながら研磨する。
この第1工程では、ウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)を除去することを目的とするものであり、このため、硬度の高いゴム砥石19bを使用して研磨を行う。第1工程に用いる研磨工具19のゴム砥石19bは、ボンド材として、ショア硬さで80Hs以上の硬度を有したクロロプレン系のゴムを用い、このボンド材の中に砥粒としての#3000番の多結晶ダイヤモンドを集中度100で分散配置した構造となっている。
なお、研磨工具19のボンド材であるゴムの硬度は、ワークWの表面に存在するウネリの凹部に砥粒(固定砥粒)が入り込まず、且つワークWの表面を傷つけない程度であれば良く、ショア硬さで80Hs以上、さらにはショア硬度で80〜90Hsが良好である。
第2工程では、粗さ(周期が0.2mmよりも小さい形状成分)を除去することを目的とするものであり、硬度の低いゴム砥石を使用して研磨を行う。第2工程に用いる研磨工具19のゴム砥石19bは、ボンド材として、ショア硬さで60Hs以下の硬度を有したクロロプレン系のゴムを用い、このボンド材の中に砥粒としての#5000番の多結晶ダイヤモンドを集中度100で分散配置した構造となっている。
なお、第1の工程とは異なるゴム砥石19bにおいて、ボンド材であるゴムの硬度としては、ワークWの表面を研磨でき、且つワークWの表面の凹凸にボンド材がなじむように当接できる程度であれば良く、ショア硬さで60Hs以下、さらにはショア硬度で10〜60Hsが良好である。
この実施の形態2によれば、第1工程で、不織布と比べ、弾性が低く硬度の高いゴム砥石を研磨工具として研磨加工することにより、ワークWの表面に存在するウネリ(周期が0.2〜1.5mmの形状成分)を低減させることができる。これに続く第2工程では、弾性が高く硬度の低いゴム砥石を使用して研磨することにより、ゴム砥石19bがワークWの面全体になじむように当接して研磨するため、粗さ(周期が0.2mmよりも小さい形状成分)を向上させることができる。これにより、ウネリの少ない高精度な形状精度で、更に粗さの小さい研磨面とすることができる。
以上の実施の形態から、本発明は、以下の発明を包含している。
(1)回転するワークの表面に、回転する研磨工具を押圧しながら走査させる研磨方法において、ワーク表面の除去する形状成分の周期に応じて硬度を変えらることが可能なゴムをボンド材とし、このボンド材の中に砥粒を分散配置させた砥石を研磨工具として用いることを特徴とする研磨方法。
この第(1)項の発明によれば、ワーク表面の除去する形状成分の周期に応じて硬度を変えらることが可能なゴムをボンド材とし、このボンド材の中に砥粒を分散配置させた砥石を研磨工具として用いるため、ワーク表面のウネリの凹凸に倣うことなく研磨することができ、ワーク表面の凸部だけを優先的に除去することができ、ワーク表面のウネリを低減することができる。
(2)上記(1)項の研磨方法であって、研磨工程を少なくとも2工程以上に分け、それぞれの工程において、ワーク表面の除去する形状成分の周期に応じて硬度を変えることが可能なゴム砥石を研磨工具として用いることにより、異なる周期の形状成分を除去することを特徴とする研磨方法。
第(2)項の発明によれば、研磨におけるそれぞれの工程で、ワーク表面の除去する形状成分の周期に応じて硬度の異なるゴムをボンド材を用いるため、ウネリが小さく、且つ表面粗さが良好な研磨を行うことができる。
2 X軸機構部
5 B軸機構部
11 Z軸機構部
19 研磨工具
19b ゴム砥石
W ワーク
5 B軸機構部
11 Z軸機構部
19 研磨工具
19b ゴム砥石
W ワーク
Claims (3)
- ワーク表面を研磨する研磨工具であって、
前記ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材と、
ボンド材の中に分散配置した砥粒と、
を具備することを特徴とする研磨工具。 - ワーク表面を研磨する研磨方法であって、
前記ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された研磨工具を、前記ワーク表面に押圧しながら、研磨工具とワークとを相対的に移動させることによりワークを研磨することを特徴とする研磨方法。 - ワーク表面を研磨する研磨方法であって、
前記ワーク表面の除去する形状成分の周期に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された第1研磨工具を、前記ワーク表面に押圧しながら、第1研磨工具とワークとを相対的に移動させることによりワークを研磨する第1の工程と、
前記周期とは異なる形状成分に対応した硬度を有するゴムからなるボンド材に砥粒が分散配置された第2研磨工具を、前記ワーク表面に押圧しながら、第2研磨工具とワークとを相対的に移動させることによりワークを研磨する第2の工程と、
を有することを特徴とする研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003353564A JP2005118897A (ja) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | 研磨工具及び研磨方法 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2005118897A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007130316A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Nelson Precision Casting Co Ltd | ゴルフクラブヘッドの表面処理方法 |
JP2017202564A (ja) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | ウンブラ クシネッティ ソチエタ ペル アツィオニUmbra Cuscinetti S.P.A. | らせん形異形材研削用の砥石車 |
-
2003
- 2003-10-14 JP JP2003353564A patent/JP2005118897A/ja active Pending
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JP2017202564A (ja) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | ウンブラ クシネッティ ソチエタ ペル アツィオニUmbra Cuscinetti S.P.A. | らせん形異形材研削用の砥石車 |
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