JP2005109319A - 酸化タンタルのエッチング用組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ化ケイ素及び水を含んでなる酸化タンタルのエッチング用組成物を用いる。エッチング用組成物は、必要に応じて過酸化水素、多価カルボン酸(シュウ酸、クエン酸、リンゴ酸、フタル酸、マレイン酸から成る群より選ばれる少なくとも一種)を含む組成物とする。
【選択図】 選択図なし
Description
SiF:フッ化ケイ素
OA:シュウ酸
CA:クエン酸
HPO:過酸化水素
TaOx:酸化タンタル
SiOx:酸化シリコン
実施例1〜6、比較例1〜3
47%フッ化水素酸水溶液に、溶けなくなるまで過剰のシリカゲルを加え、溶け残ったシリカゲルをろ過して取り除いた。これをフッ化ケイ素水溶液とした。フッ化ケイ素の濃度は、初期のフッ素をベースに算出した。
○:50nm(酸化タンタルの残存なし)
△:25〜49nm
×:0〜24nm
SiOxのエッチング量
○:0〜30nm
×:31nm〜300nm
Claims (5)
- フッ化ケイ素及び水を含んでなる酸化タンタルのエッチング用組成物。
- フッ化ケイ素が四フッ化ケイ素及び/又はヘキサフルオロケイ酸である請求項1に記載のエッチング用組成物。
- 過酸化水素を含んでなる請求項1又は請求項2に記載のエッチング用組成物。
- 多価カルボン酸を含んでなる請求項1〜請求項3のいずれかに記載のエッチング用組成物。
- 多価カルボン酸が、シュウ酸、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸、フタル酸、マレイン酸から成る群より選ばれる少なくとも一種である請求項1〜請求項4のいずれかに記載のエッチング用組成物。
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---|---|---|---|---|
JP2010109064A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Tosoh Corp | エッチング方法 |
JP2017162967A (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 株式会社Adeka | タンタル含有層用エッチング液組成物及びエッチング方法 |
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2003
- 2003-10-01 JP JP2003343127A patent/JP2005109319A/ja active Pending
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JP2010109064A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Tosoh Corp | エッチング方法 |
JP2017162967A (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 株式会社Adeka | タンタル含有層用エッチング液組成物及びエッチング方法 |
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